JP3592831B2 - プローブユニット及びその調節方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶プローバにおいて、液晶表示パネル基板(以下、液晶基板という。)の全ての電極(TABパッド)に接触子(プローブ針等)が接触するように、接触子を位置決め固定したユニットをプローブユニットと呼んでいる。このようにプローブユニットと呼ぶことで、ウェーハプローバで使用するプローブカードと区別している。
【0003】
図5は矩形の液晶基板を検査するための従来のプローブユニットの平面図であり、図6はその側面断面図(図5の6−6線断面図)である。矩形の枠状のプローブベース10には、複数のプローブブロック12が正確に位置決めされてネジ等で固定されている。液晶基板18の電極(TABパッド)に接触するための多数のプローブ針は、TAB単位にグループ化されていて、各グループが一つのプローブブロック12に取り付けられている。プローブブロック12の後端にはフレキシブル配線板14の一端が接続され、フレキシブル配線板14の他端にはコネクタ16が接続されている。このコネクタ16はテスターに接続される。プローブブロック12には、プローブブロックに対するプローブ針の取り付け位置を微調節するための位置調節機構を設けることもある。
【0004】
図7は液晶基板に形成された配線図の一例である。なお、この図は、液晶基板の中心線30、32に挟まれた4分の1の領域の配線状態を示している。縦方向に延びるデータ線20は、その両端部において、交互に信号入力用のTABパッド22を有する。これらのパッド22はTAB単位にグループ化されていて、TABの配線パターンのピッチに適合するように集約化されている。パッド22がこのように集約化された領域24を、以下、パッド領域と呼ぶことにする。横方向に延びるゲート線26は、左右どちらかの端部(図7では左端)にパッド領域28を有する。
【0005】
データ線20のパッド領域24の、パッド配列方向の寸法はWxであり、隣り合うパッド領域24の間隔はX1である。また、ゲート線26のパッド領域28の、パッド配列方向の寸法はWyであり、隣り合うパッド領域26の間隔はY1である。
【0006】
図8は液晶基板のパッド領域の配置例を示す平面図である。液晶基板18において、対向する二つのX辺34(X方向に延びる辺)に沿って、データ線のパッド領域24が各辺に4個並んでいる。また、一つのY辺36(Y方向に延びる辺)に沿って、ゲート線のパッド領域26が3個並んでいる。X辺34のパッド領域24の中心間距離(すなわちピッチ)はPxであり、Y辺36のパッド領域28の中心間距離はPyである。
【0007】
図9は、同じタイプ(例えばSVGAタイプ)の液晶基板の、サイズの違いによるパッド領域の位置の違いを示す平面図である。同じタイプの液晶基板では、サイズが違っていても、同じ配線ピッチのTABを使用しているので、パッド領域の寸法は同じになる。ただし、隣り合うパッド領域の間隔が異なる。すなわち、X辺において、10インチの液晶基板18aでは隣り合うパッド領域24の間隔はX1であるが、11インチの液晶基板18bではこれがX2に広がり、12インチの液晶基板18cではさらにX3に広がる。したがって、パッド領域24の中心間距離(ピッチ)も液晶基板のサイズに応じて異なってくる。Y辺においても同様に、10インチの液晶基板18aでは隣り合うパッド領域28の間隔はY1であるが、11インチの液晶基板18bではこれがY2に広がり、12インチの液晶基板18cではさらにY3に広がる。なお、使用するTABは基板メーカによって異なっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図9で示したように液晶基板のサイズが違うとパッド領域の位置が異なるので、図5で示した従来のプローブユニットは、液晶基板のサイズごとに別個のプローブユニットとして作られている。すなわち、同じタイプ(例えばSVGAタイプ)の液晶基板であっても、10インチ基板用、11インチ基板用、12インチ基板用などのように、基板サイズごとにプローブユニットを準備する必要がある。そして、検査する液晶基板のサイズを変更するには、液晶プローバにおいてプローブユニットの交換作業が必要になる。このプローブユニットは、ウェーハ用のプローブカードと比較して非常に大きいので、その交換作業は二人がかりの作業になり、時間もかかる。また、作業時の事故によるプローブユニットの破損のおそれもある。
【0009】
ところで、液晶プローバの種類としては、ガラス基板に形成されたトランジスタ等の回路素子の電気特性を検査するアレイプローバと、液晶基板の最終検査である点灯検査を実施する点灯検査プローバとがあリ、それぞれ専用のプローブユニットを必要とする。その理由は、プローブ針のコンタクト位置が同じでも、テスターが違うことによりプローブユニットの構成(TAB・ICの有無など)が違うためである。結局、液晶基板を検査するためのプローブユニットとしては、(a)液晶基板のタイプ、(b)液晶基板のサイズ、(c)アレイプローバと点灯検査プローバの区別、に応じてそれぞれ専用のプローブユニットが必要になる。例えば、液晶基板のタイプが2種類で、サイズが3種類あれば、これだけで合計6種類のプローブユニットが必要になり、さらに、アレイプローバ用と点灯検査用の2種類を揃えれば、合計で12種類のプローブユニットが必要になる。そして、実際には、それぞれのプローブユニットに対して予備用のプローブユニットをもう1個準備しているので、24個のプローブユニットを準備することになる。
【0010】
このように、従来のプローブユニットは、基板サイズごとにプローブユニットを準備するので、(1)プローブユニットの個数が増えて高価になる、(2)使用していない多くのプローブユニットを安全に保管する必要がある、(3)サイズ変更に伴うプローブユニットの交換作業が必要になる、などの問題があった。
【0011】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、被測定基板のサイズが違っても共通のプローブユニットで対応できるようにすることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明のプローブユニットは、矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットにおいて、次の(イ)〜(ホ)の構成を備える。(イ)X方向に延びるX辺と前記X方向に垂直なY方向に延びるY辺とを備える枠状のプローブベース。(ロ)前記プローブベースの前記X辺においてY方向に位置調節可能に取り付けられた第1可動ベース。(ハ)前記プローブベースの前記Y辺においてX方向に位置調節可能に取り付けられた第2可動ベース。(ニ)前記第1可動ベースに対してX方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。
(ホ)前記第2可動ベースに対してY方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。
【0013】
また、この発明のプローブユニットの調節方法は、矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットの調節方法において、次の(イ)〜(ニ)の段階を備える。(イ)枠状のプローブベースのX方向に延びるX辺において、第1可動ベースを、前記X方向に垂直なY方向に位置調節する段階。(ロ)前記プローブベースのY方向に延びるY辺において、第2可動ベースをX方向に位置調節する段階。(ハ)前記第1可動ベースに対して、前記接触子を備えた複数のプローブブロックをX方向に位置調節する段階。(ニ)前記第2可動ベースに対して、前記接触子を備えた複数のプローブブロックをY方向に位置調節する段階。
【0014】
この発明は、被測定基板のサイズに合わせて複数のプローブブロックの位置を調節できるようにしたので、少なくとも2種類の基板サイズに対して共通のプローブユニットが使える。したがって、被測定基板のサイズを変更する場合に、プローブユニットの交換作業が不要になり、基板サイズの変更に伴うプローブユニットの調節作業は一人の作業者によって短時間で終了する。また、基板サイズごとにプローブユニットを準備したり保管したりする必要がない。なお、被測定基板として液晶基板を例にとると、本発明のプローブユニットを用いたとしても、液晶基板のタイプが違えば別個のプローブユニットが必要になり、また、アレイプローバと点灯検査プローバに対してもそれぞれ専用のプローブユニットが必要になることに変わりはない。それでも、例えば3種類の基板サイズに対して共通のプローブユニットを使用することにより、プローブユニットの必要個数は、従来構造のプローブユニットに比べて3分の1になる。
【0015】
この発明が適用される被測定基板は、矩形であって周辺部に多数の電極が配置されているものであり、典型的には、液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットディスプレイパネルの基板が該当する。さらには、これらの基板の周辺部において、基板サイズが違っても、TABごとに分割されたパッド領域の寸法が共通しているものに本発明は適用できる。
【0016】
プローブブロックに取り付けられる接触子の形態は特に限定されないが、片持ち式のプローブ針や、配線パターン上に形成されたバンプ電極などが利用できる。
【0017】
枠状のプローブベースには4つの辺があるが、どの辺にプローブブロックを配置するかは、被測定基板のパッド領域の配置形態に依存する。例えば、被測定基板において二つのX辺と一つのY辺にパッド領域が配置されていれば、これに対応してプローブベースの三つの辺にプローブブロックを配置することになる。矩形の被測定基板には縦と横に配線が形成されているのが普通であるから、基板上のパッド領域は少なくとも一つのX辺と一つのY辺に存在する。したがって、この発明では、プローブユニットの少なくとも一つのX辺と少なくとも一つのY辺とにプローブブロックを配置することになる。
【0018】
この発明では、プローブブロックの位置を調節することによって、異なる基板サイズに対応するようにしているので、プローブブロックの位置決め精度が、プローブ針と被測定基板の電極との位置合わせ精度に影響してくる。そこで、各プローブブロックにプローブ針の位置調節機構を設ければ、プローブブロック自体の位置決め精度がそれほど高くなくても、プローブ針と被測定基板の電極との位置合わせ精度を確保できる。プローブブロックに設けることのできる、プローブ針の位置調節機構としては、特開平3−218472号公報に開示されたものがある。
【0019】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明のプローブユニットの一実施形態を示す平面図である。図2(A)はその側面断面図(図1の2−2線断面図)であリ、図3はその正面図である。図1において、矩形の枠状のプローブベース40の一つのX辺(X方向に延びる辺)42には1対の第1静止ガイド44が設けられていて、この第1静止ガイド44はY方向に延びている。X方向とY方向は互いに垂直である。第1静止ガイド44には、X方向に延びる第1可動ガイド46が摺動可能に係合している。図3によく示されているように、第1可動ガイド46には、矩形断面の第1静止ガイド44に係合する溝が形成されており、この第1可動ガイド46は第1静止ガイド44に沿ってY方向に移動できる。図1に戻って、この第1可動ガイド46には、X方向に延びる第1ガイド溝48が形成されている。この第1ガイド溝48には4個のプローブブロック50が摺動可能に係合していて、このプローブブロック50は第1ガイド溝48に沿ってX方向に移動できる。図2(A)によく示されているように、第1ガイド溝48はアリ溝の形状であり、このアリ溝に適合するような断面形状を有する突部がプローブブロック50に形成されている。
【0020】
プローブベースのもう一方のX辺43にも、上述のX辺42と同様に、1対の第1静止ガイド44と、一つの第1可動ガイド46と、4個のプローブブロック50とが設けられている。このX辺43のところの図示では、プローブブロック50を一点鎖線で示している。
【0021】
プローブベース40の一つのY辺(Y方向に延びる辺)52には1対の第2静止ガイド54が設けられていて、この第2静止ガイド54はX方向に延びている。この第2静止ガイド54には、Y方向に延びる第2可動ガイド56が摺動可能に係合していて、この第2可動ガイド56は第2静止ガイド54に沿ってX方向に移動できる。この第2可動ガイド56には、Y方向に延びる第2ガイド溝58が形成されている。この第2ガイド溝58に3個のプローブブロック50が摺動可能に係合していて、このプローブブロック50は第2ガイド溝58に沿ってY方向に移動できる。
【0022】
二つのX辺42、43と一つのY辺52に取り付けられている各プローブブロック50には多数のプローブ針51(図2(A)参照)が取り付けられていて、これらのプローブ針は、液晶基板のパッド領域の電極と同じ配列ピッチになっている。これらのプローブ針は、TAB単位にグループ化されていて、各グループが一つのプローブブロック50に取り付けられている。プローブブロック50の後端にはフレキシブル配線板60の一端が接続され、フレキシブル配線板60の他端にはコネクタ62が接続されている。このコネクタ62はテスターに接続される。プローブブロック50には、プローブブロックに対するプローブ針の先端位置を微調整するための位置調節機構を設けてもよい。
【0023】
第1可動ガイド46と第2可動ガイド56は、位置決めピンやプランジャ等の位置決め機構を用いて、液晶基板のサイズに応じた所定の位置(第1静止ガイド44または第2静止ガイド54に沿った所定の位置)に位置決めすることができ、また、ネジやクランプ等の固定機構を用いて第1静止ガイド44または第2静止ガイド54上に固定できる。また、プローブブロック50も、位置決めピンやプランジャ等の位置決め機構を用いて、液晶基板のサイズに応じた所定の位置(第1ガイド溝48または第2ガイド溝58に沿った所定の位置)に位置決めすることができ、ネジやクランプ等の固定機構を用いて第1可動ガイド46または第2可動ガイド56に固定できる。
【0024】
次に、このプローブユニットを用いてサイズの異なる液晶基板を検査する手順を説明する。図1に示す状態は、10インチの液晶基板を測定するときのプローブユニットの状態である。各プローブブロック50のプローブ針の位置は、図9の10インチの液晶基板18aのパッド領域24に対応している。この状態から、11インチまたは12インチの液晶基板を検査できるようにプローブユニットを調節するには、次のようにする。まず、第1可動ガイド46と第2可動ガイド56を、その固定を解除してから、第1静止ガイド44または第2静止ガイド54に沿って動かして、11インチまたは12インチの液晶基板に対応した位置まで移動し、固定機構を用いて固定する。これにより、第1可動ガイド46と第2可動ガイド56は、より大きな基板サイズに適合するように広がる。次に、各プローブブロック50を、その固定を解除してから、第1ガイド溝48または第2ガイド溝58に沿って動かして、11インチまたは12インチの液晶基板に対応した位置まで移動し、固定機構を用いて固定する。これにより、各プローブブロック50のプローブ針の位置は、図9の11インチの液晶基板18bまたは12インチの液晶基板18cのパッド領域24に対応する。さらに、プローブブロック50にプローブ針の位置調節機構を設けてあれば、引き続いて、プローブ針と液晶基板の電極との位置合わせ実施する。
【0025】
同じタイプ(例えばSVGAタイプ)の液晶基板であれば、サイズが違っても、TABごとに分割された個々のパッド領域が同じ寸法なので、各プローブブロックの位置を液晶基板のサイズに応じて(すなわちパッド領域の配置位置に応じて)調節すれば、本発明のように共通のプローブユニットで対応できる。
【0026】
図4は、図1のプローブユニットを12インチの液晶基板に対応するように調節した後の平面図であり、図2(B)はその側面断面図である。図1または図2(A)と比較して、プローブブロック50同士の間隔が広がっていることがよく分かる。
【0027】
上述の実施形態の説明では、10インチ、11インチ、12インチの3種類のサイズの液晶基板の例を用いて説明したが、基板サイズはこれに限定されない。また、液晶基板以外の被測定基板に本発明を適用することもできる。
【0028】
上述の実施形態では、静止ガイドと可動ガイドの間の可動機構や、可動ガイドとプローブブロックとの間の可動機構は、いずれも、溝を利用した摺動機構としているが、これ以外の可動機構であっても構わない。例えば、プローブブロックの側に、プローブブロックの移動範囲をカバーするだけの長孔を設けて、この長孔にネジを通して、このネジでプローブブロックを可動ガイドに固定することもできる。
【0029】
【発明の効果】
この発明は、被測定基板のサイズに合わせて複数のプローブブロックの位置を調節できるようにしたので、被測定基板のサイズを変更する場合に、プローブユニットの交換作業が不要になる。したがって、基板サイズの変更に伴うプローブユニットの調節作業は一人の作業者によって短時間で終了する。また、基板サイズごとにプローブユニットを準備したり保管したりする必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のプローブユニットの一実施形態を示す平面図である。
【図2】図1の2−2線断面図である。
【図3】図1のプローブユニットの正面図である。
【図4】図1のプローブユニットの別の状態を示す平面図である。
【図5】従来のプローブユニットの平面図である。
【図6】図5の6−6線断面図である。
【図7】液晶基板に形成された配線図の一例である。
【図8】液晶基板のパッド領域の配置例を示す平面図である。
【図9】液晶基板のサイズの違いによるパッド領域の位置の違いを示す平面図である。
【符号の説明】
40 プローブベース
42、43 X辺
44 第1静止ガイド
46 第1可動ガイド
48 第1ガイド溝
50 プローブブロック
52 Y辺
54 第2静止ガイド
56 第2可動ガイド
58 第2ガイド溝
Claims (3)
- 矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットにおいて、次の構成を備えるプローブユニット。
(イ)X方向に延びるX辺と前記X方向に垂直なY方向に延びるY辺とを備える枠状のプローブベース。
(ロ)前記プローブベースの前記X辺においてY方向に位置調節可能に取り付けられた第1可動ベース。
(ハ)前記プローブベースの前記Y辺においてX方向に位置調節可能に取り付けられた第2可動ベース。
(ニ)前記第1可動ベースに対してX方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。
(ホ)前記第2可動ベースに対してY方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。 - 矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットの調節方法において、次の段階を備える調節方法。
(イ)枠状のプローブベースのX方向に延びるX辺において、第1可動ベースを、前記X方向に垂直なY方向に位置調節する段階。
(ロ)前記プローブベースのY方向に延びるY辺において、第2可動ベースをX方向に位置調節する段階。
(ハ)前記第1可動ベースに対して、前記接触子を備えた複数のプローブブロックをX方向に位置調節する段階。
(ニ)前記第2可動ベースに対して、前記接触子を備えた複数のプローブブロックをY方向に位置調節する段階。 - 被測定基板のサイズに応じて、前記X辺におけるプローブブロック同士の間隔を調節するとともに前記Y辺におけるプローブブロック同士の間隔を調節することを特徴とする請求項2記載の調節方法。
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