JP3475400B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JP3475400B2 JP3475400B2 JP13774997A JP13774997A JP3475400B2 JP 3475400 B2 JP3475400 B2 JP 3475400B2 JP 13774997 A JP13774997 A JP 13774997A JP 13774997 A JP13774997 A JP 13774997A JP 3475400 B2 JP3475400 B2 JP 3475400B2
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- Japan
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- chamber
- rod
- rods
- substrate transfer
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- Electron Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子ビーム
描画装置において描画されるガラス基板やウエハのよう
な基板を、エアーロックチャンバを介して描画チャンバ
内へ搬送するような、チャンバ内における基板の直線的
な搬送に適した基板搬送装置に関する。
描画装置において描画されるガラス基板やウエハのよう
な基板を、エアーロックチャンバを介して描画チャンバ
内へ搬送するような、チャンバ内における基板の直線的
な搬送に適した基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、電子ビーム描画装置において
は、真空状態に保たれている描画チャンバ内へガラス基
板やウエハなどの基板を搬入する必要から、描画チャン
バにゲートバルブを介してエアーロックチャンバを接続
し、このエアーロックチャンバを介して描画チャンバに
対し基板を搬出入している。
は、真空状態に保たれている描画チャンバ内へガラス基
板やウエハなどの基板を搬入する必要から、描画チャン
バにゲートバルブを介してエアーロックチャンバを接続
し、このエアーロックチャンバを介して描画チャンバに
対し基板を搬出入している。
【０００３】従来、このようなエアーロックチャンバを
用いる基板搬送装置においては、基板を傷つけることな
く、かつ簡単な機構の搬送装置で搬送できるようにする
ため、基板を専用のカセットに収納し、このカセットを
ガイドローラによりガイドすると共に押し引きするロッ
ドにより、エアーロックチャンバと描画チャンバとの間
を直線的に往復動させる方式が一般的であった。
用いる基板搬送装置においては、基板を傷つけることな
く、かつ簡単な機構の搬送装置で搬送できるようにする
ため、基板を専用のカセットに収納し、このカセットを
ガイドローラによりガイドすると共に押し引きするロッ
ドにより、エアーロックチャンバと描画チャンバとの間
を直線的に往復動させる方式が一般的であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらカセット
を介して基板を搬送する方式は、基板を直接搬送する方
式と比較して、基板を描画ステージ上の所定位置に設置
する際の取付位置精度が劣ると共に、カセットに要する
コストアップを招くなどの欠点がある。
を介して基板を搬送する方式は、基板を直接搬送する方
式と比較して、基板を描画ステージ上の所定位置に設置
する際の取付位置精度が劣ると共に、カセットに要する
コストアップを招くなどの欠点がある。
【０００５】本発明は、前述したようなチャンバ内にお
ける基板の直線的な搬送を、カセットなどを用いること
なく、直接かつ的確に行うことのできる基板搬送装置を
提供することを目的としている。
ける基板の直線的な搬送を、カセットなどを用いること
なく、直接かつ的確に行うことのできる基板搬送装置を
提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明による基板搬送装置は、チャンバと、それぞれ
平行に配置されて先端側が前記チャンバの壁を通して該
チャンバ内に挿入され先端部で基板を支持する少なくと
も２本のロッドと、前記チャンバ外に設けられ前記ロッ
ドのうちの一部と残部とをその長手方向に互いに逆方向
に移動させる把持用駆動部と、同じく前記チャンバ外に
設けられ前記把持用駆動部及びロッドの全部を一体的に
該ロッドの長手方向に移動させる搬送用駆動部とからな
り、前記各ロッドの先端部は前記把持用駆動部による逆
方向移動により基板の外周面に接離する段部を有して基
板を把持可能に形成されているものである。
の本発明による基板搬送装置は、チャンバと、それぞれ
平行に配置されて先端側が前記チャンバの壁を通して該
チャンバ内に挿入され先端部で基板を支持する少なくと
も２本のロッドと、前記チャンバ外に設けられ前記ロッ
ドのうちの一部と残部とをその長手方向に互いに逆方向
に移動させる把持用駆動部と、同じく前記チャンバ外に
設けられ前記把持用駆動部及びロッドの全部を一体的に
該ロッドの長手方向に移動させる搬送用駆動部とからな
り、前記各ロッドの先端部は前記把持用駆動部による逆
方向移動により基板の外周面に接離する段部を有して基
板を把持可能に形成されているものである。
【０００７】この基板搬送装置は、少なくとも２本のロ
ッドが、その先端部に載せられた基板を、把持用駆動部
による逆方向移動により把持し、搬送用駆動部による一
体的移動により搬送する。そこで、チャンバ内における
基板の搬送が確実に行われ、さらに駆動部はチャンバ外
にあるため、駆動部からの発塵によるチャンバ内の汚損
がないと共にチャンバの容積は小さくてよい。
ッドが、その先端部に載せられた基板を、把持用駆動部
による逆方向移動により把持し、搬送用駆動部による一
体的移動により搬送する。そこで、チャンバ内における
基板の搬送が確実に行われ、さらに駆動部はチャンバ外
にあるため、駆動部からの発塵によるチャンバ内の汚損
がないと共にチャンバの容積は小さくてよい。
【０００８】なお、基板が矩形の場合は、前記ロッドの
うちの１本のロッドが前記基板の１辺のほぼ中央部分を
支持し、残部のロッドが前記１辺と平行な対辺のほぼ両
端部分をそれぞれ支持するように構成すれば、矩形の基
板を確実に支持及び把持することが可能になる。
うちの１本のロッドが前記基板の１辺のほぼ中央部分を
支持し、残部のロッドが前記１辺と平行な対辺のほぼ両
端部分をそれぞれ支持するように構成すれば、矩形の基
板を確実に支持及び把持することが可能になる。
【０００９】さらに、前記ロッドの先端部に対しては、
チャンバ外からロッドと直角な方向に基板を搬出入する
ように構成することにより、チャンバ内のロッド先端部
に対する外部からの搬送が容易かつ的確に行われる。
チャンバ外からロッドと直角な方向に基板を搬出入する
ように構成することにより、チャンバ内のロッド先端部
に対する外部からの搬送が容易かつ的確に行われる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下本発明の一実施の形態につき
図１を参照して説明する。１は、電子ビーム描画装置の
描画チャンバのような処理チャンバである。この処理チ
ャンバ１には、第１ゲートバルブ２を介してエアーロッ
クチャンバ３が接続されている。エアーロックチャンバ
３には、第１ゲートバルブ２を有する側壁（図１におい
て下側の壁）と直角な側壁（同じく図１において左側の
壁）に、第２ゲートバルブ４が設けられている。
図１を参照して説明する。１は、電子ビーム描画装置の
描画チャンバのような処理チャンバである。この処理チ
ャンバ１には、第１ゲートバルブ２を介してエアーロッ
クチャンバ３が接続されている。エアーロックチャンバ
３には、第１ゲートバルブ２を有する側壁（図１におい
て下側の壁）と直角な側壁（同じく図１において左側の
壁）に、第２ゲートバルブ４が設けられている。
【００１１】エアーロックチャンバ３内には、第１ゲー
トバルブ２が設けられた上記側壁に対向する側壁（図１
において上側の壁）を貫通して互いに平行に配置された
３本のロッド５、６、７が第１ゲートバルブ２及び処理
チャンバ１内に向けて挿入されている。中央のロッド６
の元端は、エアーロックチャンバ３外に置かれた第１プ
レート８に連結固定され、両側のロッド５、７の元端
は、同じくエアーロックチャンバ３外に第１プレート８
と平行に置かれた第２プレート９に連結固定されてい
る。
トバルブ２が設けられた上記側壁に対向する側壁（図１
において上側の壁）を貫通して互いに平行に配置された
３本のロッド５、６、７が第１ゲートバルブ２及び処理
チャンバ１内に向けて挿入されている。中央のロッド６
の元端は、エアーロックチャンバ３外に置かれた第１プ
レート８に連結固定され、両側のロッド５、７の元端
は、同じくエアーロックチャンバ３外に第１プレート８
と平行に置かれた第２プレート９に連結固定されてい
る。
【００１２】これらの第１、第２プレート８、９には、
ロッド５、６、７と平行に伸びる左右ねじ１０の左ねじ
部と右ねじ部がそれぞれ係合し、左右ねじ１０は第１モ
ータ１１により正逆回転を与えられる。この左右ねじ１
０及び第１モータ１１は、第１、第２プレート８、９と
共に把持用駆動部を構成するものであり、第１、第２プ
レート８、９を介してロッド６とロッド５、７とをこれ
らの長手方向に沿って互いに逆方向へ移動させるように
なっている。
ロッド５、６、７と平行に伸びる左右ねじ１０の左ねじ
部と右ねじ部がそれぞれ係合し、左右ねじ１０は第１モ
ータ１１により正逆回転を与えられる。この左右ねじ１
０及び第１モータ１１は、第１、第２プレート８、９と
共に把持用駆動部を構成するものであり、第１、第２プ
レート８、９を介してロッド６とロッド５、７とをこれ
らの長手方向に沿って互いに逆方向へ移動させるように
なっている。
【００１３】第１モータ１１は、移動台１２に取り付け
られている。移動台１２は、第２モータ１３により正逆
回転される送りねじ１４により、ガイドプレート１５に
沿ってロッド５、６、７と平行に移動される。移動台１
２、第２モータ１３、送りねじ１４及びガイドプレート
１５は、ロッド５、６、７の搬送用駆動部を構成してい
る。
られている。移動台１２は、第２モータ１３により正逆
回転される送りねじ１４により、ガイドプレート１５に
沿ってロッド５、６、７と平行に移動される。移動台１
２、第２モータ１３、送りねじ１４及びガイドプレート
１５は、ロッド５、６、７の搬送用駆動部を構成してい
る。
【００１４】ロッド５、７の先端部には、図１（ｂ）に
示すように、それぞれの上面より低い段差部５ａ、７ａ
が設けられ、ロッド６には、先端の上面より低い段差部
６ａ及びこれよりさらに低い段差部６ｂが設けられ、上
記３つの段差部５ａ、６ａ、７ａにより基板１６を３点
支持するようになっている。なお、それぞれの段差部５
ａ、６ａ、７ａは、図１のように基板１６が矩形の場
合、中央のロッド６の段差部６ａは、基板１６の図１に
おいて下辺の中央部分を支持し、両側のロッド５、７の
段差部５ａ、７ａは、上記下辺と平行な上辺のほぼ両端
部分をそれぞれ支持するように形成することが好まし
い。
示すように、それぞれの上面より低い段差部５ａ、７ａ
が設けられ、ロッド６には、先端の上面より低い段差部
６ａ及びこれよりさらに低い段差部６ｂが設けられ、上
記３つの段差部５ａ、６ａ、７ａにより基板１６を３点
支持するようになっている。なお、それぞれの段差部５
ａ、６ａ、７ａは、図１のように基板１６が矩形の場
合、中央のロッド６の段差部６ａは、基板１６の図１に
おいて下辺の中央部分を支持し、両側のロッド５、７の
段差部５ａ、７ａは、上記下辺と平行な上辺のほぼ両端
部分をそれぞれ支持するように形成することが好まし
い。
【００１５】各ロッド５、６、７の段差部５ａ、６ａ、
７ａは、これらの段差部に隣接する立ち上がり面が基板
１６の外周面に対向し、中央のロッド６を図１において
上方へ移動（後退）させると共に両側のロッド５、７を
下方へ移動（前進）させることにより段差部５ａ、６
ａ、７ａすなわちそれらの立ち上がり面が基板１６を把
持するように形成されている。
７ａは、これらの段差部に隣接する立ち上がり面が基板
１６の外周面に対向し、中央のロッド６を図１において
上方へ移動（後退）させると共に両側のロッド５、７を
下方へ移動（前進）させることにより段差部５ａ、６
ａ、７ａすなわちそれらの立ち上がり面が基板１６を把
持するように形成されている。
【００１６】次いで本装置の作用について説明する。処
理チャンバ１内が真空であり、エアーロックチャンバ３
内も真空になっている状態で、第１ゲートバルブ２を閉
じ、エアーロックチャンバ３内を大気圧に戻してから第
２ゲートバルブ４を開き、基板１６をエアーロックチャ
ンバ３の図１において左側からエアーロックチャンバ３
内に入れ、基板１６をロッド５、６、７の段差部５ａ、
６ａ、７ａの上に載せる。
理チャンバ１内が真空であり、エアーロックチャンバ３
内も真空になっている状態で、第１ゲートバルブ２を閉
じ、エアーロックチャンバ３内を大気圧に戻してから第
２ゲートバルブ４を開き、基板１６をエアーロックチャ
ンバ３の図１において左側からエアーロックチャンバ３
内に入れ、基板１６をロッド５、６、７の段差部５ａ、
６ａ、７ａの上に載せる。
【００１７】次ぎに、第１モータ１１を作動させて左右
ねじ１０により第１、第２プレート８、９を互いに接近
させる方向、すなわち第１プレート８を図１において下
方へ、第２プレート９を上方へ移動させ、これらに連結
固定されたロッド６とロッド５、７を同様に移動させて
段差部５ａ、６ａ、７ａにより基板１６の外周面を把持
する。
ねじ１０により第１、第２プレート８、９を互いに接近
させる方向、すなわち第１プレート８を図１において下
方へ、第２プレート９を上方へ移動させ、これらに連結
固定されたロッド６とロッド５、７を同様に移動させて
段差部５ａ、６ａ、７ａにより基板１６の外周面を把持
する。
【００１８】次ぎに、第２ゲートバルブ４を閉じてエア
ーロックチャンバ３内を真空引きする。エアーロックチ
ャンバ３内が処理チャンバ１内とほぼ等しい真空圧に達
したならば、第１ゲートバルブ２を開く。次いで、第２
モータ１３を作動させ、送りねじ１４により移動台１２
を図１において下方へ移動すなわち前進させる。この移
動台１２の前進により、これに第１モータ１１、左右ね
じ１０及び第１、第２プレート８、９を介して連結され
ているロッド５、６、７が前進し、その先端部に支持及
び把持されている基板１６を第１ゲートバルブ２を通し
て処理チャンバ１内へ搬送する。
ーロックチャンバ３内を真空引きする。エアーロックチ
ャンバ３内が処理チャンバ１内とほぼ等しい真空圧に達
したならば、第１ゲートバルブ２を開く。次いで、第２
モータ１３を作動させ、送りねじ１４により移動台１２
を図１において下方へ移動すなわち前進させる。この移
動台１２の前進により、これに第１モータ１１、左右ね
じ１０及び第１、第２プレート８、９を介して連結され
ているロッド５、６、７が前進し、その先端部に支持及
び把持されている基板１６を第１ゲートバルブ２を通し
て処理チャンバ１内へ搬送する。
【００１９】基板１６を処理チャンバ１内の所定位置に
搬送したところで第１モータ１２を作動させて第１、第
２プレート８、９を互いに離す方向に移動させて段差部
５ａ、６ａ、７ａによる基板１６の把持を解除し、図示
しない基板受け渡し機構により基板１６を処理チャンバ
１内の基板支持部（図示せず）に移す。
搬送したところで第１モータ１２を作動させて第１、第
２プレート８、９を互いに離す方向に移動させて段差部
５ａ、６ａ、７ａによる基板１６の把持を解除し、図示
しない基板受け渡し機構により基板１６を処理チャンバ
１内の基板支持部（図示せず）に移す。
【００２０】処理チャンバ１内からの基板１６の搬出
は、上記搬入動作と逆の動作により行われる。
は、上記搬入動作と逆の動作により行われる。
【００２１】図２は、本発明の他の実施の形態を示すも
ので、図１におけるロッド７を省略し、ロッド５、６の
２本のロッドとし、ロッド５の先端部を二つに分岐させ
て図１と同様に基板１６を支持及び把持するための段差
部５ａ、６ａ、７ａを形成したものである。
ので、図１におけるロッド７を省略し、ロッド５、６の
２本のロッドとし、ロッド５の先端部を二つに分岐させ
て図１と同様に基板１６を支持及び把持するための段差
部５ａ、６ａ、７ａを形成したものである。
【００２２】前述した実施の形態では、矩形の基板１６
の搬送に適した例を示したが、本発明は円形などの種々
の形状の基板に適用し得ることは言うまでもなく、例え
ば円形の基板は円周上のほぼ３等分点を上記段差部５
ａ、６ａ、７ａで支持することが好ましく、さらに基板
の形状または大きさによっては、４点以上の点で支持す
るようにしてもよい。
の搬送に適した例を示したが、本発明は円形などの種々
の形状の基板に適用し得ることは言うまでもなく、例え
ば円形の基板は円周上のほぼ３等分点を上記段差部５
ａ、６ａ、７ａで支持することが好ましく、さらに基板
の形状または大きさによっては、４点以上の点で支持す
るようにしてもよい。
【００２３】また、前述した実施の形態では、把持用駆
動部に左右ねじを用いた例を示したが、リンク機構など
他の逆方向駆動機構を用いてもよく、搬送用駆動部もリ
ンクやリニアモータなど他の直線駆動機構を用いること
ができる。
動部に左右ねじを用いた例を示したが、リンク機構など
他の逆方向駆動機構を用いてもよく、搬送用駆動部もリ
ンクやリニアモータなど他の直線駆動機構を用いること
ができる。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、少な
くとも２本のロッドの先端部で基板を把持して搬送する
ようにしたため、チャンバ内における基板の直線的な搬
送を、カセットなどを用いることなく、直接かつ的確に
行うことができる。また、駆動部はチャンバ外にあり、
チャンバ内にはロッドが挿入されるのみであるため、駆
動部からの発塵によるチャンバ内の汚損がないと共にチ
ャンバの容積は小さくてよい。
くとも２本のロッドの先端部で基板を把持して搬送する
ようにしたため、チャンバ内における基板の直線的な搬
送を、カセットなどを用いることなく、直接かつ的確に
行うことができる。また、駆動部はチャンバ外にあり、
チャンバ内にはロッドが挿入されるのみであるため、駆
動部からの発塵によるチャンバ内の汚損がないと共にチ
ャンバの容積は小さくてよい。
【００２５】なお、基板が矩形の場合は、前記ロッドの
うちの一本のロッドが前記基板の１辺のほぼ中央部分を
支持し、残部のロッドが前記１辺と平行な対辺のほぼ両
端部分をそれぞれ支持するように構成すれば、矩形の基
板を確実に支持及び把持することができる。
うちの一本のロッドが前記基板の１辺のほぼ中央部分を
支持し、残部のロッドが前記１辺と平行な対辺のほぼ両
端部分をそれぞれ支持するように構成すれば、矩形の基
板を確実に支持及び把持することができる。
【００２６】さらに、前記ロッドの先端部に対しては、
チャンバ外からロッドと直角な方向に基板を搬出入する
ように構成すれば、チャンバ内のロッド先端部に対する
外部からの搬送を容易かつ的確に行うことができる。
チャンバ外からロッドと直角な方向に基板を搬出入する
ように構成すれば、チャンバ内のロッド先端部に対する
外部からの搬送を容易かつ的確に行うことができる。
【図１】本発明の実施の形態を示す図であり、（ａ）は
一部省略概要断面図、（ｂ）は（ａ）のＺ矢視による部
分側面図。
一部省略概要断面図、（ｂ）は（ａ）のＺ矢視による部
分側面図。
【図２】本発明の他の実施の形態を示す一部省略概要断
面図。
面図。
１ 処理チャンバ
２ 第１ゲートバルブ
３ エアーロックチャンバ
４ 第２ゲートバルブ
５、６、７ ロッド
５ａ、６ａ、７ａ 段差部
８ 第１プレート
９ 第２プレート
１０ 左右ねじ
１１ 第１モータ
１２ 移動台
１３ 第２モータ
１４ 送りねじ
１５ ガイドプレート
１６ 基板
Claims (3)
- 【請求項１】 チャンバと、それぞれ平行に配置されて
先端側が前記チャンバの壁を通して該チャンバ内に挿入
され先端部で基板を支持する少なくとも２本のロッド
と、前記チャンバ外に設けられ前記ロッドのうちの一部
と残部とをその長手方向に互いに逆方向に移動させる把
持用駆動部と、同じく前記チャンバ外に設けられ前記把
持用駆動部及びロッドの全部を一体的に該ロッドの長手
方向に移動させる搬送用駆動部とからなり、前記各ロッ
ドの先端部は前記把持用駆動部による逆方向移動により
基板の外周面に接離する段差部を有して基板を把持可能
に形成されていることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】 前記基板が矩形であり、前記ロッドのう
ちの１本のロッドが前記基板の１辺のほぼ中央部分を支
持し、残部のロッドが前記１辺と平行な対辺のほぼ両端
部分をそれぞれ支持するように構成されていることを特
徴とする請求項１記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 前記ロッドの先端部に対して、チャンバ
外からロッドと直角な方向に基板を搬出入するように構
成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の基
板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13774997A JP3475400B2 (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13774997A JP3475400B2 (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10310241A JPH10310241A (ja) | 1998-11-24 |
| JP3475400B2 true JP3475400B2 (ja) | 2003-12-08 |
Family
ID=15205943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13774997A Expired - Fee Related JP3475400B2 (ja) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3475400B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2415291B (en) * | 2004-06-15 | 2008-08-13 | Nanobeam Ltd | Charged particle beam system |
| GB2476476B (en) | 2009-12-23 | 2013-05-22 | Nanobeam Ltd | Charged particle beam system |
-
1997
- 1997-05-13 JP JP13774997A patent/JP3475400B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10310241A (ja) | 1998-11-24 |
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Legal Events
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