JP4989911B2 - 可動式プローブユニット及び検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、検査対象板に接触子を接触させて試験する可動式プローブユニット及び検査装置に関し、特にプローブブロックの支持方式の改良に関するものである。

液晶基板等の検査対象板にプローブブロックのプローブ針を接触させて点灯試験等を行う検査装置は一般に知られている。このような検査装置では、装置本体側のプローブベースに各プローブブロックが固定され、各プローブブロックのプローブ針が、ワークテーブルに載置された検査対象板に臨ませて設けられる。そして、プローブ針と検査対象板の電極との位置合わせは、検査対象板を支持したワークテーブルによって行われる。

このような検査装置の一例を図２に示す。図示する検査装置１は主に、パネルセット部２と、測定部３とから構成されている。

パネルセット部２は、外部から挿入された液晶パネル５を測定部３へ搬送し、検査終了後の液晶パネル５を外部へ搬送するための装置である。パネルセット部２は、開口部６の奥にパネルセットステージ７を有し、このパネルセットステージ７で液晶パネル５を支持して、測定部３へ搬送する。また、パネルセットステージ７は、測定部３で検査終了後の液晶パネル５を受け取って外部へ搬送する。

測定部３は、パネルセット部２から渡された液晶パネル５を支持して試験するための装置である。測定部３は、チャックトップ８やプローバ９等を備えて構成されている。

チャックトップ８は、液晶パネル５を支持するための部材である。このチャックトップ８は、ＸＹＺθステージ(図示せず)に支持されて、ＸＹＺ軸方向への移動及び回転が制御されて、液晶パネル５の位置が調整される。プローバ９は主に、ベースプレート１０、プローブユニット１１、プローブブロック１２を備えて構成されている。これらの部材の配置例を図３に示す。装置本体側にベースプレート１０が支持され、このベースプレート１０にプローブユニット１１が支持され、このプローブユニット１１の先端部にプローブブロック１２が取り付けられている。このプローブブロック１２の先端部に接触子１３が取り付けられている。そして、チャックトップ８に支持された液晶パネル５がＸＹＺθステージで位置調整されて、液晶パネル５の電極と接触子１３が整合されて互いに接触され、検査が行われる。

ところで、上述の検査装置では、接触子１３と液晶パネル５の電極との位置合わせをＸＹＺθステージによって行っているが、位置合わせできる距離は僅かである。このため、液晶パネル５の寸法が変われば、電極の位置も大幅に変わるため、ＸＹＺθステージでは対応できず、プローブユニット１１やプローブブロック１２を、液晶パネル５の寸法に対応したものに取り変える必要があった。そして、このプローブユニット１１やプローブブロック１２の取り替え作業には、時間がかかり、作業性が悪い。

このため、プローブブロック１２を支持する支持枠体を改良して、液晶パネル５の寸法に容易に合わせることができるプローブブロックの支持枠体が特許文献１に提案されている。

この支持枠体１４は、図４に示すように、４つの枠板１５から構成され、それらを図４（Ａ）の状態から（Ｂ）の状態に適宜ずらして、プローブブロック１２を液晶パネル５の寸法に合わせるものである。
特開２００１−７４５９９号公報

ところが、前記構成の支持枠体１４では、４つの枠板１５を互いに接近させて図４（Ｂ）の状態にした場合、周囲に４つの枠板１５が４方向にそれぞれずれると共に各枠板１５の基端側１５Ａがはみ出してしまう。このため、ベースプレート１０に取り付ける際に、４方向にそれぞれずれる各枠板１５を、そのはみ出した基端側を許容した状態でベースプレート１０に固定支持するのが容易ではなく、結局、接触子１３の位置合わせ作業性が悪いという問題があった。

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、寸法の異なる液晶パネル等の検査対象板の変更に対してプローブ針の位置合わせを容易に行うことができる可動式プローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。

本発明に係る可動式プローブユニットは、前記課題を解決するためになされたもので、検査対象板に接触させる接触子を備えたプローブブロックを支持する可動式プローブユニットであって、前記プローブブロックを任意の位置に位置決めして支持することを特徴とする。

前記構成により、可動式プローブユニットがプローブブロックを支持して、任意の位置にずらして位置決めし支持する。

前記可動式プローブユニットは、前記検査対象板の両側位置にそれぞれ配設されて全体を支持するメインベースと、前記プローブブロックを支持するデータ信号側ベースと、
前記メインベースに支持された状態で前記データ信号側ベースを任意の位置で支持する複合クロスリンクと、前記データ信号側ベースと直交方向に配設されて２つの前記メインベースにスライド可能に支持された状態で前記プローブブロックを支持するゲート信号側ベースと、当該ゲート信号側ベース及び前記データ信号側ベースにそれぞれ設けられて前記プローブブロックをスライド可能に支持するリニアガイドと、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する位置決め固定治具と、複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するプローブブロック用位置決め固定治具とを備えて構成することが望ましい。

前記構成により、前記データ信号側ベースは、前記複合クロスリンクで前記メインベースに支持された状態で設定値にずらされる。前記ゲート信号側ベースは、２つの前記メインベースに対してスライドして設定値にずらされる。そして、位置決め固定治具が、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する。また、プローブブロック用位置決め固定治具は、前記リニアガイドでスライド可能に支持された複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持する。

前記データ信号側ベースを設定位置に位置決めして固定する位置決め固定リンクを備えることが望ましい。

前記構成により、前記位置決め固定リンクが、前記位置決め固定治具と共に、前記データ信号側ベースを前記メインベースに対して設定位置に位置決めして固定する。

前記プローブブロック用位置決め固定治具が、前記プローブブロックに設けられたクリップ又は嵌合ピンに嵌合する複数の嵌合ピン又はクリップと、各嵌合ピン又はクリップを設定位置で一体的に支持する連結板とを備えて構成されることが望ましい。

前記構成により、前記プローブブロック位置決め用治具の前記連結板の各嵌合ピン又はクリップを前記プローブブロックのクリップ又は嵌合ピンにそれぞれ嵌合して、各プローブブロックをそれぞれ設定位置で一体的に支持する。

本発明に係る検査装置は、前記課題を解決するためになされたもので、検査対象板にプローブブロックの接触子を接触させて試験を行う検査装置であって、前記プローブブロックを任意の位置に位置決めして支持する可動式プローブユニットを備えたことを特徴とする。

前記構成により、可動式プローブユニットがプローブブロックを支持して、任意の位置にずらして位置決めし支持する。

前記検査装置の可動式プローブユニットは、前記検査対象板の両側位置にそれぞれ配設されて全体を支持するメインベースと、前記プローブブロックを支持するデータ信号側ベースと、前記メインベースに支持された状態で前記データ信号側ベースを任意の位置で支持する複合クロスリンクと、前記データ信号側ベースと直交方向に配設されて２つの前記メインベースにスライド可能に支持された状態で前記プローブブロックを支持するゲート信号側ベースと、当該ゲート信号側ベース及び前記データ信号側ベースにそれぞれ設けられて前記プローブブロックをスライド可能に支持するリニアガイドと、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する位置決め固定治具と、複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するプローブブロック用位置決め固定治具とを備えて構成することが望ましい。

前記構成により、前記データ信号側ベースは、前記複合クロスリンクで前記メインベースに支持された状態で設定値にずらされる。前記ゲート信号側ベースは、２つの前記メインベースに対してスライドして設定値にずらされる。そして、位置決め固定治具が、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する。また、プローブブロック用位置決め固定治具は、前記リニアガイドでスライド可能に支持された複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持する。

前記検査装置のデータ信号側ベースを設定位置に位置決めして固定する位置決め固定リンクを備えることが望ましい。

前記構成により、前記位置決め固定リンクが、前記位置決め固定治具と共に、前記データ信号側ベースを前記メインベースに対して設定位置に位置決めして固定する。

前記検査装置のプローブブロック用位置決め固定治具は、前記プローブブロックに設けられたクリップ又は嵌合ピンに嵌合する複数の嵌合ピン又はクリップと、各嵌合ピン又はクリップを設定位置で一体的に支持する連結板とを備えて構成されることが望ましい。

前記構成により、前記プローブブロック位置決め用治具の前記連結板の各嵌合ピン又はクリップを前記プローブブロックのクリップ又は嵌合ピンにそれぞれ嵌合して、各プローブブロックをそれぞれ設定位置で一体的に支持する。

以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。

可動式プローブユニットがプローブブロックを支持して、任意の位置にずらして位置決めし支持するため、プローブブロックを設定位置に容易に位置合わせすることができ、寸法の異なる前記検査対象板に合わせて、接触子の位置合わせを、短時間で容易に行うことができ、作業性が向上する。

前記複合クロスリンクで前記データ信号側ベースを設定値にずらし、前記ゲート信号側ベースを前記各メインベースに対してスライドさせて設定値にずらし、前記位置決め固定治具で、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定し、前記プローブブロック用位置決め固定治具で、複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するため、プローブブロックを設定位置に容易に位置合わせすることができ、寸法の異なる前記検査対象板に合わせて、接触子の位置合わせを、短時間で容易に行うことができ、作業性が向上する。

前記位置決め固定リンクで、前記位置決め固定治具と共に、前記データ信号側ベースを前記メインベースに対して設定位置に位置決めして固定するため、前記データ信号側ベースが前記メインベースに対して複数箇所で支持されて、設定位置に位置決めして確実に支持することができる。

前記プローブブロック用位置決め固定治具の前記連結板の各嵌合ピン又はクリップを前記プローブブロックのクリップ又は嵌合ピンにそれぞれ嵌合して、各プローブブロックをそれぞれ設定位置で一体的に支持するため、各プローブブロックを個別に位置決めする必要がなくなり、各プローブブロックの位置決め作業性が大幅に向上する。

さらに、可動式プローブユニットを設けることで、検査対象板のサイズの違いに対して１つの可動式プローブユニットで対応することができ、検査対象板のサイズごとに、個別のプローブユニットを設計・製造する必要が無くなる。この結果、大幅なコスト低減を図ることができる。

以下、本発明の実施形態に係る可動式プローブユニットを備えた検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを示す斜視図、図５は本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを示す平面図、図６は本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを小さい寸法の液晶パネルに合わせた状態を示す斜視図、図７は本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを小さい寸法の液晶パネルに合わせた状態を示す平面図、図８は本発明の実施形態に係る検査装置のプローブブロック用位置決め固定治具をその下側から示す斜視図、図９は本発明の実施形態に係る検査装置のプローブブロック用位置決め固定治具をその上側から示す斜視図、図１０は本発明の実施形態に係る検査装置のデータ信号側ベース側のプローブブロック用位置決め固定治具及びゲート信号側ベース側のプローブブロック用位置決め固定治具を示す側面図である。なおここでは、検査対象板として液晶パネルを例に説明する。また、点灯検査を行う検査装置の全体構成は上述した従来の検査装置とほぼ同様であるため、同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。そして、本発明の特徴部分である、可動式プローブユニットについてのみ説明する。

本実施形態に係る可動式プローブユニット２１は、前記プローブブロック１２を任意の位置に位置決めして支持するための部材である。この可動式プローブユニット２１は主に、メインベース２２と、データ信号側ベース２３と、複合クロスリンク２４と、ゲート信号側ベース２５と、リニアガイド２６と、プローブブロック１２と、位置決め固定治具２７と、位置決め固定リンク２８と、プローブブロック用位置決め固定治具２９とから構成されている。

メインベース２２は、可動式プローブユニット２１全体を支持するための部材である。このメインベース２２は、長方形の板状に形成されている。メインベース２２は、液晶パネル５を挟んで上下両側位置（図１中の右上、左下の両側位置）に配設された各ベースプレート１０にそれぞれ固定されている。各メインベース２２は、データ信号側ベース２３及びゲート信号側ベース２５を支持している。メインベース２２の基端側（外側端部側）には、３箇所の位置に固定ねじ３１が設けられ、この固定ねじ３１によってメインベース２２がベースプレート１０に固定されている。

データ信号側ベース２３は、複合クロスリンク２４を介してメインベース２２に支持された状態でプローブブロック１２を支持するための部材である。このデータ信号側ベース２３は、長方形の板状に形成されている。データ信号側ベース２３は、液晶パネル５の一方の辺（図１の右上側の辺）の電極(図示せず)に接触するプローブブロック１２を支持している。データ信号側ベース２３の裏面には、後述するリニアガイド２６が取り付けられている。データ信号側ベース２３の表面には、後述するプローブブロック用位置決め固定治具２９が取り付けられている。

複合クロスリンク２４は、メインベース２２に支持された状態でデータ信号側ベース２３を任意の位置で支持するための部材である。この複合クロスリンク２４は、２本の板状棒材２４Ａをその中央位置で回転可能に連結し、さらにこれらを４組互いに回転可能に連結して構成されている。４組の各板状棒材２４Ａの中央位置を連結した２つの連結ピン２４Ｂがメインベース２２とデータ信号側ベース２３とにそれぞれ回転可能に取り付けられて、この連結ピン２４Ｂがリンク支点となっている。さらに、他の連結ピン２４Ｃは、メインベース２２の２つの長孔２２Ａ（図６参照）と、データ信号側ベース２３の２つの長孔２３Ａ（図６参照）とにそれぞれスライド可能に取り付けられている。各長孔２２Ａ、２３Ａは、リンク支点である連結ピン２４Ｂの両側にそれぞれ設けられ、複合クロスリンク２４が、リンク支点を中心にしてその両側へ延びるようになっている。そして、この複合クロスリンク２４がリンク支点を中心に両側へ延びることで（図５の状態）、データ信号側ベース２３がメインベース２２に接近し、複合クロスリンク２４が縮むことで（図６の状態）、データ信号側ベース２３がメインベース２２から離れるようになっている。

ゲート信号側ベース２５は、データ信号側ベース２３と直交方向に配設された状態でプローブブロック１２を支持するための部材である。なお、データ信号側ベース２３側のプローブブロック１２と、ゲート信号側ベース２５側のプローブブロック１２は、液晶パネル５の各電極に合わせた個数だけ配設される。ここでは、データ信号側ベース２３側に８個のプローブブロック１２が、ゲート信号側ベース２５側に４個のプローブブロック１２がそれぞれ取り付けられている。

ゲート信号側ベース２５は、２つのメインベース２２に掛け渡された状態で、各メインベース２２にスライド可能に支持されている。ゲート信号側ベース２５は、長方形の板状に形成されている。ゲート信号側ベース２５は、液晶パネル５の他方の辺（図１中の左上側の辺）の電極(図示せず)に接触するプローブブロック１２を支持している。データ信号側ベース２３の裏面には、リニアガイド２６が取り付けられている。データ信号側ベース２３の表面には、後述するプローブブロック用位置決め固定治具２９が取り付けられている。

ゲート信号側ベース２５の長手方向両端部には長板２５Ａがそれぞれ設けられている。この長板２５Ａは、両側のメインベース２２の長手方向に沿って配設されている。この長板２５Ａには、長孔２５Ｂがそれぞれ設けられている。各長孔２５Ｂは、各複合クロスリンク２４の端部の連結ピン２４Ｃにスライド可能に取り付けられている。ゲート信号側ベース２５は、この２つの長孔２５Ｂ及び連結ピン２４Ｃによって、各メインベース２２の長手方向に自由に移動できるようになっている。

リニアガイド２６は、プローブブロック１２をスライド可能に支持するための部材である。リニアガイド２６は、データ信号側ベース２３及びゲート信号側ベース２５の裏面にその全長に亘ってそれぞれ配設されている。このリニアガイド２６は、図８に示すように、平板棒状に形成され、その両側に、プローブブロック１２の後述するスライダー３４がスライド可能に嵌合する嵌合溝２６Ａが設けられている。この嵌合溝２６Ａにスライダー３４が嵌合して、プローブブロック１２がデータ信号側ベース２３及びゲート信号側ベース２５の長手方向に自由にスライドできるようになっている。
プローブブロック１２は、接触子としての多数のプローブ針１３を支持するための部材である。プローブ針１３は、プローブブロック１２の下側の先端部に支持されて、液晶パネル５の電極に接触する。プローブブロック１２の下側面には、リニアガイド２６にスライド可能に嵌合するスライダー３４が設けられている。このスライダー３４によって、プローブブロック１２がデータ信号側ベース２３及びゲート信号側ベース２５の長手方向に自由にスライドできるようになっている。プローブブロック１２の上側面には、後述するプローブブロック用位置決め固定治具２９のクリップ３６が設けられている。

位置決め固定治具２７は、データ信号側ベース２３とゲート信号側ベース２５を設定位置にそれぞれ位置決めして固定するための部材である。位置決め固定治具２７は、図１、５〜７に示すように、Ｔ字型に形成されて、メインベース２２に複合クロスリンク２４を介して支持されたデータ信号側ベース２３を、メインベース２２との間で設定間隔に保って支持すると共に、ゲート信号側ベース２５を、データ信号側ベース２３との間で設定間隔に保って支持するように設定されている。これにより、データ信号側ベース２３に支持されたプローブブロック１２と、ゲート信号側ベース２５に支持されたプローブブロック１２とが、検査対象の液晶パネル５の各電極位置に整合するように、位置決め支持される。位置決め固定治具２７の寸法は、液晶パネル５の大きさによって異なり、図１、５のように液晶パネル５の寸法が大きい場合は、横棒の寸法（メインベース２２とデータ信号側ベース２３との間隔）が短く、縦棒の寸法が長く設定される。また、図６、７のように液晶パネル５の寸法が小さい場合は、横棒の寸法が長く、縦棒の寸法が短く設定される。位置決め固定治具２７の縦棒とゲート信号側ベース２５とは、ネジ(図示せず)等で固定される。

位置決め固定リンク２８は、データ信号側ベース２３を設定位置に位置決めして固定するための部材である。位置決め固定リンク２８は、平板棒状に形成されて、メインベース２２に複合クロスリンク２４を介して支持されたデータ信号側ベース２３を、メインベース２２との間で設定間隔に保って支持するように設定されている。この位置決め固定リンク２８は、位置決め固定治具２７の横棒部の寸法と同じ寸法に設定されて、位置決め固定治具２７と共に、メインベース２２とデータ信号側ベース２３との間を設定間隔に保って支持するようになっている。

位置決め固定リンク２８の寸法は、液晶パネル５の大きさによって異なり、図１、５のように液晶パネル５の寸法が大きい場合は短く、図６、７のように液晶パネル５の寸法が小さい場合は長く設定される。

プローブブロック用位置決め固定治具２９は、データ信号側ベース２３及びゲート信号側ベース２５にそれぞれ設けられた複数のプローブブロック１２を全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するための部材である。このプローブブロック用位置決め固定治具２９は、配設されるプローブブロック１２の個数に応じた長さに設定されている。

プローブブロック用位置決め固定治具２９は、図８〜１０に示すように、クリップ３６と、嵌合ピン３７と、連結板３８とから構成されている。

クリップ３６は、嵌合ピン３７に嵌合するための部材である。クリップ３６は、前記プローブブロック１２の上側面に設けられている。クリップ３６は、弾性を有する２枚の把持板部３６Ａを備えている。この把持板部３６Ａの内側面には嵌合ピン３７に嵌合する円弧状の凹部が形成されている。これにより、２枚の把持板部３６Ａで嵌合ピン３７を弾性的に挟むことで、互いに嵌合するようになっている。そして、嵌合ピン３７が２枚の把持板部３６Ａの間にその上側から押し込まれて互いに嵌合することで、プローブブロック１２が嵌合ピン３７の位置に位置決めされるようになっている。

嵌合ピン３７は、クリップ３６の２枚の把持板部３６Ａに嵌合するための部材である。嵌合ピン３７は円柱状に形成され、把持板部３６Ａの内側面の円弧状の凹部に整合するようになっている。嵌合ピン３７は、プローブブロック１２の配設数に応じた数だけ、各プローブブロック１２の設定位置に合わせて設けられる。

連結板３８は、複数の嵌合ピン３７をそれぞれの設定位置で一体的に支持するための部材である。連結板３８は、縦板部３８Ａと、横板部３８Ｂとから構成されている。嵌合ピン３７は、縦板部３８Ａに取り付けられて、水平方向に配設されている。横板部３８Ｂには、２つの位置決めピン孔３８Ｃと、２つのネジ穴３８Ｄがそれぞれ設けられている。また、データ信号側ベース２３及びゲート信号側ベース２５にも、位置決めピン孔３８Ｃ及びネジ穴３８Ｄに整合する位置にピン孔４０と、ネジ穴４１がそれぞれ設けられている。これにより、位置決めピン孔３８Ｃ及びピン孔４０に位置決めピン４２が挿入されて連結板３８が位置決めされ、ネジ穴３８Ｄ及びネジ穴４１に止めネジ４３がねじ込まれて、連結板３８がデータ信号側ベース２３及びゲート信号側ベース２５に位置決めして固定されるようになっている。

［動作］
以上のように構成された検査装置は、次のように動作する。

外部からパネルセット部２に液晶パネル５が挿入されると、パネルセット部２がその液晶パネル５を測定部３へ搬送する。測定部３では、パネルセット部２から渡された液晶パネル５をチャックトップ８で支持して試験する。

このとき、可動式プローブユニット２１に支持された各プローブブロック１２のプローブ針１３が液晶パネル５の各電極にそれぞれ接触して、試験が行われる。

一方、検査対象の液晶パネル５の寸法が変更された場合は、それに応じてプローブブロック１２の配設位置を調整する。

この場合はまず、位置決め固定治具２７、位置決め固定リンク２８及びプローブブロック用位置決め固定治具２９が液晶パネル５に応じたものに変更される。例えば、図１、５に示す大型の液晶パネル５から図６、７に示す小型の液晶パネル５に変更される場合は、位置決め固定治具２７と位置決め固定リンク２８を取り外して、横棒の寸法が長く、縦棒の寸法が短い位置決め固定治具２７と、位置決め固定治具２７の横棒と同じ寸法の位置決め固定リンク２８とに変更する。この場合、複合クロスリンク２４を縮めてデータ信号側ベース２３をメインベース２２から離して液晶パネル５側に近づけて、位置決め固定治具２７の横棒の寸法に合わせる。次いで、位置決め固定治具２７及び位置決め固定リンク２８を取り付けて固定する。

さらに、ゲート信号側ベース２５を位置決め固定治具２７の縦棒の寸法に合わせて移動し、ネジ等で互いに固定する。

また、プローブブロック１２は、液晶パネル５の電極に合わせた個数に変更される。ここでは、データ信号側ベース２３側を５個に、ゲート信号側ベース２５側を３個に変更する。この場合はまず、２つのプローブブロック用位置決め固定治具２９を取り外して、データ信号側ベース２３側のプローブブロック１２を３個、ゲート信号側ベース２５側のプローブブロック１２を１個取り外して、プローブブロック用位置決め固定治具２９を小型の液晶パネル５に合わせた寸法のものに変更する。

データ信号側ベース２３側のプローブブロック用位置決め固定治具２９の５つの嵌合ピン３７を５つのプローブブロック１２のクリップ３６にそれぞれ嵌合してプローブブロック１２を設定位置に合わせる。次いで、位置決めピン４２を連結板３８の位置決めピン孔３８Ｃとピン孔４０とに挿入してプローブブロック用位置決め固定治具２９をデータ信号側ベース２３に対して位置決めする。これにより、各プローブブロック１２が正確に位置決めされて支持される。この状態で、連結板３８のネジ穴３８Ｄ及びネジ穴４１に止めネジ４３を通して、プローブブロック用位置決め固定治具２９をデータ信号側ベース２３に固定する。

また、ゲート信号側ベース２５側のプローブブロック用位置決め固定治具２９の３つの嵌合ピン３７を３つのプローブブロック１２のクリップ３６にそれぞれ嵌合してプローブブロック１２を設定位置に合わせる。次いで、位置決めピン４２を連結板３８の位置決めピン孔３８Ｃとピン孔４０とに挿入してプローブブロック用位置決め固定治具２９をゲート信号側ベース２５に対して位置決めする。これにより、各プローブブロック１２が正確に位置決めされて支持される。この状態で、連結板３８のネジ穴３８Ｄ及びネジ穴４１に止めネジ４３を通して、プローブブロック用位置決め固定治具２９をゲート信号側ベース２５に固定する。

なお、位置決め固定治具２７及び位置決め固定リンク２８の取り替えと、プローブブロック用位置決め固定治具２９の取り替えは、いずれを先に行っても良い。

［効果］
以上のように、本実施形態の検査装置によれば、次のような効果を奏する。

可動式プローブユニット２１がプローブブロック１２を支持して、任意の位置にずらして位置決めし支持するため、プローブブロック１２を設定位置に容易に位置合わせすることができ、寸法の異なる液晶パネル５に合わせて、プローブ針１３の位置合わせを、短時間で容易に行うことができる。この結果、寸法の異なる液晶パネル５に対する調整作業の作業性が大幅に向上する。

複合クロスリンク２４でデータ信号側ベース２３を設定値にずらし、ゲート信号側ベース２５を各メインベース２２に対してスライドさせて設定値にずらし、位置決め固定治具２７で、データ信号側ベース２３及びゲート信号側ベース２５を設定位置にそれぞれ位置決めして固定し、プローブブロック用位置決め固定治具２９で、複数のプローブブロック１２を全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するため、プローブブロック１２を設定位置に容易に位置合わせすることができ、寸法の異なる液晶パネル５に合わせて、プローブ針１３の位置合わせを、短時間で容易に行うことができ、作業性が向上する。

位置決め固定リンク２８で、位置決め固定治具２７と共に、データ信号側ベース２３をメインベース２２に対して設定位置に位置決めして固定するため、データ信号側ベース２３がメインベース２２に対して複数箇所（本実施形態では２箇所）で支持されて、設定位置に位置決めして確実に支持することができる。

プローブブロック用位置決め固定治具２９の連結板３８の各嵌合ピン３７をプローブブロック１２のクリップ３６にそれぞれ嵌合して、各プローブブロック１２をそれぞれ設定位置で一体的に支持するため、各プローブブロック１２を個別に位置決めする必要がなくなり、各プローブブロック１２の位置決め作業性が大幅に向上する。

さらに、可動式プローブユニット２１を設けることで、液晶パネル５のサイズの違いに対して１つの可動式プローブユニット２１で対応することができ、液晶パネル５のサイズごとに、個別のプローブユニットを設計・製造する必要が無くなる。この結果、大幅なコスト低減を図ることができる。

［変形例］
前記実施形態では、ゲート信号側ベース２５の両端部に長板２５Ａ及び長孔２５Ｂを設けて、ゲート信号側ベース２５をスライド可能に設けたが、図１１〜１４に示すように、ゲート信号側ベース２５の両端部に長板４５のみを設けて、連結ピン２４Ｃに回転可能に連結してもよい。これにより、ゲート信号側ベース２５は、複合クロスリンク２４の伸縮に連動してデータ信号側ベース２３の長手方向にスライドする。この場合、ゲート信号側ベース２５は、複合クロスリンク２４に連動して一義的にスライドするため、異なるサイズの液晶パネル５のデータ信号側ベース２３側に寸法及びゲート信号側ベース２５側の寸法に変化に応じてゲート信号側ベース２５がスライドするように、複合クロスリンク２４の各板状棒材２４Ａの寸法を設定する。これにより、データ信号側ベース２３のプローブブロック１２を液晶パネル５に合わせて移動させると、複合クロスリンク２４の伸縮によって、データ信号側ベース２３に連動してゲート信号側ベース２５が移動し、液晶パネル５の電極に整合する。この場合、位置決め固定治具２７は設けても設けなくてもよい。

前記実施形態では、プローブブロック用位置決め固定治具２９では、プローブブロック１２にクリップ３６を設け、連結板３８側に嵌合ピン３７を設けたが、これと逆にプローブブロック１２に嵌合ピン３７を設け、連結板３８側にクリップ３６を設けてもよい。この場合も、前記実施形態と同様の作用、効果を奏する。

また、前記実施形態では、検査対象板として液晶パネル５を例に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。例えば、液晶パネル５や液晶セル（基板の周囲にのみ電極が存在）のみならず、液晶アレイ（基板の周囲以外にも電極が存在）にも適用することができる。

さらに、前記実施形態では、従来後術と同じ液晶パネル５の点灯検査を行う検査装置１に可動式プローブユニット２１を組み込んだ場合を例に説明したが、この可動式プローブユニット２１が組み込まれる検査装置１は前記実施形態の構成に限るものではない。前記構成の可動式プローブユニット２１を備えた検査装置１であればよく、この検査装置１としては種々のものを用いることができる。

また、前記実施形態では、接触子としてプローブ針１３を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、ブレードやバンプ、ポゴピン等であってもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。

本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを示す斜視図である。 従来の検査装置を示す正面図及び側面図である。 従来の検査装置のプローブユニットを示す正面図である。 従来の検査装置のプローブブロックの支持枠体を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを示す正面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを小さい寸法の液晶パネルに合わせた状態を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを小さい寸法の液晶パネルに合わせた状態を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブブロック用位置決め固定治具をその下側から示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブブロック用位置決め固定治具をその上側から示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のデータ信号側ベース側のプローブブロック用位置決め固定治具及びゲート信号側ベース側のプローブブロック用位置決め固定治具を示す側面図である。 本発明の変形例に係る検査装置の可動式プローブユニットを示す斜視図である。 本発明の変形例に係る検査装置の可動式プローブユニットを示す正面図である。 本発明の変形例に係る検査装置の可動式プローブユニットを小さい寸法の液晶パネルに合わせた状態を示す斜視図である。 本発明の変形例に係る検査装置の可動式プローブユニットを小さい寸法の液晶パネルに合わせた状態を示す平面図である。

符号の説明

１：検査装置、２：パネルセット部、３：測定部、５：液晶パネル、２１：可動式プローブユニット、２２：メインベース、２２Ａ：長孔、２３：データ信号側ベース、２３Ａ：長孔、２４：複合クロスリンク、２４Ａ：板状棒材、２４Ｂ、２４Ｃ：連結ピン、２５：ゲート信号側ベース、２５Ａ：長板、２５Ｂ：長孔、２６：リニアガイド、２６Ａ：嵌合溝、２７：位置決め固定治具、２８：位置決め固定リンク、２９：プローブブロック用位置決め固定治具、３１：固定ねじ、３４：スライダー、３６：クリップ、３６Ａ：把持板部、３７：嵌合ピン、３８：連結板、３８Ａ：縦板部、３８Ｂ：横板部、３８Ｃ：位置決めピン孔、３８Ｄ：ネジ穴、４０：ピン孔、４１：ネジ穴、４２：位置決めピン、４３：止めネジ。

Claims (6)

1. 検査対象板に接触させる接触子を備えたプローブブロックを支持する可動式プローブユニットであって、
   前記検査対象板の両側位置にそれぞれ配設されて全体を支持するメインベースと、
   前記プローブブロックを支持するデータ信号側ベースと、
   前記メインベースに支持された状態で前記データ信号側ベースを任意の位置で支持する複合クロスリンクと、
   前記データ信号側ベースと直交方向に配設されて２つの前記メインベースにスライド可能に支持された状態で前記プローブブロックを支持するゲート信号側ベースと、
   当該ゲート信号側ベース及び前記データ信号側ベースにそれぞれ設けられて前記プローブブロックをスライド可能に支持するリニアガイドと、
   前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する位置決め固定治具と、
   複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するプローブブロック用位置決め固定治具とを備えて構成されて、
   前記プローブブロックを任意の位置に位置決めして支持することを特徴とする可動式プローブユニット。
2. 請求項１に記載の可動式プローブユニットにおいて、
   前記データ信号側ベースを設定位置に位置決めして固定する位置決め固定リンクを備えたことを特徴とする可動式プローブユニット。
3. 請求項１又は２に記載の可動式プローブユニットにおいて、
   前記プローブブロック用位置決め固定治具が、前記プローブブロックに設けられたクリップ又は嵌合ピンに嵌合する複数の嵌合ピン又はクリップと、各嵌合ピン又はクリップを設定位置で一体的に支持する連結板とを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
4. 検査対象板にプローブブロックの接触子を接触させて試験を行う検査装置であって、
   前記プローブブロックを任意の位置に位置決めして支持する可動式プローブユニットを備え、
   前記可動式プローブユニットが、
   前記検査対象板の両側位置にそれぞれ配設されて全体を支持するメインベースと、
   前記プローブブロックを支持するデータ信号側ベースと、
   前記メインベースに支持された状態で前記データ信号側ベースを任意の位置で支持する複合クロスリンクと、
   前記データ信号側ベースと直交方向に配設されて２つの前記メインベースにスライド可能に支持された状態で前記プローブブロックを支持するゲート信号側ベースと、
   当該ゲート信号側ベース及び前記データ信号側ベースにそれぞれ設けられて前記プローブブロックをスライド可能に支持するリニアガイドと、
   前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する位置決め固定治具と、
   複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するプローブブロック用位置決め固定治具と
   を備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
5. 請求項４に記載の検査装置において、
   前記データ信号側ベースを設定位置に位置決めして固定する位置決め固定リンクを備えたことを特徴とする検査装置。
6. 請求項４又は５に記載の検査装置において、
   前記プローブブロック用位置決め固定治具が、前記プローブブロックに設けられたクリップ又は嵌合ピンに嵌合する複数の嵌合ピン又はクリップと、各嵌合ピン又はクリップを設定位置で一体的に支持する連結板とを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。

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