JP5268860B2

JP5268860B2 - 基板収納容器

Info

Publication number: JP5268860B2
Application number: JP2009245078A
Authority: JP
Inventors: 敏嗣矢島
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2009-10-26
Filing date: 2009-10-26
Publication date: 2013-08-21
Anticipated expiration: 2029-10-26
Also published as: JP2011091285A

Description

本発明は、半導体ウェーハやマスクガラス等の基板を支持する基板収納容器に関するものである。

従来の基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを水平に整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に蓋体開閉装置により着脱自在に嵌合される蓋体と、この蓋体に内蔵されて容器本体の正面に嵌合した蓋体を施錠する施錠機構とを備え、半導体ウェーハの収納、保管、工程内の搬送、輸送等に利用されている。

施錠機構は、蓋体の外部から蓋体開閉装置により回転操作される左右一対の回転プレートと、各回転プレートの回転により上下方向に進退動する一対の進退動プレートと、各進退動プレートの進出により蓋体の周壁から突出して容器本体の正面内周に係止する出没可能な複数の係止爪とから構成されている。この施錠機構の回転プレートと一対の進退動プレートとは、一直線上に位置し、複数の係止爪が共に突出し、共に退没する（特許文献１、２、３、４、５、６参照）。

特開２００３‐１３３４０５号公報特開２００８‐９８２３６号公報特開２００７‐１９３２８号公報特開２００６‐３０３０１５号公報特開２００７‐１４２１８９号公報特開２００２‐３６８０７４号公報

従来における基板収納容器は、以上のように施錠機構の回転プレートと一対の進退動プレートとが一直線上に位置し、複数の係止爪が共に蓋体内に退没するので、例えば基板収納容器が落下して強い衝撃が作用すると、回転プレートがアンチロック側に回転することがある。この結果、複数の係止爪が共に蓋体内に退没し、容器本体の正面から蓋体が外れて半導体ウェーハの汚染や破損を招くおそれがある。

本発明は上記に鑑みなされたもので、例え強い衝撃等が作用しても、複数の係止体が共に蓋体に引っ込むことがなく、容器本体から蓋体が外れて基板の汚染や破損を招くおそれを払拭することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口部に嵌められる蓋体と、この蓋体に設けられて容器本体の開口部に嵌められた蓋体を施錠する施錠機構とを備えたものであって、
施錠機構は、蓋体の外部から回転操作される回転体と、この回転体の回転により揺動する複数の連結バーと、各連結バーの揺動により蓋体から突出して容器本体の開口部内周に係止する出没可能な複数の係止体と、回転体の中心部から半径外方向に偏位した偏位部と複数の連結バーとを連結するリンク機構あるいはカム機構とを含み、蓋体の施錠時には、係止体に対して複数の連結バーを略一直線に伸ばし、蓋体の解錠時には、係止体に対して複数の連結バーをそれぞれ異なる方向に傾斜させるようにしたことを特徴としている。

なお、施錠機構は、蓋体に支持されて外部から回転操作される回転体と、この回転体の中心部から半径外方向に偏位した偏位部に揺動可能に支持されるリンクバーと、このリンクバーに揺動可能に支持されて相互に離隔する複数の連結バーと、各連結バーに揺動可能に支持され、蓋体の周壁から突出して容器本体の開口部内周に係止する係止体とを含み、蓋体の施錠時には、リンクバーと係止体との間で複数の連結バーを略一直線に伸ばし、蓋体の解錠時には、リンクバーと係止体との間で複数の連結バーをそれぞれ異なる方向に傾斜させることができる。

また、施錠機構は、蓋体に支持されて外部から回転操作される回転体と、この回転体に形成されるカムと、回転体の中心部から半径外方向に偏位したカムのカム溝に揺動可能に支持されて相互に離隔する複数の連結バーと、各連結バーに揺動可能に支持され、蓋体の周壁から突出して容器本体の開口部内周に係止する係止体とを含み、蓋体の施錠時には、カムのカム溝と係止体との間で複数の連結バーを略一直線に伸ばし、蓋体の解錠時には、カムのカム溝と係止体との間で複数の連結バーをそれぞれ異なる方向に傾斜させることができる。

また、蓋体に係止体用のガイドリブを形成し、施錠機構の回転体よりも複数の係止体を蓋体の幅方向中心線寄りに配置することが好ましい。

ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ２００、φ３００、φ４５０ｍｍの半導体ウェーハ、ガラス基板、マスクガラス等が含まれる。また、容器本体は、透明、不透明、半透明、フロントオープンボックスタイプ、トップオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプを特に問うものではない。蓋体についても、透明、不透明、半透明を問うものではない。

施錠機構の回転体と複数の連結バーとは、例えばトグルリンク機構（トグル・ジョイント機構ともいう）等を介して連結することができる。複数の連結バーは、略一直線に伸びるが、この略一直線には、一直線の他、おおよそ一直線の状態が含まれる。施錠機構の係止体としては、平板や屈曲した爪等を使用することができ、容器本体の開口部内周に接触する部分に摩擦低減用の回転可能なローラを選択的に取り付けることが可能である。この係止体は、蓋体の表裏方向に揺動するものでも良いし、そうでなくても良く、又蓋体の周壁内に回転可能に支持されていても良い。

本発明によれば、容器本体の開口部に嵌めた蓋体を施錠する場合には、蓋体の外部から施錠機構の回転体を施錠方向に回転させる。すると、回転体の回転でリンク機構あるいはカム機構が動作し、複数の連結バーがそれぞれ揺動して係止体を突出させ、各係止体が蓋体から突出して容器本体の開口部内周に引っかかり、蓋体が施錠される。

これに対し、容器本体の開口部を覆う蓋体を解錠して取り外す場合には、蓋体の外部から回転体を解錠方向に回転させる。すると、回転体の回転でリンク機構あるいはカム機構が動作し、各連結バーが揺動して係止体を退没させ、各係止体が容器本体から蓋体内に退没することにより、容器本体から蓋体を取り外すことが可能になる。

また、基板収納容器に衝撃等が加わり、施錠状態の施錠機構の回転体が解錠方向に回転しようとする場合、回転体の回転中心から離れた箇所で複数の連結バーがリンク機構あるいはカム機構を介して連結され、かつ略一直線に伸びているので、一部の連結バーが蓋体内に後退して揺動することがあっても、残部の連結バーが連動して蓋体内に後退することが少ない。すなわち、複数の連結バーが同方向に動作することがないので、複数の係止体が共に蓋体内に引っ込むことが少なく、これにより、回転体が解錠方向に回転するのを規制することができる。

本発明によれば、例え基板収納容器に強い衝撃等が作用しても、施錠機構の複数の係止体が共に蓋体に引っ込むことがなく、これを通じて容器本体から蓋体が外れて基板の汚染や破損を招くおそれを有効に払拭することができるという効果がある。

また、施錠機構にリンク機構又はカム機構を使用すれば、このリンク機構又はカム機構が回転体の操作力を増大させる倍力機構として動作するので、従来に比べ、小さな回転トルクで回転体を回転させるだけで、大きな施錠力を得ることができる。
また、蓋体に係止体用のガイドリブを形成すれば、係止体が位置ずれすることなく円滑に蓋体から出没する。さらに、施錠機構の回転体よりも複数の係止体を蓋体の幅方向中心線寄りに配置すれば、基板に押されて蓋体の中央部が膨らみ、変形するのを防ぐことが可能になる。

本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す分解斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体と施錠機構とを模式的に示す分解斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体と解錠状態の施錠機構とを模式的に示す斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体と施錠状態の施錠機構とを模式的に示す斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠状態の施錠機構を模式的に示す部分断面説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における解錠状態の施錠機構を模式的に示す部分断面説明図である。本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における蓋体と解錠状態の施錠機構を模式的に示す分解斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における蓋体と施錠状態の施錠機構を模式的に示す分解斜視説明図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図６に示すように、薄い半導体ウェーハＷを収納する容器本体１と、この容器本体１の開口した正面に嵌合される蓋体１０と、この蓋体１０に内蔵されて容器本体１に嵌合した蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、この施錠機構３０を、外部から回転操作される回転プレート３１と、回転プレート３１の回転により揺動する複数の連結バー３６と、各連結バー３６の揺動により蓋体１０から突出して容器本体１の正面内周に係止する複数の係止部材３７と、各回転プレート３１と複数の連結バー３６とを連結するリンク機構３４とから構成し、蓋体１０の施錠時には、係止部材３７に対して複数の連結バー３６を一直線に伸ばし、蓋体１０の解錠時には、係止部材３７に対して複数の連結バー３６をそれぞれ異なる方向に傾斜させるようにしている。

半導体ウェーハＷは、図１に示すように、例えばφ３００ｍｍにスライスされた撓み易いシリコンウェーハからなり、図示しない専用のロボットに把持されて容器本体１内に２５枚が整列して水平に収納されたり、取り出される。

容器本体１、蓋体１０、施錠機構３０は、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の所定の樹脂としては、例えば力学的性質や耐熱性等に優れるポリカーボネート、シクロオレフィン、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、あるいは環状オレフィン樹脂等があげられる。所定の樹脂には、カーボン、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー、帯電防止剤、又は難燃剤等が必要に応じて選択的に添加される。

容器本体１は、図１に示すように、成形材料により正面の開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、開口した横長の正面を水平横方向に向けた状態でクリーンルームの半導体加工装置や気体置換装置上に位置決めして搭載されたり、工程間を搬送されたり、あるいは輸送される。この容器本体１の内部両側、換言すれば、両側壁の内面には、収納された半導体ウェーハＷを支持ティース２により水平に支持する別体の支持体３がそれぞれ着脱自在に後付けで装着される。この支持体３は、容器本体１の両側壁内面にそれぞれ一体形成することもできる。

容器本体１の天板の中央部には、工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジ４が装着される。また、容器本体１の開口した正面の周縁には、蓋体１０と嵌合するリムフランジ５が外方向に向けて膨出形成され、このリムフランジ５の内周面の上下両側部には、蓋体１０用の係止穴６がそれぞれ穿孔される。

蓋体１０は、図１ないし図６に示すように、容器本体１の開口したリムフランジ５内に弾性のガスケット２２を介し着脱自在に圧入される横長の筐体１１と、この筐体１１の開口した表面（正面）を被覆する表面プレート２３とを備え、これら筐体１１と表面プレート２３との間に施錠機構３０が介在して内蔵される。この蓋体１０の筐体１１は、基本的には枠形の周壁を備えた浅底の断面略皿形に形成され、中央部１２と周壁の左右両側部との間に、施錠機構３０用の設置空間１３がそれぞれ区画形成されており、各設置空間１３には、施錠機構３０用の支持リブ１４と第一、第二のガイドリブ１５・１６とがそれぞれ配設される。

支持リブ１４は、図２ないし図４に示すように、設置空間１３の略中央部に正面視リング形に形成される。また、第一のガイドリブ１５は、間隔をおいて相対向する上下一対のリブが筐体１１の中央部１２から支持リブ１４近傍に水平に伸長されることにより形成される。第二のガイドリブ１６は、間隔をおいて相対向する左右一対のリブが設置空間１３の周壁近傍に伸長することで形成され、係止部材３７の進退動をガイドするよう機能する。

筐体１１の周壁の上下両側部には、第二のガイドリブ１６に連なる施錠機構３０用の貫通孔１７がそれぞれ穿孔され、各貫通孔１７が容器本体１のリムフランジ５の係止穴６に対向する。また、筐体１１の裏面中央部には図１に示すように、半導体ウェーハＷの前部周縁を弾発的に保持するフロントリテーナ１８が着脱自在に装着される。このフロントリテーナ１８は、縦長の枠体１９を備え、この枠体１９の複数の縦桟部間には、複数の弾性片２０が上下に並べて架設されており、各弾性片２０には、半導体ウェーハＷの前部周縁をＶ溝により保持する小さな保持ブロック２１が一体形成される。

表面プレート２３は、筐体１１の開口した表面に対応するよう横長の平板に形成され、左右両側部に、支持リブ１４の中心部に対向する施錠機構３０用の操作口２４がそれぞれ矩形に穿孔されており、各操作口２４を蓋体開閉装置の回転可能な操作キーが外部から貫通する。

施錠機構３０は、図２ないし図６に示すように、蓋体１０に支持されて外部から回転操作される左右一対の回転プレート３１と、各回転プレート３１の周面に揺動可能に軸支されるリンク機構３４のリンクバー３５と、このリンクバー３５に揺動可能に軸支される一対の連結バー３６と、各連結バー３６に揺動可能に軸支される一対の係止部材３７とを備え、倍力機構であるトグルリンク機構を構成する。

回転プレート３１は、円板形に形成されて蓋体１０の支持リブ１４内に嵌合支持され、表面の中心部にアクセス凹部３２が直線的に凹み形成されており、このアクセス凹部３２が蓋体１０の操作口２４に連通対向して蓋体開閉装置の操作キーに回転操作される。この回転プレート３１のアクセス凹部３２から半径外方向に偏位した偏位部である周面には突部３３が半径外方向に形成され、この突部３３の先端には、第一のガイドリブ１５に嵌合されるリンクバー３５の末端部が揺動可能に軸支されており、このリンクバー３５がリンク機構３４として第一のガイドリブ１５に案内されつつ左右横方向にスライドする。

一対の連結バー３６は、リンクバー３５の先端部にそれぞれ揺動可能に連結軸支されて上下方向に相互に離隔し、回転プレート３１の回転に伴うリンクバー３５のスライドで個別に揺動する。各連結バー３６は、リンクバー３５よりも長く伸長形成され、このリンクバー３５との間で１８０°以下の角度を形成するよう軸支される。

各係止部材３７は、各連結バー３６の先端部に揺動可能に軸支され、回転プレート３１よりも蓋体１０の幅方向中心線寄りに位置して筐体１１に剛性を付与する。この係止部材３７の先端部には、図５や図６に示す摩擦低減用の回転可能なローラ３８を軸支させるよう設けることができ、この場合には、ローラ３８が容器本体１の係止穴６内に摺接してパーティクルの発生を防止する。

係止部材３７は、蓋体１０が施錠される場合には図４に示すように、第二のガイドリブ１６に嵌合案内されつつ、蓋体１０の周壁の貫通孔１７から出没可能に突出して容器本体１の係止穴６に係止し、蓋体１０が解錠される場合には図３に示すように、容器本体１の係止穴６から蓋体１０の貫通孔１７内に第二のガイドリブ１６に嵌合案内されつつ退没する。

このような施錠機構３０は、蓋体１０が施錠される場合には図４に示すように、リンクバー３５の先端部と一対の係止部材３７との間で一対の連結バー３６が上下一直線に伸び、蓋体１０が解錠される場合には図３に示すように、リンクバー３５の先端部と一対の係止部材３７との間で一対の連結バー３６がアクセス凹部３２の中心を通るＹ軸に対してそれぞれ異なる方向に傾斜し、略横Ｖ字を描くこととなる。

上記構成において、容器本体１の正面に嵌合した蓋体１０を施錠する場合には、蓋体開閉装置の操作キーが蓋体１０の操作口２４を貫通して回転プレート３１のアクセス凹部３２に干渉し、操作キーがアクセス凹部３２に挿入されて回転プレート３１をロック側に９０°回転させる。

すると、回転プレート３１の回転でリンク機構３４のリンクバー３５が筐体１１の中央部１２から離れるようスライドし、各連結バー３６が連鎖的に揺動して係止部材３７を突出させるとともに、各係止部材３７が第二のガイドリブ１６に案内されつつ、蓋体１０の貫通孔１７から突出して容器本体１の係止穴６に係止し、この係止作用により、容器本体１の正面に嵌合した蓋体１０が強固に施錠される。この際、第一、第二のガイドリブ１５・１６がリンクバー３５と係止部材３７とをそれぞれ案内するので、これらリンクバー３５と係止部材３７とは、位置ずれしたり、がたつくことなく滑らかに動作する。

これに対し、容器本体１の正面に嵌合した蓋体１０を解錠して取り外す場合には、蓋体開閉装置の操作キーが蓋体１０の操作口２４を貫通して回転プレート３１のアクセス凹部３２に干渉し、回転プレート３１をアンチロック側に９０°回転させる。

すると、回転プレート３１の回転でリンクバー３５が筐体１１の中央部１２に接近するようスライドし、起立状態の各連結バー３６が連鎖的に揺動して係止部材３７を退没させるとともに、各係止部材３７が容器本体１の係止穴６から蓋体１０の貫通孔１７内に第二のガイドリブ１６に嵌合案内されつつ退没し、この退没作用により、容器本体１の正面から蓋体１０を取り外すことが可能になる。

次に、半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器が落下して強い衝撃が作用し、回転プレート３１がアンチロック側に回転しようとする場合、回転プレート３１のアクセス凹部３２から離れた箇所で一対の連結バー３６が連結され、かつ上下一直線に伸びているので、上下いずれか一方の連結バー３６が蓋体１０内方向に後退して揺動するものの、他方の連結バー３６や係止部材３７が連鎖的に押されて蓋体１０内に後退することがない。

すなわち、一対の連結バー３６が異なる方向に動作し、同方向に動作することがないので、回転プレート３１がアンチロック側に回転するのを有効に規制することができる。これにより、他方の係止部材３７が蓋体１０内に退没しないので、容器本体１の正面から蓋体１０が外れることがない。

上記構成によれば、基板収納容器が落下して強い衝撃が作用しても、上下一対の係止部材３７が共に退没することがないので、回転プレート３１がアンチロック側に回転するのを抑制防止することができる。したがって、半導体ウェーハＷの汚染や破損を招くおそれを有効に払拭したり、クリーンルームの汚染を排除することができる。また、施錠機構３０にリンク機構３４を用いるので、小さな回転トルクで回転プレート３１を回転させるだけで、大きな施錠力を得ることができ、しかも、簡易な構成で複雑な運動を獲得することができる。

さらに、回転プレート３１よりも蓋体１０の幅方向中心線寄りに係止部材３７を配置して蓋体１０の強度を高めるので、半導体ウェーハＷの前部周縁に圧接されて蓋体１０の中央部１２が膨出して変形するのを防止することが可能になる。

次に、図７、図８は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合の施錠機構３０は、各回転プレート３１のアクセス凹部３２から半径外方向に偏位した偏位部と一対の連結バー３６とをカム機構４０により連結して構成するようにしている。

施錠機構３０は、蓋体１０の支持リブ１４に嵌合支持されて外部から蓋体開閉装置の操作キーにより回転操作される左右一対の回転プレート３１と、各回転プレート３１の周縁部に一体形成されるカム機構４０のカム４１と、このカム４１のカム溝４２内に軸支されて相互に離隔する揺動可能な一対の連結バー３６と、各連結バー３６の先端部に揺動可能に軸支され、蓋体１０の周壁の貫通孔１７から突出して容器本体１の係止穴６に係止する係止部材３７とを備えて構成される。

カム４１は、例えば回転プレート３１よりも大きい略楕円形の板に形成され、回転プレート３１のアクセス凹部３２から半径外方向に離れた箇所に半円弧形のカム溝４２が貫通して切り欠かれており、このカム溝４２内に一対の連結バー３６の端部がスライド可能に連結軸支される。

このような施錠機構３０は、蓋体１０が施錠される場合には図８に示すように、カム溝４２の端部と一対の係止部材３７との間で一対の連結バー３６が上下一直線に伸び、蓋体１０が解錠される場合には図７に示すように、カム溝４２の端部と一対の係止部材３７との間で一対の連結バー３６がアクセス凹部３２の中心を通るＹ軸に対してそれぞれ異なる方向に傾斜し、略横Ｖ字を描くこととなる。

すると、回転プレート３１と共にカム４１が回転し、このカム４１のカム溝４２に案内されつつ、各連結バー３６が連鎖的に揺動して係止部材３７を突出させるとともに、各係止部材３７が第二のガイドリブ１６に案内されつつ、蓋体１０の貫通孔１７から突出して容器本体１の係止穴６に係止し、この係止作用により、容器本体１の正面に嵌合した蓋体１０が強固に施錠される。

すると、回転プレート３１と共にカム４１が回転し、このカム４１のカム溝４２に案内されつつ、起立状態の各連結バー３６が連鎖的に揺動して係止部材３７を退没させるとともに、各係止部材３７が容器本体１の係止穴６から蓋体１０の貫通孔１７内に第二のガイドリブ１６に嵌合案内されつつ退没し、この退没作用により、容器本体１の正面から蓋体１０を取り外すことが可能になる。

次に、半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器が落下して強い衝撃が作用し、回転プレート３１がアンチロック側に回転しようとする場合には、回転プレート３１のアクセス凹部３２から離れた箇所で一対の連結バー３６がカム４１により連結され、かつ上下一直線に伸びているので、上下いずれか一方の連結バー３６が蓋体１０内方向に後退して揺動するものの、他方の連結バー３６や係止部材３７が連鎖的に押されて蓋体１０内に後退することがない。

したがって、回転プレート３１がアンチロック側に回転し、容器本体１の正面から蓋体１０が外れることがない。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、施錠機構３０にカム機構４０を使用するので、簡易な構成で実に複雑な運動を容易に得ることができるのは明らかである。

なお、上記実施形態の容器本体１の背面壁には、半導体ウェーハＷの後部周縁を保持するリヤリテーナを設けても良い。また、表面プレート２３の操作口２４を円形や円弧形等に形成しても良い。また、上記実施形態では施錠機構３０にリンク機構３４又はカム機構４０を使用したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、クランク機構を併用して組み合わせても良い。また、リンクバー３５と係止部材３７とには、リブに摺接する摩擦低減ローラをそれぞれ軸支させることもできる。さらに、蓋体１０の周壁内に係止部材３７を表裏方向に揺動可能に軸支させ、かつ第二のガイドリブ１６に嵌合することもできる。

１容器本体
５リムフランジ
６係止穴
１０蓋体
１１筐体
１２中央部
１３設置空間
１４支持リブ
１５第一のガイドリブ
１６第二のガイドリブ（ガイドリブ）
１７貫通孔
２３表面プレート
３０施錠機構
３１回転プレート（回転体）
３２アクセス凹部（中心部）
３３突部
３４リンク機構
３５リンクバー
３６連結バー
３７係止部材（係止体）
４０カム機構
４１カム
４２カム溝
Ｗ半導体ウェーハ（基板）

Claims

基板を収納する容器本体の開口部に嵌められる蓋体と、この蓋体に設けられて容器本体の開口部に嵌められた蓋体を施錠する施錠機構とを備えた基板収納容器であって、
施錠機構は、蓋体の外部から回転操作される回転体と、この回転体の回転により揺動する複数の連結バーと、各連結バーの揺動により蓋体から突出して容器本体の開口部内周に係止する出没可能な複数の係止体と、回転体の中心部から半径外方向に偏位した偏位部と複数の連結バーとを連結するリンク機構あるいはカム機構とを含み、蓋体の施錠時には、係止体に対して複数の連結バーを略一直線に伸ばし、蓋体の解錠時には、係止体に対して複数の連結バーをそれぞれ異なる方向に傾斜させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
施錠機構は、蓋体に支持されて外部から回転操作される回転体と、この回転体の中心部から半径外方向に偏位した偏位部に揺動可能に支持されるリンクバーと、このリンクバーに揺動可能に支持されて相互に離隔する複数の連結バーと、各連結バーに揺動可能に支持され、蓋体の周壁から突出して容器本体の開口部内周に係止する係止体とを含み、蓋体の施錠時には、リンクバーと係止体との間で複数の連結バーを略一直線に伸ばし、蓋体の解錠時には、リンクバーと係止体との間で複数の連結バーをそれぞれ異なる方向に傾斜させるようにした請求項１記載の基板収納容器。
施錠機構は、蓋体に支持されて外部から回転操作される回転体と、この回転体に形成されるカムと、回転体の中心部から半径外方向に偏位したカムのカム溝に揺動可能に支持されて相互に離隔する複数の連結バーと、各連結バーに揺動可能に支持され、蓋体の周壁から突出して容器本体の開口部内周に係止する係止体とを含み、蓋体の施錠時には、カムのカム溝と係止体との間で複数の連結バーを略一直線に伸ばし、蓋体の解錠時には、カムのカム溝と係止体との間で複数の連結バーをそれぞれ異なる方向に傾斜させるようにした請求項１記載の基板収納容器。
蓋体に係止体用のガイドリブを形成し、施錠機構の回転体よりも複数の係止体を蓋体の幅方向中心線寄りに配置した請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。