JP3617681B2 - 可搬式密閉コンテナのガス供給システム - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、クリーンルームに用いられる可搬式密閉コンテナ内を不活性ガスで置換するための、可搬式密閉コンテナのガス供給システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体の製造は、内部雰囲気を清浄化したクリーンルーム内において行われるが、クリーンルーム内での工程間の搬送は、半導体ウエハへの塵埃の付着を防ぐために当該半導体ウエハを収納したウエハカセットを可搬式の密閉コンテナに収納して行う。更に、近年、半導体ウエハの自然酸化による酸化膜の成長を防止するために、この密閉コンテナの内部雰囲気を窒素N2 ガス等の不活性ガスで置換するようにしている。
【0003】
このように、近年では、窒素N2 ガスを充満した密閉コンテナにウエハカセットを入れて搬送・保管するようにしているが、密閉コンテナ内の窒素N2 ガスの濃度は、搬送待機中や保管中に規定値以下に低下してしまう場合があり、このような場合、従来は、窒素N2 ガスの濃度が低下した密閉コンテナをクリーンルーム内に設けたガスパージステーションへ搬送して、ここで再パージしたのち元の場所に戻す等していたので、無駄な搬送を行なわなくてはならず、かつ密閉コンテナの保管が複雑になるという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
この問題を解決するために、本願発明の発明者は、特願平4−128850号に記載の可搬式密閉コンテナのガス供給システムを提案している。この可搬式密閉コンテナのガス供給システムは、内部に空間を有するパージボックスと、このパージボックスの開口内に嵌入して当該開口をボックス内側から密閉している昇降台と、パージボックス内部に開口する給ガス管及び排ガス管を主要部とし、パージボックスの開口を密閉状態にして錠機構付きの密閉コンテナが載置されている。そして、密閉コンテナ内の不活性ガス(例えば、窒素N2 ガス)の濃度が低下すると、このコンテナの錠機構を解除して蓋を、昇降台側へ若干だけ変位させて、供給ガスから窒素N2 ガスを、パージボックスの内部空間内、及びコンテナ内に流入するとともに、これらの内部の気体を排ガス管を通して外部へ追い出すことにより、コンテナ内の窒素N2 ガスを高い濃度のガスに置換(再パージ)した後、再び、錠機構で蓋を施錠してコンテナ内を密閉状態にするものである。
【0005】
しかしながら、従来技術の可搬式密閉コンテナのガス供給システムでは、密閉コンテナ内を濃度の高い窒素N2 ガスで置換した後、蓋を施錠して密閉状態で保管しておいても、コンテナ内面、錠機構等の機構部から吸着物(不純物)がコンテナ内に放出をはじめ水分、酸素濃度が上昇し、半導体ウエハが汚染されるという問題があった。
【0006】
この問題を解決するために、給ガス管から連続的に窒素N2 ガスを、供給しつづけることも考えられるが、コンテナ以外のパージボックスの空間が大きく、不要ガス濃度を下げるためには、置換用純粋窒素N2 ガスが大量に必要となり、その不要ガスの排気も容易に行えず窒素N2 ガスの置換に長時間かかり、また、パージボックス分だけガス供給システムが大型化して不経済なものとなる。
【0007】
本発明は、この問題を解決するためになされたもので、経済的に一定量の置換ガスを常時流すことにより、密閉コンテナ内の半導体ウエハへの汚染を低減することのできる可搬式密閉コンテナのガス供給システムを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明の可搬式密閉コンテナのガス供給システムでは、半導体ウエハを収納し内部を不活性ガス雰囲気に密閉される可搬式密閉コンテナと、この可搬式密閉コンテナの内部に不活性ガスを供給するガス供給装置とを備えてなる可搬式密閉コンテナのガス供給システムにおいて、前記密閉コンテナには、この内部と外部とを連通する複数のガス通路に互いに反する方向に前記不活性ガスの流れを許容する一方向弁をそれぞれ設けると共に、前記ガス供給装置には、前記各ガス通路に対応して接離可能にされ、一方の前記一方向弁を介して不活性ガスを供給し、他方の前記一方向弁を介して前記密閉コンテナ内の不要ガスが排出されるガス流路を形成し、前記可搬式密閉コンテナを載置して保管するときに、前記密閉コンテナの保管中常時、所定圧力となるように前記不活性ガスを供給し続けて、該可搬式密閉コンテナ内を該不活性ガスで置換するよう構成されている。
【0009】
【作用】
このように本発明の可搬式密閉コンテナのガス供給システムでは、密閉コンテナの各ガス通路を、ガス供給装置の各ガス流路にそれぞれ接続して、一方のガス流路から一方向弁を介して不活性ガスを密閉コンテナ内に供給し、一方向弁を介して他方のガス流路から密閉コンテナ内の不要ガス(空気・水等)を外部に排気することができ、また、密閉コンテナの各ガス通路をガス供給装置のガス流路に接続するだけで、極めて容易、且つ短時間に不活性ガスの置換を行うことができる。
【0010】
また、可搬式密閉コンテナを、ガス供給装置から取り出して搬送する場合には、各ガス通路に設けられた一方向弁の閉弁作動により、このガス通路からコンテナ内への不要ガス(空気・水等)の進入を阻止することができる。
【0011】
【実施例】
以下、本発明の一実施例である可搬式密閉コンテナのガス供給システムを図面を参照して説明する。図1は本実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給システムの構成を示す縦断面図、図2(a)及び(b)は本実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給システムの一方向弁の構成を示す要部拡大図である。
【0012】
図1において、1はクリーンルーム内の所定場所に配置された可搬式密閉コンテナのガス供給システムであって、ガス供給装置5と可搬式の密閉コンテナ10とを主要部としている。11は密閉コンテナ(POD)10の本体であって、この開口部12にはフランジ13が設けられている。また、密閉コンテナ10の開口部12内には、環状シール材14を介して蓋15が嵌合されているとともに、この蓋15に設けられた蓋錠機構16を施錠することにより密閉コンテナ10の内部空間Aを密閉状態にしている。また、この蓋15には、所定半径を有する周方向に所定の間隔を隔てて(180度の位相を持って)、密閉コンテナ10の内部空間Aと外部とを連通するガス通路管20、21が設けられている。各ガス通路管20、21は、互いに並行して蓋15を貫通して延びており(蓋15の厚さを貫通して延びている。)、これらの内部には、一方向弁(逆止弁)30、31がそれぞれ配置されている。16は密閉コンテナ10の外部に設けられた把手である。17は半導体ウエハWを収納したウエハカセットであって、密閉コンテナ10の内部空間A内の蓋15上に各ガス通路管20、21を塞ぐことなく載置されている。
【0013】
ガス通路管20には、図2(a)に示すように、蓋15から端部側に向かって小径孔22A、大径孔22B及び小径孔22Cが順々に連続する段付孔22が形成されており、この大径孔22Bと小径孔22Cとをつなぐ傾斜面を、一方向弁30の弁座30Aとして球状弁体30Bが着座している。この一方向弁30の球状弁体31Bは、大径孔22Bの段部22aとの間に張設された弁ばね23で弁座30Aに付勢されている。これにより、一方向弁30は、密閉コンテナ10外部から内部空間A内への不活性ガス(窒素N2 ガス)の流れを許容し、その逆を阻止するようになっている。また、ガス通路管21には、図2(b)に示すように、蓋15から端部側に向かって小径孔24A、大径孔24B及び小径孔24Cが順々に連続する段付孔24が形成されており、この大径孔24Bと小径孔24Aとをつなぐ傾斜面を、一方向弁31の弁座31Aとして球状弁体31Bが着座している。この一方向弁31の球状弁体31Bは、大径孔31Bの段部31aとの間に張設された弁ばね25で弁座31Aに付勢されている。これにより、一方向弁31は、密閉コンテナ10の内部空間Aから外部への窒素ガスN2 ガスの流れを許容し、その逆を阻止するようになっている。
【0014】
40はガス供給装置5の供給台であって、この上面40aには、ガス供給管20、21と同一半径を有する周方向に所定の間隔を隔てて(180度の位相を持って)、コネクタ管41と42がそれぞれ突出しており、この各コネクタ管41、42端には、環状シール材41A、42Aがそれぞれ設けられている。このコネクタ管42は排ガス管43を介して、図示しない処理装置(外部)に、コネクタ管42は給ガス管44及び開閉弁45を介して、不活性ガス(例えば、窒素N2 ガス)を生成するガス供給源46にそれぞれ接続されており、コネクタ管42と排ガス管43とでガス排気流路50を、コネクタ管41と給ガス管44、開閉弁45とでガス供給流路51を形成している。尚、52は検知センサであって、密閉コンテナ10がガス供給装置1の供給台40に確実に設置されたかを検知するものである。53は供給台40に立設されたコンテナガイドである。
【0015】
そして、密閉コンテナ10の内部空間A内を窒素N2 ガスで置換するため、クリーンルーム内の作業者又は図示しない自動搬送により、この各ガス通路管20、21をコネクタ管41、42にそれぞれに一致させてガス供給装置5の供給台40に載置すると、ガス通路管20とコネクタ管41、ガス通路管21とコネクタ管42とが環状シール材41A、42Aを介してそれぞれ気密に接続される。また、検知センサ50は、密閉コンテナ10が供給台40に確実に載置されたか否かを検知する。各ガス通路管20、21をコネクタ管41、42のそれぞれに接続した後、ガス供給源46を作動させるとともに、開閉弁45を開状態にすると、このガス供給源46で生成された窒素N2 ガスが、開閉弁45−給ガス管44を介してコネクタ管41に供給され、この供給され窒素N2 ガスの圧力が一方向弁30の球状弁体30Bに作用するので、この球状弁体30は弁ばね23のばね力に抗して弁座30Aから離座して、一方向弁30が開弁する。これにより、窒素N2 ガスが一方向弁30を通って、ガス通路管20を介して密閉コンテナ10の内部空間A内に供給される。
【0016】
このとき、密閉コンテナ10の内部空間Aが窒素N2 ガスで充満されて、この空間A内の窒素N2 ガスが所定圧力になると、一方向弁31の球状弁体31Bを弁ばね25のばね力に抗して弁座31Aから離座して、一方向弁31が開弁する。これにより、コンテナ10の内部空間Aの不要ガス(空気・水等)がガス通路管21、コネクタ管42、一方向弁31及び排ガス管43を介して、図示しない処理装置(密閉コンテナ10の外部)に排気される。そして、所定の時間中に、ガス通路管20から窒素N2 ガスを密閉コンテナ10内に供給するとともに、ガス通路管21から密閉コンテナ10内の不要ガス(空気・水分等)を外部に排気することにより、密閉コンテナ10の内部空間A内の窒素N2 ガスの置換が行われ、不要ガス(空気・水等)の濃度を低下させて半導体ウエハWの保管に適した環境にする。
【0017】
次いで、この窒素N2 ガスの置換が完了して、ガス供給源46の作動を停止するとともに、開閉弁45を閉弁状態にすると、一方向30の球状弁30Bが弁ばね23のばね力で弁座30Aに着座して、一方向弁30が閉弁するとともに、密閉コンテナ10の内部空間A内の圧力が一定値になる(弁ばね25のばね力を同じ圧力)と、一方向弁31の球状弁体31Bが弁ばね25のばね力で弁座31Aに着座して、一方向弁31が閉弁して、密閉コンテナ10を密閉状態にする。そして、クリーンルーム内の作業者又は図示しない自動搬送により、密閉コンテナ10を供給台40から取り出して所定の目的地に搬送する。
【0018】
また、密閉コンテナ10をガス供給装置5に載置して保管する場合には、ガス供給源46を作動しつづけ、一方向弁30、31を開弁状態にして、この保管中に常時、窒素N2 ガスを給ガス管44−コネクタ管41−ガス通路管20及び一方向弁30を介して密閉コンテナ10内に供給し続けるとともに、ガス通路管21−一方向弁31−コネクタ管42及び排ガス管43を介して、密閉コンテナ10内に不要ガス(空気・水分等)を順次、密閉コンテナ10の外部に排気して、密閉コンテナ10を所定の目的地に搬送するまでの間に、コンテナ内面、錠機構16等の機構部から密閉コンテナ10内に放出しはじめる不要ガス(水分・空気)を、順次、密閉コンテナ10の外部に排気して半導体ウエハWの汚染を防止する。
【0019】
尚、本実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給システムにおいて、各ガス供給管20、21内に配置された一方向弁30、31は、これに限定されるものでなく、図3(a)及び図3(b)に示すようなものであってもよい。即ち、ガス通路管20内には、図3(a)に示すように、この大径孔部22Bを一方向弁30の弁座となる仕切部材30Cで2つの空間B、Cに区画し、小径孔部22A側の空間Bの仕切部材30Cに、一方向弁30を構成するプラスチックやゴム材で形成された傘状弁体55を設けるとともに、この傘状弁体55の傘状部55Aで仕切部材30Cとの間に形成された密閉空間Dに連通する複数の通孔56を設けたもので、小径孔部22Cからの窒素N2 ガスにより傘状弁体55の傘状部55Aが仕切部材30Cから離座して開弁状態にする。また、ガス通路管21内には、図3(b)に示すように、この大径孔部24Bを一方向弁31の弁座となる仕切部材31Cで2つの空間E、Fに区画し、小径孔部24C側の空間Fの仕切部材31Cに、一方向弁31を構成するプラスチックやゴム材で形成された傘状弁体60を設けるとともに、この傘状弁体60の傘状部60Aで仕切部材31Cとの間に形成された密閉空間Gに連通する複数の通孔61を設けたもので、小径孔部24Aからの窒素N2 ガスにより傘状弁体60の傘状部60Aが仕切部材31Cから離座して開弁状態にする。
【0020】
また、本実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給システムにおいて、各ガス通路管20、21を各コネクタ管41、42上に載置することにより、環状シール材41A、42Aを介して各ガス通路管20、21と各コネクタ管41、42を気密に接続するようにしているが、これに限定されるものでなく、図4に示すように、各コネクタ管41、42の端面に開口する凹所65を形成して、この凹所65の内周面65aに環状シール材66を配置するとともに、各ガス通路管20、21の先端部に凹所65内に嵌合可能な小径部20A、21Aを形成して、この小径部20A、21Aを各コネクタ管41、42の凹所65内にそれぞれ嵌合することにより、環状シール材66を介して各ガス通路管20、21と各コネクタ管41、42をと気密にして接続するようにしたものであってもよい。
【0021】
更に、密閉コンテナ10及びガス供給装置5に設けられた、ガス通路管20、21及びコネクタ管41、42の配管数は、これに限定されるものでない。
【0022】
【発明の効果】
このように本発明の可搬式密閉コンテナのガス供給システムによれば、密閉コンテナの各ガス通路を、ガス供給装置の各ガス流路にそれぞれ接続して、一方のガス流路から一方向弁を介して不活性ガスを密閉コンテナ内に供給し、一方向弁を介して他方のガス流路から密閉コンテナ内の不要ガス(空気・水等)を外部に排気することができるので、密閉コンテナ内の不要ガス濃度を下げるために必要な不活性ガスが少量で、且つその不要ガスの排気も容易に行うことができ、また、常時、不活性ガスを密閉コンテナ内に供給する際においても経済的に半導体ウエハへの汚染を低減することができるとともに、密閉コンテナの各ガス通路をガス供給装置のガス流路に接続するだけで、極めて容易、且つ短時間に不活性ガスの置換を行うことができる。
【0023】
また、可搬式密閉コンテナを、ガス供給装置から取り出して搬送する場合には、各ガス通路に設けられた一方向弁の閉弁作動により、このガス通路からコンテナ内への不要ガス(空気・水等)の進入を阻止することができるので、密閉コンテナ内の半導体ウエハが汚染されることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給システムの構成を示す縦断面図である。
【図2】(a)及び(b)は本発明の 実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給システムの一方向弁の構成を示す要部拡大図である。
【図3】(a)及び(b)は本発明の実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給システムの一方向弁の変形例の構成を示す要部拡大図である。
【図4】本発明の実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給システムのガス通路管とコネクタ管との接続構造の変形例を示す要部拡大図である。
【符号の説明】
5 ガス供給装置
10 可搬式密閉コンテナ
20、21 ガス通路管
30、31 一方向弁
50、51 ガス流路
Claims (1)
- 半導体ウエハを収納し内部を不活性ガス雰囲気に密閉される可搬式密閉コンテナと、この可搬式密閉コンテナの内部に不活性ガスを供給するガス供給装置とを備えてなる可搬式密閉コンテナのガス供給システムにおいて、
前記密閉コンテナには、この内部と外部とを連通する複数のガス通路に互いに反する方向に前記不活性ガスの流れを許容する一方向弁をそれぞれ設けると共に、前記ガス供給装置には、前記各ガス通路に対応して接離可能にされ、一方の前記一方向弁を介して不活性ガスを供給し、他方の前記一方向弁を介して前記密閉コンテナ内の不要ガスが排出されるガス流路を形成し、前記可搬式密閉コンテナを載置して保管するときに、前記密閉コンテナの保管中常時、所定圧力となるように前記不活性ガスを供給し続けて、該可搬式密閉コンテナ内を該不活性ガスで置換することを特徴とする可搬式密閉コンテナのガス供給システム。
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