JP3615561B2 - 半導体メモリ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、単一マトリクスセクタと結合された冗長セル列を具えるメモリマトリクスを有する半導体メモリに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体メモリの製造において、メモリマトリクスのセルの数の制約が問題となる欠陥がしばしば発生する。このタイプの欠陥が高い確率で起こる理由は、半導体メモリチップにおいて面積の大部分がメモリセルのマトリクス自信により占有されるという事実に帰している。
【0003】
数百万のメモリセル上の限られた数の欠陥メモリセルの存在が全チップの廃棄を強制する事態を回避するために、製造時に、一般に「冗長セル」と呼ばれるある数のメモリセルを追加して製造し、集積素子の試験の間に欠陥と証明されたセルの置換として使用する技術が知られている。このように、冗長セルによる欠陥セルの上述の機能的置換を行うように設計され、集積素子が具える必要性がある回路は全体として「冗長回路」といわれており、一方、冗長セルと冗長回路を組にして略して「冗長」と定義している。
【0004】
半導体メモリがマトリクス構造に組織化され、ここで単一メモリセルがマトリクスの行(「ワード線」と呼ばれる)と列(「ビット線」と呼ばれる)の交点に位置しているので、実際に起こることは、冗長セルの多数の行と列(それぞれ「冗長行」および「冗長列」と呼ばれる)による欠陥セルを含む行もしくは列の置換であり、特別の不揮発性メモリレジスタ(例えば、フューズあるいはプログラマブルではあるが消去不可メモリセル)に各欠陥行あるいは欠陥列に対応するアドレス信号の形態を記憶し、これににより、信号の上記の組合せが集積素子の入力に再び示される時は、何時でもこの置換が自動的に実行され、かつ欠陥セルをアクセスする代わりに、それらに代わる冗長セルをアクセスするようにする。
【0005】
冗長の第1の具体例は、冗長ビット線の群を設けることであり、これらの群の各々は、メモリマトリクスの各セクタと結合しており、それ自身、集積素子のデータ入出力線に関係するメモリマトリクスの部分を構成しているメモリセルの所与の数のビット線からなっている。
特定のビット線を選択する目的で、上述のセクタの各々は一般にビット線のパケットに順次分割され、全体として各セクタの64ビット線が例えば8ビット線の8パケットに分割される。
【0006】
1つのセクタを構成する64ビット線の中の所与のビット線の選択は、アドレス信号の2段レベル復号により実行される。第1レベルであるとして知られている8つの信号の中の1つは、各パケットの8つのビット線の中の1つを選択するためにトリガされ、一方、第2レベルであるとして知られている8つの信号の中の1つをトリガすることは、8つのパケットの中の1つを選択することになる。上記の第1および第2レベル信号は、一般にビット線に直列に配置されかつメモリセルの読み取り回路にビット線を接続するトランジスタを駆動する。
【0007】
このタイプの具体例において、1つの冗長ビット線の選択もまた2段レベルの選択信号により実行され、ここで第1レベルの信号は1群を構成する冗長ビット線の中の1つの選択を実行し、一方、1つの第2レベル信号は読み取り回路への冗長ビット線の群の接続を実行する。冗長回路は、冗長ビット線に関係する第1および第2レベル信号のトリガを実行し、かつ同時に、欠陥メモリセルを含むマトリクスのビット線を選択する信号のトリガを禁止する。
【0008】
しかし、既知のアーキテクチャーは、集積素子のレイアウトの設計にある種の問題を課している。メモリセルをプログラムするために、実際には、上述のマトリクスのビット線の各々のパケットならびに冗長ビット線がプログラムロード回路に結合されている。このプログラムロード回路はトランジスタを有し、このトランジスタは、単一メモリセルに記憶されるべきデータに従って、第1レベル信号により選択されたビット線をプログラミング電圧に接続する。そのプログラミングのためにメモリセルにより必要とされる電流は一般にかなり高いため、上記のトランジスタの寸法はそれに従ってかなりのものになる。
【0009】
この事情は、2つのトランジスタ間のピッチが例えば8ビット線であるマトリクスビット線のパケットと結合されたトランジスタに対して、特殊な問題を提起することはない。しかし、冗長ビット線の群は一般に少数のビット線により構成されているため、対応するプログラミングトランジスタの設計に利用可能な空間は制限され、かつその寸法あるいはその設計に不規則性を導入する必要がある。
【0010】
第2のタイプの具体例が知られており、それはマトリクスビット線のパケットと冗長ビット線の群の完全な複合構成が、前に述べたようなタイプの単一ロード回路に結合されている。この第2のタイプのアーキテクチャーでは、前記の第1のタイプのアーキテクチャーに見いだされた問題は起きない。というのは、2つの連続するプログラミングトランジスタ間のピッチが多くのビット線からなるからである。
【0011】
しかしこの場合に、プログラミングトランジスタは、もはや、第1レベル選択トランジスタのみを通して選択ビット線に接続されるのなはなく、第1レベル選択トランジスタと第2レベル選択トランジスタとの接続を通して接続される。このことは第2レベル選択トランジスタの両端の電圧の付加的降下のため、プログラムされるべきメモリセルのドレインにかかるプログラミング電圧の調整を制限する。さらに、第2レベル選択トランジスタの両端の電圧のこの付加的降下を制限するために、第2レベル選択信号がプログラミング電圧より高い値を有することが必要であり、その結果として復号回路を複雑化する。
【0012】
最後に、試験動作を速くするためにいくつかのビットを同時にプログラムするのが通例であるから、この第2アーキテクチャーにおいて、プログラミングトランジスタは複数のビット線を同時に駆動できなければならない。このことはその寸法が、前に述べたタイプのアーキテクチャーのプログラミングトランジスタの寸法より大きくなければならないことを意味し、したがってレイアウトの問題が生起することもあり得る。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような技術状態の観点から、本発明の目的は、冗長動作に上述の問題が入り込まないようなマトリクスアーキテクチャーを持つ半導体メモリを製造することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、マトリクスそれ自身の行と列の交点に位置するメモリセルからなるマトリクスを具え、このメモリセルの1つの列はパケットにグループ化され、このパケットはセクタに順次グループ化され、このセクタは全体として上記のマトリクス自体を形成しており、そして、各パケット内の特定の列を選択する第1レベル選択手段、各セクタ内の特定のパケットを選択する第2レベル選択手段、少なくとも1つの欠陥メモリセルを含む列の置換に適した冗長メモリセルの列、および上述の置換を実行する制御回路を具える半導体メモリで、上記の冗長セル列の各々がメモリセル列の各パケットに含まれることを特徴とする半導体メモリセルによって前記の目的が達成される。
【0015】
本発明によれば、もはや、冗長列のセルをプログラムする特定ロード回路を具える必要がないメモリセルのマトリクスを製造することが可能であることが明らかになった。それは、冗長列が列のパケットのロード回路に接続されているからである。これはメモリマトリクスのレイアウトの観点から本質的な利点を有している。
【0016】
【実施例】
本発明の上述のおよび他の特徴について、添付図面に非限定的な実例として例示された一実施例に基づいて以下に詳細に説明する。
図1はメモリセルを示す図であり、このメモリセクタは、データ入出力線に関係するメモリセルのマトリクスの部分を表し、かつ列あるいはビット線の所与の数(例えば8)のパケット1に分割されている。
パケット1の各々は、例えば8本のマトリクスビット線BLと1つの冗長ビット線BLRから順次構成されている。したがって、各セクタが64+8のビット線から構成されることになる。
【0017】
各パケット1内で、各ビット線BLと直列に、ビット線BLを選択するトランジスタMS、例えばそのソースがビット線BLそれ自身に接続されているnチャネルMOSトランジスタが存在し、冗長ビット線BLRは、冗長ビット線BLR自身を選択するトランジスタMSRのソースに順次接続されている。任意の1つのパケット1のトランジスタMSおよびMSRのドレインは互いに短絡され、一方、それらのゲートは8つの信号YN0−YN7および信号YNRにそれぞれ接続され、その第1の信号はアドレス信号を復号する回路(図示されていない)から到来し、第2の信号は欠陥メモリセルに対応するアドレス信号を認識する回路6(図2)により発生される。8つの信号YN0−YN7と信号YNRは第1レベルの選択を構成している。
【0018】
いずれの1つのパケット1のトランジスタMSおよびMSRの共通ドレインに対しても、図示されているパケット1の8つのビット線の中からそのいずれかを選択するトランジスタMSPのソースが接続され、そのドレインは、そのセクタの他の7つのパケット1に関係する7つの他のトランジスタMSPのドレインと短絡され、さらにメモリセルの情報内容を読み取るための回路2に接続されている。トランジスタMSPのゲートは、図2に示されるように、アドレス信号の別の復号回路7から到来する8つの信号YM0−YM7に接続されている。
【0019】
さらに、各パケット1のトランジスタMSおよびMSRの共通ドレインに対して、プログラミングのためのロード回路3が接続されている。このロード回路は、pチャネルMOS型トランジスタMP1で構成され、そのドレインがトランジスタMSおよびMSRの上述の共通ドレインに接続され、そのソースがプログラミング電圧VPの線に接続され、かつそのゲートがナンド論理機能を遂行する回路4の出力に接続されている。
【0020】
上記のナンド回路4は、pチャネルMOS型ロードトランジスタM41を含んでおり、そのソースは電圧VPの線に接続され、そのドレインはトランジスタMP1のゲートに接続され、そのゲートはアース電位に接続されている。トランジスタM41のドレインに対して、トランジスタM42のドレインが接続され、そしてトランジスタM42のソースに対して、トランジスタM43のドレインが接続され、トランジスタM43のソースはアース電位に接続されている。トランジスタM42のゲートに対して、8つの信号YM0−YM7の1つが接続され、一方、トランジスタM43のゲートに対して、選択されたメモリセルでプログラムされるべきデータを表す信号DINが接続されている。
【0021】
図2は、8つの信号YM0−YM7と信号YNRを発生する制御回路5,6,7を示す。それは、2つの入力線群を有するマルチプレクサ5を具え、その入力線は、アドレス信号ADDのサブシステムA0−A2と回路6の出力N0−N2とにそれぞれ接続され、修復されたアドレスを認識する。上記の認識回路6(それ自体は既知である)は、入力としてアドレス信号ADDを順次受信し、マルチプレクサ5の制御入力CTLに接続されている冗長動作を可能にする出力信号ENRおよび出力信号YNRを出力する。
マルチプレクサ5は、最後に、復号回路7(これもそれ自体は既知である)のパケット1の選択のための多数の入力を構成する3つの出力線C0−C2を具え、復号回路7の8つの出力は第2レベル選択信号YM0−YM7を構成している。
【0022】
非欠陥メモリセルに記憶されたデータを読み取るために、アドレス信号ADDが修復されたアドレスを認識する回路6の入力の両端間に現れる。認識回路は、現在のアドレスが、メモリ試験ステップの間に以前に記憶された欠陥セルのアドレスには対応せず、信号ENRをトリガしないことを認識する。その結果、マルチプレクサ5は、アドレス信号ADDのサブシステムA0−A2をその出力C0−C2に与え、その信号A0−A2は、ビット線BLのパケット1の1つを選択する8つの信号YM0−YM7の1つをトリガする目的で回路7により復号される。同時に、選択されたパケット1の中のビット線BLを選択するために信号YN0−YN7の1つがトリガされる。このようにして、選択されたメモリセルのドレインに読み取り回路2が接続され、かつその結果としてデータの読み取りが実行される。
【0023】
非欠陥メモリセルをプログラムすべき場合も同じようにする。しかし、この場合、記憶すべきデータを構成する信号DINの結果として、選択されたビット線BLはプログラミング電圧VPに接続される。事実、もし信号DINが活性なら、トランジスタM43はオンである。例えば信号YM0により選択されたパケット1に関係するロード回路3は活性のナンド回路4の入力DINおよびYM0の双方を有し、上記のナンド回路4の出力はアース電位になり、かつそのゲートが上記のナンド回路4の出力に接続されているプログラミングトランジスタMP1はオンになる。このことは選択されたビット線BLがプログラミング電圧VPになることを意味する。
【0024】
しかし、他方で、もし欠陥メモリセルへのアクセスがその内容の読み取りあるいはそのプログラミングのいずれかで試みられるなら、回路6はアドレス信号ADDの組合せが欠陥セルのアドレスに対応することを認識する。回路6は、次に信号ENRをトリガし、信号ENRはマルチプレクサ5の出力を信号N0−N2に切り替える。この信号N0−N2は、回路6それ自身に由来し、かつ欠陥マトリクスセルを含むビット線BLを置換した冗長ビット線BLRの選択に有用なアドレスを符号化形式で伝える。
【0025】
復号回路7の部分での信号N0−N2の復号は、欠陥ビット線BLを置換した冗長ビット線BLRを含むパケット1の選択に適した8つの信号YM0−YM7の1つをトリガすることを保証する。同時に、回路6は信号YNRをトリガし、一方、全ての信号YN0−YN7は非活性化され、従って対応する信号YM0−YM7により選択されたパケット1内で冗長ビット線BLRが選択される。
【0026】
欠陥セルに対応するアドレスの場合に、アドレス信号ADDのサブシステムA0−A2の組合せにリンクされない信号YM0−YM7の発生に使用される特殊なタイプの復号により、欠陥セルを含むビット線BLを同じセクタの8つのビット線BLRのいずれかで置換することができる。この場合、欠陥ビット線BLが属するパケット1のビット線は置換の対象にならない。事実、もし信号YM0−YM7の発生に従来の複号回路が使用され、信号YM0−YM7が信号A0−A2から出発して常時発生されるなら、欠陥ビット線BLは、ビット線BLと同じパケット1に属する冗長ビット線BLRによってのみ置換されることになる。このことは、パケット1に2つ以上の欠陥ビット線BLが存在する場合には、他のパケット1には他の冗長ビット線BLRがなお存在するにも拘わらず、常に全てのメモリを廃棄しなければならないという望ましくない結果を生じる。
【0027】
前述のアーキテクチャーにより、冗長ビット線BLRの選択のために、マトリクスのビット線BLの選択に通常必要な信号YN0−YN7およびYM0−YM7の全体に対して、ただ1つの付加信号YNRのみが必要であるに過ぎないということは注目されるべきことである。ちなみに、以前の冗長動作の具体例では、冗長ビット線BLRと同じ数の個別の選択信号が必要であった。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明による半導体メモリのメモリマトリクスのセクタを示す図である。
【図2】図2は、メモリマトリクスの上記のセクタに属するビット線のパケットの選択手段を構成する回路のブロック図である。
【符号の説明】
1 パケット
2 読み取り回路
3 ロード回路
4 NAND回路
5 マルチプレクサ回路あるいはスイッチング手段
6 認識回路
7 復号回路
A0−A2 サブシステム
ADD アドレス信号
BL ビット線あるいはメモリセル列
BLR 冗長ビット線あるいは冗長メモリセル列
C0−C2 出力線あるいはパケットアドレス信号
CTL 制御入力
DIN 信号
ENR 出力信号
M41 ロードトランジスタ
M42、M43、MP1 トランジスタ
MS トランジスタあるいは第1レベル選択手段
MSP トランジスタあるいは第2レベル選択手段
MSR トランジスタあるいは選択手段
N0−N2 出力
YM0−YM7 第2レベル選択信号
YN0−YN7 第1レベル選択信号
YNR 信号
VP プログラミング電圧
Claims (5)
- メモリセルが行と列(BL)の交点に位置したメモリセルのマトリクスを具え、メモリセルの列(BL)はパケット(1)にグループ化され、このパケット(1)はセクタに順次グループ化され、セクタは全体として該マトリクスを形成しており、かつ各パケット(1)内の特定の列(BL)を選択するための第1レベル選択手段(MS)と、各セクタ内の特定のパケット(1)を選択するための第2レベル選択手段(MSP)と、少なくとも1つの欠陥メモリセルを含む列(BL)を置換するのに適した冗長メモリセルの列(BLR)とを具え、該冗長セル列(BLR)の各々はメモリセル列(BL)の各パケット(1)に含まれ、かつ該冗長セル列(BLR)の各々は該冗長セル列(BLR)が属するパケット(1)のメモリセル列(BL)に代わって該冗長セル列(BLR)の1つを選択するための選択手段(MSR)を具えており、さらに該第2レベル選択手段(MSP)を駆動するための第2レベル選択信号(YM0−YM7)を発生するパケットアドレス信号(C0−C2)を供給する復号回路(7)、および、冗長セル列(BLR)により欠陥メモリセル列(BL)の置換を実行する制御回路(5,6)を具える半導体メモリにおいて、
該制御回路(5,6)が、各欠陥メモリセル列(BL)と各置換冗長セル列(BLR)のアドレスを記憶し、かつメモリに外部から供給されるアドレス信号(ADD)と欠陥メモリセル列(BL)のアドレスとを比較するための認識回路(6)を具備し、さらに該制御回路(5,6)が、外部から供給されるアドレス信号(ADD)が欠陥メモリセル列(BL)に対応しないかあるいは対応するかを認識回路(6)が認識し、それぞれの場合に応じて、外部から供給されるアドレス信号(ADD)のサブシステム(A0−A2)によるか、あるいは1つの冗長セル列(BLR)のアドレスのサブシステムを表す認識回路(6)により供給される信号(N0−N2)によるか、いずれかにより表されたパケットアドレス信号(C0−C2)を該復号回路(7)に供給するように認識回路(6)により制御されるスイッチング手段(5)を具備することを特徴とする半導体メモリ。 - 前記スイッチング手段(5)が、外部から供給されるアドレス信号(ADD)の前記サブシステム(A0−A2)を供給する第1入力チャネルと、1つの冗長セル列(BLR)のアドレスの前記サブシステム(N0−N2)を供給する第2入力チャネルと、前記パケットアドレス信号(C0−C2)を復号回路(7)に供給する出力チャネルと、認識回路(6)により供給される制御信号(ENR)を供給する制御入力(CTL)とを具備するマルチプレクサにより構成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。
- 前記第1レベル選択手段(MS)および第2レベル選択手段(MSP)がトランジスタにより実現されることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。
- 各セクタの各パケット(1)が、メモリセルをプログラムするためのロード回路(3)と結合されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。
- 同じセクタの前記パケット(1)の各々が前記冗長列(BLR)の1つを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体メモリ。
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