JP2984958B2 - 基板の枚葉検出装置 - Google Patents
基板の枚葉検出装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は基板の枚葉検出装置に
関するもので、更に詳細には、適宜間隔をおいて配列さ
れる複数の例えば半導体ウエハ等の基板の有無、枚数及
び配列状態を検出する基板の枚葉検出装置に関するもの
である。
関するもので、更に詳細には、適宜間隔をおいて配列さ
れる複数の例えば半導体ウエハ等の基板の有無、枚数及
び配列状態を検出する基板の枚葉検出装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】一般に、ウエハ等の半導体製造工程にお
いて、カセット内に複数枚のウエハを配列収容して搬送
したり、あるいは、カセットから取り出された複数枚の
ウエハを配列した状態で搬送して、各ウエハごとに適宜
処理を施している。したがって、ウエハの搬送工程にお
いて、ウエハの枚数の把握やウエハを適正な状態に整列
することはウエハの処理上重要である。
いて、カセット内に複数枚のウエハを配列収容して搬送
したり、あるいは、カセットから取り出された複数枚の
ウエハを配列した状態で搬送して、各ウエハごとに適宜
処理を施している。したがって、ウエハの搬送工程にお
いて、ウエハの枚数の把握やウエハを適正な状態に整列
することはウエハの処理上重要である。
【0003】そこで、従来では、ウエハの枚数や配列状
態を検出する手段として、発光部と受光部とからなる透
過光式検出手段を用いて配列されたウエハの有無により
枚数等を検出している。この場合、透過光式検出手段と
しては、配列されたウエハの枚数に対応させて発光部と
受光部を配置するもの(実開昭61−127640号公
報参照)、あるいは、1組の発光部と受光部をウエハの
配列方向に走査させてウエハの枚数等を検出するもの
(特開昭61−71383号公報、特開昭61−993
44号公報、特開昭61−99345号公報、実開昭6
1−129340号公報及び実公平1−28683号公
報参照)が知られている。
態を検出する手段として、発光部と受光部とからなる透
過光式検出手段を用いて配列されたウエハの有無により
枚数等を検出している。この場合、透過光式検出手段と
しては、配列されたウエハの枚数に対応させて発光部と
受光部を配置するもの(実開昭61−127640号公
報参照)、あるいは、1組の発光部と受光部をウエハの
配列方向に走査させてウエハの枚数等を検出するもの
(特開昭61−71383号公報、特開昭61−993
44号公報、特開昭61−99345号公報、実開昭6
1−129340号公報及び実公平1−28683号公
報参照)が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者す
なわち各ウエハごとに発光部と受光部とを配設したもの
においては、発光部と受光部の数がウエハの枚数必要と
なるため、装置が大型になるという問題があった。ま
た、後者すなわち1組の発光部と受光部をウエハの配列
方向に走査させるものは、移動機構が必要となるため、
装置が複雑になると共に、大型になり、しかも、走査す
るための精度が必要であった。
なわち各ウエハごとに発光部と受光部とを配設したもの
においては、発光部と受光部の数がウエハの枚数必要と
なるため、装置が大型になるという問題があった。ま
た、後者すなわち1組の発光部と受光部をウエハの配列
方向に走査させるものは、移動機構が必要となるため、
装置が複雑になると共に、大型になり、しかも、走査す
るための精度が必要であった。
【0005】また、この種の検出装置においては、検出
装置が使用される処理部の処理雰囲気等によって検出部
が腐食したり、逆に検出部からのパーティクルが半導体
ウエハに付着するなどの虞れがあった。
装置が使用される処理部の処理雰囲気等によって検出部
が腐食したり、逆に検出部からのパーティクルが半導体
ウエハに付着するなどの虞れがあった。
【0006】この発明は上記事情に鑑みなされたもの
で、検出手段を走査させることなく、必要最小限の数の
発光部と受光部を配置させることにより半導体ウエハの
有無、枚数及び配列状態を高精度に検出可能にし、ま
た、耐食性及び半導体ウエハへのパーティクルの付着防
止を図れるようにした半導体ウエハの枚葉検出装置を提
供することを目的とするものである。
で、検出手段を走査させることなく、必要最小限の数の
発光部と受光部を配置させることにより半導体ウエハの
有無、枚数及び配列状態を高精度に検出可能にし、ま
た、耐食性及び半導体ウエハへのパーティクルの付着防
止を図れるようにした半導体ウエハの枚葉検出装置を提
供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の基板の枚葉検出装置は、適宜間隔を
おいて配列される複数の基板の有無、枚数及び配列状態
を検出する基板の枚葉検出装置を前提とし、上記基板の
配列中心に関して略対称な両側に透過光式検出手段の複
数の発光部と受光部を対向配置すると共に、これら発光
部と受光部を上記基板列の両側に互いに千鳥状に配列し
てなるものである。
に、請求項1記載の基板の枚葉検出装置は、適宜間隔を
おいて配列される複数の基板の有無、枚数及び配列状態
を検出する基板の枚葉検出装置を前提とし、上記基板の
配列中心に関して略対称な両側に透過光式検出手段の複
数の発光部と受光部を対向配置すると共に、これら発光
部と受光部を上記基板列の両側に互いに千鳥状に配列し
てなるものである。
【0008】請求項2記載の基板の枚葉検出装置は、請
求項1記載の基板の枚葉検出装置において、発光部の1
つ間は複数を選択的に切換え動作する発光制御部と、上
記発光部からの光ビームを検知する受光部における発光
部の切換え動作に応じた光ビームを検知する受光制御部
と、上記発光制御部と受光制御部の信号を比較演算処理
して検出表示信号を出力する主制御部とを具備してなる
ものである。この場合、発光部の偶数番目と奇数番目を
選択的に切換えて、複数の基板を同時に検出することも
でき、また、発光部を1つずつ制御して基板を検出する
こともできる。
求項1記載の基板の枚葉検出装置において、発光部の1
つ間は複数を選択的に切換え動作する発光制御部と、上
記発光部からの光ビームを検知する受光部における発光
部の切換え動作に応じた光ビームを検知する受光制御部
と、上記発光制御部と受光制御部の信号を比較演算処理
して検出表示信号を出力する主制御部とを具備してなる
ものである。この場合、発光部の偶数番目と奇数番目を
選択的に切換えて、複数の基板を同時に検出することも
でき、また、発光部を1つずつ制御して基板を検出する
こともできる。
【0009】この発明において、上記複数の発光部と受
光部は基板列の両側に互いに千鳥状に配列されるもので
あれば任意のものでよく、例えば発光ダイオード等の発
光素子、ホトダイオードやホトトランジスタ等の受光素
子を使用することができる。この場合、発光素子及び受
光素子それ自体に絞り、集光機能を有するものであれば
必要ないが、発光素子及び受光素子の対向する側に指向
特性を良くするためのスリットや透孔を設ける方がよい
(請求項3,4)。
光部は基板列の両側に互いに千鳥状に配列されるもので
あれば任意のものでよく、例えば発光ダイオード等の発
光素子、ホトダイオードやホトトランジスタ等の受光素
子を使用することができる。この場合、発光素子及び受
光素子それ自体に絞り、集光機能を有するものであれば
必要ないが、発光素子及び受光素子の対向する側に指向
特性を良くするためのスリットや透孔を設ける方がよい
(請求項3,4)。
【0010】また、請求項5記載の基板の枚葉検出装置
は、請求項1記載の基板の枚葉検出装置において、保持
手段にて保持される複数の基板の配列中心に関して略対
称な両側に発光部と受光部を対向配置してなることを特
徴とするものである。
は、請求項1記載の基板の枚葉検出装置において、保持
手段にて保持される複数の基板の配列中心に関して略対
称な両側に発光部と受光部を対向配置してなることを特
徴とするものである。
【0011】また、請求項6記載の基板の枚葉検出装置
は、請求項1ないし5のいずれかに記載の基板の枚葉検
出装置において、上記発光部及び受光部を耐食性の管体
内に配設してなるものである。
は、請求項1ないし5のいずれかに記載の基板の枚葉検
出装置において、上記発光部及び受光部を耐食性の管体
内に配設してなるものである。
【0012】上記主制御部は発光制御部と受光制御部の
信号を比較演算処理して検出表示信号を出力するもの
で、例えば中央演算処理装置(CPU)にて形成するこ
とができる。
信号を比較演算処理して検出表示信号を出力するもの
で、例えば中央演算処理装置(CPU)にて形成するこ
とができる。
【0013】
【作用】上記のように構成することにより、配列される
基板の枚数の半分の数の発光部と受光部を千鳥状に対向
配置し、移動することなく基板の数や配列状態を検出す
ることができる。
基板の枚数の半分の数の発光部と受光部を千鳥状に対向
配置し、移動することなく基板の数や配列状態を検出す
ることができる。
【0014】また、主制御部からの信号により発光部が
選択動作し、受光部にて検知した信号を主制御部に伝達
することにより、主制御部から基板の有無、枚数及び配
列状態等が検出信号として出力される。
選択動作し、受光部にて検知した信号を主制御部に伝達
することにより、主制御部から基板の有無、枚数及び配
列状態等が検出信号として出力される。
【0015】また、発光部及び受光部を耐食性の管体内
に配設することにより、構成部材の削減を図ることがで
き、耐食性の向上及び発光部、受光部からのパーティク
ルの発生を防止することができる。
に配設することにより、構成部材の削減を図ることがで
き、耐食性の向上及び発光部、受光部からのパーティク
ルの発生を防止することができる。
【0016】
【実施例】以下にこの発明の実施例を図面に基いて詳細
に説明する。
に説明する。
【0017】◎第一実施例 図1はこの発明の基板の枚葉検出装置の第一実施例をウ
エハの洗浄装置に適用した場合の概略斜視図、図2はそ
の枚葉検出装置の要部の概略構成図が示されている。
エハの洗浄装置に適用した場合の概略斜視図、図2はそ
の枚葉検出装置の要部の概略構成図が示されている。
【0018】この発明の枚葉検出装置を有する洗浄装置
は、洗浄処理液を収容する洗浄槽1と、この洗浄槽1内
に出没可能に配設されると共に、その上面に基板例えば
半導体ウエハ3(以下にウエハという)を保持するため
のウエハ保持溝(図示せず)を等間隔に設けたウエハ保
持アーム2(保持手段)とを具備し、ウエハ保持アーム
2にて複数枚のウエハを立設保持した状態でウエハ保持
アーム2が下降して複数枚のウエハ3を洗浄処理液に浸
漬するようになっている。
は、洗浄処理液を収容する洗浄槽1と、この洗浄槽1内
に出没可能に配設されると共に、その上面に基板例えば
半導体ウエハ3(以下にウエハという)を保持するため
のウエハ保持溝(図示せず)を等間隔に設けたウエハ保
持アーム2(保持手段)とを具備し、ウエハ保持アーム
2にて複数枚のウエハを立設保持した状態でウエハ保持
アーム2が下降して複数枚のウエハ3を洗浄処理液に浸
漬するようになっている。
【0019】この発明の枚葉検出装置は、洗浄槽1の上
方に昇降可能に配設されて保持アーム2にて保持された
複数枚のウエハ3を包囲する矩形状の枠体5と、この枠
体5の対向する辺すなわち複数枚のウエハ3の配列中心
に関して対称に位置する一対の側板6にそれぞれ適宜間
隔をおいて取付けられる発光部であるレンズ付きの複数
の発光素子7及び受光部である複数の受光素子8とから
なる透過光式検出手段とを具備してなる。この場合、枠
体5は端辺側の一辺に突設される支持アーム9が垂直案
内軸10に沿って摺動自在に嵌合されている。また、複
数の発光素子7と複数の受光素子8は、複数枚のウエハ
3の配列の両側に互いに千鳥状に配列されている。すな
わち、図2に示すように、複数の発光素子7は複数枚の
ウエハ3間の隙間11の1つおきに配置され、複数の受
光素子8は発光素子7が位置しない複数枚のウエハ3間
の隙間11に配置されて互いに千鳥状に対向配置してい
る。
方に昇降可能に配設されて保持アーム2にて保持された
複数枚のウエハ3を包囲する矩形状の枠体5と、この枠
体5の対向する辺すなわち複数枚のウエハ3の配列中心
に関して対称に位置する一対の側板6にそれぞれ適宜間
隔をおいて取付けられる発光部であるレンズ付きの複数
の発光素子7及び受光部である複数の受光素子8とから
なる透過光式検出手段とを具備してなる。この場合、枠
体5は端辺側の一辺に突設される支持アーム9が垂直案
内軸10に沿って摺動自在に嵌合されている。また、複
数の発光素子7と複数の受光素子8は、複数枚のウエハ
3の配列の両側に互いに千鳥状に配列されている。すな
わち、図2に示すように、複数の発光素子7は複数枚の
ウエハ3間の隙間11の1つおきに配置され、複数の受
光素子8は発光素子7が位置しない複数枚のウエハ3間
の隙間11に配置されて互いに千鳥状に対向配置してい
る。
【0020】上記のように配置される複数の発光素子7
には複数の発光素子7の偶数番目と奇数番目を選択的に
切換え動作する発光制御部12が接続され、また、複数
の受光素子8には複数の発光素子7の切換え動作に応じ
た光ビームを検知する受光制御部13が接続されてい
る。そして、これら発光制御部12と受光制御部13に
は、発光制御部12と受光制御部13の信号を比較演算
処理して検出表示信号を出力する主制御部であるCPU
14が接続されている。このCPU14は予め記憶され
た情報に基いて複数の発光素子7を切換え動作する信号
を発光制御部12に伝達すると共に、受光制御部13か
らの信号を受け、記憶された情報に基いて動作する発光
制御部12の信号と受光制御部13からの信号とを比較
演算処理した後、複数枚のウエハ3の各ポジションにお
ける有無、複数枚のウエハ3の枚数の表示及び複数枚の
ウエハ3の配列異常検出信号を出力することができるよ
うになっている。ここで、予め記憶された情報とは、複
数の発光素子7を切換え動作する信号を発光制御部12
に伝達する情報をいう。したがって、CPU14によっ
て、予め記憶された情報に基いて動作する発光整序部1
2の信号と受光制御部13からの検出信号とを比較演算
処理して、各ウエハ3の状態を把握することができると
共に、これにより各ウエハ3の処理方法を決定すること
ができる。
には複数の発光素子7の偶数番目と奇数番目を選択的に
切換え動作する発光制御部12が接続され、また、複数
の受光素子8には複数の発光素子7の切換え動作に応じ
た光ビームを検知する受光制御部13が接続されてい
る。そして、これら発光制御部12と受光制御部13に
は、発光制御部12と受光制御部13の信号を比較演算
処理して検出表示信号を出力する主制御部であるCPU
14が接続されている。このCPU14は予め記憶され
た情報に基いて複数の発光素子7を切換え動作する信号
を発光制御部12に伝達すると共に、受光制御部13か
らの信号を受け、記憶された情報に基いて動作する発光
制御部12の信号と受光制御部13からの信号とを比較
演算処理した後、複数枚のウエハ3の各ポジションにお
ける有無、複数枚のウエハ3の枚数の表示及び複数枚の
ウエハ3の配列異常検出信号を出力することができるよ
うになっている。ここで、予め記憶された情報とは、複
数の発光素子7を切換え動作する信号を発光制御部12
に伝達する情報をいう。したがって、CPU14によっ
て、予め記憶された情報に基いて動作する発光整序部1
2の信号と受光制御部13からの検出信号とを比較演算
処理して、各ウエハ3の状態を把握することができると
共に、これにより各ウエハ3の処理方法を決定すること
ができる。
【0021】なお、複数の発光素子7と複数の受光素子
8の対向する側にはそれぞれ指向特性を良くするための
複数のスリット15を設けたスリット板16が配設され
ている。なおこの場合、スリット板16は、例えば光を
遮断する遮蔽板に複数のスリット15を穿設し、各スリ
ット15にガラス板等の透明部材17を嵌装したもので
あってもよく、あるいは透明ガラス板のスリット15以
外の部分をエッチング等によって不透明に処理したもの
等にて形成することができる。このように複数の発光素
子7と複数の受光素子8の対向側にスリット板16を配
設することにより、発光素子7から発光される光ビーム
(放射角θ)がある程度広がりのあるものにおいても、
スリット板16のスリット15によって指向性をもたせ
ることができるので、検出には支障がなく、複数の発光
素子7及び複数の受光素子8を複数枚のウエハ3から離
して配置することができ、薬液等を使用する洗浄槽内に
並列保持された複数枚のウエハ3を槽外から安全に検出
することができる。
8の対向する側にはそれぞれ指向特性を良くするための
複数のスリット15を設けたスリット板16が配設され
ている。なおこの場合、スリット板16は、例えば光を
遮断する遮蔽板に複数のスリット15を穿設し、各スリ
ット15にガラス板等の透明部材17を嵌装したもので
あってもよく、あるいは透明ガラス板のスリット15以
外の部分をエッチング等によって不透明に処理したもの
等にて形成することができる。このように複数の発光素
子7と複数の受光素子8の対向側にスリット板16を配
設することにより、発光素子7から発光される光ビーム
(放射角θ)がある程度広がりのあるものにおいても、
スリット板16のスリット15によって指向性をもたせ
ることができるので、検出には支障がなく、複数の発光
素子7及び複数の受光素子8を複数枚のウエハ3から離
して配置することができ、薬液等を使用する洗浄槽内に
並列保持された複数枚のウエハ3を槽外から安全に検出
することができる。
【0022】次に、この発明の枚葉検出装置による複数
枚のウエハ3の枚葉検出の動作態様について、図2を参
照して説明する。なお、ここでは、動作説明をわかり易
くするために、複数枚のウエハ3を配列順に,,
,,とし、3つの発光素子7を配列順にA,B,
Cとし、3つの受光素子8を配列順にア,イ,ウとす
る。
枚のウエハ3の枚葉検出の動作態様について、図2を参
照して説明する。なお、ここでは、動作説明をわかり易
くするために、複数枚のウエハ3を配列順に,,
,,とし、3つの発光素子7を配列順にA,B,
Cとし、3つの受光素子8を配列順にア,イ,ウとす
る。
【0023】まず、CPU14からの信号によって発光
制御部12が作動して奇数番目の発光素子AとCが点灯
すると、のウエハ3はアの受光素子8により検出さ
れ、のウエハ3はイの受光素子8により検出され、
のウエハ3はウの受光素子8により検出される。そし
て、複数の受光素子8によって検出された信号は受光制
御部13からCPU14に伝達され、CPU14におい
て発光制御部12への出力信号と受光制御部13からの
受信信号とが比較演算処理されて、奇数番目の発光素子
A,Cが点灯した場合のウエハ3の有無及び枚数が検出
される。
制御部12が作動して奇数番目の発光素子AとCが点灯
すると、のウエハ3はアの受光素子8により検出さ
れ、のウエハ3はイの受光素子8により検出され、
のウエハ3はウの受光素子8により検出される。そし
て、複数の受光素子8によって検出された信号は受光制
御部13からCPU14に伝達され、CPU14におい
て発光制御部12への出力信号と受光制御部13からの
受信信号とが比較演算処理されて、奇数番目の発光素子
A,Cが点灯した場合のウエハ3の有無及び枚数が検出
される。
【0024】次に、CPU14からの信号によって発光
制御部12が作動して偶数番目の発光素子Bが点灯する
と、のウエハ3はアの受光素子8により検出され、
のウエハ3はイの受光素子8により検出される。そし
て、複数の受光素子8によって検出された信号は受光制
御部13からCPU14に伝達され、CPU14におい
て発光制御部12への出力信号と受光制御部13からの
受信信号とが比較演算処理されて、偶数番目の発光素子
Bが点灯した場合のウエハ3の有無及び枚数が検出され
る。
制御部12が作動して偶数番目の発光素子Bが点灯する
と、のウエハ3はアの受光素子8により検出され、
のウエハ3はイの受光素子8により検出される。そし
て、複数の受光素子8によって検出された信号は受光制
御部13からCPU14に伝達され、CPU14におい
て発光制御部12への出力信号と受光制御部13からの
受信信号とが比較演算処理されて、偶数番目の発光素子
Bが点灯した場合のウエハ3の有無及び枚数が検出され
る。
【0025】したがって、発光制御部12によって複数
の発光素子7の奇数番目と偶数番目を切換え動作(点
灯)させることによって全てのウエハ3の有無及び枚数
を検出することができる。
の発光素子7の奇数番目と偶数番目を切換え動作(点
灯)させることによって全てのウエハ3の有無及び枚数
を検出することができる。
【0026】なおこの場合、ウエハ3の配列状態が適正
でなく、傾斜している場合には、発光素子7からの光ビ
ームの光量に変化が生じるので、この光量変化を検知で
きる機能を持つ受光素子8で検出することによって複数
枚のウエハ3の配列の異常を検出することができる。
でなく、傾斜している場合には、発光素子7からの光ビ
ームの光量に変化が生じるので、この光量変化を検知で
きる機能を持つ受光素子8で検出することによって複数
枚のウエハ3の配列の異常を検出することができる。
【0027】◎第二実施例 図3はこの発明の枚葉検出装置の第二実施例をウエハの
洗浄装置に適用した場合の概略斜視図、図4は第二実施
例の枚葉検出装置の要部断面図、図5は図4の断面斜視
図、図6は第二実施例の枚葉検出装置の概略構成図が示
されている。
洗浄装置に適用した場合の概略斜視図、図4は第二実施
例の枚葉検出装置の要部断面図、図5は図4の断面斜視
図、図6は第二実施例の枚葉検出装置の概略構成図が示
されている。
【0028】第二実施例の枚葉検出装置を有する洗浄装
置は、洗浄処理液を収容する洗浄槽1と、この洗浄槽1
内に出没可能に配設される保持手段例えばウエハチャッ
ク2aとで構成されている。ウエハチャック2aは、上
面及び側面に適宜間隔をおいて設けられた複数のウエハ
保持溝2bを有する2本の保持棒2cを備えた2個の保
持部2fが互いに接離可能に構成されており、このウエ
ハチャック2aによって保持された複数枚のウエハ3は
ウエハ搬送体2dによって洗浄槽1の上方に移動された
後、下降して洗浄槽1内に配設されたウエハ保持部(図
示せず)に受け渡されるようになっている。
置は、洗浄処理液を収容する洗浄槽1と、この洗浄槽1
内に出没可能に配設される保持手段例えばウエハチャッ
ク2aとで構成されている。ウエハチャック2aは、上
面及び側面に適宜間隔をおいて設けられた複数のウエハ
保持溝2bを有する2本の保持棒2cを備えた2個の保
持部2fが互いに接離可能に構成されており、このウエ
ハチャック2aによって保持された複数枚のウエハ3は
ウエハ搬送体2dによって洗浄槽1の上方に移動された
後、下降して洗浄槽1内に配設されたウエハ保持部(図
示せず)に受け渡されるようになっている。
【0029】第二実施例における枚葉検出装置は、ウエ
ハ搬送体2dの両側の上部に立設された一対のブラケッ
ト2eにて支持される耐食性を有する管体例えば透明性
管体である石英管5a内にそれぞれ発光部(具体的には
発光素子7)と受光部(具体的には受光素子8)とを配
設してなる。すなわち、発光素子7と受光素子8は、図
4及び図5に発光素子7を代表して示すように、Oリン
グ5bを介してブラケット2eに取付けられる石英管5
a内に長手通し状に配設される金属製あるいは合成樹脂
製のホルダ5cに適宜間隔をおいて設けられた透孔5d
内に埋設される発光素子7(又は受光素子8)と、ホル
ダ5cの下方に沿設されるプリント基板5eとをリード
線5fにて接続してなり、石英管5aのブラケット側と
反対側の開口端にOリング5gを介してエンドキャップ
5hを装着し、また、ブラケット2eにOリング5iを
介して接続されるコネクタ5jとプリント基板5eとを
ケーブル5kにて接続した構造となっている。なお、発
光素子7と受光素子8とは、発光素子7からの光が受光
素子8にて受光されるような向きに各々配置される。こ
のように構成することにより、ウエハチャック2aによ
って保持される複数のウエハ3を保持した状態で枚葉検
出装置にて検出することができる。
ハ搬送体2dの両側の上部に立設された一対のブラケッ
ト2eにて支持される耐食性を有する管体例えば透明性
管体である石英管5a内にそれぞれ発光部(具体的には
発光素子7)と受光部(具体的には受光素子8)とを配
設してなる。すなわち、発光素子7と受光素子8は、図
4及び図5に発光素子7を代表して示すように、Oリン
グ5bを介してブラケット2eに取付けられる石英管5
a内に長手通し状に配設される金属製あるいは合成樹脂
製のホルダ5cに適宜間隔をおいて設けられた透孔5d
内に埋設される発光素子7(又は受光素子8)と、ホル
ダ5cの下方に沿設されるプリント基板5eとをリード
線5fにて接続してなり、石英管5aのブラケット側と
反対側の開口端にOリング5gを介してエンドキャップ
5hを装着し、また、ブラケット2eにOリング5iを
介して接続されるコネクタ5jとプリント基板5eとを
ケーブル5kにて接続した構造となっている。なお、発
光素子7と受光素子8とは、発光素子7からの光が受光
素子8にて受光されるような向きに各々配置される。こ
のように構成することにより、ウエハチャック2aによ
って保持される複数のウエハ3を保持した状態で枚葉検
出装置にて検出することができる。
【0030】また、耐食性の管体としては、上記石英管
の他、少なくとも光の透過する透孔5d部分が透明であ
ればよいので、例えば他の耐食性管体を使用し、透孔5
d部分を石英にて構成するようにしてもよい。
の他、少なくとも光の透過する透孔5d部分が透明であ
ればよいので、例えば他の耐食性管体を使用し、透孔5
d部分を石英にて構成するようにしてもよい。
【0031】このように、枚葉検出装置を構成すること
により、発光素子7及び受光素子8が石英管5a内に密
閉状態で配設されるので、洗浄処理液が発光素子7や受
光素子8に付着して、発光素子7や受光素子8が汚染さ
れたり、検出に支障が生じるのを防止することができ、
また発光素子7又は受光素子8からのパーティクルの発
生を防止することもできる。
により、発光素子7及び受光素子8が石英管5a内に密
閉状態で配設されるので、洗浄処理液が発光素子7や受
光素子8に付着して、発光素子7や受光素子8が汚染さ
れたり、検出に支障が生じるのを防止することができ、
また発光素子7又は受光素子8からのパーティクルの発
生を防止することもできる。
【0032】また、第二実施例において、図6に示すよ
うに、上記第一実施例と同様に、発光素子7には発光制
御部12が接続され、受光素子8には受光制御部13が
接続され、発光制御部12にはCPU14からの信号が
伝達され、受光制御部13はCPU14からの信号が伝
達されると共に、検出信号をCPU14に伝達し得るよ
うになっている。このように制御部を構成することによ
り、第一実施例と同様に偶数番目と奇数番目の発光素子
7を選択的に切り換え動作して複数のウエハ3の有無、
枚数及び配列状態を検出することも可能であるが、第二
実施例においては、発光素子7及び受光素子8を1つず
つ制御してウエハ3の有無、枚数及び配列状態を検出し
ている。
うに、上記第一実施例と同様に、発光素子7には発光制
御部12が接続され、受光素子8には受光制御部13が
接続され、発光制御部12にはCPU14からの信号が
伝達され、受光制御部13はCPU14からの信号が伝
達されると共に、検出信号をCPU14に伝達し得るよ
うになっている。このように制御部を構成することによ
り、第一実施例と同様に偶数番目と奇数番目の発光素子
7を選択的に切り換え動作して複数のウエハ3の有無、
枚数及び配列状態を検出することも可能であるが、第二
実施例においては、発光素子7及び受光素子8を1つず
つ制御してウエハ3の有無、枚数及び配列状態を検出し
ている。
【0033】次に、第二実施例の枚葉検出装置による複
数枚のウエハ3の枚葉検出の動作態様について、図6を
参照して説明する。なお、ここでは、動作説明をわかり
易くするために、第一実施例と同様に、複数枚のウエハ
3を配列順に,,,,とし、3つの発光素子
7を配列順にA,B,Cとし、3つの受光素子8を配列
順にア,イ,ウとする。
数枚のウエハ3の枚葉検出の動作態様について、図6を
参照して説明する。なお、ここでは、動作説明をわかり
易くするために、第一実施例と同様に、複数枚のウエハ
3を配列順に,,,,とし、3つの発光素子
7を配列順にA,B,Cとし、3つの受光素子8を配列
順にア,イ,ウとする。
【0034】まず、CPU14からの信号によって発光
制御部12が作動してAの発光素子7が発光すると、
のウエハ3はアの受光素子8により検出される。そし
て、アの受光素子8によって検出された信号は受光制御
部13からCPU14に伝達され、CPU14において
発光制御部12への出力信号と受光制御部13からの受
光信号とが比較演算処理されて、のウエハ3の有無が
検出されると共に、カウントされる。
制御部12が作動してAの発光素子7が発光すると、
のウエハ3はアの受光素子8により検出される。そし
て、アの受光素子8によって検出された信号は受光制御
部13からCPU14に伝達され、CPU14において
発光制御部12への出力信号と受光制御部13からの受
光信号とが比較演算処理されて、のウエハ3の有無が
検出されると共に、カウントされる。
【0035】次に、CPU14からの信号によって2番
目(B)の発光素子7が発光すると、のウエハ3はア
の受光素子8によって検出され、のウエハ3はイの受
光素子8によって検出される。そして、ア,イの受光素
子8によって検出された信号は受光制御部13からCP
U14に伝達され、CPU14において発光制御部12
への出力信号と受光制御部13からの受光信号とが比較
演算処理されて、及びのウエハ3の有無が検出され
ると共に、枚数がカウントされる。
目(B)の発光素子7が発光すると、のウエハ3はア
の受光素子8によって検出され、のウエハ3はイの受
光素子8によって検出される。そして、ア,イの受光素
子8によって検出された信号は受光制御部13からCP
U14に伝達され、CPU14において発光制御部12
への出力信号と受光制御部13からの受光信号とが比較
演算処理されて、及びのウエハ3の有無が検出され
ると共に、枚数がカウントされる。
【0036】次に、CPU14からの信号によって3番
目(C)の発光素子7を発光すると、のウエハ3はイ
の受光素子8によって検出され、のウエハ3はウの受
光素子8によって検出される。そして、イ,ウの受光素
子8によって検出された信号は受光制御部13からCP
U14に伝達され、CPU14において発光制御部12
への出力信号と受光制御部13からの受光信号とが比較
演算処理されて、及びのウエハ3の有無及び枚数が
カウントされる。
目(C)の発光素子7を発光すると、のウエハ3はイ
の受光素子8によって検出され、のウエハ3はウの受
光素子8によって検出される。そして、イ,ウの受光素
子8によって検出された信号は受光制御部13からCP
U14に伝達され、CPU14において発光制御部12
への出力信号と受光制御部13からの受光信号とが比較
演算処理されて、及びのウエハ3の有無及び枚数が
カウントされる。
【0037】以下、同様に順次4番目以降の発光素子7
を発光して、複数枚のウエハ3の有無及び枚数を検出す
ることができる。したがって、発光部及び受光部をそれ
ぞれ1つずつ制御するので、確実な制御ができ、また、
半透明のウエハを検出する場合に生じる散乱光による誤
動作を防止することができる。また、第一実施例の場合
と比較して、発光部及び受光部の指向性を緩やかにでき
る。
を発光して、複数枚のウエハ3の有無及び枚数を検出す
ることができる。したがって、発光部及び受光部をそれ
ぞれ1つずつ制御するので、確実な制御ができ、また、
半透明のウエハを検出する場合に生じる散乱光による誤
動作を防止することができる。また、第一実施例の場合
と比較して、発光部及び受光部の指向性を緩やかにでき
る。
【0038】なお、受光素子8を光量変化を検知できる
機能を持つものにすることによって、複数枚のウエハ3
の配列の異常を検出することができる点は上記第一実施
例と同様である。また、その他の部分は上記第一実施例
と同様であるので、同一部分には同一符号を付して、そ
の説明は省略する。
機能を持つものにすることによって、複数枚のウエハ3
の配列の異常を検出することができる点は上記第一実施
例と同様である。また、その他の部分は上記第一実施例
と同様であるので、同一部分には同一符号を付して、そ
の説明は省略する。
【0039】上記のように構成されるこの発明の枚葉検
出装置は、例えば、図7に示すように、洗浄装置の1ユ
ニット内に組込まれて、洗浄されるウエハ3の枚葉検出
に供される。すなわち、図7は、3つの洗浄処理ユニッ
ト21,22,23にて洗浄装置を構成した場合で、搬
入側の洗浄処理ユニット21にはローダ24が接続さ
れ、搬出側の洗浄処理ユニット23にはアンローダ25
が接続されており、更に洗浄処理ユニット21,22間
及び洗浄処理ユニット22,23間に、3ユニットのい
ずれかに含まれている処理室の一部を構成する水中ロー
ダ26が配設されている。そして、各洗浄処理ユニット
21,22,23の洗浄槽1の上方にこの発明の枚葉検
出装置20が配設されている。
出装置は、例えば、図7に示すように、洗浄装置の1ユ
ニット内に組込まれて、洗浄されるウエハ3の枚葉検出
に供される。すなわち、図7は、3つの洗浄処理ユニッ
ト21,22,23にて洗浄装置を構成した場合で、搬
入側の洗浄処理ユニット21にはローダ24が接続さ
れ、搬出側の洗浄処理ユニット23にはアンローダ25
が接続されており、更に洗浄処理ユニット21,22間
及び洗浄処理ユニット22,23間に、3ユニットのい
ずれかに含まれている処理室の一部を構成する水中ロー
ダ26が配設されている。そして、各洗浄処理ユニット
21,22,23の洗浄槽1の上方にこの発明の枚葉検
出装置20が配設されている。
【0040】なお、搬入側の洗浄処理ユニット21は、
中心位置にウエハ搬送アーム40を配設する容器41が
位置し、その周囲で容器41の左隣及びローダ24の正
面にそれぞれアンモニア処理室27及び水洗処理室28
が配設されている。中央の洗浄処理ユニット22は、中
心位置にウエハ搬送アーム40を配設する容器41が位
置し、その周囲の左右両側に水中ローダ26を配設し、
その間の前後位置にフッ酸処理室29、水洗オーバーフ
ロー処理室30を配設してなる。また、搬出側の洗浄処
理ユニット23は、中心位置にウエハ搬送アーム40を
配設した容器41が位置し、この容器41の周囲でアン
ローダ25の正面側には水洗ファイナルリンス処理室3
1を配設し、容器41の右隣に乾燥処理室32を配設し
てなる。なお、容器41と各処理室とは開口部(図示せ
ず)によって連通されており、開口部には図示しないシ
ャッターが開閉自在に配設されると共に、開口部の上部
にエアー吹出口(図示せず)が設けられて、エアーカー
テンが形成されるようになっている。
中心位置にウエハ搬送アーム40を配設する容器41が
位置し、その周囲で容器41の左隣及びローダ24の正
面にそれぞれアンモニア処理室27及び水洗処理室28
が配設されている。中央の洗浄処理ユニット22は、中
心位置にウエハ搬送アーム40を配設する容器41が位
置し、その周囲の左右両側に水中ローダ26を配設し、
その間の前後位置にフッ酸処理室29、水洗オーバーフ
ロー処理室30を配設してなる。また、搬出側の洗浄処
理ユニット23は、中心位置にウエハ搬送アーム40を
配設した容器41が位置し、この容器41の周囲でアン
ローダ25の正面側には水洗ファイナルリンス処理室3
1を配設し、容器41の右隣に乾燥処理室32を配設し
てなる。なお、容器41と各処理室とは開口部(図示せ
ず)によって連通されており、開口部には図示しないシ
ャッターが開閉自在に配設されると共に、開口部の上部
にエアー吹出口(図示せず)が設けられて、エアーカー
テンが形成されるようになっている。
【0041】上記のように構成される洗浄処理装置にお
いて、ローダ24に搬送されたキャリア33内の複数枚
のウエハ3に向って伸びるウエハ搬送アーム40のフォ
ーク42にて25枚のウエハ3を保持した後、この状態
で搬送アーム40が水平回転し、かつ伸縮してアンモニ
ア処理室27の洗浄槽1のウエハ保持アーム2上に挿入
して複数枚のウエハ3をウエハ保持アーム2上に載置す
る。この状態でこの発明の枚葉検出装置20が上述のよ
うに作動して複数枚のウエハ3の有無及び枚数等が検出
される。そして、検出に異常がない場合には、ウエハ保
持アーム2が下降し、又はウエハチャック2aから受け
渡された複数枚のウエハ3のアンモニア処理が行われ
る。その後、ウエハ搬送アーム40によって複数枚のウ
エハ3は水洗浄処理室28内に搬送され、水洗浄処理室
28内において同様に複数枚のウエハ3の有無及び枚数
等が検出される。以下、同様に各洗浄処理ユニット2
2,23において同様に枚葉処理が行われると共に、洗
浄処理が行われる。そして、搬出側の洗浄処理ユニット
23にて洗浄処理された複数枚のウエハ3はアンローダ
25に搬送され、このアンローダ25にてウエハ3の2
5枚ずつの分割、オリフラ合せが行われ、そして、2つ
のキャリア33に載置されて搬出される。
いて、ローダ24に搬送されたキャリア33内の複数枚
のウエハ3に向って伸びるウエハ搬送アーム40のフォ
ーク42にて25枚のウエハ3を保持した後、この状態
で搬送アーム40が水平回転し、かつ伸縮してアンモニ
ア処理室27の洗浄槽1のウエハ保持アーム2上に挿入
して複数枚のウエハ3をウエハ保持アーム2上に載置す
る。この状態でこの発明の枚葉検出装置20が上述のよ
うに作動して複数枚のウエハ3の有無及び枚数等が検出
される。そして、検出に異常がない場合には、ウエハ保
持アーム2が下降し、又はウエハチャック2aから受け
渡された複数枚のウエハ3のアンモニア処理が行われ
る。その後、ウエハ搬送アーム40によって複数枚のウ
エハ3は水洗浄処理室28内に搬送され、水洗浄処理室
28内において同様に複数枚のウエハ3の有無及び枚数
等が検出される。以下、同様に各洗浄処理ユニット2
2,23において同様に枚葉処理が行われると共に、洗
浄処理が行われる。そして、搬出側の洗浄処理ユニット
23にて洗浄処理された複数枚のウエハ3はアンローダ
25に搬送され、このアンローダ25にてウエハ3の2
5枚ずつの分割、オリフラ合せが行われ、そして、2つ
のキャリア33に載置されて搬出される。
【0042】なお、上記実施例ではこの発明の枚葉検出
装置をウエハの洗浄装置に適用した場合について説明し
たが、必ずしもウエハ保持アーム2に立設保持された複
数枚のウエハ3の枚葉検出にのみ適用されるものではな
く、ウエハカセット内に収納されたウエハの枚葉検出、
あるいはその他のウエハを配列して搬送する工程にも適
用することができることは勿論であり、更には、ウエハ
以外の板状体を例えばLCD基板、プリント基板等の複
数配列した場合の枚葉検出にも適用することができる。
装置をウエハの洗浄装置に適用した場合について説明し
たが、必ずしもウエハ保持アーム2に立設保持された複
数枚のウエハ3の枚葉検出にのみ適用されるものではな
く、ウエハカセット内に収納されたウエハの枚葉検出、
あるいはその他のウエハを配列して搬送する工程にも適
用することができることは勿論であり、更には、ウエハ
以外の板状体を例えばLCD基板、プリント基板等の複
数配列した場合の枚葉検出にも適用することができる。
【0043】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明の基板
の枚葉検出装置によれば、上記のように構成されている
ので、以下のような効果が得られる。
の枚葉検出装置によれば、上記のように構成されている
ので、以下のような効果が得られる。
【0044】1)請求項1記載の枚葉検出装置によれ
ば、検出手段を機械的に走査させることなく、しかも、
配列される基板の枚数の半分の数の発光部と受光部とで
検出手段を形成することができるので、装置全体の構造
を簡単にすることができると共に、装置の小型化を図る
ことができる。
ば、検出手段を機械的に走査させることなく、しかも、
配列される基板の枚数の半分の数の発光部と受光部とで
検出手段を形成することができるので、装置全体の構造
を簡単にすることができると共に、装置の小型化を図る
ことができる。
【0045】2)請求項2記載の枚葉検出装置によれ
ば、発光部の1つ又は複数を電気的に選択動作させて基
板の枚数、配列状態の検出を行うことができるので、基
板ごとに発光部と受光部を配置した場合とほぼ同等の検
出精度及び検出速度を得ることができる。
ば、発光部の1つ又は複数を電気的に選択動作させて基
板の枚数、配列状態の検出を行うことができるので、基
板ごとに発光部と受光部を配置した場合とほぼ同等の検
出精度及び検出速度を得ることができる。
【0046】3)請求項3又は4記載の枚葉検出装置に
よれば、発光部の受光部と対向する側、あるいは受光部
の発光部と対向する側にスリット又は透孔を設けるの
で、指向性を良好にすることができると共に、発光部と
受光部を基板から離して配置することができる。したが
って上記1)及び2)に加えて検出精度の向上が図れる
と共に、安全に検出を行うことができる。
よれば、発光部の受光部と対向する側、あるいは受光部
の発光部と対向する側にスリット又は透孔を設けるの
で、指向性を良好にすることができると共に、発光部と
受光部を基板から離して配置することができる。したが
って上記1)及び2)に加えて検出精度の向上が図れる
と共に、安全に検出を行うことができる。
【0047】4)請求項5記載の枚葉検出装置によれ
ば、基板を保持した状態で基板の枚数、配列状態の検出
を行うことができる。
ば、基板を保持した状態で基板の枚数、配列状態の検出
を行うことができる。
【0048】5)請求項6記載の枚葉検出装置によれ
ば、発光部及び受光部を耐食性の管体内に配設するの
で、構成部材の削減を図ることができると共に、耐食性
の向上及び基板の汚染防止を図ることができる。
ば、発光部及び受光部を耐食性の管体内に配設するの
で、構成部材の削減を図ることができると共に、耐食性
の向上及び基板の汚染防止を図ることができる。
【図1】この発明の枚葉検出装置の第一実施例をウエハ
の洗浄装置に適用した場合を示す概略斜視図である。
の洗浄装置に適用した場合を示す概略斜視図である。
【図2】第一実施例の枚葉検出装置の要部を示す概略構
成図である。
成図である。
【図3】この発明の枚葉検出装置の第二実施例をウエハ
の洗浄装置に適用した場合を示す概略斜視図である。
の洗浄装置に適用した場合を示す概略斜視図である。
【図4】第二実施例の枚葉検出装置を示す断面図であ
る。
る。
【図5】第二実施例の枚葉検出装置の要部を示す断面斜
視図である。
視図である。
【図6】第二実施例の枚葉検出装置の要部を示す概略構
成図である。
成図である。
【図7】この発明の枚葉検出装置を具備する洗浄装置を
示す概略平面図である。
示す概略平面図である。
2 ウエハ保持アーム(保持手段) 2a ウエハチャック(保持手段) 3 半導体ウエハ(基板) 5a 石英管(耐食性管体) 7 発光素子(発光部) 8 受光素子(受光部) 11 隙間 12 発光制御部 13 受光制御部 14 CPU(主制御部) 15 スリット
Claims (6)
- 【請求項1】 適宜間隔をおいて配列される複数の基板
の有無、枚数及び配列状態を検出する基板の枚葉検出装
置において、 上記基板の配列中心に関して略対称な両側に透過光式検
出手段の複数の発光部と受光部を対向配置すると共に、
これら発光部と受光部を上記基板列の両側に互いに千鳥
状に配列してなることを特徴とする基板の枚葉検出装
置。 - 【請求項2】 請求項1記載の基板の枚葉検出装置にお
いて、 発光部の1つ又は複数を選択的に切換え動作する発光制
御部と、上記発光部からの光ビームを検知する受光部に
おける発光部の切換え動作に応じた光ビームを検知する
受光制御部と、上記発光制御部と受光制御部の信号を比
較演算処理して検出表示信号を出力する主制御部とを具
備してなることを特徴とする基板の枚葉検出装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載の基板の枚葉検出装
置において、 発光部の受光部と対向する側にスリット又は透孔を設け
たことを特徴とする基板の枚葉検出装置。 - 【請求項4】 請求項1又は2記載の基板の枚葉検出装
置において、 受光部の発光部と対向する側にスリット又は透孔を設け
たことを特徴とする基板の枚葉検出装置。 - 【請求項5】 請求項1記載の基板枚葉検出装置におい
て、 保持手段にて保持される複数の基板の配列中心に関して
略対称な両側に発光部と受光部を対向配置してなること
を特徴とする基板の枚葉検出装置。 - 【請求項6】 請求項1ないし5のいずれかに記載の基
板の枚葉検出装置において、 発光部及び受光部を耐食性の管体内に配設してなること
を特徴とする基板の枚葉検出装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8030492A JP2984958B2 (ja) | 1991-07-26 | 1992-03-03 | 基板の枚葉検出装置 |
US07/917,975 US5266812A (en) | 1991-07-26 | 1992-07-24 | Substrate detector with light emitting and receiving elements arranged in a staggered fashion |
US08/105,166 US5319216A (en) | 1991-07-26 | 1993-08-12 | Substrate detector with light emitting and receiving elements arranged in staggered fashion and a polarization filter |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3-208714 | 1991-07-26 | ||
JP20871491 | 1991-07-26 | ||
JP8030492A JP2984958B2 (ja) | 1991-07-26 | 1992-03-03 | 基板の枚葉検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0590389A JPH0590389A (ja) | 1993-04-09 |
JP2984958B2 true JP2984958B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=26421333
Family Applications (1)
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