JP2001223554A

JP2001223554A - 弾性表面波フィルタ

Info

Publication number: JP2001223554A
Application number: JP2000029246A
Authority: JP
Inventors: Norio Taniguchi; 典生谷口
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-02-07
Filing date: 2000-02-07
Publication date: 2001-08-17
Also published as: GB0102603D0; GB2365236A; US20010013816A1; GB2365236B; US6535080B2

Abstract

(57)【要約】【課題】平衡入出力対応可能であり、良好なフィルタ
特性を有し、不平衡回路を用いてもフィルタ特性を高精
度に測定することができる梯子型回路構成を有する弾性
表面波フィルタを提供する。【解決手段】圧電基板上に複数の弾性表面波共振子か
らなる梯子型回路が構成されており、該梯子型回路は、
入力側平衡信号端子Ａ１，Ａ２と、出力側平衡信号端子
Ｂ１，Ｂ２とを有し、入力側平衡信号端子Ａ１と出力側
平衡信号端子Ｂ１との間に直列腕共振子Ｓ１が、入力側
平衡信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との間に直
列腕共振子Ｓ２が接続されており、入力側平衡信号端子
Ａ１−出力側平衡信号端子Ｂ１で構成される第１の信号
ラインと、入力側平衡信号端子Ａ２と出力側平衡信号端
子Ｂ２とで構成される第２の信号ラインとの間に、少な
くとも１つのインピーダンス素子Ｃ１が接続されてい
る、平衡入出力型の弾性表面波フィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タに関し、より詳細には、平衡入出力に対応し得る梯子
型回路構成を有する弾性表面波フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、移動体通信機の帯域フィルタなど
に、弾性表面波フィルタが多用されている。中でも、挿
入損失が小さく、かつ広帯域である梯子型回路構成を有
する弾性表面波フィルタが種々提案されている。

【０００３】図２７は、梯子型回路構成を有する弾性表
面波フィルタの基本的な構成を示す回路図である。入力
端子２０１と出力端子（図示されず）とを結ぶ信号ライ
ンが直列腕を構成しており、該直列腕に直列共振子２０
２が接続されている。また、直列腕とアース電位との間
に並列腕が構成されており、該並列腕に並列腕共振子２
０３が接続されている。図２７では一段のフィルタ回路
を示しているが、通常、直列腕共振子及び並列腕共振子
が複数備えられた複数段構成の弾性表面波フィルタが用
いられている。

【０００４】直列腕共振子及び並列腕共振子は、一端子
対弾性表面波共振子により構成されている。一端子対弾
性表面波共振子は、表面波伝搬方向中央に配置されたＩ
ＤＴ電極と、ＩＤＴ電極の表面波伝搬方向両側に配置さ
れた反射器とを備える。

【０００５】上記梯子型回路構成を有する弾性表面波フ
ィルタの代表的なフィルタ特性の一例を図２８に示す。
特開平５−１８３３８０号公報には、並列腕共振子に直
列にインダクタンスを付加することにより、広帯域化及
び減衰量の拡大を図ることができる梯子型回路構成を有
する弾性表面波フィルタが開示されている。特に、この
インダクタンスを、ワイヤーボンドを用いて構成すれ
ば、チップサイズやパッケージのサイズの大型化も招か
ない。

【０００６】すなわち、ボンディングワイヤにより弾性
表面波フィルタ素子とパッケージとが電気的に接続され
ている、不平衡型の弾性表面波フィルタでは、ボンディ
ングワイヤによるインダクタンス成分により、弾性表面
波素子単独のフィルタ特性よりも広帯域のフィルタ特性
を得ることができる。

【０００７】しかしながら、特開平５−１８３３８０号
公報に記載の弾性表面波フィルタは、不平衡入力−不平
衡出力の回路に適用した場合には正常に動作するが、平
衡入力−平衡出力の回路に用いた場合には正常に動作し
ないという問題があった。

【０００８】この問題を解決するために、平衡回路に対
応した平衡型の梯子型回路構成を有する弾性表面波フィ
ルタが米国特許５，４９９，００３号に開示されてい
る。図２９に、この先行技術に記載の弾性表面波フィル
タの回路構成を示す。

【０００９】ここでは、ホット側入力端子２１１とホッ
ト側出力端子２１２との間の信号ラインで構成される第
１の直列腕と、アース側入力端子２１３とアース側出力
端子２１４との間の信号ラインで構成される第２の直列
腕のそれぞれに、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４，Ｓ５〜Ｓ８
が接続されている。そして、上記第１，第２の直列腕間
に複数の並列腕が接続されており、各並列腕に並列腕共
振子Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３がそれぞれ接続されている。

【００１０】上記のように、第１，第２の直列腕間に並
列腕を接続することにより、平衡型の弾性表面波フィル
タが実現されている。さらに、特開平６−６９７５０号
公報には、不平衡入出力に対応した梯子型弾性表面波フ
ィルタが開示されており、ここでは、直列腕共振子と並
列腕共振子の電極容量を最適化することにより、不平衡
入出力に対応し得るとされている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】米国特許第５，４９
９，００３号に記載のような平衡型の梯子型弾性表面波
フィルタでは、並列腕共振子にインダクタンスが付加さ
れていない。従って、上記インダクタンスの付加による
広帯域化及び減衰量の拡大を図ることが困難である。ま
た、この先行技術に記載の弾性表面波フィルタでは、並
列腕共振子は、弾性表面波共振子に限定されており、通
過帯域幅は圧電基板に依存する。従って、帯域幅の設計
の自由度が著しく低いという問題もあった。

【００１２】さらに、米国特許第５，４９９，００３号
に記載の平衡型の梯子型弾性表面波フィルタでは、平衡
回路に接続しなければ電気的特性を測定することができ
ない。一般に、フィルタの電気的特性を評価するのに用
いられるネットワークアナライザは不平衡回路であり、
従って、ネットワークアナライザを用いて上記弾性表面
波フィルタの電気的特性を測定するには、間に平衡−不
平衡変換回路を挿入する必要がある。

【００１３】上記のような測定回路の一例を、図３０に
示す。図３０において、２２１は弾性表面波フィルタ
を、２２２，２２３は平衡−不平衡変換回路を示す。と
ころが、この平衡−不平衡変換回路２２２，２２３に含
まれている抵抗や反射による損失により、高精度にフィ
ルタ特性を評価することが困難であった。加えて、平衡
−不平衡変換回路２２２，２２３の稼働周波数範囲は一
般的に狭く、広い周波数範囲を同時に評価することが困
難であった。また、平衡−不平衡変換回路２２２，２２
３の特性のばらつきによっても、フィルタ特性を高精度
にかつ再現性をもって評価することが困難であった。

【００１４】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、平衡入出力に対応可能であり、広帯域かつ低
損失であり、帯域幅の設計の自由度が広く、フィルタ特
性を高精度にかつ容易に測定し得る梯子型回路構成を有
する弾性表面波フィルタを提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本願の第１の発明は、圧
電基板と、圧電基板上に形成された複数の弾性表面波共
振子とを備え、該複数の弾性表面波共振子により梯子型
フィルタ回路が構成されている弾性表面波フィルタであ
って、前記フィルタ回路が、外部平衡回路に接続され
る、入力側平衡信号端子Ａ１，Ａ２と、外部平衡回路に
接続される、出力側平衡信号端子Ｂ１，Ｂ２と、入力側
平衡信号端子Ａ１と出力側平衡信号端子Ｂ１との間に、
直列に接続されている少なくとも１つの第１の直列腕弾
性表面波共振子と、入力側平衡信号端子Ａ２と出力側平
衡信号端子Ｂ２との間に、直列に接続されている少なく
とも１つの第２の直列腕弾性表面波共振子と、前記入力
側平衡信号端子Ａ１と出力側平衡信号端子Ｂ１との間を
結合している第１の信号ラインと、入力側平衡信号端子
Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との間を結合している第
２の信号ラインとの間に接続された少なくとも１つのイ
ンピーダンス素子とを備えることを特徴とする。

【００１６】第１の発明に係る弾性表面波フィルタの特
定の局面では、前記インピーダンス素子に直列に接続さ
れた少なくとも１つの第３の弾性表面波共振子がさらに
備えられる。

【００１７】第１の発明に係る弾性表面波フィルタのさ
らに他の特定の局面では、少なくとも２つの第３の弾性
表面波共振子がさらに備えられる。第１の発明に係る弾
性表面波フィルタでは、後述するように、並列腕共振子
にインピーダンス素子が付加され、それによって広帯域
あるいは狭帯域の平衡型の弾性表面波フィルタを実現す
ることができる。また、後述するように、特開平５−１
８３３８０号公報に記載の不平衡型の弾性表面波フィル
タでは得られない良好なフィルタ特性を得ることができ
る。

【００１８】本願の第２の発明は、圧電基板と、圧電基
板上に形成された複数の弾性表面波共振子とを備え、該
複数の弾性表面波共振子により梯子型フィルタ回路が構
成されている弾性表面波フィルタであって、前記フィル
タ回路が、外部平衡回路に接続される、入力側平衡信号
端子Ａ１，Ａ２と、外部平衡回路に接続される、出力側
平衡信号端子Ｂ１，Ｂ２と、入力側平衡信号端子Ａ１と
出力側平衡信号端子Ｂ１との間に、直列に接続されてい
る少なくとも１つの第１の直列腕弾性表面波共振子と、
入力側平衡信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との
間に、直列に接続されている少なくとも１つの第２の直
列腕弾性表面波共振子と、前記入力側平衡信号端子Ａ１
と出力側平衡信号端子Ｂ１との間を結合している第１の
信号ラインと、入力側平衡信号端子Ａ２と出力側平衡信
号端子Ｂ２との間を結合している第２の信号ラインのそ
れぞれから導出された少なくとも２個の第３の弾性表面
波共振子とを備え、前記第３の弾性表面波共振子の前記
第１または第２の信号ラインと接続されていない側の端
部が接地されていることを特徴とする。

【００１９】第２の発明に係る弾性表面波フィルタで
は、上記第１，第２の信号ラインのそれぞれから少なく
とも２個の第３の弾性表面波共振子が導出されており、
第３の弾性表面波共振子の第１または第２の信号ライン
と接続されていない側の端部が接地されているので、後
述するように、広帯域あるいは狭帯域のフィルタ特性を
得ることができ、さらに、平衡−不平衡変換回路を用い
ずとも、高精度にフィルタ特性を評価することができ
る。

【００２０】第２の発明の特定の局面では、前記第３の
弾性表面波共振子の第１または第２の信号ラインと接続
されていない側の端部と、接地電位との間に挿入された
インピーダンス素子がさらに備えられる。

【００２１】第２の発明に係る弾性表面波フィルタのよ
り限定的な局面では、前記第１，第２の信号ラインから
導出された第３の弾性表面波共振子の電極容量と第２，
第１の信号ラインから導出された第３の弾性表面波共振
子の電極容量との比率が、１．４以内とされており、そ
れによってより一層高精度にフィルタ特性を測定するこ
とができ、かつ平衡性もより一層良好となる。

【００２２】第２の発明に係る弾性表面波フィルタのさ
らに他の特定の局面では、前記入力側平衡信号端子Ａ１
と出力側平衡信号端子Ｂ１との間において、前記第１の
直列腕弾性表面波共振子に直列に接続されている少なく
とも１つの第２のインピーダンス素子と、入力側平衡信
号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との間において、
前記第２の直列腕弾性表面波共振子に直列に接続されて
いる第３のインピーダンス素子とがさらに備えられる。

【００２３】このように、並列腕だけでなく、直列腕に
もインピーダンス素子を加えることにより、より一層良
好なフィルタ特性を得ることができ、特にＶＳＷＲ（反
射特性）が効果的に改善される。第１，第２の発明にお
いて、上記インピーダンス素子としては、特に限定され
ず、インダクタンス素子、容量素子あるいは共振素子を
用いることができる。

【００２４】インピーダンス素子としてインダクタンス
素子を用いた場合には、広帯域化を図ることができる。
また、インピーダンス素子として容量素子を用いた場合
には、狭帯域のフィルタ特性を得ることができる。イン
ピーダンス素子として共振素子を用いた場合には、弾性
表面波共振子では実現できない容量比（共振周波数と反
共振周波数との間隔を決定するパラメータＣ１／Ｃ０）
の共振特性を得ることができ、その結果、広帯域あるい
は狭帯域のフィルタ特性を実現することができる。

【００２５】上記インダクタンス素子を構成する場合、
ボンディングワイヤによって構成してもよい。あるい
は、圧電基板を収納するパッケージをさらに備え、該パ
ッケージに圧電基板上の信号ラインに接続されているス
トリップラインが形成されており、該ストリップライン
によりインダクタンス素子が構成されてもよい。

【００２６】また、上記容量素子としては、圧電基板上
に形成されている電極により構成してもよく、あるいは
圧電基板上に容量素子を構成するために別途容量取り出
しのための電極を形成してもよい。上記共振素子として
は、特に限定されるわけではないが、インダクタンスと
容量との組み合わせにより構成することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
図面を参照しつつ説明することにより、本発明を明らか
にする。

【００２８】図１は、本発明の第１の実施形態の弾性表
面波フィルタの回路図である。本実施形態の弾性表面波
フィルタは、外部平衡回路に接続される入力側平衡信号
端子Ａ１，Ａ２と、外部平衡回路に接続される出力側平
衡信号端子Ｂ１，Ｂ２とを有する。

【００２９】入力側平衡信号端子Ａ１と、出力側平衡信
号端子Ｂ１とを結合している第１の信号ラインが第１の
直列腕を構成しており、該第１の直列腕に直列に直列腕
弾性表面波共振子Ｓ１が接続されている。同様に、入力
側平衡信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２とを結合
している第２の信号ラインが第２の直列腕を構成してい
る。この第２の直列腕に、直列に第２の直列腕弾性表面
波共振子Ｓ２が接続されている。

【００３０】さらに、第１の信号ラインと、第２の信号
ラインとの間に、少なくとも１つのインピーダンス素子
として、容量素子Ｃ１が接続されている。本実施形態の
弾性表面波フィルタのフィルタ特性の一例を図２に示
す。図２に示すように、通過帯域が狭く、通過帯域広域
側に減衰極を持つ、平衡入出力対応可能な弾性表面波フ
ィルタを提供することができる。

【００３１】また、上記容量素子Ｃ１に代えて、インピ
ーダンス素子として例えばＬＣ共振素子を用いると、図
３に示すフィルタ特性を得ることができる。この場合、
共振素子は、インダクタンス素子と容量素子とを組み合
わせることにより、すなわちＬＣ共振素子で構成するこ
とができる。

【００３２】図４は、本発明の第２の実施形態に係る弾
性表面波フィルタの回路図である。第２の実施形態の弾
性表面波フィルタが、第１の実施形態の弾性表面波フィ
ルタと異なるところは、並列腕の構成にある。すなわ
ち、第１，第２の信号ラインのそれぞれから第３の弾性
表面波共振子Ｐ１，Ｐ２がそれぞれ導出されている。こ
の第３の弾性表面波共振子Ｐ１、Ｐ２の第１または第２
の信号ラインと接続されていない側の端部が、インピー
ダンス素子としてのインダクタンス素子Ｌ１，Ｌ２を介
して接地されている。すなわち、接地電位を介して２個
の第３の弾性表面波共振子Ｐ１，Ｐ２が接続されて、１
つの並列腕が構成されている。

【００３３】第２の実施形態では、第１の信号ラインか
ら１つの第３の弾性表面波共振子Ｐ１が導出されてお
り、第２の信号ラインからも１つの第３の弾性表面波共
振子Ｐ２が導出されているが、それぞれ複数の第３の弾
性表面波共振子が導出されていてもよい。また、インピ
ーダンス素子としてのインダクタンス素子Ｌ１，Ｌ２は
省略されてもよい。

【００３４】上記第３の弾性表面波共振子Ｐ１、Ｐ２
は、図４から明らかなように、第１，第２の信号ライン
と接地電位との間に直列に接続されているので、並列腕
共振子である。この弾性表面波共振子Ｐ１と、弾性表面
波共振子Ｐ２とは同じ構造を有し、それぞれの***振周
波数が、直列腕弾性表面波共振子Ｓ１の共振周波数とほ
ぼ一致するように構成されている。

【００３５】上記第３の弾性表面波共振子Ｐ１，Ｐ２の
電極容量の比率は直接一端が接地されていない場合はど
のような値でもよいが、接地されている場合には、１．
４以内であることが望ましい。なお、ここで、上記電極
容量の比率とは、弾性表面波共振子Ｐ１，Ｐ２の電極容
量のうち小さい方の電極容量を分子、大きい方の電極容
量を分母とした場合の比率をいうものとする。

【００３６】一般に、平衡入出力型の表面波フィルタで
は、出力信号の位相差は１８０±２０°であることが望
まれる。弾性表面波共振子Ｐ１，Ｐ２の上記電極容量比
率が１からずれると、アース電位に対する平衡性が保た
れなくなり、位相差が１８０からずれることになる。そ
こで、上記電極容量比率を１から２まで変化させた場合
に、位相差が１８０°からどの程度ずれるかを確かめ
た。結果を図５に示す。

【００３７】図５において、横軸は電極容量比率を、縦
軸は１８０°からの位相のずれを示す。図５から明らか
なように、電極容量比率が１．４以上では、位相のずれ
が２０°以上となる。従って、弾性表面波共振子Ｐ１，
Ｐ２が設けられている場合、両者の電極容量比率は１．
４以内であることが望ましい。

【００３８】第２の実施形態では、インピーダンス素子
として上記インダクタンス素子Ｌ１，Ｌ２が用いられて
いるが、容量素子や共振素子を用いてもよい。また、第
２の実施形態の弾性表面波フィルタでは、この構造の特
異性により、従来の不平衡型の梯子型弾性表面波フィル
タに比べて、良好なフィルタ特性を得ることができる。
前述した特開平６−６９７５０号公報によれば、直列腕
共振子の電極容量と並列腕共振子の電極容量との関係
は、入出力インピーダンスと、動作する周波数とにより
制限される。特に、パッケージなどに含まれる寄生容量
などの影響を無視すると、上記電極容量の関係は下記の
式１で表される。但し、式１において、ω₀はフィルタ
の中心周波数ｆ₀に対する角周波数であり、Ｃ_OPは並列
腕共振子の電極容量、Ｃ_OSは直列腕共振子の電極容量、
Ｒは入出力インピーダンスである。

【００３９】

【数１】

【００４０】ここで、平衡回路及び不平衡回路のそれぞ
れについて、同じ入出力インピーダンスＲ１で動作する
場合の電極容量の最適値を考える。

【００４１】図６は、第２の実施形態の弾性表面波フィ
ルタを平衡回路において動作させる場合の回路構成を略
図的に示す図である。入力側平衡信号端子Ａ１，Ａ２間
のインピーダンスＲは、入力側平衡信号端子Ａ１，Ａ２
間の仮想中性点Ｇを基準とすると、該仮想中性点Ｇの両
側に均等に分割されていると考えられる。

【００４２】すなわち、入力側平衡信号端子Ａ１，Ａ２
と仮想中性点Ｇとの間がそれぞれ（１／２）Ｒのインピ
ーダンスを有する。出力側平衡信号端子Ｂ１，Ｂ２間の
インピーダンスＲについても同様に仮想中性点の両側に
均等に分割されていると考えられる。

【００４３】さらに、弾性表面波フィルタについても仮
想中性点Ｇを基準に考えると、弾性表面波フィルタが弾
性表面波フィルタ部Ｆ１と弾性表面波フィルタ部Ｆ２と
に分割して考えられる。この場合、弾性表面波フィルタ
部Ｆ１と、弾性表面波フィルタ部Ｆ２とを、（１／２）
Ｒの入出力インピーダンスで動作するように設計すれ
ば、平衡動作した場合に、Ｒのインピーダンスで動作す
る平衡型フィルタを実現することができる。

【００４４】すなわち、図４に示した第２の実施形態の
弾性表面波フィルタは、図７に示すように、２個の弾性
表面波フィルタ部Ｆ１，Ｆ２に分割されたものと考える
ことができる。この場合、弾性表面波フィルタ部Ｆ１，
Ｆ２は、入出力インピーダンスＲ１の１／２のインピー
ダンスで動作すればよいことになる。

【００４５】従って、上述した式１によれば、直列腕共
振子Ｓ１の電極容量Ｃ_s1と、並列腕共振子Ｐ１の電極容
量Ｃ_p1の積が、不平衡回路で動作する場合の積の４倍と
されることが、上記電極容量の最適値となることがわか
る。

【００４６】ところで、弾性表面波共振子にインピーダ
ンス素子を付加した場合、弾性表面波共振子の電極容量
により、インピーダンス素子の付加による影響は変わ
る。インピーダンス素子の付加による影響を、図８
（ａ）及び（ｂ）に示す弾性表面波共振子Ａ、弾性表面
波共振子Ｂを用いて説明する。なお、弾性表面波共振子
Ａと、弾性表面波共振子Ｂとは、電極容量が異なってい
る。

【００４７】弾性表面波共振子Ａ，Ｂは、いずれも、中
央にＩＤＴ電極を有し、ＩＤＴ電極の両側のグレーティ
ング反射器を有する、一端子対弾性表面波共振子であ
る。弾性表面波共振子ＡのＩＤＴ電極の電極指対数は５
０対、反射器の電極指本数は１００本、ＩＤＴ電極の電
極指交差幅は１００μｍであり、電極指間ピッチは２μ
ｍである。弾性表面波共振子Ｂにおける、ＩＤＴ電極の
電極指の対数は１００対、反射器の電極指本数は１００
本、交差幅は１００μｍ、電極指間ピッチは２μｍであ
る。

【００４８】電極容量は、電極指の対数は交差幅の積に
比例すると考えられる。従って、弾性表面波共振子Ａの
電極容量は、弾性表面波共振子Ｂの電極容量の１／２で
ある。

【００４９】弾性表面波共振子Ａ，Ｂに、２ｎＨのイン
ダクタンスを直列に接続した場合の弾性表面波共振子の
各インピーダンス特性を図９及び図１０に示す。図９の
実線は、弾性表面波共振子Ａにインダクタンスを接続し
なかった場合のインピーダンス特性を、破線はインダク
タンスを接続した場合のインピーダンス特性を示す。ま
た、図１０における実線は、弾性表面波共振子Ｂにイン
ダクタンスを接続しなかった場合のインピーダンス特性
を、破線は弾性表面波共振子Ｂにインダクタンスを接続
した場合のインピーダンス特性を示す。

【００５０】図９及び図１０の比較から明らかなよう
に、同じインダクタンスが接続された場合の共振周波数
の変化量を比較すると、電極容量が１／２である弾性表
面波共振子Ａの方が該変化量が小さく、約半分である。

【００５１】従って、同じ大きさのインダクタンスを接
続した場合、電極容量が大きい程、その影響が大きくな
り、広帯域化を図る場合に有利である。なお、弾性表面
波共振子に直列に容量成分を接続した場合には、共振周
波数が高くなるが、容量成分の接続による影響の大きさ
は、インダクタンスを接続した場合と同様の傾向を示
す。従って、電極容量が大きい程、広帯域化及び狭帯域
化のいずれにも対応し易くなる。

【００５２】米国特許第５，４９９，００３号に記載の
ように、並列腕共振子が直接直列腕に結合されている場
合には、不平衡型の弾性表面波フィルタに比べて、平衡
型弾性表面波フィルタのフィルタ特性が悪くなる、しか
しながら、１つの並列腕に２つの第３の弾性表面波共振
子Ｐ１，Ｐ２が備えられており、かつインダクタンス素
子Ｌ１，Ｌ２が付加されている、第２の実施形態の弾性
表面波フィルタでは、平衡型回路に対応したフィルタ特
性が得られるだけでなく、従来の不平衡型の弾性表面波
フィルタよりも、良好なフィルタ特性、すなわち広帯域
かつ高減衰量のフィルタ特性を得ることができる。

【００５３】さらに、第２の実施形態の弾性表面波フィ
ルタでは、不平衡回路を用いて電気的特性の測定も行う
ことができる。図１１は、第２の実施形態の弾性表面波
フィルタを不平衡回路を有する測定装置を用いてそのフ
ィルタ特性を測定する場合の回路構成を示す図である。

【００５４】図１１に示すように、入力側平衡信号端子
Ａ１及び出力側平衡信号端子Ｂ１を、弾性表面波フィル
タが動作するインピーダンスの１／２のインピーダンス
（１／２）Ｒで終端する。そして、入力側平衡信号端子
Ａ１を入力端子とし、出力側平衡信号端子Ｂ１を出力端
子として、（１／２）Ｒのインピーダンスで不平衡回路
によりフィルタ特性を測定する。

【００５５】同様にして、入力側平衡信号端子Ａ２及び
出力側平衡信号端子Ｂ２を、（１／２）Ｒのインピーダ
ンスで終端する。そして、入力側平衡信号端子Ａ２を入
力端子とし、出力側平衡信号端子Ｂ２を出力端子とし
て、（１／２）Ｒのインピーダンスで不平衡回路にてフ
ィルタ特性を測定する。

【００５６】上記２回の測定結果から、平衡状態での動
作を知ることができ、不平衡回路により弾性表面波フィ
ルタのフィルタ特性を検査することができる。また、各
弾性表面波共振子を、アース端子から見て対称に設計し
ておけば、片側の回路部分のフィルタ特性を測定するだ
けで、もう片側のフィルタ部の動作を推定することがで
きる。従って、フィルタ特性の測定コストを低減するこ
とができると共に、平衡回路で動作する際の平衡性が高
められる。

【００５７】本発明は、上述した第１，第２の実施形態
に弾性表面波フィルタに限定されるものではなく、実際
の弾性表面波フィルタを構成する場合、これらの基本的
な組み合わせを適宜組み合わせたり、複数段接続するこ
とにより、様々な弾性表面波フィルタを構成することが
できる。この場合、各並列腕に付加されるインピーダン
ス素子は同じ素子でなくともよく、一部の並列腕におい
ては、インピーダンス素子が付加されていなくともよ
い。

【００５８】次に、より具体的な実施例につき説明す
る。（実施例１）図１２は、本発明の実施例１の弾性表面波
フィルタの回路図であり、図１３は、弾性表面波フィル
タ素子がパッケージに搭載された状態を略図的に示す平
面図である。

【００５９】本実施例では、圧電基板１として、矩形板
状のＬｉＴａＯ₃基板が用いられている。圧電基板１上
には、４個の直列腕共振子２ａ〜２ｄと６個の並列腕共
振子３ａ〜３ｆとが構成されている。直列腕共振子２ａ
〜２ｄ及び並列腕共振子３ａ〜３ｄは、いずれも、前述
した一端子対弾性表面波共振子である。

【００６０】また、上記４素子の直列腕共振子２ａ〜４
ｄと、６素子の並列腕共振子３ａ〜３ｆとが、電気的に
接続されて、梯子型回路構成のフィルタ回路が実現され
ている。

【００６１】パッケージ４には、上記圧電基板１上に直
列腕共振子２ａ〜２ｄ及び並列腕共振子３ａ〜３ｄが構
成された弾性表面波フィルタ素子を収納する凹部４ａが
形成されている。また、凹部４ａの両側に、突条４ｂ，
４ｃが形成されている。突条４ｂ，４ｃの上面には、入
出力の平衡信号端子５ａ，５ｃ，５ｄ，５ｆが形成され
ている。なお、平衡信号端子５ａ，５ｃ間には、端子５
ｂが形成されており、突条４ｃ上においては、平衡信号
端子５ｄ，５ｆ間に端子５ｅが形成されている。

【００６２】本実施例では、平衡信号端子５ａが入力側
平衡信号端子Ａ１に相当し、平衡信号端子５ｄが入力側
平衡信号端子Ａ２に相当する。また、平衡信号端子５ｃ
が出力側平衡信号端子Ｂ１に、平衡信号端子５ｆが出力
側平衡信号端子Ｂ２に相当する。

【００６３】図１３から明らかなように、平衡信号端子
５ａが、ボンディングワイヤ６ａにより電極パッド７ａ
に接続されている。電極パッド７ａは、直列腕共振子２
ａの一端及び並列腕共振子３ａの一端に接続されてい
る。また、直列腕共振子２ａの電極パッド７ａが接続さ
れている側とは反対側の端部が直列腕共振子２ｂの一端
と、並列腕共振子３ｂの一端に接続されている。

【００６４】直列腕共振子２ｂの他端は、電極パッド７
ｂと並列腕共振子３ｃの一端に接続されている。電極パ
ッド７ｂは、出力側平衡信号Ｂ１に相当する平衡信号端
子５ｃにボンディングワイヤ６ｂを用いて接続されてい
る。

【００６５】従って、入力側平衡信号端子５ａと、出力
側平衡信号端子５ｃとの間に、ボンディングワイヤ６
ａ，６ｂを介して、２個の直列腕共振子２ａ，２ｂが直
列に接続されている。すなわち、第１の信号ラインに、
２個の第１の直列腕共振子２ａ，２ｂが直列に接続され
ている。

【００６６】同様に、入力側平衡信号端子Ａ２に相当す
る平衡信号端子５ｄが、ボンディングワイヤ６ｃを介し
て電極パッド７ｃに接続されている。電極パッド７ｃ
は、直列腕共振子２ｃの一端と、並列腕共振子３ｄの一
端に接続されている。直列腕共振子２ｃの他端は、直列
腕共振子２ｄの一端と、並列腕共振子３ｅの一端に接続
されている。直列腕共振子２ｄの他端が、電極パッド７
ｄに接続されている。電極パッド７ｄはボンディングワ
イヤ６ｄを介して平衡信号端子５ｆに、すなわち出力側
平衡信号端子Ｂ２に接続されている。よって、平衡信号
端子５ｄ，５ｆ間の第２の信号ラインにおいては、ボン
ディングワイヤ６ｃ，６ｄを介して、２素子の直列腕共
振子２ｃ，２ｄが接続されている。

【００６７】他方、並列腕共振子３ａ，３ｄの第１，第
２の信号ラインと接続されている側とは反対側の端部同
士が、ボンディングワイヤ６ｅを用いて接続されてい
る。従って、第１，第２の信号ライン間に、２つの第３
の弾性表面波共振子として、並列腕共振子３ａ，３ｄを
有する１つの並列腕が接続されている。

【００６８】同様に、並列腕共振子３ｂ，３ｅの第１，
第２の信号ラインに接続されている側とは反対側の端部
同士がボンディングワイヤ６ｆにより接続されている。
さらに、並列腕共振子３ｃ，３ｆの第１，第２の信号ラ
インに接続されている側とは反対側の端部同士がボンデ
ィングワイヤ６ｇにより接続されている。

【００６９】よって、第１，第２の信号ライン間に、並
列腕共振子３ｂ，３ｅを有する並列腕及び並列腕共振子
３ｃ，３ｆを有する並列腕も接続されている。なお、下
記の表１に、各直列腕共振子２ａ〜２ｄ及び並列腕共振
子３ａ〜３ｆの構成を示す。

【００７０】

【表１】

【００７１】また、本実施例では、並列腕共振子同士を
接続しているボンディングワイヤ６ｅ〜６ｇは、１ｎＨ
のインダクタンスを有するように構成されている。

【００７２】次に、本実施例の弾性表面波フィルタの動
作につき説明する。本実施例の弾性表面波フィルタで
は、上記平衡信号端子５ａ，５ｄを入力側平衡信号端
子、５ｃ，５ｆを出力側平衡信号端子とすることによ
り、梯子型回路構成を有する弾性表面波フィルタとして
動作させることができる。この場合、各並列腕に２素子
の第３の弾性表面波共振子が並列腕共振子として配置さ
れており、各並列腕において、２つの並列腕共振子間に
ボンディングワイヤ６ｅ〜６ｇに基づくインダクタンス
が挿入されている。従って、平衡性を損なうことなく、
広帯域のフィルタ特性を得ることができる。

【００７３】図１１に示した平衡回路を用いた弾性表面
波フィルタのフィルタ特性測定装置を用いて、本実施例
の弾性表面波フィルタの特性を測定した。結果を図１４
に破線で示す。なお、図１４の実線は、米国特許第５，
４９９，００３号に準じて構成された相当の弾性表面波
フィルタの特性を示す。図１４から、本実施例によれ
ば、従来の弾性表面波フィルタに比べて、通過帯域が広
くなり、かつ減衰量の拡大を図り得ることがわかる。

【００７４】（実施例２）図１５は、第２の実施例の弾
性表面波フィルタの回路構成を示す図である。また、図
１６は、第２の実施例の弾性表面波フィルタにおいて、
弾性表面波フィルタ素子をパッケージ内に収納した状態
を説明するための略図的平面図である。

【００７５】第２の実施例において、第１の実施例と同
じ部分については同じ参照番号を付することにより、そ
の詳細な説明は省略する。実施例２では、図１６に示す
ように、端子５ｂ，５ｅが、それぞれ、ボンディングワ
イヤ１６ａ〜１６ｃ，１６ｄ〜１６ｆにより、各並列腕
共振子３ａ〜３ｃ，３ｄ〜３ｆの一端と電気的に接続さ
れている。端子５ｂ，５ｅはアース電位に接続される端
子である。

【００７６】すなわち、第２の実施例では、各並列腕共
振子３ａ〜３ｆの第１，第２の信号ラインと接続されて
いる側とは反対側の端部が、アース電位に接続されてい
る。各直列腕共振子２ａ〜２ｄ及び並列腕共振子３ａ〜
３ｆの仕様は、表１に示した通りである。

【００７７】実施例２の弾性表面波フィルタでは、各並
列腕に挿入されている２個の並列腕共振子が、アース電
位を介して結合されている。例えば、第１の信号ライン
に接続された並列腕共振子３ａと、第２の信号ラインに
接続された並列腕共振子３ｄとがそれぞれ、アース電位
を介して接続されて、１つの並列腕を構成している。同
様に、並列腕共振子３ｂ，３ｅも、アース電位を介して
結合されて、１つの並列腕を構成している。さらに、並
列腕共振子３ｃ，３ｆも、アース電位を介して結合され
て１つの並列腕を構成している。

【００７８】また、上記ボンディングワイヤ１６ａ〜１
６ｃ，１６ｄ〜１６ｆは、実施例１の場合と同様に、約
１ｎＨのインダクタンスを有する。従って、各並列腕に
おける２個の並列腕共振子間には、２本のボンディング
ワイヤによる２ｎＨのインダクタンス分に加えて、パッ
ケージ４における配線によるインダクタンス分が加わ
り、約２．５ｎＨのインダクタンスが挿入されている。

【００７９】実施例２の弾性表面波フィルタのフィルタ
特性を、図１７に破線で示す。なお、比較のために、図
１７において、実線で実施例１の弾性表面波フィルタの
特性を示す。

【００８０】図１７から明らかなように、実施例２の弾
性表面波フィルタでは、実施例１の弾性表面波フィルタ
に比べて減衰極の周波数が低下しており、より大きなイ
ンダクタンスが挿入されていることがわかる。

【００８１】また、実施例２の弾性表面波フィルタは、
図１１に示した測定系を用いて測定することができ、実
施例２では入出力インピーダンスが５０Ω系とされてい
るので、端子５ｂと端子５ｄとを２５Ωで終端し、端子
５ａと端子５ｃとの間で、２５Ω系の測定回路を用いて
フィルタ特性を測定すればよい。

【００８２】（実施例３）図１８は、実施例３の弾性表
面波フィルタの回路構成を示す図であり、図１９は、パ
ッケージに収納された実施例３の弾性表面波フィルタ装
置の略図的平面図である。

【００８３】実施例３の弾性表面波フィルタでは、並列
腕共振子３ａと、並列腕共振子３ｄとが配線電極２１ａ
により電気的に接続されており、並列腕共振子３ｃと並
列腕共振子３ｆとが配線電極２２ｂにより電気的に接続
されている。また、並列腕共振子３ｂ，３ｅの、第１，
第２の信号ラインに接続されている側とは反対側の端部
が、ボンディングワイヤ２６ａ，２６ｂにより、端子電
極５ｂ，５ｅにそれぞれ電気的に接続されていることを
除いては、実施例１と同様に構成されている。

【００８４】なお、各直列腕共振子２ａ〜２ｄ及び並列
腕共振子３ａ〜３ｆは、表１に記載の仕様を有する。さ
らに、ボンディングワイヤ２６ａ，２６ｂは、１ｎＨの
インダクタンスを有する。

【００８５】実施例３の弾性表面波フィルタにおいて
も、各並列腕に２個の第３の並列腕共振子が配置されて
おり、２個の並列腕共振子間にインダクタンスを挿入す
ることにより、平衡性を損なうことなく良好なフィルタ
特性が得られる。

【００８６】特に、並列腕共振子３ｂ，３ｅは、実施例
２と同様に、ボンディングワイヤ２６ａ，２６ｂ及びパ
ッケージの配線を介して結合されるため、並列腕共振子
３ｂ，３ｅ間に約２．５ｎＨの大きなインダクタンスが
挿入される。

【００８７】他方、実施例３では、並列腕共振子３ａ，
３ｄ間及び並列腕共振子３ｃ，３ｆ間は、配線電極２１
ａ，２１ｂで結合されているので、これらの間にはイン
ダクタンスはほとんど挿入されない。

【００８８】従って、並列腕共振子３ｂ，３ｅが挿入さ
れている並列腕の作用により減衰量を改善することがで
き、並列腕共振子３ａ，３ｄが接続されている並列腕及
び並列腕共振子３ｃ，３ｆが接続されている並列腕の作
用により、通過帯域近傍の急峻性が高められる。

【００８９】図２３は、実施例３のフィルタ特性及び実
施例１のフィルタ特性を示す図である。なお、破線が実
施例３の弾性表面波フィルタのフィルタ特性を、実線が
実施例１の弾性表面波フィルタのフィルタ特性を示す。
図２３から明らかなように、実施例３によれば、実施例
１とほぼ同等の急峻性を有し、しかしながら、通過帯域
から離れた周波数における減衰量の大きいフィルタ特性
の得られることがわかる。

【００９０】（実施例４）図２１は、実施例４の弾性表
面波フィルタの回路構成を示す回路図であり、図２２
は、実施例４の弾性表面波フィルタの略図的平面図であ
る。実施例４においても、直列腕共振子２ａ〜２ｄ及び
並列腕共振子３ａ〜３ｆは実施例１に同様に構成されて
いる。異なるところは、並列腕共振子３ｂ，３ｅが、ボ
ンディングワイヤ４１，４２を介してアース電位に接続
される端子５ｂ，５ｅに接続されていること、並びに並
列腕共振子３ａ，３ｄ間及び並列腕共振子３ｃ，３ｆ間
が、櫛形電極４３，４４を介して結合されていることに
ある。

【００９１】ボンディングワイヤ４１，４２は、１ｎＨ
のインダクタンス分を有する。また、櫛形電極４３，４
４は、それぞれ、複数本の電極指を有し、該電極指の延
びる方向が、弾性表面波共振子である直列腕共振子２ａ
〜２ｄ及び並列腕共振子３ａ〜３ｆにおける電極指の延
びる方向と直交するように配置されている。また、櫛形
電極４３，４４は、弾性表面波をほとんど励振させず、
容量素子として動作するように構成されている。この容
量値は、１５ｐＦとされている。

【００９２】実施例４の弾性表面波フィルタでは、１つ
の並列腕に接続されている２個の第３の弾性表面波共振
子、すなわち並列腕共振子間に上記櫛形電極４３，４４
に基づく容量が挿入されているので、平衡性を損なうこ
となく、広帯域かつフィルタ特性の急峻性に優れたフィ
ルタ特性を得ることができる。

【００９３】また、並列腕共振子３ｂ，３ｅは、実施例
２同様に、ボンディングワイヤ４１，４２及びパッケー
ジの電極配線を介して結合されるので、実施例１に比べ
て大きなインダクタンスを並列腕共振子３ｂ，３ｅ間に
挿入することができる。

【００９４】他方、並列腕共振子３ａ，３ｄ間及び並列
腕共振子３ｃ，３ｆ間は、上記櫛形電極４３，４４を介
して結合されている。従って、並列腕共振子３ｂ，３ｅ
が接続されている並列腕の作用により減衰量を改善する
ことができ、並列腕共振子３ａ，３ｄが接続されている
並列腕及び並列腕共振子３ｃ，３ｆが接続されている並
列腕の作用により、通過帯域近傍の急峻性が高められ
る。

【００９５】図２３は、実施例４の弾性表面波フィルタ
のフィルタ特性（破線）及び比較のための実施例３の弾
性表面波フィルタのフィルタ特性（実線）を示す。図２
３から、実施例４では、実施例３に比べてフィルタ特性
の急峻性が高められ、かつ通過帯域から離れた周波数に
おける減衰量を増大し得ることがわかる。

【００９６】（実施例５）図２４は、実施例５の弾性表
面波フィルタの回路構成を、図２５は、実施例５の弾性
表面波フィルタの具体的な構造の略図的平面図である。

【００９７】実施例５においても、圧電基板及び各共振
子の構造は実施例１同様である。実施例５では、直列腕
共振子２ａ〜２ｄと、パッケージに設けられた端子５ａ
〜５ｄとがボンディングワイヤ５１ａ〜５１ｄにより接
続されているが、実施例１と接続態様が異なる。

【００９８】すなわち、直列腕共振子２ａが、ボンディ
ングワイヤ５１ａにより、平衡信号端子５ｄに接続され
ており、直列腕共振子２ｂが、ボンディングワイヤ５１
ｂにより、平衡信号端子５ｆに接続されている。他方、
第２の信号ラインに接続されている直列腕共振子２ｃ
は、ボンディングワイヤ５１ｃにより平衡信号端子５ａ
に接続されており、直列腕共振子２ｄはボンディングワ
イヤ５１ｄにより平衡信号端子５ｃに接続されている。
ここで、平衡信号端子５ａ，５ｃは、圧電基板１上に形
成されている直列腕共振子２ｃ，２ｄが設けられている
側とは反対側の突条４ｂ上に形成されている。同様に、
平衡信号端子５ｄ，５ｆは、第１の信号ラインに接続さ
れている直列腕共振子２ａ，２ｂが設けられている側と
は反対側の突条４ｃ上に形成されている。従って、ボン
ディングワイヤ５１ａ〜５１ｄの長さは、実施例１にお
けるボンディングワイヤ６ａ〜６ｄの長さよりも長くさ
れており、直列腕共振子と平衡信号端子との間に約２ｎ
Ｈのインダクタンスがそれぞれ挿入されている。その他
の点については、実施例１と同様に構成されている。

【００９９】実施例５の弾性表面波フィルタでは、直列
腕共振子と平衡信号端子を接続しているボンディングワ
イヤ５１ａ〜５１ｄが高周波領域でインダクタンス分と
して作用する。ボンディングワイヤを用いて結線する
と、ボンディングワイヤに基づくインダクタンス分が挿
入されるが、ボンディングワイヤの長さのインダクタン
スの大きさは比例関係にある。従って、実施例５のよう
に、直列腕共振子に接続されるボンディングワイヤの長
さを長くすることにより、直列腕共振子に直列に大きな
インダクタンスを挿入することができる。

【０１００】実施例５の弾性表面波フィルタ及び実施例
１の弾性表面波フィルタの各ＶＳＷＲ特性を図２６に示
す。図２６において、破線が実施例５の結果を、実線が
実施例１の結果を示す。図２６から明らかなように、実
施例５の弾性表面波フィルタでは、実施例１の弾性表面
波フィルタに比べてＶＳＷＲの改善されていることがわ
かる。

【０１０１】なお、上述した実施例１〜５においては、
圧電基板として３６°ＬｉＴａＯ₃基板を用いたが、他
の圧電基板を用いてもよい。また、並列腕共振子や直列
腕共振子の数についても特に限定されず、直列腕に接続
された２個の直列腕共振子と、１つの並列腕に接続され
たインピーダンス素子を有することが本発明における基
本的構成であり、この基本的構成に、適宜直列腕共振子
あるいは並列腕共振子を接続することができる。

【０１０２】また、上記実施例１〜５では、ワイヤボン
ディングのインダクタンス分を利用してインダクタンス
が挿入されていたが、パッケージ上の配線電極やストリ
ップラインによりインダクタンスを挿入してもよい。

【０１０３】また、実施例３においては、一部の並列腕
共振子間にインダクタンス分が入らないように、圧電基
板上の配線電極で２個の並列腕共振子同士が結合されて
いたが、インピーダンスを挿入したくない場合には、２
個の並列腕共振子を１個の並列腕共振子に置き換えても
よい。フリップチップボンドタイプの弾性表面波共振子
であっても、インダクタンスを圧電基板上やパッケージ
上に別途構成してもよい。また、本発明においては、平
衡性を高めるために、パッケージの入出力端子の寄生容
量は互いに等しく、かつ入出力端子が同じ構造であるこ
とが望ましい。

【０１０４】

【発明の効果】第１の発明に係る弾性表面波フィルタで
は、入力側平衡信号端子Ａ１と出力側平衡信号端子Ｂ１
との間を結合している第１の信号ラインと、入力側平衡
信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との間を結合し
ている第２の信号ラインとの間に、少なくとも１つのイ
ンピーダンス素子が接続されているので、広帯域あるい
は狭帯域のフィルタ特性を有し、かつ平衡入出力に対応
し得る梯子型回路構成を有する弾性表面波フィルタを提
供することができる。また、同じインピーダンス素子を
加えた場合においても、従来の不平衡型の梯子型弾性表
面波フィルタでは実現できない良好なフィルタ特性を得
ることができる。

【０１０５】上記インピーダンス素子は、第１，第２の
信号ラインの間を接続している並列腕に挿入されるが、
この場合、並列腕に少なくとも１つの第３の弾性表面波
共振子が接続されていてもよく、さらに少なくとも２つ
の第３の弾性表面波素子が備えられていてもよい。

【０１０６】第２の発明に係る弾性表面波フィルタで
は、第１，第２の信号ラインのそれぞれから少なくとも
１個の第３の弾性表面波共振子が導入されており、第３
の弾性表面波共振子の第１，第２の信号ラインと接続さ
れていない側の端部同士が接地されて結合されている。
従って、第３の弾性表面波共振子同士の接地電位を介し
て結合されている構造により、平衡入出力対応な弾性表
面波フィルタを提供することができる。また、その構造
の特異性から、従来の不平衡型の梯子型回路構成を有す
る弾性表面波フィルタに比べて良好なフィルタ特性を得
ることができる。さらに、不平衡系の測定回路を用いて
フィルタ特性を測定することができる。

【０１０７】加えて、各共振子の設計を、アース端子か
ら見て対称に設計しておけば、片側のフィルタ部のみを
測定することにより、もう片側のフィルタ部のフィルタ
特性を推定することができるので、測定コストの低減を
図ることができ、かつ平衡回路で動作する際の平衡性を
高めることができる。

【０１０８】第２の弾性表面波フィルタにおいて、第３
の弾性表面波共振子の第１または第２の信号ラインと接
続されていない側の端部と、接地電位との間に挿入され
たインピーダンス素子がさらに備えられている場合に
は、並列腕に接続される第３の弾性表面波共振子同士が
インピーダンス素子を介して接地される。従って、平衡
入出力対応可能であり、広帯域あるいは狭帯域のフィル
タ特性を得ることができ、さらに平衡−不平衡回路を用
いなくても、高精度にフィルタ特性を測定することがで
きる。

【０１０９】第２の発明に係る弾性表面波装置におい
て、第１の信号ライン及び第２の信号ラインから導出さ
れて同じ並列腕を構成している２つの第３の弾性表面波
共振子の電極容量比率が１．４以内である場合には、よ
り一層高精度にフィルタ特性を測定することができると
共に、良好な平衡性を実現することができる。

【０１１０】入力側平衡信号端子Ａ１と、出力側平衡信
号端子Ｂ１との間において、第１の直列腕弾性表面波共
振子に直列に少なくとも１つの第２のインピーダンス素
子が接続されており、入力側平衡信号端子Ａ２と出力側
平衡信号端子Ｂ２との間において、第２の直列腕弾性表
面波共振子に直列に接続されている第３のインピーダン
ス素子が備えられている場合には、並列腕のみならず直
列腕にもインピーダンス素子が加えられるので、良好な
フィルタ特性を得ることができ、特にＶＳＷＲ特性を改
善することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態の弾性表面波フィルタ
の回路図。

【図２】第１の実施形態の弾性表面波フィルタのフィル
タ特性の一例を示す図。

【図３】第１の実施例の弾性表面波フィルタにおいて、
容量素子Ｃ１の代わりに共振素子を用いた場合のフィル
タ特性を示す図。

【図４】第２の実施形態の弾性表面波フィルタの回路構
成を示す図。

【図５】第２の実施形態において、第３の弾性表面波共
振子の電極容量比率と、位相のずれとの関係を示す図。

【図６】第２の実施形態の弾性表面波フィルタのフィル
タ特性を測定するための測定系を説明するための回路
図。

【図７】第２の実施形態の弾性表面波フィルタを別の表
現で書き表した回路図。

【図８】（ａ）及び（ｂ）は、第２の実施形態の弾性表
面波フィルタにおいて用いられる弾性表面波共振子を説
明するための各平面図。

【図９】図８（ａ）に示した弾性表面波共振子Ａにイン
ダクタンスを付加したときと付加していないときのイン
ピーダンス特性を示す図。

【図１０】図８（ｂ）に示した弾性表面波共振子Ｂにイ
ンダクタンスを付加したときと付加していないときのイ
ンピーダンス特性を示す図。

【図１１】平衡回路系測定装置を用いて弾性表面波フィ
ルタのフィルタ特性を測定する系を説明するための回路
図。

【図１２】実施例１の弾性表面波フィルタの回路を示す
図。

【図１３】実施例１の弾性表面波フィルタの構造を説明
するための略図的平面図。

【図１４】実施例１及び従来例の弾性表面波フィルタの
フィルタ特性を示す図。

【図１５】実施例２の弾性表面波フィルタの回路構成を
示す図。

【図１６】実施例２の弾性表面波フィルタの構造を説明
するための略図的平面図。

【図１７】実施例１及び実施例２の弾性表面波フィルタ
のフィルタ特性を示す図。

【図１８】実施例３の弾性表面波フィルタの回路構成を
示す図。

【図１９】実施例３の弾性表面波フィルタの構造を説明
するための略図的平面図。

【図２０】実施例１及び実施例３の弾性表面波フィルタ
のフィルタ特性を示す図。

【図２１】実施例４の弾性表面波フィルタの回路構成を
示す図。

【図２２】実施例４の弾性表面波フィルタの構造を説明
するための略図的平面図。

【図２３】実施例３及び実施例４の弾性表面波フィルタ
のフィルタ特性を示す図。

【図２４】実施例５の弾性表面波フィルタの回路構成を
示す図。

【図２５】実施例５の弾性表面波フィルタの構造を説明
するための略図的平面図。

【図２６】実施例１及び実施例５の弾性表面波フィルタ
のＶＳＷＲ特性を示す図。

【図２７】従来の梯子型弾性表面波フィルタを説明する
ための回路図。

【図２８】従来の共振子型弾性表面波フィルタの特性の
一例を示す図。

【図２９】従来の梯子型弾性表面波フィルタの他の例を
示す回路図。

【図３０】従来の梯子型弾性表面波フィルタのフィルタ
特性を測定する回路を示すブロック図。

【符号の説明】

Ａ１，Ａ２…入力側平衡信号端子Ｂ１，Ｂ２…出力側平衡信号端子１…圧電基板２ａ〜２ｄ…直列腕共振子３ａ〜３ｆ…並列腕共振子５ａ，５ｃ，５ｄ，５ｆ…平衡信号端子６ａ〜６ｇ…ボンディングワイヤ１６ａ〜１６ｆ…ボンディングワイヤ２６ａ，２６ｂ…ボンディングワイヤ３３，３４…容量素子としての櫛形電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電基板と、圧電基板上に形成された複
数の弾性表面波共振子とを備え、該複数の弾性表面波共
振子により梯子型フィルタ回路が構成されている弾性表
面波フィルタであって、前記フィルタ回路が、外部平衡回路に接続される、入力側平衡信号端子Ａ１，
Ａ２と、外部平衡回路に接続される、出力側平衡信号端子Ｂ１，
Ｂ２と、入力側平衡信号端子Ａ１と出力側平衡信号端子Ｂ１との
間に、直列に接続されている少なくとも１つの第１の直
列腕弾性表面波共振子と、入力側平衡信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との
間に、直列に接続されている少なくとも１つの第２の直
列腕弾性表面波共振子と、前記入力側平衡信号端子Ａ１と出力側平衡信号端子Ｂ１
との間を結合している第１の信号ラインと、入力側平衡
信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との間を結合し
ている第２の信号ラインとの間に接続された少なくとも
１つのインピーダンス素子とを備えることを特徴とす
る、弾性表面波フィルタ。
【請求項２】前記インピーダンス素子に直列に接続さ
れた少なくとも１つの第３の弾性表面波共振子をさらに
備える、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】少なくとも２つの第３の弾性表面波共振
子を備える、請求項２に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４】圧電基板と、圧電基板上に形成された複
数の弾性表面波共振子とを備え、該複数の弾性表面波共
振子により梯子型フィルタ回路が構成されている弾性表
面波フィルタであって、前記フィルタ回路が、外部平衡回路に接続される、入力側平衡信号端子Ａ１，
Ａ２と、外部平衡回路に接続される、出力側平衡信号端子Ｂ１，
Ｂ２と、入力側平衡信号端子Ａ１と出力側平衡信号端子Ｂ１との
間に、直列に接続されている少なくとも１つの第１の直
列腕弾性表面波共振子と、入力側平衡信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との
間に、直列に接続されている少なくとも１つの第２の直
列腕弾性表面波共振子と、前記入力側平衡信号端子Ａ１と出力側平衡信号端子Ｂ１
との間を結合している第１の信号ラインと、入力側平衡
信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との間を結合し
ている第２の信号ラインのそれぞれから導出された少な
くとも２個の第３の弾性表面波共振子とを備え、前記第３の弾性表面波共振子の前記第１または第２の信
号ラインと接続されていない側の端部が接地されている
ことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項５】前記第３の弾性表面波共振子の第１また
は第２の信号ラインと接続されていない側の端部と、接
地電位との間に挿入されたインピーダンス素子をさらに
備える、請求項４に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項６】前記第１，第２の信号ラインから導出さ
れた第３の弾性表面波共振子の電極容量と第２，第１の
信号ラインから導出された第３の弾性表面波共振子の電
極容量との比率が、１．４以内であることを特徴とす
る、請求項４または５に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項７】前記入力側平衡信号端子Ａ１と出力側平
衡信号端子Ｂ１との間において、前記第１の直列腕弾性
表面波共振子に直列に接続されている少なくとも１つの
第２のインピーダンス素子と、入力側平衡信号端子Ａ２と出力側平衡信号端子Ｂ２との
間において、前記第２の直列腕弾性表面波共振子に直列
に接続されている第３のインピーダンス素子とをさらに
備える、請求項１〜６のいずれかに記載の弾性表面波フ
ィルタ。
【請求項８】前記インピーダンス素子が、インダクタ
ンス素子である、請求項１〜７のいずれかに記載の弾性
表面波フィルタ。
【請求項９】前記インダクタンス素子がボンディング
ワイヤにより構成されている、請求項８に記載の弾性表
面波フィルタ。
【請求項１０】前記圧電基板を収納するパッケージを
さらに備え、該パッケージに圧電基板上の信号ラインに
接続されているストリップラインが形成されており、該
ストリップラインにより前記インダクタンス素子が構成
されている、請求項８に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１１】前記インピーダンス素子が容量素子で
ある、請求項１〜７のいずれかに記載の弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項１２】前記容量素子が、圧電基板上に形成さ
れている電極により構成されている、請求項１１に記載
の弾性表面波フィルタ。
【請求項１３】前記インピーダンス素子が共振素子で
ある、請求項１〜７のいずれかに記載の弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項１４】前記共振素子が、インダクタンスと容
量との組み合わせにより構成されている、請求項１３に
記載の弾性表面波フィルタ。