JPH029438A - 流体精製装置 - Google Patents
流体精製装置Info
- Publication number
- JPH029438A JPH029438A JP63161831A JP16183188A JPH029438A JP H029438 A JPH029438 A JP H029438A JP 63161831 A JP63161831 A JP 63161831A JP 16183188 A JP16183188 A JP 16183188A JP H029438 A JPH029438 A JP H029438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filling
- exhaust gas
- cylinder
- cylinders
- gas treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000007670 refining Methods 0.000 title 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 66
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 5
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 11
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 10
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 230000001473 noxious effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 102220051077 rs145247495 Human genes 0.000 description 1
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体製造用材料ガスの排出処理に用いら
れる排ガス処理装置等の流体精製装置に関する。
れる排ガス処理装置等の流体精製装置に関する。
第2図は従来の排ガス処理装置■を示す要部切欠構成図
である。同図に示すように、この装置■は、充填材1a
、1bがそれぞれ充填された第1および第2充填筒2a
、2bを備え、半導体製造装置等から排出された有害な
ガスを取入口3より取入れ、上記第1および第2充填筒
2a、 2bのうちいずれか一方を通過させて無害化処
理した後、排出口4より排出させるように構成している
。
である。同図に示すように、この装置■は、充填材1a
、1bがそれぞれ充填された第1および第2充填筒2a
、2bを備え、半導体製造装置等から排出された有害な
ガスを取入口3より取入れ、上記第1および第2充填筒
2a、 2bのうちいずれか一方を通過させて無害化処
理した後、排出口4より排出させるように構成している
。
すなわち、取入口3に通じる流路は三方に分岐され、一
方が第1充填筒入ロバルブ5aを介して第1充填筒2a
の入口に接続されるとともに、他方が第2充填筒入ロバ
ルブ5bを介して第2充填筒2bに接続される。更に、
第1および第2充頃筒2a、 2bの出口に接続された
流路はそれぞれ第1および第2充填筒出口バルブ6a、
6bを経た後、同一経路を取って排出口4に接続される
。
方が第1充填筒入ロバルブ5aを介して第1充填筒2a
の入口に接続されるとともに、他方が第2充填筒入ロバ
ルブ5bを介して第2充填筒2bに接続される。更に、
第1および第2充頃筒2a、 2bの出口に接続された
流路はそれぞれ第1および第2充填筒出口バルブ6a、
6bを経た後、同一経路を取って排出口4に接続される
。
この排ガス処理装置■において、例えば第1充IIJt
筒2aにより排ガス処理が行なわれる場合には、第1充
填筒入口バルブ、出口バルブ5a、5aはそれぞれ開き
、第2充填筒入口バルブ、出口バルブ5b、6bはそれ
ぞれ閏じられる。これにより、図示しない半導体製造装
置から排出された有害なガスは、第1充填筒入ロバルブ
5aを経て第1充填筒2aを通過し、その通過の際に充
填材1aによる吸着または反応作用により無害化処理さ
れて、第1充填筒出ロバルフ6aを経て排出口4より排
出される。この間、運転されていない第2充填筒2bの
充填材1bの交換または再生が行なわれる。
筒2aにより排ガス処理が行なわれる場合には、第1充
填筒入口バルブ、出口バルブ5a、5aはそれぞれ開き
、第2充填筒入口バルブ、出口バルブ5b、6bはそれ
ぞれ閏じられる。これにより、図示しない半導体製造装
置から排出された有害なガスは、第1充填筒入ロバルブ
5aを経て第1充填筒2aを通過し、その通過の際に充
填材1aによる吸着または反応作用により無害化処理さ
れて、第1充填筒出ロバルフ6aを経て排出口4より排
出される。この間、運転されていない第2充填筒2bの
充填材1bの交換または再生が行なわれる。
次に、第1充填筒2aの充填材1aの排ガス処理能力が
低下した時点で、第1充填筒入ロバルブ。
低下した時点で、第1充填筒入ロバルブ。
出口バルブ5a、5aを閏じるとともに、第2充Ia筒
入口バルブ、出口バルブ5b、6bを開き、第2充1を
筒2bにより排ガス処理を行なう。この闇、運転されて
いない第1充填筒2aの充填材1aの交換または再生を
行ない、排ガス処理能力を回復させる。
入口バルブ、出口バルブ5b、6bを開き、第2充1を
筒2bにより排ガス処理を行なう。この闇、運転されて
いない第1充填筒2aの充填材1aの交換または再生を
行ない、排ガス処理能力を回復させる。
上記の操作が繰り返されることにより、排ガス処理袋f
fIIの連続運転が行なえるようにしている。
fIIの連続運転が行なえるようにしている。
第3図に他の従来の排ガス処理装置■の要部切欠構成図
を示す。同図に示すように、この装置■は、第1ないし
第3充W4筒12a、12b、12Cを備え、選択的に
いずれか2fAの充填筒を並行使用して排ガス処理を行
なう一方、その間に他の−の充填筒の交換または再生を
行なうように構成している。
を示す。同図に示すように、この装置■は、第1ないし
第3充W4筒12a、12b、12Cを備え、選択的に
いずれか2fAの充填筒を並行使用して排ガス処理を行
なう一方、その間に他の−の充填筒の交換または再生を
行なうように構成している。
例えば、第1および第2充填筒12a、12bにより排
ガス処理を行なっている場合、第1充填筒入口バルブ、
出口バルブ158.16aおよび第2充JI4i人ロバ
ルブ、出ロバルプ15b、16bはそれぞれ開き、第3
充填筒入口パルブ、出口パルプ15c、16cは閉じら
れる。これにより、取入口13より取入れられた有害な
ガスが第1および第2充填1m12a、12bにより並
列的に排ガス処理され無害化処理された後、排出口14
より排出される。この間運転されていない第3充填l1
12cの充填材11Gの交換または再生が行なわれる。
ガス処理を行なっている場合、第1充填筒入口バルブ、
出口バルブ158.16aおよび第2充JI4i人ロバ
ルブ、出ロバルプ15b、16bはそれぞれ開き、第3
充填筒入口パルブ、出口パルプ15c、16cは閉じら
れる。これにより、取入口13より取入れられた有害な
ガスが第1および第2充填1m12a、12bにより並
列的に排ガス処理され無害化処理された後、排出口14
より排出される。この間運転されていない第3充填l1
12cの充填材11Gの交換または再生が行なわれる。
次に、第1充填筒12aの排ガス処理能力が低下した時
点で、第2および第3充填!!12b、12Cにより並
列運転されるように、バルブ15a。
点で、第2および第3充填!!12b、12Cにより並
列運転されるように、バルブ15a。
15b、15c、16a、16b、 16cを適当に操
作する。そして、第2および第3充填$112b、12
cにより排ガス処理が行なわれる間、第1充填筒12a
の充填材11aの交換または再生が行なわれる。
作する。そして、第2および第3充填$112b、12
cにより排ガス処理が行なわれる間、第1充填筒12a
の充填材11aの交換または再生が行なわれる。
更に、第2充填N12bの排ガス処理能力が低下すると
、第1および第3充填筒12a、12Cの並列運転に切
換えて、第2充填筒12bの充填材11bの交換または
再生を行なう。
、第1および第3充填筒12a、12Cの並列運転に切
換えて、第2充填筒12bの充填材11bの交換または
再生を行なう。
上記操作が繰り返されて排ガス処理装置■の連続運転が
行なわれる。
行なわれる。
しかしながら、第2図に示す従来の排ガス処理装置■で
は、第1および第2充v4筒2a、2bのうちいずれか
一方で、排ガス処理を行なうように構成しているため、
いずれか一方例えば第1充填筒2aによる運転から第2
充填筒2bの運転に切換える際、第1充填rR2aの排
ガス処理能力が完全に失われる以前に切換える必要があ
る。すなわら、第1充填筒2aから第2充Ji4筒2b
への切替直前には、第1充填筒2aの排ガス処理能力の
低下により有害ガスが完全に無害化処理されない場合が
あるので、第1充mn2aの充填材1aに多少の排ガス
処理能力があるにもかかわらず、充填材1aの交換また
は再生を行なう必要があり、充填材1aの排ガス処理能
力を100%使用できず有効利用が図られていないとい
う問題があった。
は、第1および第2充v4筒2a、2bのうちいずれか
一方で、排ガス処理を行なうように構成しているため、
いずれか一方例えば第1充填筒2aによる運転から第2
充填筒2bの運転に切換える際、第1充填rR2aの排
ガス処理能力が完全に失われる以前に切換える必要があ
る。すなわら、第1充填筒2aから第2充Ji4筒2b
への切替直前には、第1充填筒2aの排ガス処理能力の
低下により有害ガスが完全に無害化処理されない場合が
あるので、第1充mn2aの充填材1aに多少の排ガス
処理能力があるにもかかわらず、充填材1aの交換また
は再生を行なう必要があり、充填材1aの排ガス処理能
力を100%使用できず有効利用が図られていないとい
う問題があった。
更に、前述したように、第1充填筒2aから第2充填筒
2bへの切替直前に、第1充II筒2aの排ガス処理能
力の低下によって有害ガスがそのまま排出口4より排出
されて有害ガスの再飛散等が発生するという問題があっ
た。
2bへの切替直前に、第1充II筒2aの排ガス処理能
力の低下によって有害ガスがそのまま排出口4より排出
されて有害ガスの再飛散等が発生するという問題があっ
た。
一方、第3図に示す排ガス処理装置■でも、第1ないし
第3充填筒12a、12b、12cのうち選択的に2個
の充填筒で並列運転を行なうように構成しているため、
上記排ガス処理装置IIと同様な問題が生じる。例えば
、第1および第2充填筒12a、12bによる並列運転
から、第1充填筒12aの排ガス処理能力低下により第
2および第3充1を筒12b、12Gによる並列運転に
切替える場合、切替直前における第1充填筒12aの排
ガス処理能力低下を考慮すると、第1充填筒12aの排
ガス処理能力が完全に失われる以前に切換える必要があ
り、充填材11aの有効利用が図れないとともに、切替
直前に有害ガスの再飛散が発生するという問題が生じる
。
第3充填筒12a、12b、12cのうち選択的に2個
の充填筒で並列運転を行なうように構成しているため、
上記排ガス処理装置IIと同様な問題が生じる。例えば
、第1および第2充填筒12a、12bによる並列運転
から、第1充填筒12aの排ガス処理能力低下により第
2および第3充1を筒12b、12Gによる並列運転に
切替える場合、切替直前における第1充填筒12aの排
ガス処理能力低下を考慮すると、第1充填筒12aの排
ガス処理能力が完全に失われる以前に切換える必要があ
り、充填材11aの有効利用が図れないとともに、切替
直前に有害ガスの再飛散が発生するという問題が生じる
。
この発明は、上記従来技術の問題を解消し、未Wi製流
体の排出、例えば有害ガスの再飛散等が防止できるとと
もに、充填材の有効利用が因れる流体精製装置を提供す
ることを目的とする。
体の排出、例えば有害ガスの再飛散等が防止できるとと
もに、充填材の有効利用が因れる流体精製装置を提供す
ることを目的とする。
上記目的を達成するため、この発明の流体精製装置は、
取入口と、排出口と、3器以上の複数の精製器と、前記
取入口から取入れられる流体が前記複数の精製器のうち
所望のIt製器を選択的にバイパスしながら他の複数の
精@器を直列的に通過して前記排出口から排出されるよ
うに流体の流路を選択する流路選択手段とを備える。
取入口と、排出口と、3器以上の複数の精製器と、前記
取入口から取入れられる流体が前記複数の精製器のうち
所望のIt製器を選択的にバイパスしながら他の複数の
精@器を直列的に通過して前記排出口から排出されるよ
うに流体の流路を選択する流路選択手段とを備える。
(作用〕
この発明における流体精製装置においては、所望の精製
器を選択的にバイパスしながら他の複数の精製器を直列
的に流体が通過するので、精製器の切替直前における運
転中の精製器のうち−の精製器のWI製処理能力低下に
よる未精製流体は運転中の他の精製器により精製処理が
施される。
器を選択的にバイパスしながら他の複数の精製器を直列
的に流体が通過するので、精製器の切替直前における運
転中の精製器のうち−の精製器のWI製処理能力低下に
よる未精製流体は運転中の他の精製器により精製処理が
施される。
第1図はこの発明の一実施例である排ガス処理装置工を
示す要部切欠構成図である。同図に示すように、流体精
製装置を構成する排ガス処理装置■は、充填材21a、
21b、21cのそれぞれ充填された第1ないし第3充
IK筒228.22i)。
示す要部切欠構成図である。同図に示すように、流体精
製装置を構成する排ガス処理装置■は、充填材21a、
21b、21cのそれぞれ充填された第1ないし第3充
IK筒228.22i)。
22C等の精製器を有しており、取入口23より取入れ
られる有害なガスを選択可能な所望の2個の充填筒に直
列的に通過させて、排出口24より排出させるように流
路が形成されている。
られる有害なガスを選択可能な所望の2個の充填筒に直
列的に通過させて、排出口24より排出させるように流
路が形成されている。
すなわち、取入口23に接続される流路は3方に分かれ
、それぞれ第1ないし第3充填筒人口バルブ25a、2
5b、25cを介して第1ないし第3充填筒22a、2
2b、22cの入口ニそれぞれ接続される。更に、第1
ないし第3充1を筒22a、22b、22cの出口より
引き出された流路はそれぞれ第1ないし第3充填筒出口
バルブ26a、26b、26Gを介し、その債−本にま
とめられて排出口24に導かれる。また、第1充填筒2
2aの出口直後は、第1バルブ27aを有する第1配管
28aにより第1充填筒22bの入口直前に接続される
とともに、同様に第2充填筒22bの出口直後は第2バ
ルブ27bを有する第2配ff28bにより第3充1を
筒22Gの入口直前に、第3充111F!!22cの出
口直前は第3バルブ27Cを有する第3配管28cによ
り第1充填tl122aの入口直前にそれぞれ接続され
る。
、それぞれ第1ないし第3充填筒人口バルブ25a、2
5b、25cを介して第1ないし第3充填筒22a、2
2b、22cの入口ニそれぞれ接続される。更に、第1
ないし第3充1を筒22a、22b、22cの出口より
引き出された流路はそれぞれ第1ないし第3充填筒出口
バルブ26a、26b、26Gを介し、その債−本にま
とめられて排出口24に導かれる。また、第1充填筒2
2aの出口直後は、第1バルブ27aを有する第1配管
28aにより第1充填筒22bの入口直前に接続される
とともに、同様に第2充填筒22bの出口直後は第2バ
ルブ27bを有する第2配ff28bにより第3充1を
筒22Gの入口直前に、第3充111F!!22cの出
口直前は第3バルブ27Cを有する第3配管28cによ
り第1充填tl122aの入口直前にそれぞれ接続され
る。
この排ガス処理装置工において、例えば、第1充填筒2
2aと第2充填fsi22bが直列接続で運転している
場合には、第1充JR筒入口バルプ25a、第1バルブ
27aおよび第2充填筒出ロバルブ26bが閉状態とな
り、その他のバルブ25b。
2aと第2充填fsi22bが直列接続で運転している
場合には、第1充JR筒入口バルプ25a、第1バルブ
27aおよび第2充填筒出ロバルブ26bが閉状態とな
り、その他のバルブ25b。
25c、26a、26c、27b、27cは閉状態とな
っている。これにより、図示しない半導体製造装置等か
ら排出される有害なガス等が取入口23より取入れられ
ると、第1充11筒入ロバルブ25aを経て第1充Ii
X筒22aを通過し、充填材21aの吸着または反応作
用により無害化処理される。その後、第1配管28aを
通って第2充填筒22bを通過し第2充1#E筒出ロバ
ルブ26bを経て排出される。この間運転されていない
第3充填1122Gの充填材21cの交換または再生を
行なう。
っている。これにより、図示しない半導体製造装置等か
ら排出される有害なガス等が取入口23より取入れられ
ると、第1充11筒入ロバルブ25aを経て第1充Ii
X筒22aを通過し、充填材21aの吸着または反応作
用により無害化処理される。その後、第1配管28aを
通って第2充填筒22bを通過し第2充1#E筒出ロバ
ルブ26bを経て排出される。この間運転されていない
第3充填1122Gの充填材21cの交換または再生を
行なう。
次に、第1充填筒22aの排ガス処理能力が低下し、第
1充填筒22Hにおける有害ガスの反応または吸着作用
から第2充填筒22bにおける反応または吸着作用に移
行した時点、すなわち第1充填n22aの排ガス処理能
力が完全に失われた時点で、第2バルブ27b、第3充
填筒出ロバルプ26cおよび第2充填間入ロバルプ25
bを開操作し、第1充填筒入口バルブ25a、第1バル
ブ27aおよび第2充填筒出ロバルプ26bを閉操作す
る。これにより、取入口23から取入れられる有害なガ
スは第2充1を筒22b、第2配管28b、第3充填筒
22cを通り排出口24より排出される。この間、運転
されない第1充填筒22aの充填材21aの交換または
再生が行なわれ、排ガス処理能力を回復させる。
1充填筒22Hにおける有害ガスの反応または吸着作用
から第2充填筒22bにおける反応または吸着作用に移
行した時点、すなわち第1充填n22aの排ガス処理能
力が完全に失われた時点で、第2バルブ27b、第3充
填筒出ロバルプ26cおよび第2充填間入ロバルプ25
bを開操作し、第1充填筒入口バルブ25a、第1バル
ブ27aおよび第2充填筒出ロバルプ26bを閉操作す
る。これにより、取入口23から取入れられる有害なガ
スは第2充1を筒22b、第2配管28b、第3充填筒
22cを通り排出口24より排出される。この間、運転
されない第1充填筒22aの充填材21aの交換または
再生が行なわれ、排ガス処理能力を回復させる。
次に、第2充填筒22bの排ガス処理能力が完全に失わ
れた時点で、第3充填r:R22Cと上記排ガス処理能
力の回復された第1充填ff122aとによる直列運転
に切替えられる。すなわち、第3バルブ27C2第1充
填筒出ロバルブ26aおよび第3充填筒入ロバルブ25
Cを開操作し、第2充填筒入口バルブ25b、第2バル
ブ27bおよび第3充填筒出ロバルブ26Cを開操作す
る。これにより、有害ガスは第3充填筒22C2第3配
管28Cおよび第1充填筒22aを通り排出口24より
排出される。この間、第2充jaa22bの充填材21
bの交換または再生が行なわれる。
れた時点で、第3充填r:R22Cと上記排ガス処理能
力の回復された第1充填ff122aとによる直列運転
に切替えられる。すなわち、第3バルブ27C2第1充
填筒出ロバルブ26aおよび第3充填筒入ロバルブ25
Cを開操作し、第2充填筒入口バルブ25b、第2バル
ブ27bおよび第3充填筒出ロバルブ26Cを開操作す
る。これにより、有害ガスは第3充填筒22C2第3配
管28Cおよび第1充填筒22aを通り排出口24より
排出される。この間、第2充jaa22bの充填材21
bの交換または再生が行なわれる。
上記操作が繰り返されて排ガス処理装置工の連続運転が
行われる。
行われる。
この排ガス処理装置Iによれば、選択的に所望の2個の
充填筒により直列運転するように構成しているため、例
えば第1および第2充J#1筒22a。
充填筒により直列運転するように構成しているため、例
えば第1および第2充J#1筒22a。
22bの運転から、第1充填筒22aの排ガス処11f
l力低下により第2および第3充填筒22b。
l力低下により第2および第3充填筒22b。
22Gの運転に切替える際、第1充填筒22aの排ガス
処理能力が完全に失われた時点で切替えることができる
。すなわち、切換直前に第1充填筒22aの排ガス処理
能力低下により第1充填筒22aで有害ガスを完全に無
害化処理できなかったとしても、第2充填筒22bによ
り無害化処理される。したがって第1の充填筒22aの
充填材21aの排ガス処理能力を100%使用すること
ができ、充填材21aの有効利用を図ることができると
ともに、有害ガスが再飛散するようなことはない。
処理能力が完全に失われた時点で切替えることができる
。すなわち、切換直前に第1充填筒22aの排ガス処理
能力低下により第1充填筒22aで有害ガスを完全に無
害化処理できなかったとしても、第2充填筒22bによ
り無害化処理される。したがって第1の充填筒22aの
充填材21aの排ガス処理能力を100%使用すること
ができ、充填材21aの有効利用を図ることができると
ともに、有害ガスが再飛散するようなことはない。
更に、第2および第3充填筒22b、22cの運転から
第3および第1充填筒220.228に切替える際、さ
らに第3および第1充填筒22C122aから第1およ
び第2充11M22a、22bに切替える際にも上記と
同様の効果が得られる。
第3および第1充填筒220.228に切替える際、さ
らに第3および第1充填筒22C122aから第1およ
び第2充11M22a、22bに切替える際にも上記と
同様の効果が得られる。
なお、上記実施例においては、充jg19122a。
22b、22cの数が3個の場合について説明したが、
充填筒22a、22b、22cの数は3個に限られずそ
れ以上の数でもよい。
充填筒22a、22b、22cの数は3個に限られずそ
れ以上の数でもよい。
また、上記実施例では、流体精製装置が、反応筒または
吸着筒等の充填筒22a、22b、22Cを有する排ガ
ス処理装置工に適用された場合について説明したが、こ
の考案の流体精製装置は排ガス処理袋fiIだけに限ら
れず、例えば反応筒または吸着筒等のM製器を有するガ
ス精製装置にも適用でき、さらにイオン交換、樹脂筒、
活性炭筒またはフィルター等の精製器を有する純粋製造
装置にも適用することができる。
吸着筒等の充填筒22a、22b、22Cを有する排ガ
ス処理装置工に適用された場合について説明したが、こ
の考案の流体精製装置は排ガス処理袋fiIだけに限ら
れず、例えば反応筒または吸着筒等のM製器を有するガ
ス精製装置にも適用でき、さらにイオン交換、樹脂筒、
活性炭筒またはフィルター等の精製器を有する純粋製造
装置にも適用することができる。
以上のように、この発明の流体績FJ装置によれば、複
数の精製器のうち所望の精製器を選択的にバイパスしな
がら他の複数の精製器を直列的に流体が通過するように
構成しているため、精製器内の充填材のM製処理能力を
100%使用でき有効利用が図れるととともに、−の精
製器の精製処理能力の低下によっても未精製流体が再飛
散されるようなことはないという効果が得られる。
数の精製器のうち所望の精製器を選択的にバイパスしな
がら他の複数の精製器を直列的に流体が通過するように
構成しているため、精製器内の充填材のM製処理能力を
100%使用でき有効利用が図れるととともに、−の精
製器の精製処理能力の低下によっても未精製流体が再飛
散されるようなことはないという効果が得られる。
第1図はこの発明の一実施例である流体II製装置を示
す要部切欠構成図、第2図は従来の排ガス処理装置を示
す要部切欠構成図、第3図は他の従来の排ガス処理装置
を示す要部切欠構成図である。 図において、21a、21b、21cは充填材、22a
、22b、22Cは充填筒、23は取入口、24は排出
口である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
す要部切欠構成図、第2図は従来の排ガス処理装置を示
す要部切欠構成図、第3図は他の従来の排ガス処理装置
を示す要部切欠構成図である。 図において、21a、21b、21cは充填材、22a
、22b、22Cは充填筒、23は取入口、24は排出
口である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- (1)取入口と、 排出口と、 3器以上の複数の精製器と、 前記取入口から取入れられる流体が前記複数の精製器の
うち所望の精製器を選択的にバイパスしながら他の複数
の精製器を直列的に通過して前記排出口から排出される
ように流体の流路を選択する流路選択手段とを備えた流
体精製装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63161831A JPH029438A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 流体精製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63161831A JPH029438A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 流体精製装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH029438A true JPH029438A (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=15742749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63161831A Pending JPH029438A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 流体精製装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH029438A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6499367B1 (en) | 1997-09-23 | 2002-12-31 | Tokyo Electron Limited | Device and method for detecting substrate |
JP2007275773A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Nichibor Technical:Kk | 脱臭装置 |
JP2009028643A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 固定床反応容器及び吸収剤の充填方法 |
JP2011218288A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 不純物除去装置及び不純物除去方法 |
CN112495155A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-03-16 | 瑞燃(上海)环境工程技术有限公司 | 一种干式化学过滤装置处理有毒有害尾气的工艺*** |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP63161831A patent/JPH029438A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6499367B1 (en) | 1997-09-23 | 2002-12-31 | Tokyo Electron Limited | Device and method for detecting substrate |
JP2007275773A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Nichibor Technical:Kk | 脱臭装置 |
JP4579183B2 (ja) * | 2006-04-06 | 2010-11-10 | 株式会社ニチボーテクニカル | 脱臭装置 |
JP2009028643A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 固定床反応容器及び吸収剤の充填方法 |
JP2011218288A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 不純物除去装置及び不純物除去方法 |
CN112495155A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-03-16 | 瑞燃(上海)环境工程技术有限公司 | 一种干式化学过滤装置处理有毒有害尾气的工艺*** |
CN112495155B (zh) * | 2021-02-07 | 2021-05-14 | 瑞燃(上海)环境工程技术有限公司 | 一种干式化学过滤装置处理有毒有害尾气的工艺*** |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1549413B1 (en) | High recovery psa cycles with reduced complexity | |
US7122073B1 (en) | Low void adsorption systems and uses thereof | |
JPH04358516A (ja) | 排ガス処理方法 | |
JPH1087302A (ja) | 単一段二次高純度酸素濃縮機 | |
JPH029438A (ja) | 流体精製装置 | |
EP1016777A3 (en) | Catalytic purification device | |
US4875911A (en) | Apparatus for separating gaseous mixtures | |
CN112169531A (zh) | 填料节约型两级气体处理装置 | |
JPH10331624A (ja) | 有害ガス排気装置 | |
JPS6320174A (ja) | プラズマア−ク切断装置 | |
JPS58205526A (ja) | 燃焼排ガスの処理方法 | |
RU2760134C1 (ru) | Способ получения кислорода из воздуха | |
RU2001115881A (ru) | Способ разделения газовой смеси и установка для его осуществления | |
RU2101076C1 (ru) | Адсорбционный концентратор | |
RU2129460C1 (ru) | Адсорбционная установка | |
GB2049467A (en) | Desorbing components of gaseous media adsorbed in sorption material | |
JPH07116451A (ja) | 流体浄化方法及び流体浄化装置 | |
AU2007202742B2 (en) | High recovery PSA cycles and apparatus with reduced complexity | |
CN115382346A (zh) | 混合气分离***以及混合气分离方法 | |
JPH0478416A (ja) | 排ガス処理装置 | |
JPH02174912A (ja) | 圧力変動方式による気体分離装置 | |
JPH05200225A (ja) | 圧力スイング式ガス分離装置 | |
JPS6111121A (ja) | 吸脱着装置の流路切換ダンパ− | |
JPS61161116A (ja) | ガスの吸着分離方法 | |
JPH06104178B2 (ja) | 高純度ガス精製装置 |