JP3602277B2 - 光学基体上に撥水性コーティングを施すための材料およびその方法 - Google Patents

光学基体上に撥水性コーティングを施すための材料およびその方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3602277B2
JP3602277B2 JP29987196A JP29987196A JP3602277B2 JP 3602277 B2 JP3602277 B2 JP 3602277B2 JP 29987196 A JP29987196 A JP 29987196A JP 29987196 A JP29987196 A JP 29987196A JP 3602277 B2 JP3602277 B2 JP 3602277B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
formula
applying
compound
optical substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP29987196A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09137122A (ja
Inventor
ライナー・ドンブロヴスキー
マルティン・フリッツ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Merck Patent GmbH
Original Assignee
Merck Patent GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Merck Patent GmbH filed Critical Merck Patent GmbH
Publication of JPH09137122A publication Critical patent/JPH09137122A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3602277B2 publication Critical patent/JP3602277B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/28Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with organic material
    • C03C17/30Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with organic material with silicon-containing compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/12Organic material
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/18Coatings for keeping optical surfaces clean, e.g. hydrophobic or photo-catalytic films

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Pigments, Carbon Blacks, Or Wood Stains (AREA)

Description

【0001】
【発明が属する技術】
本発明は光学基体上に撥水性コーティングを施すための材料、その方法およびそのようにして製造される光学製品に関する。
【0002】
【従来の技術】
光学成分の表面に保護のためにまたは特定の機能的特性を得るために薄いコーティングを施すことは従来広く行われている技術である。この種の光学成分として、本発明に関しては主として光学レンズ、眼鏡のレンズ、カメラや双眼鏡または他の光学装置のレンズ、ビーム・スプリッタ、プリズム、鏡、窓ガラスなどが挙げられる。一方、このようなコーティングの目的は光学基体の表面の質を上げることであり、その結果として硬化および/または化学薬品に対する耐性を高めることにより、機械的、化学的または環境からの影響により引き起こされる損傷を避けることができる。これはプラスチック材料からなる基体の場合に特に有意である。他方、表面のコーティングは特に眼鏡のレンズや他のレンズの場合において反射を減らすために使用される。これに関して、コーティング材料、被覆の厚さ、単一層または様々な屈折率を有する様々な材料を適切に含有して成る多層構造を適切に選択するなら、全可視光線スペクトルにわたり1%未満に反射を減らすことが可能である。
【0003】
この種の質を高めるための被膜または抗反射性被膜は、例えばSiO、TiO、ZrO、MgO、Alなどの無数の酸化物材料、およびまた例えばMgFなどのフッ化物、およびそれらの物質の混合物などを使って得られる。光学基体は通常は高真空気化析出法により被覆される。この方法では、基体と気化析出により塗布される物質を含有する1回分の投入量とが適当な高真空気化析出装置の中に入れられ、次に排気され、次に前記物質が加熱および/または電子ビームにより気化され、前記基体の表面に薄い被膜として析出される。適当な装置および方法は普通で従来からのものである。
【0004】
しかし、この種の質を高めるための被膜、特に抗反射性被膜は例えば湿り気および/または脂じみた指紋などによる汚れに極めて敏感である。不純物は反射を非常に強める。従って、指紋がはっきりと見えるようになる。元の反射レベルを取り戻すための効果的な洗浄は困難であることが明らかである。この理由により、光学成分にさらに疎水化、すなわち撥水性コーティングを施すことが必ず実施されるようになった。
【0005】
光学基体の表面を疎水化するために、特にオルガノシリコン化合物の部類から可能な物質が限定される。これらの物質としては、例えば、シラン、シロキサン、シリコン、シリコン油(シリコン流体)が挙げられる。一般に、これらの物質は処理されるべき基体表面をディッピング(浸漬)することにより、または該表面にスピンコートすることにより塗布されるが、これらの物質は純粋な形で使用されるかまたは溶液として使用される。表面処理および適当なら溶剤の蒸発の後で、熱処理が通常実施され、それによって撥水性コーティングが固定され、基体材料との接着がなされる。一般に、これは疎水化、耐久性、長期接着性に関して満足な特性を有する塗膜をもたらす。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、通常の疎水化剤の性質の結果として必要とされるコーティング技術は不利な点を有する。
【0007】
例えば、ディッピング塗装およびスピンコートにおいては、例えばダスト粒子により引き起こされる品質に対する悪影響を除外するために極めて清浄な部屋の条件下で作業が行われる必要がある。さらに、これらの技術は対応する装置およびプラントに関してさらに別の操作を必要とする。
【0008】
JP 05−215 905には、光学基体上に撥水性コーティングを施すための方法が開示されており、これには高真空気化析出法によりフルオロアルキルシラザン化合物を基体表面に塗布することが含まれている。従来使われているディッピングおよびスピンコーティング法よりもこの方法の優れている利点は、例えば基体に抗反射性被膜または他の質を高めるための被膜を蒸着した直後などに既存の高真空気化析出装置において容易に実施できることである。ペルフルオロアルキルシラザン化合物は多孔性金属焼結材料が基体に飽和状態となるような形で導入されるのが好ましい。
【0009】
しかし、この種類の高真空気化析出方法にポリフルオロアルキルシラザン化合物を使用することは不利であることが判明した。この物質自体が既に不安定であり、独特のアンモニア臭を発するし、分解するので貯蔵中安定でない。蒸着の最中に、この化合物は少なくとも一部分解し、その間にアンモニアガスが遊離される。これは装置および連結された高真空ポンプを腐食させ、また光学基体にも腐食を引き起こす可能性がある。さらに、高真空ポンプの中のポンプ油とアンモニアが反応する危険もある。
【0010】
従って、本発明の目的は高真空蒸着方法で撥水性被膜を調製するためにさらに適した物質を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0011】
そこで、一般式I:
2n+1−(CH−Si(R) (I)
(式中Rは1〜3個の炭素原子を有するアルコキシであるか、または
2n+1−(CH−Si(R)−O− であり、
,Rは1〜3個の炭素原子を有するアルキルまたはアルコキシであり、
nは1〜12であり、およびmは1〜6である)
で表される化合物が高真空下で熱蒸着により光学基体に撥水性コーティングを施すのに理想的に適していることが現在分かってきた。
【0012】
従って、本発明は高真空下でオルガノシラン化合物で熱蒸着することにより光学基体上に撥水性コーティングを施す方法に関するものであり、これは蒸着が式Iの化合物を使って実施されることを特徴としている。
【0013】
さらに、本発明は光学基体上に撥水性コーティングを施すために式Iの化合物を使用することに関するものである。
【0014】
式Iのオルガノシリコン化合物において、1個の基がポリフルオロアルキル基であり、これは1〜6個の炭素原子を有するアルキレン基を介してシリコン原子に結びついている1〜12個の炭素原子を有する末端ペルフルオロアルキル基から成る。シリコン原子に連結されている他の基R、R、Rの内、少なくとも1個の基(R)は1〜3個の炭素原子を有するアルコキシ基である。他の基(RとR)はそれぞれが1〜3個の炭素原子を有するアルキル基またはアルコキシ基とすることができる。基Rも1個の基が前述のようにポリフルオロアルキル基である場合にシロキシル基とすることができる。シリコン原子に結びついている他の2個の基(RとR)もまた既に規定したアルキル基またはアルコキシ基としてもよい。式Iの代表的な化合物の例としては、下記のものが挙げられる:
トリエトキシ(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,7−ウンデカフルオロヘプチル)シラン;
トリエトキシ(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8−トリデカフルオロオクチル)シラン;
トリエトキシ(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10−ヘプタデカフルオロデシル)シラン;
ジエトキシメチル(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10−ヘプタデカフルオロデシル)シラン;
ビス[エトキシメチル(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8−トリデカフルオロオクチル)]シリルエーテル。
【0015】
式Iの化合物はそれ自体周知のものであり、その大多数は市販されている。残りのものは周知の調製方法で容易に得られる。
【0016】
式Iの化合物は例外的に安定であり、特に貯蔵の際に安定である。
【0017】
式Iの化合物は300〜500゜Cの温度で高真空下で容易に気化し、基体の表面上に析出して薄い被膜を形成することが判明した。この方法では、式Iの化合物は分解する傾向はないし、またはどんな***生成物も光学基体または高真空蒸着プラントの構成成分、真空ポンプおよびポンプ油を決して侵さないしまたは腐食させない。
【0018】
光学基体に撥水性被膜を施すための本発明の方法について、光学被膜、特に抗反射被膜または表面硬化用の質を高める被膜を生成するために通常使用されるような高真空蒸着プラントを使用することが可能である。この場合に、式Iの化合物は他の蒸着材料の代わりに適当な形および方法で装置に導入される。例えば、抗反射被膜を塗布するために、この場合、基体は既にプラント内にあるので、前の複数の蒸着工程の直後に、式Iの化合物を使った蒸着工程を実施できることは好都合である。
【0019】
質を高める被膜を塗布した後は、真空蒸着の前に、基体の前処理をさらに行う必要はない。
【0020】
式Iの化合物を蒸着装置に導入する場合の特に好都合な形は、該化合物が多孔性の無機酸化物マトリックスに導入されるような形である。従って、高真空下で蒸着により光学基体上に撥水性コーティングを施すためのこの種類の材料は、式Iの化合物を含有する多孔性の無機酸化物マトリックスから構成される。多孔性の無機酸化物マトリックスは、好ましくはSiO、TiO、ZrO、MgO、Alまたはその混合物から成る。このような材料は同様に本発明の一部である。これらの材料は、例えば、通常は5μmから20μmまでの範囲の粒径を有する細かく分割された形状を有するマトリックス材料をタブレット化し、次にこれらのタブレットを各材料の通常行われる方法で焼結することにより調製される。
【0021】
前述の材料に関して、この焼結工程は典型的には、1〜10時間にわたり、900〜1400゜Cの温度で行われる。一次粒子の粒径、濃厚化、および焼結条件によって、得られる多孔性焼結体は40〜60%の孔隙率を有する。次に、多孔性無機酸化物マトリックスから形成された焼結体には式Iの化合物が充填される。これは、式Iの化合物が液体の場合は、焼結体に式Iの化合物をしみ込ませることにより、または式Iの化合物を焼結体に滴下することにより行われるか、あるいは式Iの化合物を溶液にして同じ作業を行うことにより行われる。焼結体に予め測定された量の式Iの化合物を充填することは好都合である。なぜなら、このようなそれぞれ充填された物体の含有量を定量測定することにより、被覆されるべき光学基体上の被膜の厚さを予め測定することが容易に可能であるからである。
【0022】
光学基体上に撥水性コーティングを施すには、被覆されるべき基体が従来の種類の高真空蒸着プラントに導入され、式Iの化合物と共に充填すれば充分であるが、その形状は該化合物を充填された無機酸化物物品の状態であるのが好ましい。例えば、10−3ミリバールから10−5ミリバールの範囲の安定な最終真空に達すると、式Iの化合物は300〜500゜Cの温度に加熱されることにより気化される。この工程の最中に、この化合物は光学基体の表面上に析出し、薄い被膜を形成する。被膜の接着性を向上させるために、該基体を50〜300゜Cの温度に加熱すると好都合である。得られる被膜の厚さはその工程時間によって決まり、あるいは定量気化の場合には、導入される式Iの化合物の量によって決まる。このタイプの撥水性コーティングのために通常確定している被膜の厚さは2nmから200nmまでの範囲である。
【0023】
式Iの化合物で得られた撥水性コーティングはこれまでこの目的で使用されてきた材料を使って得られた被膜より多数の予測できないほどの利点を有する。該コーティングが典型的な撥水性の挙動を示すという事実に加えて、機械的および化学的影響に対してさらにかなりの耐性を有する。該コーティングは実質的にさらに堅固な接着性を増し、さらに耐久性が高い。拭き取りおよび引っかきに対する耐性、湿った温かい空気や生理食塩水や高温または紫外線照射の作用に対する安定性は、従来技術の材料および方法のコーティングの場合よりも実質的に高度である。
【0024】
本発明の方法による式Iの化合物で得られる撥水性被膜はあらゆる種類の光学基体に適用できる。式Iの化合物の使用は、表面の質を高めるためおよび/または反射を減少させるために薄い被膜を予め施してある光学基体に対して特に有利である。
【0025】
【実施例】
実施例1
粒径1〜10μmのSiOを20重量%とAlを80重量%含有する混合物および水圧プレスを使って直径10mmで高さが8mmのタブレットを得る。次に、これらのタブレットを1200゜Cで14時間にわたり焼結した。焼結され、成形された物品は約40%の孔隙率を有する。
【0026】
実施例2
実施例1の成形体を10mlのイソプロパノールに1mlのトリエトキシ(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,7−ウンデカフルオロヘプチル)シランを溶解した溶液に浸し、完全に飽和状態になるよう含浸させる。この溶液から取り出し、その溶剤を蒸発させた後、各タブレットは約2重量%のシラン化合物を含有している。
【0027】
実施例3
実施例2のタブレットはシート状モリブデンから作られたボートに乗せられて市販の高真空気化ユニットの気化装置(A 700 Q, Leybold)に入れられる。寸法が5×5cmの、被覆されるべき複数のガラス板を前記ユニットの基体キャリアーに固定する。次に、このユニットを排気して残留圧力を2×10−5ミリバールにする。基体を約80゜Cまで加熱する。前記気化装置を約350゜Cまで加熱する。これらの条件下で、タブレットに含まれる物質が気化し、ガラス板に析出され、被膜を形成する。30秒後に冷却が行われ、ユニットに通気される。基体上の被膜の厚さは5nmと測定される。得られた被膜は撥水性であり、水滴が落とされても被膜は濡れず、ビーズ玉のように転がり落ちる。

Claims (6)

  1. SiO 、TiO 、ZrO 、MgO、Al またはその混合物から成る多孔性無機酸化物マトリックス材料に式I:
    2n+1−(CH−Si(R) (I)
    (式中R1は1〜3個の炭素原子を有するアルコキシであるか、または
    2n+1−(CH−Si(R)−O− であり、
    2,Rは1〜3個の炭素原子を有するアルキルまたはアルコキシであり、
    nは1〜12であり、およびmは1〜6である)
    で表される化合物を含浸させ;
    高真空下において、300〜500゜Cでマトリックス材料からオルガノシラン化合物を蒸発させ;50〜300゜Cまで予め加熱した基体に蒸着を行うことによる、高真空下でオルガノシラン化合物を使って熱蒸着することにより光学基体上に撥水性コーティングを施す方法。
  2. 蒸着が10−3ミリバールから10−5ミリバールまでの圧力で行われることを特徴とする、請求項1の方法。
  3. 式Iの化合物を含有し、SiO 、TiO 、ZrO 、MgO、Al またはその混合物から成る多孔性無機酸化物マトリックスから成り、該マトリックスは(a)粉末無機酸化物材料を圧縮し焼結して多孔性の成形物品を形成し、そして(b)該成形された物品に式Iの化合物を含浸させることにより調製されることを特徴とする、請求項1による方法で光学基体上に撥水性コーティングを施すための材料。
  4. 光学基体上に撥水性コーティングを施すための、請求項3に記載の材料の使用。
  5. 表面の質を向上させ、および/または反射を少なくするために薄い被膜を予め施した光学基体上に撥水性コーティングを施すための、請求項3に記載の材料の使用。
  6. 請求項1に記載の方法により、光学基体上に撥水性コーティングを施すことにより得られる光学製品。
JP29987196A 1995-10-26 1996-10-25 光学基体上に撥水性コーティングを施すための材料およびその方法 Expired - Lifetime JP3602277B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19539789A DE19539789A1 (de) 1995-10-26 1995-10-26 Mittel und Verfahren zur Herstellung von wasserabweisenden Beschichtungen auf optischen Substraten
DE19539789.4 1995-10-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09137122A JPH09137122A (ja) 1997-05-27
JP3602277B2 true JP3602277B2 (ja) 2004-12-15

Family

ID=7775783

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29987196A Expired - Lifetime JP3602277B2 (ja) 1995-10-26 1996-10-25 光学基体上に撥水性コーティングを施すための材料およびその方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5853800A (ja)
EP (1) EP0770699B1 (ja)
JP (1) JP3602277B2 (ja)
CN (1) CN1152153C (ja)
AT (1) ATE215619T1 (ja)
DE (2) DE19539789A1 (ja)
ES (1) ES2175007T3 (ja)
TW (1) TW400392B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102776477A (zh) * 2012-07-16 2012-11-14 福州阿石创光电子材料有限公司 防水膜及其制备方法

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19825100A1 (de) 1998-06-05 1999-12-16 Merck Patent Gmbh Mittel zur Herstellung von wasserabweisenden Beschichtungen auf optischen Substraten
DE19922523A1 (de) * 1999-05-15 2000-11-16 Merck Patent Gmbh Verfahren und Mittel zur Herstellung hydrophober Schichten auf Fluoridschichten
DE10007859A1 (de) * 2000-02-21 2001-08-23 Bayer Ag Langzeitstabile wasser- und ölabweisende Oberfläche
US6833159B1 (en) * 2000-05-02 2004-12-21 Vision-Ease Lens, Inc. Method for applying hydrophobic anti-reflection coatings to lenses and lens blanks
US6929822B2 (en) * 2001-04-27 2005-08-16 Hoya Corporation Method for manufacturing optical member having water-repellent thin film
US6881445B1 (en) * 2001-10-29 2005-04-19 Innovation Chemical Technologies, Ltd. Forming thin films on substrates using a porous carrier
US6765603B2 (en) * 2001-12-20 2004-07-20 Eastman Kodak Company Method of forming fiducial marks on a micro-sized article
US20040076750A1 (en) * 2002-10-22 2004-04-22 Vision-Ease Lens, Inc. Method for applying a coating to an optical substrate by thermal vaporization of an organosilicon compound using a non-sintered porous inorganic oxide matrix material
US6991826B2 (en) * 2004-04-20 2006-01-31 3M Innovative Properties Company Antisoiling coatings for antireflective substrates
US20060204766A1 (en) * 2005-03-14 2006-09-14 Jds Uniphase Corporation Anti-moisture and soil-repellent coatings
WO2006107083A2 (en) * 2005-04-01 2006-10-12 Daikin Industries, Ltd. Surface modifier
JP4525637B2 (ja) * 2006-06-22 2010-08-18 凸版印刷株式会社 防汚性薄膜の形成方法
US8286561B2 (en) 2008-06-27 2012-10-16 Ssw Holding Company, Inc. Spill containing refrigerator shelf assembly
US11786036B2 (en) 2008-06-27 2023-10-17 Ssw Advanced Technologies, Llc Spill containing refrigerator shelf assembly
EP2346678B1 (en) 2008-10-07 2017-10-04 Ross Technology Corporation Spill resistant surfaces having hydrophobic and oleophobic borders
MX343584B (es) 2009-11-04 2016-11-10 Ssw Holding Co Inc Superficies de equipos de coccion que tienen una estructura para la contencion de derrames y metodos de fabricarlas.
CA2796305A1 (en) 2010-03-15 2011-09-22 Ross Technology Corporation Plunger and methods of producing hydrophobic surfaces
BR112013021231A2 (pt) 2011-02-21 2019-09-24 Ross Tech Corporation revestimentos super-hidrofóbicos e oleofóbicos com sistemas ligantes de baixo voc
DE102011085428A1 (de) 2011-10-28 2013-05-02 Schott Ag Einlegeboden
EP2791255B1 (en) 2011-12-15 2017-11-01 Ross Technology Corporation Composition and coating for superhydrophobic performance
JP2013174668A (ja) * 2012-02-23 2013-09-05 Asahi Glass Co Ltd フッ素含有有機ケイ素化合物薄膜製造装置および製造方法
DE102012104357A1 (de) * 2012-05-21 2013-11-21 Rehau Ag + Co. Verfahren zur Beschichtung eines Formteils
WO2014003852A2 (en) 2012-06-25 2014-01-03 Ross Technology Corporation Elastomeric coatings having hydrophobic and/or oleophobic properties
US10613255B2 (en) 2014-02-12 2020-04-07 Vision Ease, Lp Easy-clean coating
CN104513950B (zh) * 2014-10-29 2019-10-01 苏州东杏表面技术有限公司 一种快速制备耐磨防污膜的方法
US10054717B2 (en) * 2015-04-03 2018-08-21 Moxtek, Inc. Oxidation and moisture barrier layers for wire grid polarizer
CN104910203B (zh) * 2015-05-13 2018-03-06 华东理工大学 一种玻璃表面疏水改性剂及其合成方法
CN111246997A (zh) * 2017-10-19 2020-06-05 Agc株式会社 透明基板层叠体及其制造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2598520B1 (fr) * 1986-01-21 1994-01-28 Seiko Epson Corp Pellicule protectrice minerale
JPH01110588A (ja) * 1987-10-24 1989-04-27 Ito Kogaku Kogyo Kk プラスチツクレンズの防汚性処理方法
CA1329341C (en) * 1988-10-19 1994-05-10 Rosemary Bridget Albinson Method of forming adherent fluorosilane layer on a substrate and ink jet recording head containing such a layer
US5204314A (en) * 1990-07-06 1993-04-20 Advanced Technology Materials, Inc. Method for delivering an involatile reagent in vapor form to a CVD reactor
JP2561395B2 (ja) * 1991-02-27 1996-12-04 ホーヤ株式会社 撥水性薄膜を有する光学部材及びその製造方法
JPH05239243A (ja) * 1991-03-15 1993-09-17 Shinkuron:Kk 物体の表面処理方法
JPH0597474A (ja) * 1991-10-04 1993-04-20 Nippon Sheet Glass Co Ltd 撥水性物品およびその製造方法
JPH05170487A (ja) * 1991-12-25 1993-07-09 Central Glass Co Ltd 基材の撥水処理法およびその撥水性基材
EP0561016A1 (en) * 1992-03-17 1993-09-22 Tetsusaburo Taira Multilayer coating by vacuum vapor deposition
JP3103196B2 (ja) * 1992-05-25 2000-10-23 松下電工株式会社 反射鏡
JP3353057B2 (ja) * 1992-10-09 2002-12-03 株式会社シンクロン 表面処理された眼鏡レンズの製造方法
JPH06122962A (ja) * 1992-10-09 1994-05-06 Shincron:Kk 物体の表面処理方法
JPH06175089A (ja) * 1992-12-07 1994-06-24 Ito Kogaku Kogyo Kk プラスチックレンズの防汚性処理方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102776477A (zh) * 2012-07-16 2012-11-14 福州阿石创光电子材料有限公司 防水膜及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5853800A (en) 1998-12-29
ES2175007T3 (es) 2002-11-16
DE59608994D1 (de) 2002-05-08
ATE215619T1 (de) 2002-04-15
EP0770699A2 (de) 1997-05-02
DE19539789A1 (de) 1997-04-30
TW400392B (en) 2000-08-01
JPH09137122A (ja) 1997-05-27
EP0770699B1 (de) 2002-04-03
CN1158364A (zh) 1997-09-03
EP0770699A3 (de) 1998-11-11
CN1152153C (zh) 2004-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3602277B2 (ja) 光学基体上に撥水性コーティングを施すための材料およびその方法
JP3549440B2 (ja) 光学基材上に撥水性コーティングを作成するための組成物
JP3159780B2 (ja) 反射防止塗装層
EP0166363B1 (en) Low reflectance transparent material having antisoiling properties
TW499492B (en) Vacuum evaporation apparatus for forming a thin-film and method for forming thin-film
JPH0796229B2 (ja) 型に離型層を設ける方法
JP2011201772A (ja) フッ化物層の上に疎水性層を製造するための方法および組成物
JPH06340966A (ja) 表面処理方法及びそれに用いられる蒸着材料
US2761797A (en) Method of producing conductive coating on a surface and the coated article
US20210230735A1 (en) Substrate with water-and-oil repellent layer, vapor deposition material, and method for producing substrate with water-and-oil repellent layer
CA2421538C (en) Optical member and process for producing it and thin films
JP4174867B2 (ja) 防汚層の形成方法
KR100315935B1 (ko) 광학기재상에발수성피막을제조하기위한물질및그피막의제조방법
JP2004126532A (ja) 光学部材
JP3579655B2 (ja) 防汚性の疎水性コーティングを有する透明基体及びその製法
JP2000328230A (ja) 有機膜の成膜法
EP3882370B1 (en) Substrate with water repellent oil repellent layer, vapor deposition material, and method for producing substrate with water repellent oil repellent layer
JPS62247302A (ja) 光学物品の製造方法
US20040076750A1 (en) Method for applying a coating to an optical substrate by thermal vaporization of an organosilicon compound using a non-sintered porous inorganic oxide matrix material
JP2004226942A (ja) 光学部材、光学部材の製造方法及び薄膜の製造方法
US6833159B1 (en) Method for applying hydrophobic anti-reflection coatings to lenses and lens blanks
JP2000327997A (ja) 有機膜の成膜方法
JP2001183503A (ja) 光学物品の製造方法
JPH07294702A (ja) 光学素子の表面改質方法
JP2000063797A (ja) 防汚剤及び防汚層の形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040824

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040922

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081001

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091001

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111001

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121001

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term