JP4787852B2 - 基板収納容器の排出用ポート - Google Patents
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Description
排出用ポートは、容器本体あるいは蓋体に取り付けられる中空のケースと、このケースに内蔵されるフィルタと、ケースに内蔵される逆止弁とを含み、ケースの両端面にそれぞれ通気孔を設け、ケースの一端面を容器本体あるいは蓋体から露出させ、このケースの一端面とフィルタとの間に逆止弁を介在させるとともに、ケースの一端面に被覆体を重ねて取り付け、この被覆体には、ケースの一端面の通気孔と連通する流通路を形成したことを特徴としている。
基板収納容器の容器本体に供給用ポートと排出用ポートとを配設して各排出用ポートの下端面には被覆体を装着し、この被覆体の仕様を実施例に応じて変更し、これらにより、蓋体により密閉された容器本体の内部の空気を窒素ガスに置換し、この置換から10秒あるいは120秒後の酸素濃度を測定してその結果を表1にまとめた。
基板収納容器の容器本体に供給用ポートと排出用ポートとを配設して各排出用ポートの下端面には被覆体を選択的に装着し、この被覆体の有無や仕様を比較例に応じて変更し、これらにより、蓋体により密閉された容器本体の内部の空気を窒素ガスに置換し、この置換から10秒あるいは120秒後の酸素濃度を測定してその結果を表1にまとめた。
被覆体については、基本的には実施例と同様であるが、流通路の断面積が19.6mm2の場合には、厚さφ5mmの穴とした。
4 取付螺子孔
5 供給用ポート
10 蓋体
11 筐体
20 排出用ポート
21 ケース
22 通気孔
23 下端面(一端面)
24 フィルタ
25 逆止弁
30 被覆体
31 流通路
31A 流通路
32 空隙
W 基板
Claims (2)
- 基板を収納する容器本体とその蓋体のいずれかに排出用ポートを設けた基板収納容器の排出用ポートであって、
排出用ポートは、容器本体あるいは蓋体に取り付けられる中空のケースと、このケースに内蔵されるフィルタと、ケースに内蔵される逆止弁とを含み、ケースの両端面にそれぞれ通気孔を設け、ケースの一端面を容器本体あるいは蓋体から露出させ、このケースの一端面とフィルタとの間に逆止弁を介在させるとともに、ケースの一端面に被覆体を重ねて取り付け、この被覆体には、ケースの一端面の通気孔と連通する流通路を形成したことを特徴とする基板収納容器の排出用ポート。 - 被覆体を断面略U字形に形成してその底部とケースの一端面との間に空隙を形成し、被覆体の底部に流通路を形成した請求項1記載の基板収納容器の排出用ポート。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008044515A JP4787852B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 基板収納容器の排出用ポート |
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