JPH029438A - 流体精製装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造用材料ガスの排出処理に用いら
れる排ガス処理装置等の流体精製装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図は従来の排ガス処理装置■を示す要部切欠構成図
である。同図に示すように、この装置■は、充填材１ａ
、１ｂがそれぞれ充填された第１および第２充填筒２ａ
、２ｂを備え、半導体製造装置等から排出された有害な
ガスを取入口３より取入れ、上記第１および第２充填筒
２ａ、　２ｂのうちいずれか一方を通過させて無害化処
理した後、排出口４より排出させるように構成している
。

すなわち、取入口３に通じる流路は三方に分岐され、一
方が第１充填筒入ロバルブ５ａを介して第１充填筒２ａ
の入口に接続されるとともに、他方が第２充填筒入ロバ
ルブ５ｂを介して第２充填筒２ｂに接続される。更に、
第１および第２充頃筒２ａ、　２ｂの出口に接続された
流路はそれぞれ第１および第２充填筒出口バルブ６ａ、
６ｂを経た後、同一経路を取って排出口４に接続される
。

この排ガス処理装置■において、例えば第１充ＩＩＪｔ
筒２ａにより排ガス処理が行なわれる場合には、第１充
填筒入口バルブ、出口バルブ５ａ、５ａはそれぞれ開き
、第２充填筒入口バルブ、出口バルブ５ｂ、６ｂはそれ
ぞれ閏じられる。これにより、図示しない半導体製造装
置から排出された有害なガスは、第１充填筒入ロバルブ
５ａを経て第１充填筒２ａを通過し、その通過の際に充
填材１ａによる吸着または反応作用により無害化処理さ
れて、第１充填筒出ロバルフ６ａを経て排出口４より排
出される。この間、運転されていない第２充填筒２ｂの
充填材１ｂの交換または再生が行なわれる。

次に、第１充填筒２ａの充填材１ａの排ガス処理能力が
低下した時点で、第１充填筒入ロバルブ。

出口バルブ５ａ、５ａを閏じるとともに、第２充Ｉａ筒
入口バルブ、出口バルブ５ｂ、６ｂを開き、第２充１を
筒２ｂにより排ガス処理を行なう。この闇、運転されて
いない第１充填筒２ａの充填材１ａの交換または再生を
行ない、排ガス処理能力を回復させる。

上記の操作が繰り返されることにより、排ガス処理袋ｆ
ｆＩＩの連続運転が行なえるようにしている。

第３図に他の従来の排ガス処理装置■の要部切欠構成図
を示す。同図に示すように、この装置■は、第１ないし
第３充Ｗ４筒１２ａ、１２ｂ、１２Ｃを備え、選択的に
いずれか２ｆＡの充填筒を並行使用して排ガス処理を行
なう一方、その間に他の−の充填筒の交換または再生を
行なうように構成している。

例えば、第１および第２充填筒１２ａ、１２ｂにより排
ガス処理を行なっている場合、第１充填筒入口バルブ、
出口バルブ１５８．１６ａおよび第２充ＪＩ４ｉ人ロバ
ルブ、出ロバルプ１５ｂ、１６ｂはそれぞれ開き、第３
充填筒入口パルブ、出口パルプ１５ｃ、１６ｃは閉じら
れる。これにより、取入口１３より取入れられた有害な
ガスが第１および第２充填１ｍ１２ａ、１２ｂにより並
列的に排ガス処理され無害化処理された後、排出口１４
より排出される。この間運転されていない第３充填ｌ１
１２ｃの充填材１１Ｇの交換または再生が行なわれる。

次に、第１充填筒１２ａの排ガス処理能力が低下した時
点で、第２および第３充填！！１２ｂ、１２Ｃにより並
列運転されるように、バルブ１５ａ。

１５ｂ、１５ｃ、１６ａ、１６ｂ、　１６ｃを適当に操
作する。そして、第２および第３充填＄１１２ｂ、１２
ｃにより排ガス処理が行なわれる間、第１充填筒１２ａ
の充填材１１ａの交換または再生が行なわれる。

更に、第２充填Ｎ１２ｂの排ガス処理能力が低下すると
、第１および第３充填筒１２ａ、１２Ｃの並列運転に切
換えて、第２充填筒１２ｂの充填材１１ｂの交換または
再生を行なう。

上記操作が繰り返されて排ガス処理装置■の連続運転が
行なわれる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、第２図に示す従来の排ガス処理装置■で
は、第１および第２充ｖ４筒２ａ、２ｂのうちいずれか
一方で、排ガス処理を行なうように構成しているため、
いずれか一方例えば第１充填筒２ａによる運転から第２
充填筒２ｂの運転に切換える際、第１充填ｒＲ２ａの排
ガス処理能力が完全に失われる以前に切換える必要があ
る。すなわら、第１充填筒２ａから第２充Ｊｉ４筒２ｂ
への切替直前には、第１充填筒２ａの排ガス処理能力の
低下により有害ガスが完全に無害化処理されない場合が
あるので、第１充ｍｎ２ａの充填材１ａに多少の排ガス
処理能力があるにもかかわらず、充填材１ａの交換また
は再生を行なう必要があり、充填材１ａの排ガス処理能
力を１００％使用できず有効利用が図られていないとい
う問題があった。

更に、前述したように、第１充填筒２ａから第２充填筒
２ｂへの切替直前に、第１充ＩＩ筒２ａの排ガス処理能
力の低下によって有害ガスがそのまま排出口４より排出
されて有害ガスの再飛散等が発生するという問題があっ
た。

一方、第３図に示す排ガス処理装置■でも、第１ないし
第３充填筒１２ａ、１２ｂ、１２ｃのうち選択的に２個
の充填筒で並列運転を行なうように構成しているため、
上記排ガス処理装置ＩＩと同様な問題が生じる。例えば
、第１および第２充填筒１２ａ、１２ｂによる並列運転
から、第１充填筒１２ａの排ガス処理能力低下により第
２および第３充１を筒１２ｂ、１２Ｇによる並列運転に
切替える場合、切替直前における第１充填筒１２ａの排
ガス処理能力低下を考慮すると、第１充填筒１２ａの排
ガス処理能力が完全に失われる以前に切換える必要があ
り、充填材１１ａの有効利用が図れないとともに、切替
直前に有害ガスの再飛散が発生するという問題が生じる
。

この発明は、上記従来技術の問題を解消し、未Ｗｉ製流
体の排出、例えば有害ガスの再飛散等が防止できるとと
もに、充填材の有効利用が因れる流体精製装置を提供す
ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、この発明の流体精製装置は、
取入口と、排出口と、３器以上の複数の精製器と、前記
取入口から取入れられる流体が前記複数の精製器のうち
所望のＩｔ製器を選択的にバイパスしながら他の複数の
精＠器を直列的に通過して前記排出口から排出されるよ
うに流体の流路を選択する流路選択手段とを備える。

（作用〕 この発明における流体精製装置においては、所望の精製
器を選択的にバイパスしながら他の複数の精製器を直列
的に流体が通過するので、精製器の切替直前における運
転中の精製器のうち−の精製器のＷＩ製処理能力低下に
よる未精製流体は運転中の他の精製器により精製処理が
施される。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例である排ガス処理装置工を
示す要部切欠構成図である。同図に示すように、流体精
製装置を構成する排ガス処理装置■は、充填材２１ａ、
２１ｂ、２１ｃのそれぞれ充填された第１ないし第３充
ＩＫ筒２２８．２２ｉ）。

２２Ｃ等の精製器を有しており、取入口２３より取入れ
られる有害なガスを選択可能な所望の２個の充填筒に直
列的に通過させて、排出口２４より排出させるように流
路が形成されている。

すなわち、取入口２３に接続される流路は３方に分かれ
、それぞれ第１ないし第３充填筒人口バルブ２５ａ、２
５ｂ、２５ｃを介して第１ないし第３充填筒２２ａ、２
２ｂ、２２ｃの入口ニそれぞれ接続される。更に、第１
ないし第３充１を筒２２ａ、２２ｂ、２２ｃの出口より
引き出された流路はそれぞれ第１ないし第３充填筒出口
バルブ２６ａ、２６ｂ、２６Ｇを介し、その債−本にま
とめられて排出口２４に導かれる。また、第１充填筒２
２ａの出口直後は、第１バルブ２７ａを有する第１配管
２８ａにより第１充填筒２２ｂの入口直前に接続される
とともに、同様に第２充填筒２２ｂの出口直後は第２バ
ルブ２７ｂを有する第２配ｆｆ２８ｂにより第３充１を
筒２２Ｇの入口直前に、第３充１１１Ｆ！！２２ｃの出
口直前は第３バルブ２７Ｃを有する第３配管２８ｃによ
り第１充填ｔｌ１２２ａの入口直前にそれぞれ接続され
る。

この排ガス処理装置工において、例えば、第１充填筒２
２ａと第２充填ｆｓｉ２２ｂが直列接続で運転している
場合には、第１充ＪＲ筒入口バルプ２５ａ、第１バルブ
２７ａおよび第２充填筒出ロバルブ２６ｂが閉状態とな
り、その他のバルブ２５ｂ。

２５ｃ、２６ａ、２６ｃ、２７ｂ、２７ｃは閉状態とな
っている。これにより、図示しない半導体製造装置等か
ら排出される有害なガス等が取入口２３より取入れられ
ると、第１充１１筒入ロバルブ２５ａを経て第１充Ｉｉ
Ｘ筒２２ａを通過し、充填材２１ａの吸着または反応作
用により無害化処理される。その後、第１配管２８ａを
通って第２充填筒２２ｂを通過し第２充１＃Ｅ筒出ロバ
ルブ２６ｂを経て排出される。この間運転されていない
第３充填１１２２Ｇの充填材２１ｃの交換または再生を
行なう。

次に、第１充填筒２２ａの排ガス処理能力が低下し、第
１充填筒２２Ｈにおける有害ガスの反応または吸着作用
から第２充填筒２２ｂにおける反応または吸着作用に移
行した時点、すなわち第１充填ｎ２２ａの排ガス処理能
力が完全に失われた時点で、第２バルブ２７ｂ、第３充
填筒出ロバルプ２６ｃおよび第２充填間入ロバルプ２５
ｂを開操作し、第１充填筒入口バルブ２５ａ、第１バル
ブ２７ａおよび第２充填筒出ロバルプ２６ｂを閉操作す
る。これにより、取入口２３から取入れられる有害なガ
スは第２充１を筒２２ｂ、第２配管２８ｂ、第３充填筒
２２ｃを通り排出口２４より排出される。この間、運転
されない第１充填筒２２ａの充填材２１ａの交換または
再生が行なわれ、排ガス処理能力を回復させる。

次に、第２充填筒２２ｂの排ガス処理能力が完全に失わ
れた時点で、第３充填ｒ：Ｒ２２Ｃと上記排ガス処理能
力の回復された第１充填ｆｆ１２２ａとによる直列運転
に切替えられる。すなわち、第３バルブ２７Ｃ２第１充
填筒出ロバルブ２６ａおよび第３充填筒入ロバルブ２５
Ｃを開操作し、第２充填筒入口バルブ２５ｂ、第２バル
ブ２７ｂおよび第３充填筒出ロバルブ２６Ｃを開操作す
る。これにより、有害ガスは第３充填筒２２Ｃ２第３配
管２８Ｃおよび第１充填筒２２ａを通り排出口２４より
排出される。この間、第２充ｊａａ２２ｂの充填材２１
ｂの交換または再生が行なわれる。

上記操作が繰り返されて排ガス処理装置工の連続運転が
行われる。

この排ガス処理装置Ｉによれば、選択的に所望の２個の
充填筒により直列運転するように構成しているため、例
えば第１および第２充Ｊ＃１筒２２ａ。

２２ｂの運転から、第１充填筒２２ａの排ガス処１１ｆ
ｌ力低下により第２および第３充填筒２２ｂ。

２２Ｇの運転に切替える際、第１充填筒２２ａの排ガス
処理能力が完全に失われた時点で切替えることができる
。すなわち、切換直前に第１充填筒２２ａの排ガス処理
能力低下により第１充填筒２２ａで有害ガスを完全に無
害化処理できなかったとしても、第２充填筒２２ｂによ
り無害化処理される。したがって第１の充填筒２２ａの
充填材２１ａの排ガス処理能力を１００％使用すること
ができ、充填材２１ａの有効利用を図ることができると
ともに、有害ガスが再飛散するようなことはない。

更に、第２および第３充填筒２２ｂ、２２ｃの運転から
第３および第１充填筒２２０．２２８に切替える際、さ
らに第３および第１充填筒２２Ｃ１２２ａから第１およ
び第２充１１Ｍ２２ａ、２２ｂに切替える際にも上記と
同様の効果が得られる。

なお、上記実施例においては、充ｊｇ１９１２２ａ。

２２ｂ、２２ｃの数が３個の場合について説明したが、
充填筒２２ａ、２２ｂ、２２ｃの数は３個に限られずそ
れ以上の数でもよい。

また、上記実施例では、流体精製装置が、反応筒または
吸着筒等の充填筒２２ａ、２２ｂ、２２Ｃを有する排ガ
ス処理装置工に適用された場合について説明したが、こ
の考案の流体精製装置は排ガス処理袋ｆｉＩだけに限ら
れず、例えば反応筒または吸着筒等のＭ製器を有するガ
ス精製装置にも適用でき、さらにイオン交換、樹脂筒、
活性炭筒またはフィルター等の精製器を有する純粋製造
装置にも適用することができる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明の流体績ＦＪ装置によれば、複
数の精製器のうち所望の精製器を選択的にバイパスしな
がら他の複数の精製器を直列的に流体が通過するように
構成しているため、精製器内の充填材のＭ製処理能力を
１００％使用でき有効利用が図れるととともに、−の精
製器の精製処理能力の低下によっても未精製流体が再飛
散されるようなことはないという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例である流体ＩＩ製装置を示
す要部切欠構成図、第２図は従来の排ガス処理装置を示
す要部切欠構成図、第３図は他の従来の排ガス処理装置
を示す要部切欠構成図である。 図において、２１ａ、２１ｂ、２１ｃは充填材、２２ａ
、２２ｂ、２２Ｃは充填筒、２３は取入口、２４は排出
口である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）取入口と、 排出口と、 ３器以上の複数の精製器と、 前記取入口から取入れられる流体が前記複数の精製器の
   うち所望の精製器を選択的にバイパスしながら他の複数
   の精製器を直列的に通過して前記排出口から排出される
   ように流体の流路を選択する流路選択手段とを備えた流
   体精製装置。