JP3497643B2 - Sawフィルタ - Google Patents

Sawフィルタ

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JP3497643B2
JP3497643B2 JP33632795A JP33632795A JP3497643B2 JP 3497643 B2 JP3497643 B2 JP 3497643B2 JP 33632795 A JP33632795 A JP 33632795A JP 33632795 A JP33632795 A JP 33632795A JP 3497643 B2 JP3497643 B2 JP 3497643B2
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    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433Coupled resonator filters
    • H03H9/6483Ladder SAW filters

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  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波(SA
W)フィルタに関し、特に、移動通信用のSAWフィル
タに関する。
【0002】
【従来の技術】SAW技術は、電子及びRF技術におい
て多数の用途があるとが分かっている。SAWの波長
は、一般に、対応する周波数を有する電磁波よりも10
倍も短いことから、SAW技術は、小型化が重要又は
所望される場合に特に用いられる。このような用途の1
つは、無線電話機にSAWフィルタを使用することであ
り、典型的に小型で軽量のSAWフィルタは、セラミッ
クフィルタ、誘電体フィルタ、及び静磁波を用いたフィ
ルタのような従来の技術よりも非常に効果的である。一
般に、このようなSAWフィルタは、挿入損失が小さ
く、典型的に、挿入損失がRF用途で1〜5dBである
ことが必要であるが、IFフィルタの場合には、5〜1
3dBの若干高い挿入損失を受け入れることができる。
更に、SAWフィルタは、阻止域において良好な形状フ
ァクタ及び高い抑圧レベルを有することが望ましい。通
常、阻止域の抑圧レベルは、30〜40dBより良好で
なければならない。また、2ワットまでの電力取扱容量
も所望される。
【0003】従来のSAWフィルタの典型例は、SAW
エネルギが2つの離間されたすだれ状電極(IDT)間
で伝搬されるようなSAWフィルタである。このIDT
は、2組の等離間された金属ストリップ(電極指)を備
え、これらは圧電基板の表面に形成される。各組の電極
指は、通常はバスバーにより互いに電気的接続され、そ
して互いに他の組の電極指と差し挟まれる(指を組むよ
うにされる)。この構成は、電極指の組間に高周波数電
気信号を印加したときに各電極指を横切る両方の方向に
SAWを発生することができると共に、SAWが電極指
に入射するときに電圧を発生することもできる。これら
のプロセスは、SAWの周波数が次のようであるとき、
すなわち各組の電極指の周期性がSAW波長に近いか又
は同じであるか或いはこの周波数の何倍かであるときに
最も効率がよい。IDTの最も簡単な形態においては、
1組の電極指の隣接する電極指間の間隔が1SAW波長
であり、すなわち各組の電極において周期当たり1電極
指である。したがって、2組の電極指を考慮すると、周
期当たり2つの電極指となる。このような構成に対する
公知技術での従来の表現は、「周期当たり2電極」又は
「波長当たり2電極」である。しかしながら、SAW波
長(周期)当たり2つ以上の電極指をもつこともでき
る。
【0004】IDT及び/又はグレーティング反射器の
ようなSAW素子を構成する弾性表面波のための特定の
経路は、トラック又は音響チャンネルとして知られてい
る。
【0005】上述の挿入損失及び阻止域での抑圧を有す
る既知のSAWフィルタは、一般に、2つの形式の一方
である。
【0006】第1の形式は、2ポート共振子構造のため
の図1に概略的に示した結合共振子形フィルタ(CR
F)であり、これは、例えば、1993年のIEEE
Trans.on UFFC、第40巻、第5号、第4
38〜452ページに掲載された「民生用の通信用途に
おけるSAW素子(SAW devices for consumer communi
cation application)」に説明されている。このCRF
は、一般に、小型であるが、高い電力レベルでは動作す
ることができず、且つ通過帯域が比較的狭い。また、C
RFは、比較的損失が大きく、これは、電極の抵抗率、
バルク波の発生、及び他の要素によって決定される。
【0007】電極の抵抗率は重要である。というのは、
CRFは、多数の電極が存在するインピーダンス素子型
のフィルタに比して、比較的少数の長い電極をそれらの
トランスジューサに有しているからである。電極の抵抗
は、並列に接続されるので、多数の電極を有する素子に
比して全抵抗値が大きいほど、小さくなる。
【0008】図1に示すCRFの2ポート形共振子構造
は、各バスバー108、110、112、114に接続
された電極指104で構成された2つの共振子102を
備えている。バスバー110、112は接地される。グ
レーティング反射器106は、構造体の両端及び2つの
共振子、すなわちトランスジューサ102間に配置され
ている。トランスジューサの交差幅、すなわちアパーチ
ャはWであり、電極の周期はp1である。
【0009】第2の形式は、梯子形フィルタであり、1
989年のIEEE Trans.on UFFC、第
36巻、第5号、第531〜539号に掲載された「新
たな周波数割当てをもつ800MHzセルラ無線ポータ
ブル電話機のためのSAW一体化モジュール(SAW inte
grated modules for 800MHz cellular radio portable
telephones with new frequency allocations)」、1
993年のIEEEウルトラソニック・シンポジウムの
第15〜24ページに掲載された「梯子形SAW共振子
結合フィルタのための設計方法論及び合成技術(Design
methodology and synthetis techniques for ladder-t
ype SAW resonator coupled filters)」、1992年
のIEEEウルトラソニックProc、第111〜11
4ページに掲載された「ハンドヘルド電話機用のSAW
フィルタを用いた小型アンテナデュープレクサの開発
(Development of small antenna duplexer using SAW
filters for handheld phones)」、ヨーロッパ特許出
願0541284A1号、1994年のIEEEフリケ
ンシー・コントロール・シンポジウムProcの第37
4−378ページに掲載された「インピーダンス素子S
AWフィルタ(Impedance element SAW filters)」、
出版予定の1994年のIEEEウルトラソニックPr
oc.に掲載された「平衡ブリッジSAWインピーダン
ス素子フィルタ(Balanced bridge SAW impedance elem
ent filters)」、及び1988年6月のIEEE M
TT、第36巻、第6号に掲載された「セルラ無線シス
テムに使用される800MHzポータブル電話機用の小
型SAWアンテナデュープレクサ(Miniature SAW Ante
nna Duplexer for 800MHz Portable Telephone Used in
Cellular Radio Systems)」と題する論文に説明され
ている。梯子形インピーダンス素子フィルタの等価回路
が図2に示されており、1、2は、共振素子である。
【0010】既知のフィルタは、SAW共振子120と
して知られた形式の電気的にカスケード接続されたSA
W素子を使用しており、その1つの形式が図3に概略的
に示されている。典型的な梯子形構造の等価回路が図4
に示されている。既知のフィルタについて説明された実
際の構造においては、多数の電極をもつが、グレーティ
ング反射器をもたないSAW共振子が使用されている。
この構成において、SAW共振子120は、実質的に互
いに音響的に独立しており、概念的には電気的なインピ
ーダンス素子としてモデリングされ使用されている。S
AW共振子120をインピーダンス素子としてモデリン
グしそして使用することができる理由は、SAW共振子
120のようなSAW素子は、その電気的インピーダン
スが、SAW共振子120の電極指104とSAWの機
械的な振動との電気−音響相互作用によって一部左右さ
れるからである。SAW素子の中心周波数(すなわち、
隣接電極指の間隔がλ/2であるような周波数)近傍で
は、アドミッタンスが大きく変化し、最大の電気的アド
ミッタンス及び最小の電気的アドミッタンスが得られ
る。明らかに、最大及び最小の電気的アドミッタンス
は、同じ周波数ではなく、中心周波数の近傍又はそれに
近いものである。これらは、各々、SAW素子の電気的
共振及び***振周波数である。電気的インピーダンスの
大きな変化が所望されるときには、電気−音響相互作用
が高くなければならない。したがって、多数の電極指対
をもつSAW素子が使用される。多数の電極対をもつト
ランスジューサ124の両端に反射器106を有する従
来のSAW共振子120を使用することもできるし、又
は多数の電極指対のみを有するトランスジューサを使用
することもできる。既知のフィルタのSAW共振子12
0は、主として集中インピーダンスとして使用されるの
で、それらをSAWインピーダンス素子と称するのが便
利である。SAWインピーダンス素子という用語は、以
下、電気的なインピーダンス特性の少なくとも一部分に
使用されるSAW素子(IDT、SAW共振子又は他の
もの)を参照するときに使用される。
【0011】上述においては、図4に示すように、個々
のSAW共振子120を、カスケード接続の集中インピ
ーダンス素子として接続することができ、SAW共振子
120のポートと接地点との間にキャパシタンスC(静
電容量CST)が並列接続される。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】一般に、インピーダン
ス素子フィルタは、CRFよりも通過帯域が広く且つ損
失が低いが、全ての素子が通常は異なる音響チャンネル
に位置されるので、フィルタ構造体によって占有される
領域が大きなものとなる。これは、小型化に適しておら
ず、このような装置の有用性を低減する。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、第1の
共振周波数を有する第1のすだれ状電極と、第2の共振
周波数を有する第2のすだれ状電極とを備え、第1のす
だれ状電極の音響ポートが第2のすだれ状電極の音響ポ
ートに直面して配置され、第1のすだれ状電極の第1の
電気端子が第2のすだれ状電極の第1の電気端子に電気
的に接続された弾性表面波フィルタが提供される。
【0014】これは、フィルタが折り曲げられるように
フィルタの各すだれ状電極を互いに接近して配置でき、
これにより、フィルタにより占有される領域を減少でき
るという点で効果的である。更に、第1のすだれ状電極
と第2のすだれ状電極間には音響的統合の予期しない意
外な相乗効果があって、フィルタの挿入損失を改善す
る。特に、各音響ポートは同一直線上にあってもよい。
【0015】好ましい実施形態において、第1の共振周
波数は、第2のすだれ状電極の***振周波数に実質的に
対応する。したがって、第1のすだれ状電極の共振周波
数の信号は、第1のすだれ状電極を経て結合され、第2
のすだれ状電極を経て結合されるのが禁止され、これに
より、フィルタが形成される。
【0016】好ましくは、第1のすだれ状電極の***振
周波数は、第1の共振周波数よりも高い周波数にあり、
そして第2の共振周波数は、第1の共振周波数よりも低
い周波数にあり、これにより、急激なスカート部を有す
る帯域通過フィルタが形成される。
【0017】第1の共振周波数は、略フィルタを支持す
る基板のΔV/Vパラメータの量だけ第2の共振周波数
から離れているのが適当である。これは、フィルタの通
過帯域を定める。
【0018】通常、第1のすだれ状電極の第1の電気端
子と第2のすだれ状電極の第1の電気端子は、共通のバ
スバーを介して電気的に接続され、そして第2のすだれ
状電極の第2の電気端子は、接地される。
【0019】第1のすだれ状電極の第1及び第2の電気
端子は、各々、弾性表面波フィルタの入力又は出力を形
成し、これは、接続された電気端子又は独立した電気端
子において入力及び出力ポートを選択できるように各す
だれ状電極の向きを変更できるという効果を有する。
【0020】第1のすだれ状電極は、第1の共振周波数
を形成する第1の周期性を有する電極を備え、そして第
2のすだれ状電極は、第2の共振周波数を形成する第2
の周期性を有する電極を備え、これは、各すだれ状電極
の共振周波数を決定する便利な方法である。共振周波数
を変化する他の方法を用いることもできるし、電極の周
期性を変えることと組み合わせることもできる。
【0021】第1及び第2のすだれ状電極の少なくとも
一方は、他方のすだれ状電極から離れた端にグレーティ
ング反射器を備えている。これは、すだれ状電極の端か
らのSAW損失を減少し、ひいては、挿入損失を減少す
る。すだれ状電極は、スペーサ、グレーティング反射器
又は音響アブソーバによって分離されてもよい。これ
は、音響結合の量を変更したり又は完全に停止すること
もできるようにする。
【0022】すだれ状電極の電極及び/又はグレーティ
ング反射器は、金属で作ることができ、これは、電極の
反射率を改善する。
【0023】個々のフィルタをカスケード接続して複合
フィルタを構成することができ、幾つかの又は全ての個
々のフィルタが第2のすだれ状電極の第2の電気端子を
接地させることができる。
【0024】本発明によるフィルタは、弾性表面波の使
用に限定されるものではなく、漏洩弾性表面波、表面横
波、導波モード又は他の変更された表面の弾性波、及び
擬似弾性表面波も使用できる。
【0025】フィルタをカスケード接続してバランス形
入力/出力機構を形成することもできる。これは、通信
装置におけるバランス形ミクサに特に有用なバランス形
入力及び出力を設計できるという効果を有する。
【0026】複合フィルタにおいて、すだれ状電極又は
グレーティング反射器の少なくとも1つの電極は、音響
チャンネルの異なる側に配置されたバスバーを電気的に
接続する。これは、コンパクトなトポロジカルレイアウ
トを維持しながらバスバーを接続する便利な方法であ
る。
【0027】フィルタは、梯子形フィルタと同様に機能
する。通過帯域の周波数レンジにおいて、入力に印加さ
れる電圧は、略完全に出力に転送される。というのは、
第1のすだれ状電極の共振において、第1のすだれ状電
極のインピーダンスが低く、したがって、入力が実際上
出力に直結されるからである。しかしながら、この共振
周波数においては、第2のすだれ状電極は、高いインピ
ーダンスを有し、出力への信号の転送に著しく影響す
る。第1のすだれ状電極からの音響エネルギの一部分は
第2のすだれ状電極へ通過し、フィルタの損失を減少す
る。フィルタは、チャンネル間のスペーサSを略1SA
W波長にできるので、横方向(略2倍小さい)及び長手
方向において小さなサイズを有する。
【0028】本発明によるフィルタは、CRF及びIE
Fの両方の幾つかの特徴を組み合わせている。本発明の
実施形態によれば、すだれ状電極からなるトランスジュ
ーサの電気的及び音響の両方の結合が使用される。
【0029】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照し、本発明
の実施形態を一例として説明する。図5は、2つのすだ
れ状電極202、204が同じ音響チャンネル206に
配置されて音響的に相互作用する本発明の実施形態を示
している。すだれ状電極の交差幅、すなわちアパーチャ
は等しくできるが、必ずしもそうでなくてもよい。すだ
れ状電極202、204は、バスバー208によって電
気的に接続されている。第1のすだれ状電極202は、
フィルタの第1及び第2の端子t1、t2に接続され、
第2のすだれ状電極204は、フィルタの第2の端子t
2に接続されていると共に、接地することのできる第3
の端子t3にも接続されている。第1及び第2のすだれ
状電極202、204は、各々異なる共振周波数f
R,s、fR,pを有し、これらは例えば電極構造体の
周期p1、p2を異なるようにすることにより達成でき
る。図6は、入力と出力が交換された以外は同じフィル
タを示している。
【0030】図7及び8は、図5及び6に示すフィルタ
の回路図である。
【0031】高周波信号のソースが図5乃至8に示すフ
ィルタの入力に接続され、そしてその出力に負荷が接続
されたときには、両すだれ状電極202、204に弾性
表面波(SAW)が発生される。図9に示すように、共
振周波数fR,sにおいては、第1のすだれ状電極から
なるトランスジューサ202のアドミッタンス/インピ
ーダンスが高/低であり、したがって、入力に印加され
る電圧の僅かな部分だけがトランスジューサの端子に現
れる。入力電圧の主たる部分は、負荷へ送られると共
に、負荷に並列に接続された第2のすだれ状電極からな
るトランスジューサ204にも供給される。第2のトラ
ンスジューサ204は、共振周波数fR,sにおいて反
共振周波数faR,Pを有し、faR,P≒fR,s
なるようにされる。したがって、第2のトランスジュー
サ204に流れる電流は非常に小さく、入力からの電流
は実質的に完全に負荷に供給される。したがって、入力
信号のエネルギの主たる部分が負荷に転送され、これ
は、共振周波数fRsに対応する通過帯域において挿入
損失が低いことを意味する。それより高い周波数におい
ては、第1のトランスジューサ202の***振f
aR,Sが生じ、第1のトランスジューサ202には実
質的に電流が流れない。これは、通過帯域の右側、すな
わち高い方の周波数を制限するノッチを形成する。第2
のトランスジューサ204の共振周波数fR,Pは、f
R,Sより低い周波数において生じ、フィルタ特性に左
側、すなわち低い周波数のノッチを形成する。このよう
に、通過帯域特性が形成される。阻止域においては、入
力電圧がトランスジューサ202、204の静電容量間
に分担され、出力信号は、静電容量の比で決定されたレ
ベルに減衰される。
【0032】典型的に、特に梯子形フィルタにおけるト
ランスジューサは、異なる(殆どの場合に並列の)音響
チャンネルに配置され、これは、フィルタの物理的なサ
イズを大きなものにする。本発明によれば、少なくとも
2つのトランスジューサが同じ音響チャンネルに配置さ
れる。これはフィルタの巾を略1/2に減少する。ま
た、2つのトランスジューサを互いに接近して配置する
ことによりフィルタの長さも減少される。図5及び6に
示す特定のケースにおいては、各トランスジューサ20
2、204間に略1つの音響波長という非常に小さな間
隔があり、1つのトランスジューサの電極構造体を別の
トランスジューサによって連続的に延長することができ
る。
【0033】図25、26は、図5に示すフィルタの性
能を、トランスジューサ202、204間に音響相互作
用がある場合とない場合について示している。フィルタ
は、64−LiNbOの基板を有し、各トランスジュ
ーサは、300個の電極と、周期p1=2.4μm、p
2=2.52μm及び約10波長のアパーチャとを有し
ている。音響相互作用がない場合のフィルタ特性が曲線
1401で示されており、そして音響相互作用がある場
合が曲線1402で示されている。図28の詳細である
図26から明らかなように、音響相互作用は、阻止域の
性能にほとんど影響を与えず、挿入損失を若干改善する
だけである。
【0034】図27、28は、上述と同じ形式のフィル
タ段を4つのカスケード接続されたフィルタの特性を示
している。音響相互作用がない場合のフィルタ特性が曲
線1501で示されており、そして音響相互作用がある
場合が曲線1502で示されている。同じ振る舞いが観
察され、すなわち図27の詳細である図28に示された
ように、音響相互接続がない場合に比して、性能は阻止
域において同一でありそして通過帯域において若干良好
である(0.2dBの改善)。上述したように、破線
は、音響相互作用をもつ周波数特性を示し、実線は、音
響相互作用をもたない状態を示す。
【0035】図5乃至8に示したものよりも複雑な構造
体であって、フィルタの設計の融通性を改善するために
グレーティング反射器、2つ以上のすだれ状電極及び大
きなスペーサを含む構造体を導出することができる。図
10乃至14は、幾つかの考えられる設計を示している
が、当業者には更に多くの可能性が明らかであろう。
【0036】図10は、2つの第2のすだれ状電極20
4間に実質的に対称的に配置された第1のすだれ状電極
202を示している。第2のすだれ状電極204の電気
出力端子は接地されている。図11においては、図10
の逆の実施形態が示されている。図12は、すだれ状電
極202、204の外端にグレーティング反射器210
が配置されたフィルタの実施形態を示している。グレー
ティング反射器210は、すだれ状電極202、204
の端からのSAWエネルギのSAW損失を禁止し、した
がって、フィルタの挿入損失が減少される。図13にお
いて、中央のグレーティング反射器210は、2つのす
だれ状電極202、204の間の音響結合を禁止するよ
うに働く。音響結合が禁止される量は、グレーティング
反射器の反射率を増加又は減少し、例えば、電極の数又
はグレーティング反射器の個々の電極の反射率を増加又
は減少することにより変更することができる。したがっ
て、音響結合の量を制御することができる。図14にお
いて、音響アブソーバ214が2つの隣接する同一直線
上のすだれ状電極204とすだれ状電極212との間に
配置され、それらを互いに実質的に音響的に分離する。
【0037】典型的に、SAWフィルタは、それらが通
常搭載されるパッケージのピンにワイヤにより接続さ
れ、そしてあるインダクタンスがボンディングワイヤの
長さに基づいてフィルタの端子に直列に導入される。こ
れらのインダクタンスは、挿入損失及びフィルタの通過
帯域の増加に関する限り有用である。というのは、フィ
ルタの整合を助けると共に、インピーダンス素子のイン
ピーダンスを便利に変更できるからである。図15は、
インダクタンス216がフィルタの端子の少なくとも1
つと直列に接続される場合を概略的に示している。ボン
ディングワイヤのインダクタンスの値が充分でない場合
には、集中インダクタンスに置き換えることもできる
し、又は基板又はパッケージに配置されたインダクタン
スに置き換えることもできる。このようなインダクタン
スの組合せも使用できる。
【0038】既に述べたように、受け入れられる阻止域
の抑圧レベルを達成するために、個々のフィルタを異な
る仕方で接続することができる。1つの方法は、図16
に概略的に示すように、それらを、共通の接地として使
用する端子の1つによって、単にカスケード接続するこ
とである。4つのフィルタを一緒にカスケード接続した
この場合の周波数特性が図27、28に示されている。
【0039】フィルタは、図17に示すように異なる方
法でカスケード接続して、バランス形入力/出力のため
の回路網を形成することができる。このようなフィルタ
段も所望の特性を得るようにカスケード接続することが
できる。
【0040】図5及び6に示されたフィルタのカスケー
ド接続は、各すだれ状電極202、204の間の共通の
バスバー208を用いて行うことができる。3段及び4
段のフィルタに対するこのようなレイアウトの例が図1
9及び20に概略的に示されている。図20は、入力及
び出力が非対称的に配置されて、それらの間の距離を増
加すると共に、直接的な電磁フィードスルーを減少する
場合を示している。図21は、図5に示された形式の簡
単なカスケード接続フィルタを示している。
【0041】図22乃至23は、2つのフィルタ段をカ
スケード接続するためのコンパクトなレイアウトを有す
る別の実施形態を示しており、すだれ状電極204の電
極207は、音響チャンネル206の異なる側に配置さ
れたバスバーを電気的に接続するために使用される。任
意であるが、複数の電極又はグレーティング反射器の電
極を用いて、音響チャンネルの両側でバスバーを電気的
に接続することができる。
【0042】図23は、図22に示した実施形態に対応
する等価集中素子回路である。
【0043】殆どの場合、フィルタは整合を必要としな
い。しかしながら、ある場合には、フィルタの通過帯域
を増加し及び/又は損失を減少するために整合を使用す
ることができる。フィルタの通過帯域は、基板のΔV/
Vによって実質的に決定され、そして特にクオーツのよ
うな弱い圧電材料に対して制限される。このような場合
に、フィルタの通過帯域の帯域幅を増加するためには、
カスケード接続されたフィルタ段及び/又は入力/出力
の間に直列又は並列のインダクタンス(又は一般的には
整合回路)を導入するのが有用である。このような実施
形態が図24に示されている。
【0044】上述した説明に鑑み、当業者であれば、本
発明の範囲内で種々の変更がなされ得ることが明らかで
あろう。例えば、音響ポートは、インラインである必要
がなく、オフセットであってもよい。
【0045】以上、添付図面を参照して本発明を詳細に
説明したが、本発明は、これに限定されるものではな
く、本発明は、特許請求の範囲のみによって限定される
ものとする。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の結合共振子形フィルタ及び梯子形インピ
ーダンス素子フィルタを示す図である。
【図2】従来の結合共振器子形フィルタ及び梯子形イン
ピーダンス素子フィルタを示す図である。
【図3】従来の1ポート共振子を示す図である。
【図4】「セルラ無線システムに使用される800MH
zポータブル電話機のための小型SAWアンテナデュー
プレクサ(Miniature SAW Antenna Duplexer for 800MH
z Portable Telephone Used in Cellular Radio Syste
m)」に記載された構造の等価回路図である。
【図5】本発明による第1の実施形態を示す図である。
【図6】本発明による第2の実施形態を示す図である。
【図7】図5に示す実施形態の回路図である。
【図8】図6に示す実施形態の回路図である。
【図9】図5及び6に示された装置のインピーダンス対
周波数及び挿入損失対周波数を示す図である。
【図10】3つのトランスジューサを備えたフィルタの
第3の実施形態を示す図である。
【図11】3つのトランスジューサを備えたフィルタの
第4の実施形態を示す図である。
【図12】図5乃至8の第1及び第2の実施形態と同様
であるが、トランスジューサの外側に付加的な反射器を
有する第5の実施形態を示す図である。
【図13】トランスジューサ間に配置されたグレーティ
ング反射器を有するフィルタの図である。
【図14】音響アブソーバにより分離された2つのトラ
ンスジューサを有するフィルタを示す図である。
【図15】トランスジューサの端子の1つがインダクタ
ンスと直列に接続されたフィルタを示す図である。
【図16】カスケード接続されたフィルタの回路図であ
る。
【図17】バランス形回路網の実施形態を示す回路図で
ある。
【図18】バランス形回路網の第2の実施形態を示す回
路図である。
【図19】トランスジューサを隣接段に電気的に接続す
るための共通のバスバーを有する3段のフィルタを示す
図である。
【図20】トランスジューサを隣接段に電気的に接続す
るための共通のバスバーを有する4段のフィルタを示す
図である。
【図21】図5乃至8に示すフィルタより成るカスケー
ドフィルタを示す図である。
【図22】本発明の更に別の実施形態を示す図である。
【図23】本発明の更に別の実施形態を示す図である。
【図24】各フィルタ段間に整合回路を有する2段のフ
ィルタを示す図である。
【図25】図5に示す本発明の第1の実施形態の周波数
特性を示す図である。
【図26】図5に示す本発明の第1の実施形態の周波数
特性を示す図である。
【図27】図25の結果を達成するのに用いるものと実
質的に同一の4段より成るフィルタの周波数特性を示す
図である。
【図28】図26の結果を達成するのに用いるものと実
質的に同一の4段より成るフィルタの周波数特性を示す
図である。
【符号の説明】
202、204 すだれ状電極、206 音響チャンネ
ル、207 電極、208 バスバー、214 音響ア
ブソーバ、216 インダクタンス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−154200(JP,A) 特開 平3−190411(JP,A) 特開 平3−201613(JP,A) 米国特許5499003(US,A) S.C−C. Tseng,G.W. Lynch,SAW PLANAR N ETWORK,Proceedings of the 1974 IEEE UL TRASONICS SYMPOSIU M,1974年,p.282−285 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/64 H03H 9/145

Claims (18)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の共振周波数を有する第1のすだれ
    状電極と、 第2の共振周波数を有する第2のすだれ状電極とを備
    え、 上記第1のすだれ状電極の音響ポートは、上記第2のす
    だれ状電極の音響ポートに直面して配置され、上記第1
    のすだれ状電極の第1の電気端子と上記第2のすだれ状
    電極の第1の電気端子は、共通のバスバーを介して電気
    的に接続され、上記第1のすだれ状電極と上記第2のす
    だれ状電極は、スペーサによって分離されていることを
    特徴とする弾性表面波フィルタ。
  2. 【請求項2】 上記第1のすだれ状電極の音響ポート
    は、上記第2のすだれ状電極の音響ポートと実質的に同
    一直線上にあることを特徴とする請求項1に記載の弾性
    表面波フィルタ。
  3. 【請求項3】 上記第1のすだれ状電極の第1の共振周
    波数は、上記第2のすだれ状電極の***振周波数に実質
    的に一致していることを特徴とする請求項1又は2に記
    載の弾性表面波フィルタ。
  4. 【請求項4】 上記第1のすだれ状電極の***振周波数
    は、該第1のすだれ状電極の第1の共振周波数よりも高
    い周波数にあり、上記第2のすだれ状電極の第2の共振
    周波数は、上記第1のすだれ状電極の第1の共振周波数
    よりも低い周波数にあることを特徴とする請求項3に記
    載の弾性表面波フィルタ。
  5. 【請求項5】 上記第1のすだれ状電極の第1の共振周
    波数は、当該弾性表面波フィルタを支持する基板の略Δ
    V/Vパラメータの量だけ上記第2のすだれ状電極の第
    2の共振周波数から離れていることを特徴とする請求項
    1乃至4のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
  6. 【請求項6】 上記第1のすだれ状電極の第1及び第2
    の電気端子は、当該弾性表面波フィルタの入力又は出力
    を各々形成することを特徴とする請求項1乃至5のいず
    れか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
  7. 【請求項7】 上記第2のすだれ状電極の第2の電気端
    子は接地されていること特徴とする請求項1乃至6のい
    ずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
  8. 【請求項8】 上記第1のすだれ状電極は、上記第1の
    共振周波数を形成するための第1の周期性を有する電極
    を備え、上記第2のすだれ状電極は、上記第2の共振周
    波数を形成するための第2の周期性を有する電極を備え
    ていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項
    に記載の弾性表面波フィルタ。
  9. 【請求項9】 上記第1のすだれ状電極と上記第2のす
    だれ状電極の少なくとも一方は、他方のすだれ状電極か
    ら離れた端に、グレーティング反射器を備えていること
    を特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の弾
    性表面波フィルタ。
  10. 【請求項10】 上記第1のすだれ状電極と上記第2の
    すだれ状電極は、グレーティング反射器によって分離さ
    れていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1
    項に記載の弾性表面波フィルタ。
  11. 【請求項11】 上記第1のすだれ状電極と上記第2の
    すだれ状電極は、音響アブソーバによって分離されてい
    ることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に
    記載の弾性表面波フィルタ。
  12. 【請求項12】 上記すだれ状電極及び/又は上記グレ
    ーティング反射器は、金属で作られていることを特徴と
    する請求項1乃至13のいずれか1項に記載の弾性表面
    波フィルタ。
  13. 【請求項13】 上記第1及び第2のすだれ状電極の共
    通のバスバーは、上記第1及び第2のすだれ状電極の電
    極とは異なる厚みの金属であることを特徴とする請求項
    1乃至12のいずれか1項に記載の弾性表面波フィル
    タ。
  14. 【請求項14】 上記第1及び第2のすだれ状電極の電
    気端子の少なくとも1つは、インダクタンスと直列に接
    続されていることを特徴とする請求項1乃至13のいず
    れか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
  15. 【請求項15】 請求項1乃至14のいずれか1項に記
    載の弾性表面波フィルタが、複数カスケード接続されて
    なり、上記弾性表面波フィルタの第2のすだれ状電極の
    第2の電気端子が接地されていることを特徴とするフィ
    ルタ。
  16. 【請求項16】 漏洩弾性表面波、表面横波、導波モー
    ド又は他の変更された表面の弾性波、及び擬似弾性表面
    波を使用することを特徴とする請求項1乃至14のいず
    れか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
  17. 【請求項17】 請求項1乃至5のいずれか1項に記載
    の弾性表面波フィルタを2つ接続してなり、 入力及び出力がバランス形であることを特徴とするフィ
    ルタ。
  18. 【請求項18】 すだれ状電極の少なくとも1つの電極
    又はグレーティング反射器が、音響チャンネルの異なる
    側に配置されているバスバーを電気的に接続することを
    特徴とする請求項15又は17に記載のフィルタ。
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