JP3425394B2 - 弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波共振子お
よび弾性表面波フィルタに係わり、詳細には接続される
素子との整合性を高めた弾性表面波共振子および弾性表
面波フィルタに関する。
よび弾性表面波フィルタに係わり、詳細には接続される
素子との整合性を高めた弾性表面波共振子および弾性表
面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の移動体通信技術と集積化技術の発
達により、小型化および軽量化を実現した移動体通信端
末機が急速に普及している。この移動体通信端末機にお
ける高周波回路として、弾性表面波（Surface Acoustic
Wave：以下、ＳＡＷと略す。）フィルタが用いられて
いる。ＳＡＷフィルタは、集積化に適し、かつ急峻なフ
ィルタ特性による優れた周波数選択性を備えることを特
徴としている。ＳＡＷフィルタの採用により、端末機の
小型化と高性能化との両立を図ることができる。このよ
うなＳＡＷフィルタは、一般的に集積化が容易な１ポー
トＳＡＷ共振子をラダー接続あるいはラチス接続するこ
とによって構成される。
達により、小型化および軽量化を実現した移動体通信端
末機が急速に普及している。この移動体通信端末機にお
ける高周波回路として、弾性表面波（Surface Acoustic
Wave：以下、ＳＡＷと略す。）フィルタが用いられて
いる。ＳＡＷフィルタは、集積化に適し、かつ急峻なフ
ィルタ特性による優れた周波数選択性を備えることを特
徴としている。ＳＡＷフィルタの採用により、端末機の
小型化と高性能化との両立を図ることができる。このよ
うなＳＡＷフィルタは、一般的に集積化が容易な１ポー
トＳＡＷ共振子をラダー接続あるいはラチス接続するこ
とによって構成される。
【０００３】図４は従来の１ポートＳＡＷ共振子を表わ
したものである。同図（ａ）は、従来の１ポートＳＡＷ
共振子の平面構造を模式的に表わしたものである。同図
（ｂ）は、この１ポートＳＡＷ共振子を記号で表わした
ものである。同図（ａ）に示すように、１ポートＳＡＷ
共振子は、圧電性を有する平板状の圧電基板１０の上面
に、アルミニウム薄膜等で形成され互いに電気的に絶縁
された第１および第２の交叉指状電極（InterDigital T
ransducer：以下、ＩＤＴと略す。）１１、１２が配置
されている。第１および第２のＩＤＴ１１、１２は、そ
れぞれＳＡＷの伝搬方向に対して垂直の方向に複数の細
長い帯状の電極群を有し、これら電極群は一端が電気的
に接続され他端が電気的に絶縁されたすだれ状に配置さ
れている。第１および第２のＩＤＴ１１、１２は、対向
して配置され、すだれ状に有している互いの帯状の電極
が交互に配置されている。
したものである。同図（ａ）は、従来の１ポートＳＡＷ
共振子の平面構造を模式的に表わしたものである。同図
（ｂ）は、この１ポートＳＡＷ共振子を記号で表わした
ものである。同図（ａ）に示すように、１ポートＳＡＷ
共振子は、圧電性を有する平板状の圧電基板１０の上面
に、アルミニウム薄膜等で形成され互いに電気的に絶縁
された第１および第２の交叉指状電極（InterDigital T
ransducer：以下、ＩＤＴと略す。）１１、１２が配置
されている。第１および第２のＩＤＴ１１、１２は、そ
れぞれＳＡＷの伝搬方向に対して垂直の方向に複数の細
長い帯状の電極群を有し、これら電極群は一端が電気的
に接続され他端が電気的に絶縁されたすだれ状に配置さ
れている。第１および第２のＩＤＴ１１、１２は、対向
して配置され、すだれ状に有している互いの帯状の電極
が交互に配置されている。
【０００４】また、圧電基板１０の上面には、アルミニ
ウム薄膜等で形成された入力電極１３と出力電極１４と
が配置されている。入力電極１３は、第１のＩＤＴ１１
の各帯状の電極群が電気的に接続されている側の電極端
と電気的に接続されている。出力電極１４は、第２のＩ
ＤＴ１２の各帯状の電極群が電気的に接続されている側
の電極端と電気的に接続されている。入力電極１３は、
金線からなるボンディングワイヤを介して、入力端子１
５と電気的に接続されている。出力電極１４は、金線か
らなるボンディングワイヤを介して、出力端子１６と電
気的に接続されている。
ウム薄膜等で形成された入力電極１３と出力電極１４と
が配置されている。入力電極１３は、第１のＩＤＴ１１
の各帯状の電極群が電気的に接続されている側の電極端
と電気的に接続されている。出力電極１４は、第２のＩ
ＤＴ１２の各帯状の電極群が電気的に接続されている側
の電極端と電気的に接続されている。入力電極１３は、
金線からなるボンディングワイヤを介して、入力端子１
５と電気的に接続されている。出力電極１４は、金線か
らなるボンディングワイヤを介して、出力端子１６と電
気的に接続されている。
【０００５】さらにまた、圧電基板１０の上面には、対
向配置された第１および第２のＩＤＴ１１、１２の両側
にＳＡＷの伝搬方向に対して垂直の方向に、それぞれ複
数の帯状の平行電極からなる第１および第２の反射器電
極１７、１８が配置されている。
向配置された第１および第２のＩＤＴ１１、１２の両側
にＳＡＷの伝搬方向に対して垂直の方向に、それぞれ複
数の帯状の平行電極からなる第１および第２の反射器電
極１７、１８が配置されている。
【０００６】このような構成の１ポートＳＡＷ共振子で
は、入力端子１５に電気信号を印加すると、出力端子１
６との間の電圧値に応じて、圧電基板１０に歪みが生じ
る。この歪みの結果として第１のＩＤＴ１１により励振
したＳＡＷが、圧電基板１０上を伝搬し、第２のＩＤＴ
１２に到達する。第２のＩＤＴ１２は、この伝搬してき
たＳＡＷを電気信号に変換する。第１のＩＤＴ１１によ
り励振したＳＡＷは、圧電基板１０上を第２のＩＤＴ１
２とは異なる方向にも伝搬するため、対向配置された第
１および第２のＩＤＴ１１、１２の両側に第１および第
２の反射器電極１７、１８を配置することで、伝搬する
ＳＡＷを反射させるようにしている。第１および第２の
反射器電極１７、１８のそれぞれの帯状の電極は、一定
の反射率で第１のＩＤＴ１１より励振したＳＡＷを反射
させる。したがって、第１および第２の反射器電極１
７、１８は、それぞれ複数の帯状電極を備えることで、
ほぼ１００％近く第１のＩＤＴ１１より励振したＳＡＷ
を反射させるようにしている。
は、入力端子１５に電気信号を印加すると、出力端子１
６との間の電圧値に応じて、圧電基板１０に歪みが生じ
る。この歪みの結果として第１のＩＤＴ１１により励振
したＳＡＷが、圧電基板１０上を伝搬し、第２のＩＤＴ
１２に到達する。第２のＩＤＴ１２は、この伝搬してき
たＳＡＷを電気信号に変換する。第１のＩＤＴ１１によ
り励振したＳＡＷは、圧電基板１０上を第２のＩＤＴ１
２とは異なる方向にも伝搬するため、対向配置された第
１および第２のＩＤＴ１１、１２の両側に第１および第
２の反射器電極１７、１８を配置することで、伝搬する
ＳＡＷを反射させるようにしている。第１および第２の
反射器電極１７、１８のそれぞれの帯状の電極は、一定
の反射率で第１のＩＤＴ１１より励振したＳＡＷを反射
させる。したがって、第１および第２の反射器電極１
７、１８は、それぞれ複数の帯状電極を備えることで、
ほぼ１００％近く第１のＩＤＴ１１より励振したＳＡＷ
を反射させるようにしている。
【０００７】電極が配置される圧電基板の特性、対向し
て互いに交互に配置された各帯状の電極におけるＳＡＷ
の伝搬方向に対して垂直の方向の電極の長さである交叉
幅１９および対向して交互に配置された各帯状の電極対
数等の種々のパラメータを変更することによって、第１
および第２のＩＤＴ１１、１２間の伝達特性を調整する
ことができる。
て互いに交互に配置された各帯状の電極におけるＳＡＷ
の伝搬方向に対して垂直の方向の電極の長さである交叉
幅１９および対向して交互に配置された各帯状の電極対
数等の種々のパラメータを変更することによって、第１
および第２のＩＤＴ１１、１２間の伝達特性を調整する
ことができる。
【０００８】ＳＡＷフィルタは、上述した１ポートＳＡ
Ｗ共振子を図４（ｂ）に示す記号で表わした場合、次の
ように構成される。
Ｗ共振子を図４（ｂ）に示す記号で表わした場合、次の
ように構成される。
【０００９】図５は図４に示す１ポートＳＡＷ共振子が
ラダー接続されているＳＡＷフィルタの構成の概要を表
わしたものである。すなわち、ラダー接続されたＳＡＷ
フィルタでは、第１のＳＡＷ共振子２０が第１の入力端
子２１と第１の出力端子２２との間に挿入され、第２の
ＳＡＷ共振子２３が第１の出力端子２２と第２の入力端
子２４および第２の出力端子２５との間に挿入される。
ラダー接続されているＳＡＷフィルタの構成の概要を表
わしたものである。すなわち、ラダー接続されたＳＡＷ
フィルタでは、第１のＳＡＷ共振子２０が第１の入力端
子２１と第１の出力端子２２との間に挿入され、第２の
ＳＡＷ共振子２３が第１の出力端子２２と第２の入力端
子２４および第２の出力端子２５との間に挿入される。
【００１０】このようなラダー接続されているＳＡＷフ
ィルタは、第１のＳＡＷ共振子２０の低域通過特性と、
第２のＳＡＷ共振子２３の高域通過特性とを利用して、
急峻な狭帯域通過特性を備える。
ィルタは、第１のＳＡＷ共振子２０の低域通過特性と、
第２のＳＡＷ共振子２３の高域通過特性とを利用して、
急峻な狭帯域通過特性を備える。
【００１１】図６は図４に示す１ポートＳＡＷ共振子が
ラチス接続されているＳＡＷフィルタの構成の概要を表
わしたものである。すなわち、ラチス接続されたＳＡＷ
フィルタでは、第１のＳＡＷ共振子２６が第１の入力端
子２７と第１の出力端子２８との間に挿入され、第２の
ＳＡＷ共振子２９が第２の入力端子３０と第２の出力端
子３１との間に挿入される。さらに、第３のＳＡＷ共振
子３２が第１の入力端子２７と第２の出力端子３１との
間に挿入され、第４のＳＡＷ共振子３３が第２の入力端
子３０と第１の出力端子２８との間に挿入される。
ラチス接続されているＳＡＷフィルタの構成の概要を表
わしたものである。すなわち、ラチス接続されたＳＡＷ
フィルタでは、第１のＳＡＷ共振子２６が第１の入力端
子２７と第１の出力端子２８との間に挿入され、第２の
ＳＡＷ共振子２９が第２の入力端子３０と第２の出力端
子３１との間に挿入される。さらに、第３のＳＡＷ共振
子３２が第１の入力端子２７と第２の出力端子３１との
間に挿入され、第４のＳＡＷ共振子３３が第２の入力端
子３０と第１の出力端子２８との間に挿入される。
【００１２】このようなラチス接続されているＳＡＷフ
ィルタは、第１のＳＡＷ共振子２６と第４のＳＡＷ共振
子３３からなるラダー接続されたＳＡＷフィルタと、第
２のＳＡＷ共振子２９と第３のＳＡＷ共振子３２からな
るラダー接続されたＳＡＷフィルタとから構成される合
成フィルタである。ラチス接続されたＳＡＷフィルタ
は、上述したラダー接続されたＳＡＷフィルタと異なる
平行型駆動のため、入力側と出力側のグランドを非共通
とすることができ、グランド共通時にあらわれるノイズ
の伝搬を除去することができる。
ィルタは、第１のＳＡＷ共振子２６と第４のＳＡＷ共振
子３３からなるラダー接続されたＳＡＷフィルタと、第
２のＳＡＷ共振子２９と第３のＳＡＷ共振子３２からな
るラダー接続されたＳＡＷフィルタとから構成される合
成フィルタである。ラチス接続されたＳＡＷフィルタ
は、上述したラダー接続されたＳＡＷフィルタと異なる
平行型駆動のため、入力側と出力側のグランドを非共通
とすることができ、グランド共通時にあらわれるノイズ
の伝搬を除去することができる。
【００１３】ところで、これまでＲＦ（Radio Frequenc
y）帯のＳＡＷフィルタは、通常特性インピーダンスが
５０Ωとなるように入出力端インピーダンスが設計され
ていた。しかしながら、近年の移動体端末通信機では、
多機能かつ高性能の半導体集積回路が内蔵され、また部
品点数の削減により、インピーダンス変換素子を省略す
るため２００Ωや４５０Ωといった特性インピーダンス
の高い入出力端インピーダンスで設計する必要に迫られ
ている。
y）帯のＳＡＷフィルタは、通常特性インピーダンスが
５０Ωとなるように入出力端インピーダンスが設計され
ていた。しかしながら、近年の移動体端末通信機では、
多機能かつ高性能の半導体集積回路が内蔵され、また部
品点数の削減により、インピーダンス変換素子を省略す
るため２００Ωや４５０Ωといった特性インピーダンス
の高い入出力端インピーダンスで設計する必要に迫られ
ている。
【００１４】一般に、図４に示した１ポートＳＡＷ共振
子のアドミタンスＧは、すだれ状に設けられた複数の帯
状の電極の長さが等しい、いわゆる正規型ＩＤＴの場
合、次式で示すことができる。
子のアドミタンスＧは、すだれ状に設けられた複数の帯
状の電極の長さが等しい、いわゆる正規型ＩＤＴの場
合、次式で示すことができる。
【００１５】
Ｇ ∝ ８×ｋ2×ε0×ｆｃ×Ｗ×Ｍ2 ・・・（１）
【００１６】ここで、ｋ2は電気機械結合係数、ε0は誘
電率、ｆｃは中心周波数、Ｗは交叉幅、Ｍは電極指対数
を示している。
電率、ｆｃは中心周波数、Ｗは交叉幅、Ｍは電極指対数
を示している。
【００１７】そこで高い入出力インピーダンスを有する
ＳＡＷフィルタを設計する場合には、図４に示す１ポー
トＳＡＷ共振子を複数個直列に接続したり、（１）式よ
り、電極指対数Ｍを多くしたり、あるいは交叉幅Ｗを小
さくする等して、高い入出力端インピーダンスを実現し
ていた。
ＳＡＷフィルタを設計する場合には、図４に示す１ポー
トＳＡＷ共振子を複数個直列に接続したり、（１）式よ
り、電極指対数Ｍを多くしたり、あるいは交叉幅Ｗを小
さくする等して、高い入出力端インピーダンスを実現し
ていた。
【００１８】また例えば特開昭６３−１３５１１号公報
「弾性表面波フィルタ」には、圧電性基板上に相対向す
る第１および第２のＩＤＴの電極指の間をぬって蛇行
し、これら電極と対向するミアンダ電極を設け、第１お
よび第２のＩＤＴにそれぞれ並列にインダクタンス素子
を付加接続し、同時にこれら両者の放射コンダクタンス
を等しくしたものをさらに直列接続することで、高いイ
ンピーダンスを実現する技術が開示されている。
「弾性表面波フィルタ」には、圧電性基板上に相対向す
る第１および第２のＩＤＴの電極指の間をぬって蛇行
し、これら電極と対向するミアンダ電極を設け、第１お
よび第２のＩＤＴにそれぞれ並列にインダクタンス素子
を付加接続し、同時にこれら両者の放射コンダクタンス
を等しくしたものをさらに直列接続することで、高いイ
ンピーダンスを実現する技術が開示されている。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図４に示
す従来の１ポートＳＡＷ共振子をラダー接続あるいはラ
チス接続することによって構成されたＳＡＷフィルタ
は、例えば特開平０１−４４１１１号公報「弾性表面波
フィルタ」や特開平０８−６５０８９号公報「弾性表面
波フィルタ」に開示されているようにそれぞれ直列接続
することによってインピーダンスをＮ倍にする場合、占
有する面積もＮ倍となってしまうという問題がある。ま
た、電極指対数Ｍを多くすると、フィルタの通過帯域内
にリップルとして現われる縦モードスプリアスが発生し
やすくなるという特性上の問題がある。さらに、交叉幅
Ｗを小さくする場合には、この縦モードスプリアスの発
生の他に、回折効果の影響を受けやすくなり、さらに特
性が劣化するという問題がある。さらにまた特開昭６３
−１３５１１号公報に開示された技術では、第１および
第２のＩＤＴの間にミアンダ電極を形成する必要がある
ため、第１および第２のＩＤＴやミアンダ電極の形成が
より困難となり、結局は第１および第２のＩＤＴの交叉
幅Ｗが小さくなって上述した回折効果による影響を免れ
ない。
す従来の１ポートＳＡＷ共振子をラダー接続あるいはラ
チス接続することによって構成されたＳＡＷフィルタ
は、例えば特開平０１−４４１１１号公報「弾性表面波
フィルタ」や特開平０８−６５０８９号公報「弾性表面
波フィルタ」に開示されているようにそれぞれ直列接続
することによってインピーダンスをＮ倍にする場合、占
有する面積もＮ倍となってしまうという問題がある。ま
た、電極指対数Ｍを多くすると、フィルタの通過帯域内
にリップルとして現われる縦モードスプリアスが発生し
やすくなるという特性上の問題がある。さらに、交叉幅
Ｗを小さくする場合には、この縦モードスプリアスの発
生の他に、回折効果の影響を受けやすくなり、さらに特
性が劣化するという問題がある。さらにまた特開昭６３
−１３５１１号公報に開示された技術では、第１および
第２のＩＤＴの間にミアンダ電極を形成する必要がある
ため、第１および第２のＩＤＴやミアンダ電極の形成が
より困難となり、結局は第１および第２のＩＤＴの交叉
幅Ｗが小さくなって上述した回折効果による影響を免れ
ない。
【００２０】そこで本発明の目的は、占有面積の増加と
特性劣化とを回避し、高い入出力端インピーダンスを有
するＳＡＷ共振子およびＳＡＷ共振器を提供することに
ある。
特性劣化とを回避し、高い入出力端インピーダンスを有
するＳＡＷ共振子およびＳＡＷ共振器を提供することに
ある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、（イ）平板状の圧電基板と、（ロ）それぞれ一定長
を有し間隔を置いてこれらを互いに平行に配置してなる
複数の平行電極を備え、これら平行電極の一端側を電気
的に共通して接続すると共に他端側をすべて開放した構
造のすだれ状電極からそれぞれ構成され、圧電基板の一
端あるいは他端側に配置された入力端子あるいは出力端
子と平行電極の一端側を接続し、それぞれのすだれ状電
極の他端側を間隔を置いて互いに向き合わせるように配
置した第１および第２の交叉指状電極と、（ハ）これら
第１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極とは異な
る２つのすだれ状電極を平行電極の電気的な共通接続側
同士を短絡電極で電気的に接続した構成の中間構成電極
を第１および第２の交叉指状電極の間に１つあるいは複
数個直列に配置した構造であって、第１および第２の交
叉指状電極のすだれ状電極を含めたそれぞれ対向するす
だれ状電極をこれらを構成する平行電極の長手方向に所
定長だけ交叉させており、これらの交叉幅が、第１およ
び第２の交叉指状電極のみが存在し中間構成電極が存在
しない場合の交叉幅に対して、中間構成電極の配置個数
に数値１を加えた数の逆数を掛けた値に設定した中間電
極とを弾性表面波共振子に具備させる。
は、（イ）平板状の圧電基板と、（ロ）それぞれ一定長
を有し間隔を置いてこれらを互いに平行に配置してなる
複数の平行電極を備え、これら平行電極の一端側を電気
的に共通して接続すると共に他端側をすべて開放した構
造のすだれ状電極からそれぞれ構成され、圧電基板の一
端あるいは他端側に配置された入力端子あるいは出力端
子と平行電極の一端側を接続し、それぞれのすだれ状電
極の他端側を間隔を置いて互いに向き合わせるように配
置した第１および第２の交叉指状電極と、（ハ）これら
第１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極とは異な
る２つのすだれ状電極を平行電極の電気的な共通接続側
同士を短絡電極で電気的に接続した構成の中間構成電極
を第１および第２の交叉指状電極の間に１つあるいは複
数個直列に配置した構造であって、第１および第２の交
叉指状電極のすだれ状電極を含めたそれぞれ対向するす
だれ状電極をこれらを構成する平行電極の長手方向に所
定長だけ交叉させており、これらの交叉幅が、第１およ
び第２の交叉指状電極のみが存在し中間構成電極が存在
しない場合の交叉幅に対して、中間構成電極の配置個数
に数値１を加えた数の逆数を掛けた値に設定した中間電
極とを弾性表面波共振子に具備させる。
【００２２】すなわち請求項１記載の発明では、平板状
の圧電基板の第１および第２の交叉指状電極の間に、中
間構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間に１つ
あるいは複数個直列に配置した中間電極を配置する。こ
こで、第１および第２の交叉指状電極は、それぞれ一定
長を有し間隔を置いてこれらを互いに平行に配置してな
る複数の平行電極を備えており、これら平行電極の一端
側を電気的に共通して接続すると共に他端側をすべて開
放した構造のすだれ状電極からそれぞれ構成されてい
る。また、これらのすだれ状電極の他端側の開放端側
は、間隔を置いて互いに向き合わせるように配置されて
いる。一方、中間電極を構成する中間構成電極は、第１
および第２の交叉指状電極のすだれ状電極とは異なる２
つのすだれ状電極を平行電極の電気的な共通接続側同士
を短絡電極で電気的に接続した構造となっている。この
ように交叉指状電極も中間構成電極もそれぞれすだれ状
電極を備えており、これらは開放端側を互いに交叉させ
るようにしているが、これらの交叉幅が第１および第２
の交叉指状電極のみが存在し中間構成電極が存在しない
場合の交叉幅に対して、中間構成電極の配置個数に数値
１を加えた数の逆数を掛けた値に設定されている。これ
により、後に説明するように中間構成電極が１つ、すな
わち中間構成電極のすだれ状電極が２個で中間電極を構
成している場合には、中間電極が存在しない場合と比べ
ると２2倍という高いインピーダンスを得ることが可能
になる。また、同様にして中間構成電極が２つ、すなわ
ち中間構成電極のすだれ状電極が４個で中間電極を構成
している場合には、中間電極が存在しない場合と比べる
と３2倍という高いインピーダンスを得ることが可能に
なる。
の圧電基板の第１および第２の交叉指状電極の間に、中
間構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間に１つ
あるいは複数個直列に配置した中間電極を配置する。こ
こで、第１および第２の交叉指状電極は、それぞれ一定
長を有し間隔を置いてこれらを互いに平行に配置してな
る複数の平行電極を備えており、これら平行電極の一端
側を電気的に共通して接続すると共に他端側をすべて開
放した構造のすだれ状電極からそれぞれ構成されてい
る。また、これらのすだれ状電極の他端側の開放端側
は、間隔を置いて互いに向き合わせるように配置されて
いる。一方、中間電極を構成する中間構成電極は、第１
および第２の交叉指状電極のすだれ状電極とは異なる２
つのすだれ状電極を平行電極の電気的な共通接続側同士
を短絡電極で電気的に接続した構造となっている。この
ように交叉指状電極も中間構成電極もそれぞれすだれ状
電極を備えており、これらは開放端側を互いに交叉させ
るようにしているが、これらの交叉幅が第１および第２
の交叉指状電極のみが存在し中間構成電極が存在しない
場合の交叉幅に対して、中間構成電極の配置個数に数値
１を加えた数の逆数を掛けた値に設定されている。これ
により、後に説明するように中間構成電極が１つ、すな
わち中間構成電極のすだれ状電極が２個で中間電極を構
成している場合には、中間電極が存在しない場合と比べ
ると２2倍という高いインピーダンスを得ることが可能
になる。また、同様にして中間構成電極が２つ、すなわ
ち中間構成電極のすだれ状電極が４個で中間電極を構成
している場合には、中間電極が存在しない場合と比べる
と３2倍という高いインピーダンスを得ることが可能に
なる。
【００２３】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
弾性表面波共振子で、中間構成電極は平行電極の一端側
を電気的に共通して接続する帯状電極を備え、互いに開
放端を反対側に配置した２組の平行電極の帯状電極が共
通の１つの帯状電極として構成されていることを特徴と
している。
弾性表面波共振子で、中間構成電極は平行電極の一端側
を電気的に共通して接続する帯状電極を備え、互いに開
放端を反対側に配置した２組の平行電極の帯状電極が共
通の１つの帯状電極として構成されていることを特徴と
している。
【００２４】すなわち請求項２記載の発明では、中間構
成電極をそれぞれ構成する互いに開放端を反対側に配置
した２組の平行電極の帯状電極が共通の１つの帯状電極
として構成されている。１組の平行電極に対して本来１
つの帯状電極が必要となるので、請求項２記載の発明は
これに対して占有面積の縮小を図ることができることに
なる。
成電極をそれぞれ構成する互いに開放端を反対側に配置
した２組の平行電極の帯状電極が共通の１つの帯状電極
として構成されている。１組の平行電極に対して本来１
つの帯状電極が必要となるので、請求項２記載の発明は
これに対して占有面積の縮小を図ることができることに
なる。
【００２５】請求項３記載の発明では、平板状の圧電基
板と、それぞれ一定長を有し間隔を置いてこれらを互い
に平行に配置してなる複数の平行電極を備え、これら平
行電極の一端側を電気的に共通して接続すると共に他端
側をすべて開放した構造のすだれ状電極からそれぞれ構
成され、圧電基板の一端あるいは他端側に配置された入
力端子あるいは出力端子と平行電極の一端側を接続し、
それぞれのすだれ状電極の他端側を間隔を置いて互いに
向き合わせるように配置した第１および第２の交叉指状
電極と、第１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極
とは異なる２つのすだれ状電極を平行電極の電気的な共
通接続側同士を短絡電極で電気的に接続した構成の中間
構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間に１つあ
るいは複数個直列に配置した構造であって、第１および
第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそれぞれ対
向するすだれ状電極をこれらを構成する平行電極の長手
方向に所定長だけ交叉させており、これらの交叉幅が、
第１および第２の交叉指状電極のみが存在し中間構成電
極が存在しない場合の交叉幅に対して、中間構成電極の
配置個数に数値１を加えた数の逆数を掛けた値に設定し
た中間電極とを有する複数の弾性表面波共振子を弾性表
面波フィルタに備えさせ、複数の弾性表面波共振子がラ
ダー接続されていることを特徴としている。
板と、それぞれ一定長を有し間隔を置いてこれらを互い
に平行に配置してなる複数の平行電極を備え、これら平
行電極の一端側を電気的に共通して接続すると共に他端
側をすべて開放した構造のすだれ状電極からそれぞれ構
成され、圧電基板の一端あるいは他端側に配置された入
力端子あるいは出力端子と平行電極の一端側を接続し、
それぞれのすだれ状電極の他端側を間隔を置いて互いに
向き合わせるように配置した第１および第２の交叉指状
電極と、第１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極
とは異なる２つのすだれ状電極を平行電極の電気的な共
通接続側同士を短絡電極で電気的に接続した構成の中間
構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間に１つあ
るいは複数個直列に配置した構造であって、第１および
第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそれぞれ対
向するすだれ状電極をこれらを構成する平行電極の長手
方向に所定長だけ交叉させており、これらの交叉幅が、
第１および第２の交叉指状電極のみが存在し中間構成電
極が存在しない場合の交叉幅に対して、中間構成電極の
配置個数に数値１を加えた数の逆数を掛けた値に設定し
た中間電極とを有する複数の弾性表面波共振子を弾性表
面波フィルタに備えさせ、複数の弾性表面波共振子がラ
ダー接続されていることを特徴としている。
【００２６】すなわち請求項３記載の発明では、請求項
１記載の発明の弾性表面波共振子をラダー接続すること
によって弾性表面波フィルタを構成するようにしたの
で、従来と変わらない占有面積を保ったまま、特性劣化
を抑えて高い入出力端インピーダンスのＳＡＷフィルタ
を実現することができる。
１記載の発明の弾性表面波共振子をラダー接続すること
によって弾性表面波フィルタを構成するようにしたの
で、従来と変わらない占有面積を保ったまま、特性劣化
を抑えて高い入出力端インピーダンスのＳＡＷフィルタ
を実現することができる。
【００２７】請求項４記載の発明では、平板状の圧電基
板と、それぞれ一定長を有し間隔を置いてこれらを互い
に平行に配置してなる複数の平行電極を備え、これら平
行電極の一端側を電気的に共通して接続すると共に他端
側をすべて開放した構造のすだれ状電極からそれぞれ構
成され、圧電基板の一端あるいは他端側に配置された入
力端子あるいは出力端子と平行電極の一端側を接続し、
それぞれのすだれ状電極の他端側を間隔を置いて互いに
向き合わせるように配置した第１および第２の交叉指状
電極と、第１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極
とは異なる２つのすだれ状電極を平行電極の電気的な共
通接続側同士を短絡電極で電気的に接続した構成の中間
構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間に１つあ
るいは複数個直列に配置した構造であって、第１および
第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそれぞれ対
向するすだれ状電極をこれらを構成する平行電極の長手
方向に所定長だけ交叉させており、これらの交叉幅が、
第１および第２の交叉指状電極のみが存在し中間構成電
極が存在しない場合の交叉幅に対して、中間構成電極の
配置個数に数値１を加えた数の逆数を掛けた値に設定し
た中間電極とを有する複数の弾性表面波共振子を備え、
これらがラチス接続されていることを特徴としている。
板と、それぞれ一定長を有し間隔を置いてこれらを互い
に平行に配置してなる複数の平行電極を備え、これら平
行電極の一端側を電気的に共通して接続すると共に他端
側をすべて開放した構造のすだれ状電極からそれぞれ構
成され、圧電基板の一端あるいは他端側に配置された入
力端子あるいは出力端子と平行電極の一端側を接続し、
それぞれのすだれ状電極の他端側を間隔を置いて互いに
向き合わせるように配置した第１および第２の交叉指状
電極と、第１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極
とは異なる２つのすだれ状電極を平行電極の電気的な共
通接続側同士を短絡電極で電気的に接続した構成の中間
構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間に１つあ
るいは複数個直列に配置した構造であって、第１および
第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそれぞれ対
向するすだれ状電極をこれらを構成する平行電極の長手
方向に所定長だけ交叉させており、これらの交叉幅が、
第１および第２の交叉指状電極のみが存在し中間構成電
極が存在しない場合の交叉幅に対して、中間構成電極の
配置個数に数値１を加えた数の逆数を掛けた値に設定し
た中間電極とを有する複数の弾性表面波共振子を備え、
これらがラチス接続されていることを特徴としている。
【００２８】すなわち請求項４記載の発明では、平板状
の圧電基板と、それぞれ一定長を有し間隔を置いてこれ
らを互いに平行に配置してなる複数の平行電極を備え、
これら平行電極の一端側を電気的に共通して接続すると
共に他端側をすべて開放した構造のすだれ状電極からそ
れぞれ構成され、圧電基板の一端あるいは他端側に配置
された入力端子あるいは出力端子と平行電極の一端側を
接続し、それぞれのすだれ状電極の他端側を間隔を置い
て互いに向き合わせるように配置した第１および第２の
交叉指状電極と、第１および第２の交叉指状電極のすだ
れ状電極とは異なる２つのすだれ状電極を平行電極の電
気的な共通接続側同士を短絡電極で電気的に接続した構
成の中間構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間
に１つあるいは複数個直列に配置した構造であって、第
１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそ
れぞれ対向するすだれ状電極をこれらを構成する平行電
極の長手方向に所定長だけ交叉させており、これらの交
叉幅が、第１および第２の交叉指状電極のみが存在し中
間構成電極が存在しない場合の交叉幅に対して、中間構
成電極の配置個数に数値１を加えた数の逆数を掛けた値
に設定した中間電極とを有する複数の弾性表面波共振子
を弾性表面波フィルタに備えさせ、複数の弾性表面波共
振子がラチス接続されて弾性表面波フィルタを構成する
ようにしたので、従来と変わらない占有面積を保ったま
ま、特性劣化を抑えて高い入出力端インピーダンスの弾
性表面波フィルタを実現することができる。
の圧電基板と、それぞれ一定長を有し間隔を置いてこれ
らを互いに平行に配置してなる複数の平行電極を備え、
これら平行電極の一端側を電気的に共通して接続すると
共に他端側をすべて開放した構造のすだれ状電極からそ
れぞれ構成され、圧電基板の一端あるいは他端側に配置
された入力端子あるいは出力端子と平行電極の一端側を
接続し、それぞれのすだれ状電極の他端側を間隔を置い
て互いに向き合わせるように配置した第１および第２の
交叉指状電極と、第１および第２の交叉指状電極のすだ
れ状電極とは異なる２つのすだれ状電極を平行電極の電
気的な共通接続側同士を短絡電極で電気的に接続した構
成の中間構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間
に１つあるいは複数個直列に配置した構造であって、第
１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそ
れぞれ対向するすだれ状電極をこれらを構成する平行電
極の長手方向に所定長だけ交叉させており、これらの交
叉幅が、第１および第２の交叉指状電極のみが存在し中
間構成電極が存在しない場合の交叉幅に対して、中間構
成電極の配置個数に数値１を加えた数の逆数を掛けた値
に設定した中間電極とを有する複数の弾性表面波共振子
を弾性表面波フィルタに備えさせ、複数の弾性表面波共
振子がラチス接続されて弾性表面波フィルタを構成する
ようにしたので、従来と変わらない占有面積を保ったま
ま、特性劣化を抑えて高い入出力端インピーダンスの弾
性表面波フィルタを実現することができる。
【００２９】請求項５記載の発明では、請求項３または
請求項４記載の弾性表面波フィルタで、中間構成電極は
平行電極の一端側を電気的に共通して接続する帯状電極
を備え、互いに開放端を反対側に配置した２組の平行電
極の帯状電極が共通の１つの帯状電極として構成されて
いることを特徴としている。
請求項４記載の弾性表面波フィルタで、中間構成電極は
平行電極の一端側を電気的に共通して接続する帯状電極
を備え、互いに開放端を反対側に配置した２組の平行電
極の帯状電極が共通の１つの帯状電極として構成されて
いることを特徴としている。
【００３０】すなわち請求項５記載の発明では、中間構
成電極をそれぞれ構成する互いに開放端を反対側に配置
した２組の平行電極の帯状電極が共通の１つの帯状電極
として構成されている。１組の平行電極に対しては本来
１つの帯状電極が必要となるので、請求項５記載の発明
はこれに対して占有面積の縮小を図ることができること
になる。これにより、請求項３または請求項４記載の弾
性表面波フィルタで占有面積の縮小を図ることができる
ことになる。
成電極をそれぞれ構成する互いに開放端を反対側に配置
した２組の平行電極の帯状電極が共通の１つの帯状電極
として構成されている。１組の平行電極に対しては本来
１つの帯状電極が必要となるので、請求項５記載の発明
はこれに対して占有面積の縮小を図ることができること
になる。これにより、請求項３または請求項４記載の弾
性表面波フィルタで占有面積の縮小を図ることができる
ことになる。
【００３１】
【００３２】
【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【００３３】図１は本発明の本実施例における１ポート
ＳＡＷ共振子の平面構造を模式的に表わしたものであ
る。本実施例における１ポートＳＡＷ共振子は、圧電性
を有する平板状の圧電基板４０の上面に、アルミニウム
薄膜等で形成され互いに電気的に絶縁された第１および
第２のＩＤＴ４１、４２が配置されている。第１および
第２のＩＤＴ４１、４２は、それぞれＳＡＷの伝搬方向
に対して垂直の方向に互いに平行な複数の細長い帯状の
電極群を有し、これら電極群は一端が電気的に接続され
他端が電気的に絶縁されたすだれ状に配置されている。
第１および第２のＩＤＴ４１、４２は対向して配置され
ている。
ＳＡＷ共振子の平面構造を模式的に表わしたものであ
る。本実施例における１ポートＳＡＷ共振子は、圧電性
を有する平板状の圧電基板４０の上面に、アルミニウム
薄膜等で形成され互いに電気的に絶縁された第１および
第２のＩＤＴ４１、４２が配置されている。第１および
第２のＩＤＴ４１、４２は、それぞれＳＡＷの伝搬方向
に対して垂直の方向に互いに平行な複数の細長い帯状の
電極群を有し、これら電極群は一端が電気的に接続され
他端が電気的に絶縁されたすだれ状に配置されている。
第１および第２のＩＤＴ４１、４２は対向して配置され
ている。
【００３４】本実施例における１ポートＳＡＷ共振子
は、第１および第２のＩＤＴ４１、４２のＳＡＷの伝搬
方向に対して垂直の方向の各帯状の電極の交叉幅Ｗが２
分割され、図４に示す従来の１ポートＳＡＷ共振子とは
異なり互いの電極同士が互いに交叉しないように配置さ
れている。さらに本実施例における１ポートＳＡＷ共振
子は、アルミニウム薄膜等で形成され、ＳＡＷの伝搬方
向に対して垂直方向に互いに平行、かつ電気的に接続さ
れた複数の帯状の電極を有する第３および第４の電極４
３、４４を有している。この第３の電極４３の複数の帯
状の電極は、一端が電気的に接続され、他端が絶縁され
ており、第１のＩＤＴ４１のすだれ状の各帯状の電極と
交互に配置されている。第４の電極４４の複数の帯状の
電極は、一端が電気的に接続され、他端が絶縁されてお
り、第２のＩＤＴ４２のすだれ状の各帯状の電極と交互
に配置されている。これら第３および第４の電極４３、
４４は、それぞれ各帯状の電極が電気的に接続されてい
る側で、短絡電極４５で電気的に接続されている。
は、第１および第２のＩＤＴ４１、４２のＳＡＷの伝搬
方向に対して垂直の方向の各帯状の電極の交叉幅Ｗが２
分割され、図４に示す従来の１ポートＳＡＷ共振子とは
異なり互いの電極同士が互いに交叉しないように配置さ
れている。さらに本実施例における１ポートＳＡＷ共振
子は、アルミニウム薄膜等で形成され、ＳＡＷの伝搬方
向に対して垂直方向に互いに平行、かつ電気的に接続さ
れた複数の帯状の電極を有する第３および第４の電極４
３、４４を有している。この第３の電極４３の複数の帯
状の電極は、一端が電気的に接続され、他端が絶縁され
ており、第１のＩＤＴ４１のすだれ状の各帯状の電極と
交互に配置されている。第４の電極４４の複数の帯状の
電極は、一端が電気的に接続され、他端が絶縁されてお
り、第２のＩＤＴ４２のすだれ状の各帯状の電極と交互
に配置されている。これら第３および第４の電極４３、
４４は、それぞれ各帯状の電極が電気的に接続されてい
る側で、短絡電極４５で電気的に接続されている。
【００３５】また、圧電基板４０の上面には、アルミニ
ウム薄膜等で形成された入力電極４６と出力電極４７と
が配置されている。入力電極４６は、第１のＩＤＴ４１
の各帯状の電極群が電気的に接続されている側の電極端
と電気的に接続されている。出力電極４７は、第２のＩ
ＤＴ４２の各帯状の電極群が電気的に接続されている側
の電極端と電気的に接続されている。入力電極４６は、
金線からなるボンディングワイヤを介して、入力端子４
８と電気的に接続されている。出力電極４７は、金線か
らなるボンディングワイヤを介して、出力端子４９と電
気的に接続されている。
ウム薄膜等で形成された入力電極４６と出力電極４７と
が配置されている。入力電極４６は、第１のＩＤＴ４１
の各帯状の電極群が電気的に接続されている側の電極端
と電気的に接続されている。出力電極４７は、第２のＩ
ＤＴ４２の各帯状の電極群が電気的に接続されている側
の電極端と電気的に接続されている。入力電極４６は、
金線からなるボンディングワイヤを介して、入力端子４
８と電気的に接続されている。出力電極４７は、金線か
らなるボンディングワイヤを介して、出力端子４９と電
気的に接続されている。
【００３６】さらにまた、圧電基板４０の上面には、対
向配置された第１および第２のＩＤＴ４１、４２の両側
にＳＡＷの伝搬方向に対して垂直の方向に、それぞれ複
数の帯状の平行電極からなる第１および第２の反射器電
極５０、５１が配置されている。
向配置された第１および第２のＩＤＴ４１、４２の両側
にＳＡＷの伝搬方向に対して垂直の方向に、それぞれ複
数の帯状の平行電極からなる第１および第２の反射器電
極５０、５１が配置されている。
【００３７】このような構成の本実施例における１ポー
トＳＡＷ共振子では、入力端子４８に電気信号を印加す
ると、出力端子４９との間の電圧値に応じて、圧電基板
４０に歪みが生じる。この歪みの結果として第１のＩＤ
Ｔ４１により励振したＳＡＷが、圧電基板４０上を伝搬
し、一旦第１のＩＤＴ４１と対向して配置されている第
３の電極４３に到達する。第３の電極４３では、到達し
たＳＡＷを電気信号に変換する。そして、短絡電極４５
を介して電気的に接続される第４の電極４４の第２のＩ
ＤＴ４２と対向する部分から、ＳＡＷを励振する。この
ＳＡＷは、第２のＩＤＴ４２に到達する。第２のＩＤＴ
４２は、この伝搬してきたＳＡＷを電気信号に変換す
る。
トＳＡＷ共振子では、入力端子４８に電気信号を印加す
ると、出力端子４９との間の電圧値に応じて、圧電基板
４０に歪みが生じる。この歪みの結果として第１のＩＤ
Ｔ４１により励振したＳＡＷが、圧電基板４０上を伝搬
し、一旦第１のＩＤＴ４１と対向して配置されている第
３の電極４３に到達する。第３の電極４３では、到達し
たＳＡＷを電気信号に変換する。そして、短絡電極４５
を介して電気的に接続される第４の電極４４の第２のＩ
ＤＴ４２と対向する部分から、ＳＡＷを励振する。この
ＳＡＷは、第２のＩＤＴ４２に到達する。第２のＩＤＴ
４２は、この伝搬してきたＳＡＷを電気信号に変換す
る。
【００３８】第１のＩＤＴ４１により励振したＳＡＷ
は、圧電基板４０上を第３および第４の電極４３、４４
および第２のＩＤＴ４２とは異なる方向にも伝搬するた
め、対向配置された第１および第２のＩＤＴ４１、４２
の両側に第１および第２の反射器電極５０、５１を配置
することで、伝搬するＳＡＷを反射させるようにしてい
る。第１および第２の反射器電極５０、５１のそれぞれ
の帯状の電極は、一定の反射率で第１のＩＤＴ４１より
励振したＳＡＷを反射させる。したがって、第１および
第２の反射器電極５０、５１は、それぞれ複数の帯状電
極を備えることで、ほぼ１００％近く第１のＩＤＴ４１
より励振したＳＡＷを反射させるようにしている。
は、圧電基板４０上を第３および第４の電極４３、４４
および第２のＩＤＴ４２とは異なる方向にも伝搬するた
め、対向配置された第１および第２のＩＤＴ４１、４２
の両側に第１および第２の反射器電極５０、５１を配置
することで、伝搬するＳＡＷを反射させるようにしてい
る。第１および第２の反射器電極５０、５１のそれぞれ
の帯状の電極は、一定の反射率で第１のＩＤＴ４１より
励振したＳＡＷを反射させる。したがって、第１および
第２の反射器電極５０、５１は、それぞれ複数の帯状電
極を備えることで、ほぼ１００％近く第１のＩＤＴ４１
より励振したＳＡＷを反射させるようにしている。
【００３９】本実施例における１ポートＳＡＷ共振子
は、いわゆる正規型ＩＤＴとして、そのアドミタンスＧ
は、上述した（１）式のように示すことができる。そこ
で、本来特性インピーダンスがＺ0で設計される１ポー
トＳＡＷ共振子について考えると、図１に示すように交
叉幅Ｗを２分割してインピーダンスを２倍にし、かつこ
れらを直列接続してさらにインピーダンスを２倍にする
ことで、本実施例における特性インピーダンスが“４×
Ｚ0”になる。すなわち、図１に示すように占有面積を
大きくすることなく、２2倍という高いインピーダンス
を実現することができる。
は、いわゆる正規型ＩＤＴとして、そのアドミタンスＧ
は、上述した（１）式のように示すことができる。そこ
で、本来特性インピーダンスがＺ0で設計される１ポー
トＳＡＷ共振子について考えると、図１に示すように交
叉幅Ｗを２分割してインピーダンスを２倍にし、かつこ
れらを直列接続してさらにインピーダンスを２倍にする
ことで、本実施例における特性インピーダンスが“４×
Ｚ0”になる。すなわち、図１に示すように占有面積を
大きくすることなく、２2倍という高いインピーダンス
を実現することができる。
【００４０】また従来から交叉幅Ｗを２分割するだけで
インピーダンスを２倍にすることができるが、上述した
ように回折効果の影響で特性劣化を免れることができな
い。しかしながら、本実施例における１ポートＳＡＷ共
振子で同じ２倍のインピーダンスを得ようとした場合、
インピーダンスを２2倍で変更することができるので、
交叉幅Ｗの分割数を小さくすることができるので、従来
より回折効果の影響による特性劣化を軽減することがで
きるようになる。
インピーダンスを２倍にすることができるが、上述した
ように回折効果の影響で特性劣化を免れることができな
い。しかしながら、本実施例における１ポートＳＡＷ共
振子で同じ２倍のインピーダンスを得ようとした場合、
インピーダンスを２2倍で変更することができるので、
交叉幅Ｗの分割数を小さくすることができるので、従来
より回折効果の影響による特性劣化を軽減することがで
きるようになる。
【００４１】このように本実施例における１ポートＳＡ
Ｗ共振子は、入力端子および出力端子に接続された第１
および第２のＩＤＴの交叉幅Ｗを２分割し、これら第１
および第２のＩＤＴの間に電極を介して直列接続するこ
とによって、占有面積を大きくすることなく、特性劣化
を回避し、高いインピーダンスを実現する。
Ｗ共振子は、入力端子および出力端子に接続された第１
および第２のＩＤＴの交叉幅Ｗを２分割し、これら第１
および第２のＩＤＴの間に電極を介して直列接続するこ
とによって、占有面積を大きくすることなく、特性劣化
を回避し、高いインピーダンスを実現する。
【００４２】さらに、例えば図５で示したように本実施
例における１ポートＳＡＷ共振子を用いてラダー接続す
ることによって、それぞれの低域通過特性と高域通過特
性とを利用して、急峻な狭帯域通過特性を備え、かつ高
いインピーダンスで終端可能なＳＡＷフィルタを実現す
ることができる。
例における１ポートＳＡＷ共振子を用いてラダー接続す
ることによって、それぞれの低域通過特性と高域通過特
性とを利用して、急峻な狭帯域通過特性を備え、かつ高
いインピーダンスで終端可能なＳＡＷフィルタを実現す
ることができる。
【００４３】また、例えば図６で示したように本実施例
における１ポートＳＡＷ共振子を用いてラチス接続する
ことによって、平行型駆動により、入力側と出力側のグ
ランドを非共通とすることができ、グランド共通時にあ
らわれるノイズの伝搬を除去することができる。
における１ポートＳＡＷ共振子を用いてラチス接続する
ことによって、平行型駆動により、入力側と出力側のグ
ランドを非共通とすることができ、グランド共通時にあ
らわれるノイズの伝搬を除去することができる。
【００４４】いずれにしろ、このようにインピーダンス
を高めた１ポートＳＡＷ共振子により、図５または図６
に示すようにラダー接続あるいはラチス接続を行うこと
によって、高いインピーダンスでの終端が可能となり、
高い入出力端インピーダンスを有するＳＡＷフィルタを
提供することができる。
を高めた１ポートＳＡＷ共振子により、図５または図６
に示すようにラダー接続あるいはラチス接続を行うこと
によって、高いインピーダンスでの終端が可能となり、
高い入出力端インピーダンスを有するＳＡＷフィルタを
提供することができる。
【００４５】第１の変形例
【００４６】本実施例における１ポートＳＡＷ共振子で
は、入力端子および出力端子に接続された第１および第
２のＩＤＴの交叉幅を分割し、挿入した第３および第４
の電極４３、４４を、短絡電極４５で電気的に接続する
ようにしたが、これに限定されるものではない。
は、入力端子および出力端子に接続された第１および第
２のＩＤＴの交叉幅を分割し、挿入した第３および第４
の電極４３、４４を、短絡電極４５で電気的に接続する
ようにしたが、これに限定されるものではない。
【００４７】図２は本発明の第１の変形例における１ポ
ートＳＡＷ共振子の平面構造を模式的に表わしたもので
ある。ただし、図１に示す本実施例における１ポートＳ
ＡＷ共振子と同一部分には同一符号を付し、説明を省略
する。第１の変形例における１ポートＳＡＷ共振子は、
第１および第２のＩＤＴ４１、４２のＳＡＷの伝搬方向
に対して垂直の方向の各帯状の電極の交叉幅Ｗが２分割
され、図４に示す従来の１ポートＳＡＷ共振子とは異な
り互いの電極同士が互いに交叉しないように配置されて
いる。さらに第１の変形例における１ポートＳＡＷ共振
子は、アルミニウム薄膜等で形成され、ＳＡＷの伝搬方
向に対して垂直方向に互いに電気的に接続された複数の
帯状の電極を有する第３の電極５２を有している。この
第３の電極５２は、複数の帯状の電極同士をその中間部
分において、ＳＡＷの伝搬方向に対して平行に配置され
た帯状の電極を介して電気的に接続されている。この第
３の電極５２の各帯状の電極は、第１および第２のＩＤ
Ｔ４１、４２それぞれのすだれ状に有している各帯状の
電極と交互に配置されている。
ートＳＡＷ共振子の平面構造を模式的に表わしたもので
ある。ただし、図１に示す本実施例における１ポートＳ
ＡＷ共振子と同一部分には同一符号を付し、説明を省略
する。第１の変形例における１ポートＳＡＷ共振子は、
第１および第２のＩＤＴ４１、４２のＳＡＷの伝搬方向
に対して垂直の方向の各帯状の電極の交叉幅Ｗが２分割
され、図４に示す従来の１ポートＳＡＷ共振子とは異な
り互いの電極同士が互いに交叉しないように配置されて
いる。さらに第１の変形例における１ポートＳＡＷ共振
子は、アルミニウム薄膜等で形成され、ＳＡＷの伝搬方
向に対して垂直方向に互いに電気的に接続された複数の
帯状の電極を有する第３の電極５２を有している。この
第３の電極５２は、複数の帯状の電極同士をその中間部
分において、ＳＡＷの伝搬方向に対して平行に配置され
た帯状の電極を介して電気的に接続されている。この第
３の電極５２の各帯状の電極は、第１および第２のＩＤ
Ｔ４１、４２それぞれのすだれ状に有している各帯状の
電極と交互に配置されている。
【００４８】このような構成の第１の変形例における１
ポートＳＡＷ共振子では、入力端子４８に電気信号を印
加すると、出力端子４９との間の電圧値に応じて、圧電
基板４０に歪みが生じる。この歪みの結果として第１の
ＩＤＴ４１により励振したＳＡＷが、圧電基板４０上を
伝搬し、一旦第１のＩＤＴ４１と対向して配置されてい
る第３の電極５２に到達する。第３の電極５２では、到
達したＳＡＷを電気信号に変換する。そして再び、第３
の電極５２の第２のＩＤＴ４２と対向する部分から、Ｓ
ＡＷを励振する。このＳＡＷは、第２のＩＤＴ４２に到
達する。第２のＩＤＴ４２は、この伝搬してきたＳＡＷ
を電気信号に変換する。
ポートＳＡＷ共振子では、入力端子４８に電気信号を印
加すると、出力端子４９との間の電圧値に応じて、圧電
基板４０に歪みが生じる。この歪みの結果として第１の
ＩＤＴ４１により励振したＳＡＷが、圧電基板４０上を
伝搬し、一旦第１のＩＤＴ４１と対向して配置されてい
る第３の電極５２に到達する。第３の電極５２では、到
達したＳＡＷを電気信号に変換する。そして再び、第３
の電極５２の第２のＩＤＴ４２と対向する部分から、Ｓ
ＡＷを励振する。このＳＡＷは、第２のＩＤＴ４２に到
達する。第２のＩＤＴ４２は、この伝搬してきたＳＡＷ
を電気信号に変換する。
【００４９】このように第１の変形例における１ポート
ＳＡＷ共振子は、本実施例における１ポートＳＡＷ共振
子による効果に加えて、第１および第２のＩＤＴ４１、
４２を直列接続するための第３の電極５２の占有面積を
さらに小さくすることができるので、例えば移動体通信
端末機の小型化に貢献することができる。
ＳＡＷ共振子は、本実施例における１ポートＳＡＷ共振
子による効果に加えて、第１および第２のＩＤＴ４１、
４２を直列接続するための第３の電極５２の占有面積を
さらに小さくすることができるので、例えば移動体通信
端末機の小型化に貢献することができる。
【００５０】第２の変形例
【００５１】本実施例および第１の変形例における１ポ
ートＳＡＷ共振子は、交叉幅Ｗを２分割するものとして
説明したが、この分割数に限定されるものではない。例
えば交叉幅ＷをＮ分割（Ｎは２以上の自然数）した場
合、インピーダンスをＮ2倍にすることができる。すな
わち、図１あるいは図２に示すように占有面積を大きく
することなく、Ｎ2倍という高いインピーダンスを実現
することができる。
ートＳＡＷ共振子は、交叉幅Ｗを２分割するものとして
説明したが、この分割数に限定されるものではない。例
えば交叉幅ＷをＮ分割（Ｎは２以上の自然数）した場
合、インピーダンスをＮ2倍にすることができる。すな
わち、図１あるいは図２に示すように占有面積を大きく
することなく、Ｎ2倍という高いインピーダンスを実現
することができる。
【００５２】図３は第２の変形例における分割数が３の
ときの１ポートＳＡＷ共振子の平面構造を模式的に表わ
したものである。ただし、図２に示す第１の変形例にお
ける１ポートＳＡＷ共振子と同一部分には同一符号を付
し、説明を省略する。第２の変形例における１ポートＳ
ＡＷ共振子は、圧電基板４０の上面に、アルミニウム薄
膜等で形成され互いに電気的に絶縁された第１および第
２のＩＤＴ５３、５４が配置されている。第１および第
２のＩＤＴ５３、５４は、それぞれＳＡＷの伝搬方向に
対して垂直の方向に複数の細長い帯状の電極群を有し、
これら電極群は一端が電気的に接続され他端が電気的に
絶縁されたすだれ状に配置されている。第１および第２
のＩＤＴ５３、５４は対向して配置されている。
ときの１ポートＳＡＷ共振子の平面構造を模式的に表わ
したものである。ただし、図２に示す第１の変形例にお
ける１ポートＳＡＷ共振子と同一部分には同一符号を付
し、説明を省略する。第２の変形例における１ポートＳ
ＡＷ共振子は、圧電基板４０の上面に、アルミニウム薄
膜等で形成され互いに電気的に絶縁された第１および第
２のＩＤＴ５３、５４が配置されている。第１および第
２のＩＤＴ５３、５４は、それぞれＳＡＷの伝搬方向に
対して垂直の方向に複数の細長い帯状の電極群を有し、
これら電極群は一端が電気的に接続され他端が電気的に
絶縁されたすだれ状に配置されている。第１および第２
のＩＤＴ５３、５４は対向して配置されている。
【００５３】第２の変形例における１ポートＳＡＷ共振
子は、第１および第２のＩＤＴ５３、５４のＳＡＷの伝
搬方向に対して垂直の方向の各帯状の電極の交叉幅Ｗが
３分割され、図４に示す従来の１ポートＳＡＷ共振子と
は異なり互いの電極同士が互いに交叉しないように配置
されている。第２の変形例における１ポートＳＡＷ共振
子は、アルミニウム薄膜等で形成され、ＳＡＷの伝搬方
向に対して垂直方向に互いに電気的に接続された複数の
帯状の電極を有する第３および第４の電極５５、５６を
有している。
子は、第１および第２のＩＤＴ５３、５４のＳＡＷの伝
搬方向に対して垂直の方向の各帯状の電極の交叉幅Ｗが
３分割され、図４に示す従来の１ポートＳＡＷ共振子と
は異なり互いの電極同士が互いに交叉しないように配置
されている。第２の変形例における１ポートＳＡＷ共振
子は、アルミニウム薄膜等で形成され、ＳＡＷの伝搬方
向に対して垂直方向に互いに電気的に接続された複数の
帯状の電極を有する第３および第４の電極５５、５６を
有している。
【００５４】第３の電極５５は、複数の帯状の電極同士
をその中間部分において、ＳＡＷの伝搬方向に対して平
行に配置された帯状の電極を介して電気的に接続されて
いる。第４の電極５６は、複数の帯状の電極同士をその
中間部分において、ＳＡＷの伝搬方向に対して平行に配
置された帯状の電極を介して電気的に接続されている。
第３の電極５５の各帯状の電極は、第１のＩＤＴ５３お
よび第４の電極５６それぞれのすだれ状に有している各
帯状の電極と交互に配置されている。第４の電極５６の
各帯状の電極は、第２のＩＤＴ５４および第３の電極５
５それぞれのすだれ状に有している各帯状の電極と交互
に配置されている。
をその中間部分において、ＳＡＷの伝搬方向に対して平
行に配置された帯状の電極を介して電気的に接続されて
いる。第４の電極５６は、複数の帯状の電極同士をその
中間部分において、ＳＡＷの伝搬方向に対して平行に配
置された帯状の電極を介して電気的に接続されている。
第３の電極５５の各帯状の電極は、第１のＩＤＴ５３お
よび第４の電極５６それぞれのすだれ状に有している各
帯状の電極と交互に配置されている。第４の電極５６の
各帯状の電極は、第２のＩＤＴ５４および第３の電極５
５それぞれのすだれ状に有している各帯状の電極と交互
に配置されている。
【００５５】第２の変形例における１ポートＳＡＷ共振
子は、（１）式に示すように、交叉幅Ｗを３分割してイ
ンピーダンスを３倍にし、かつこれらを直列接続してさ
らにインピーダンスを３倍にすることで、特性インピー
ダンスが“９×Ｚ0”の１ポートＳＡＷ共振子を実現す
ることができる。すなわち、図３に示すように占有面積
を大きくすることなく、３2倍という高いインピーダン
スを実現することができる。
子は、（１）式に示すように、交叉幅Ｗを３分割してイ
ンピーダンスを３倍にし、かつこれらを直列接続してさ
らにインピーダンスを３倍にすることで、特性インピー
ダンスが“９×Ｚ0”の１ポートＳＡＷ共振子を実現す
ることができる。すなわち、図３に示すように占有面積
を大きくすることなく、３2倍という高いインピーダン
スを実現することができる。
【００５６】また従来から交叉幅ＷをＮ分割するだけで
インピーダンスをＮ倍にすることができるが、上述した
ように回折効果の影響で特性劣化を免れることができな
い。しかしながら、本実施例における１ポートＳＡＷ共
振子で同じＮ倍のインピーダンスを得ようとした場合、
本実施例の場合Ｎ2倍でインピーダンスを高めることが
できるため、従来より交叉幅Ｗの分割数を小さくするこ
とができるので、従来より回折効果の影響による特性劣
化を軽減することができるようになる。
インピーダンスをＮ倍にすることができるが、上述した
ように回折効果の影響で特性劣化を免れることができな
い。しかしながら、本実施例における１ポートＳＡＷ共
振子で同じＮ倍のインピーダンスを得ようとした場合、
本実施例の場合Ｎ2倍でインピーダンスを高めることが
できるため、従来より交叉幅Ｗの分割数を小さくするこ
とができるので、従来より回折効果の影響による特性劣
化を軽減することができるようになる。
【００５７】なお本実施例および第１および第２の変形
例では、すだれ状に設けられた複数の帯状の電極の長さ
が等しい、いわゆる正規型ＩＤＴについて説明したが、
これに限定されるものではない。各帯状の電極が等しく
なくとも、これまで説明したのと同様の傾向の効果を得
ることが期待できる。すなわち、対向するＩＤＴの交叉
幅を分割し、所定の間隔を置いた電極により直列接続す
ることによって、占有面積の増加と特性劣化の回避と、
高いインピーダンスの実現とを両立するＳＡＷ共振子と
ＳＡＷフィルタを実現することができる。
例では、すだれ状に設けられた複数の帯状の電極の長さ
が等しい、いわゆる正規型ＩＤＴについて説明したが、
これに限定されるものではない。各帯状の電極が等しく
なくとも、これまで説明したのと同様の傾向の効果を得
ることが期待できる。すなわち、対向するＩＤＴの交叉
幅を分割し、所定の間隔を置いた電極により直列接続す
ることによって、占有面積の増加と特性劣化の回避と、
高いインピーダンスの実現とを両立するＳＡＷ共振子と
ＳＡＷフィルタを実現することができる。
【００５８】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、第１および第２の交叉指状電極における交差
幅を分割し、これらの間にそれぞれ所定の間隔を置いて
互いに対向して配置されるすだれ状電極を有する１また
は複数の中間構成電極を配置し、少なくとも第１および
第２の交叉指状電極のすだれ状電極と所定の間隔を置い
て対向して配置するようにしたので、従来と変わらない
占有面積で、インピーダンスを交叉幅の分割数倍の２乗
倍にすることができるようになる。したがって、従来と
同じインピーダンスを実現する場合でも分割数を小さく
することができるので、従来に比べて回折効果の影響に
よる特性の劣化を軽減することができる。
によれば、第１および第２の交叉指状電極における交差
幅を分割し、これらの間にそれぞれ所定の間隔を置いて
互いに対向して配置されるすだれ状電極を有する１また
は複数の中間構成電極を配置し、少なくとも第１および
第２の交叉指状電極のすだれ状電極と所定の間隔を置い
て対向して配置するようにしたので、従来と変わらない
占有面積で、インピーダンスを交叉幅の分割数倍の２乗
倍にすることができるようになる。したがって、従来と
同じインピーダンスを実現する場合でも分割数を小さく
することができるので、従来に比べて回折効果の影響に
よる特性の劣化を軽減することができる。
【００５９】また請求項２記載の発明によれば、中間構
成電極をそれぞれ構成する互いに開放端を反対側に配置
した２組の平行電極の帯状電極が共通の１つの帯状電極
として構成されるので、占有面積の縮小を図ることがで
きる。
成電極をそれぞれ構成する互いに開放端を反対側に配置
した２組の平行電極の帯状電極が共通の１つの帯状電極
として構成されるので、占有面積の縮小を図ることがで
きる。
【００６０】さらに請求項３記載の発明によれば、請求
項１記載の発明の弾性表面波共振子をラダー接続するこ
とによって弾性表面波フィルタを構成するようにしたの
で、従来と変わらない占有面積を保ったまま、特性劣化
を抑えて高い入出力端インピーダンスのＳＡＷフィルタ
を実現することができる。
項１記載の発明の弾性表面波共振子をラダー接続するこ
とによって弾性表面波フィルタを構成するようにしたの
で、従来と変わらない占有面積を保ったまま、特性劣化
を抑えて高い入出力端インピーダンスのＳＡＷフィルタ
を実現することができる。
【００６１】さらにまた請求項４記載の発明によれば、
入出力側のグランドを分離することによってノイズの影
響を除去する平行駆動型のフィルタとして適用すること
ができる。
入出力側のグランドを分離することによってノイズの影
響を除去する平行駆動型のフィルタとして適用すること
ができる。
【００６２】さらに請求項５記載の発明によれば、中間
構成電極をそれぞれ構成する互いに開放端を反対側に配
置した２組の平行電極の帯状電極が共通の１つの帯状電
極として構成したので、請求項３または請求項４記載の
弾性表面波フィルタで占有面積の縮小を図ることができ
る。
構成電極をそれぞれ構成する互いに開放端を反対側に配
置した２組の平行電極の帯状電極が共通の１つの帯状電
極として構成したので、請求項３または請求項４記載の
弾性表面波フィルタで占有面積の縮小を図ることができ
る。
【図１】本実施例における１ポートＳＡＷ共振子の平面
構造を示す模式図である。
構造を示す模式図である。
【図２】第１の変形例における１ポートＳＡＷ共振子の
平面構造を示す模式図である。
平面構造を示す模式図である。
【図３】第２の変形例における交叉幅が３の場合の１ポ
ートＳＡＷ共振子の平面構造を示す模式図である。
ートＳＡＷ共振子の平面構造を示す模式図である。
【図４】（ａ）従来の１ポートＳＡＷ共振子の平面構造
を示す模式図である。（ｂ）は１ポートＳＡＷ共振子を
表わす記号を示す説明図である。
を示す模式図である。（ｂ）は１ポートＳＡＷ共振子を
表わす記号を示す説明図である。
【図５】１ポートＳＡＷ共振子がラダー接続されたＳＡ
Ｗフィルタの構成の概要を示す構成図である。
Ｗフィルタの構成の概要を示す構成図である。
【図６】１ポートＳＡＷ共振子がラチス接続されたＳＡ
Ｗフィルタの構成の概要を示す構成図である。
Ｗフィルタの構成の概要を示す構成図である。
１０、４０ 圧電基板
１１、４１、５３ 第１のＩＤＴ
１２、４２、５４ 第２のＩＤＴ
１３、４６ 入力電極
１４、４７ 出力電極
１５、４８ 入力端子
１６、４９ 出力端子
１７、５０ 第１の反射器電極
１８、５１ 第２の反射器電極
１９ 交叉幅
２０、２６ 第１のＳＡＷ共振子
２１、２７ 第１の入力端子
２２、２８ 第１の出力端子
２３、２９ 第２のＳＡＷ共振子
２４、３０ 第２の入力端子
２５、３１ 第２の出力端子
３２ 第３のＳＡＷ共振子
３３ 第４のＳＡＷ共振子
４３、５２、５５ 第３の電極
４４、５６ 第４の電極
４５ 短絡電極
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭57−119509（ＪＰ，Ａ)
特開 昭49−14093（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−205343（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−131157（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−7370（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−94520（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 9/25
H03H 9/145
H03H 9/64
Claims (5)
- 【請求項１】 平板状の圧電基板と、 それぞれ一定長を有し間隔を置いてこれらを互いに平行
に配置してなる複数の平行電極を備え、これら平行電極
の一端側を電気的に共通して接続すると共に他端側をす
べて開放した構造のすだれ状電極からそれぞれ構成さ
れ、前記圧電基板の一端あるいは他端側に配置された入
力端子あるいは出力端子と前記平行電極の前記一端側を
接続し、それぞれの前記すだれ状電極の前記他端側を間
隔を置いて互いに向き合わせるように配置した第１およ
び第２の交叉指状電極と、 これら第１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極と
は異なる２つのすだれ状電極を前記平行電極の電気的な
共通接続側同士を短絡電極で電気的に接続した構成の中
間構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間に１つ
あるいは複数個直列に配置した構造であって、第１およ
び第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそれぞれ
対向するすだれ状電極をこれらを構成する前記平行電極
の長手方向に所定長だけ交叉させており、これらの交叉
幅が、前記第１および第２の交叉指状電極のみが存在し
中間構成電極が存在しない場合の交叉幅に対して、中間
構成電極の配置個数に数値１を加えた数の逆数を掛けた
値に設定した中間電極とを具備することを特徴とする弾
性表面波共振子。 - 【請求項２】 前記中間構成電極は前記平行電極の一端
側を電気的に共通して接続する帯状電極を備え、互いに
開放端を反対側に配置した２組の平行電極の前記帯状電
極が共通の１つの帯状電極として構成されていることを
特徴とする請求項１記載の弾性表面波共振子。 - 【請求項３】 平板状の圧電基板と、それぞれ一定長を
有し間隔を置いてこれらを互いに平行に配置してなる複
数の平行電極を備え、これら平行電極の一端側を電気的
に共通して接続すると共に他端側をすべて開放した構造
のすだれ状電極からそれぞれ構成され、前記圧電基板の
一端あるいは他端側に配置された入力端子あるいは出力
端子と前記平行電極の前記一端側を接続し、それぞれの
前記すだれ状電極の前記他端側を間隔を置いて互いに向
き合わせるように配置した第１および第２の交叉指状電
極と、これら第１および第２の交叉指状電極のすだれ状
電極とは異なる２つのすだれ状電極を前記平行電極の電
気的な共通接続側同士を 短絡電極で電気的に接続した構
成の中間構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間
に１つあるいは複数個直列に配置した構造であって、第
１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそ
れぞれ対向するすだれ状電極をこれらを構成する前記平
行電極の長手方向に所定長だけ交叉させており、これら
の交叉幅が、前記第１および第２の交叉指状電極のみが
存在し中間構成電極が存在しない場合の交叉幅に対し
て、中間構成電極の配置個数に数値１を加えた数の逆数
を掛けた値に設定した中間電極とを有する複数の弾性表
面波共振子を備え、前記複数の弾性表面波共振子がラダ
ー接続されていることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項４】 平板状の圧電基板と、それぞれ一定長を
有し間隔を置いてこれらを互いに平行に配置してなる複
数の平行電極を備え、これら平行電極の一端側を電気的
に共通して接続すると共に他端側をすべて開放した構造
のすだれ状電極からそれぞれ構成され、前記圧電基板の
一端あるいは他端側に配置された入力端子あるいは出力
端子と前記平行電極の前記一端側を接続し、それぞれの
前記すだれ状電極の前記他端側を間隔を置いて互いに向
き合わせるように配置した第１および第２の交叉指状電
極と、これら第１および第２の交叉指状電極のすだれ状
電極とは異なる２つのすだれ状電極を前記平行電極の電
気的な共通接続側同士を短絡電極で電気的に接続した構
成の中間構成電極を第１および第２の交叉指状電極の間
に１つあるいは複数個直列に配置した構造であって、第
１および第２の交叉指状電極のすだれ状電極を含めたそ
れぞれ対向するすだれ状電極をこれらを構成する前記平
行電極の長手方向に所定長だけ交叉させており、これら
の交叉幅が、前記第１および第２の交叉指状電極のみが
存在し中間構成電極が存在しない場合の交叉幅に対し
て、中間構成電極の配置個数に数値１を加えた数の逆数
を掛けた値に設定した中間電極とを有する複数の弾性表
面波共振子を備え、前記複数の弾性表面波共振子がラチ
ス接続されていることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項５】 前記中間構成電極は平行電極の一端側を
電気的に共通して接続する帯状電極を備え、互いに開放
端を反対側に配置した２組の平行電極の帯状電極が共通
の１つの帯状電極として構成されていることを特徴とす
る請求項３または請求項４記載の弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18999099A JP3425394B2 (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18999099A JP3425394B2 (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001024471A JP2001024471A (ja) | 2001-01-26 |
| JP3425394B2 true JP3425394B2 (ja) | 2003-07-14 |
Family
ID=16250556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18999099A Expired - Fee Related JP3425394B2 (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3425394B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
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| DE102005010658A1 (de) * | 2005-03-08 | 2006-09-14 | Epcos Ag | Duplexer mit verbesserter Leistungsverträglichkeit |
| JP6411295B2 (ja) * | 2014-10-16 | 2018-10-24 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、フィルタ、及び分波器 |
| US10097158B2 (en) * | 2014-10-16 | 2018-10-09 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave device, filter, and duplexer |
| CN106797206B (zh) * | 2014-10-21 | 2020-11-03 | 株式会社村田制作所 | 弹性波谐振器以及梯型滤波器 |
| JP6556094B2 (ja) | 2016-05-11 | 2019-08-07 | 太陽誘電株式会社 | フィルタおよびマルチプレクサ |
-
1999
- 1999-07-05 JP JP18999099A patent/JP3425394B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2001024471A (ja) | 2001-01-26 |
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