JP3467579B2 - 圧電振動子ユニットの製造方法 - Google Patents
圧電振動子ユニットの製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、圧力発生室の一
方の面を振動板で封止し、この振動板を縦振動モードの
圧電振動子により圧力発生室を膨張、収縮させてノズル
開口からインク滴を発生させるインクジェット式記録ヘ
ッドに使用する圧電振動子ユニットの製造方法に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】例えば、特開平5-104715号公報に示され
たような縦振動モードの圧電振動子をインクジェット式
記録ヘッドの駆動に使用すると、圧電振動子と振動板と
の当接面積を極めて小さくできるため、１ユニット当た
り１８０ＤＰＩ以上の解像度を実現できる。 【０００３】縦振動モードの圧電振動子Ａは、図８に示
したように一方の極となる内部電極Ｂと、他方の極とな
る内部電極Ｃとを圧電材料Ｄを介してサンドイッチ状に
積層し、一方の内部電極Ｂを先端側に、また他方の内部
電極Ｃを後端側に露出させて、各端面でセグメント電極
Ｅ、及び共通電極Ｆに接続した圧電定数ｄ31のものとし
て構成され、固定基板Ｇに一定のピッチで配列、固定し
て構成され、セグメント電極Ｅと共通電極Ｆとにフレキ
シブルケーブルＨの導電パターンを接続して外部駆動回
路からの信号を供給するように構成されている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】後端側に形成される共
通電極Ｆは、すべての圧電振動子Ａの駆動電流が流れる
ため、これの抵抗を可及的に小さくする目的で、圧電振
動子Ａの上面、後端面、及び裏面の３面に導電層Ｆ１〜
Ｆ３を形成し、後端側を一部残すように櫛歯状に歯割り
して、導電路を確保するように構成されている。なお、
図中符号Ｊは、圧電振動子Ａによりインクの加圧を受け
てインク滴を吐出する流路ユニットを示す。このため、
圧電振動子Ａの先端面、後端面、及び表裏両面の４面に
外部接続用の電極層を必要とし、これらの外部電極層
は、インクに対する耐腐蝕性や半田付けの容易さを確保
する目的で金が使用されている。このため、高速駆動を
可能ならしめるため電極層の抵抗を下げるために電極層
を厚く形成しようとすると、電極形成にコストが掛かる
という問題がある。本発明は、このような問題に鑑みて
なされたものであって、その目的とするところは外部接
続用の電極層を３面として、高価な電極材料の使用料を
低減することができるインクジェット式記録ヘッドの圧
電振動子ユニットの製造方法を提案することである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために本発明においては、一方の極となる内部電極と
他方の極となる内部電極と圧電材料とを交互に重ね合わ
せ、各内部電極の一端だけが先端側、及び後端側に露出
するように積層した圧電振動板を２枚重ね合わせて、表
面、及び裏面のセグメント電極と共通電極との境界領域
にマスク材を固定して外部接続用電極形成材料を蒸着す
る工程と、 蒸着後に２枚の前記圧電振動板を分離し、ま
た前記マスク材を除去して不活性領域を少なくとも表面
が導電性を有する固定基板に接着剤で固定する工程と、
固定側の端面と固定基板とを導電性接着により導電接続
する工程と、 自由端側の先端から少なくとも前記セグメ
ント電極の後端までスリットを形成する工程と、 を有す
る。 【０００６】 【作用】圧電振動子の共通電極を導電性接着手段により
導電性を有する固定基板に並列接続して電気抵抗を低減
させて、圧電振動子に形成する共通電極を２面だけに形
成することを可能ならしめる。 【０００７】 【発明の実施の形態】図１、図２は本発明のインクジェ
ット式記録ヘッドの一実施例を示すものであって、流路
ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで穿設したノ
ズルプレート３と、ノズル開口２に連通する圧力発生室
４、これにインク供給口５を介してインクを供給するリ
ザーバ６を備えた流路形成基板７と、圧電振動ユニット
８の縦振動モードの各圧電振動子９の先端に当接して圧
力発生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板１０とを一
体に積層して構成されている。 【０００８】流路ユニット１は、高分子材料の射出成形
等により構成されたホルダー１１の開口面１２に、また
圧電振動ユニット８は外部からの駆動信号を伝達するフ
レキシブルケーブル１３に接続された上で収容室１４に
収容され、それぞれのホルダ１１との当接面を接着剤に
より固定され、ノズルプレート側にシールド材を兼ねる
枠体１５を挿入して記録ヘッドに構成されている。 【０００９】縦振動モードの圧電振動子９は、先端側か
ら固定基板１６との固定領域の手前まで延びる一方の極
となる内部電極２１と、先端近傍から後端まで延びる他
方の極となる内部電極２２とを圧電材料２３を介してサ
ンドイッチ状に積層し、一方の内部電極２１を先端側
で、また他方の内部電極２２を後端側で露出させて、圧
電定数ｄ31のものとして構成されている。 【００１０】一方の内部電極２１は、先端面から圧電振
動子９の中央近傍まで導電層を形成してなるセグメント
電極２４に、また他方の内部電極２２は、後端面から圧
電振動子９の中央部で、かつセグメント電極２４の後端
側と一定の間隔２５を有するように導電層を形成してな
る共通電極２６に接続されている。 【００１１】一方、固定基板１６は、導電性材料、たと
えば不錆鋼や、セラミックスの表面に金属層を形成して
構成され、これの表面に圧電振動子９を圧力発生室４の
配列ピッチに一致させて固定するとともに、圧電振動子
９の共通電極２６の後端面２６ａと導電性接着剤や、半
田ペーストの導電接合部２７により導電的に接続されて
いる。 【００１２】そして、これら圧電振動子９の列の少なく
とも一端側には、図３、図４に示したように圧電振動子
９と同様に構成、つまり先端側から固定基板１６との固
定領域の手前まで延びる一方の極となる内部電極２１
と、先端近傍から後端まで延びる他方の極となる内部電
極２２とを圧電材料２３を介してサンドイッチ状に積層
し、一方の内部電極２１を先端側で、また他方の内部電
極２２を後端側で露出させ、さらに内部電極２１は、先
端面から圧電振動子９の中央近傍まで導電層を形成して
なるセグメント電極２４に、また他方の内部電極２２
は、後端面から圧電振動子９の中央部で、かつセグメン
ト電極２４の後端側と一定の間隔２５を有するように導
電層を形成してなる共通電極２６に接続し、圧電振動子
９よりも若干幅広に形成されたダミー圧電振動子９’が
固定されている。 【００１３】振動子ユニット８の各圧電振動子９のセグ
メント電極２４、共通電極２６は、半田層２８、２９を
介してフレキシブルケーブル１３の導電パターンに接続
されている。 【００１４】フレキシブルケーブル１３は、図５に示し
たように振動子ユニット８の両端のダミーの圧電振動子
９’、９’の幅に一致するアース用の導電パターン３
１、３１と、圧電振動子９、９、９‥‥のセグメント電
極２４に対応する駆動信号供給用の導電パターン３２、
３２、３２、‥‥をベース材３３に形成して構成されて
いる。 【００１５】この実施例において、フレキシブルケーブ
ル１３を介して外部駆動回路から駆動信号を供給する
と、インク滴を吐出させるべき圧電振動子９は、フレキ
シブルケーブル１３の導電パターン３２、及びセグメン
ト電極２４を介して一方の極となる内部電極２１に、ま
たアース用導電パターン３１、固定基板１６、及び共通
電極２６を介して他方の極となる内部電極２２に駆動信
号を受け、圧電定数Ｄ31による変位によりノズル開口２
からインク滴を吐出させる。 【００１６】このように、各圧電振動子９は、その共通
電極２６が半田ペーストの導電接合部２７により導電性
を有する固定基板１６に接合されて並列に接続されてい
るため、小さな抵抗でフレキシブルケーブル１６のアー
ス用導電パターンに接続することになる。 【００１７】次に上述の圧電振動子ユニット８の製造方
法を図６、７に基づいて説明する。先端から活性領域の
終端側まで延びる一方の極となる内部電極となる導電材
料４１と、後端から先端近傍まで延びる他方の極となる
内部電極となる導電材料４２を、圧電材料４３をはさみ
ながら積層し、乾燥後に焼成して形成された圧電振動板
４４、４４を２枚を用意する（図６（I））。 【００１８】この圧電振動板４４、４４を２枚重ね合わ
せ、露出している表面と裏面の、セグメント電極と共通
電極との境界領域にマスク材４５、４５を固定し（図４
（II））、全周に外部接続用電極形成材料を蒸着して電
極層４６、４７を形成する（図４（III））。 【００１９】蒸着が終了した段階で、２枚の圧電振動板
４４、４４を分離し、またマスク材４５、４５を除去す
ると、先端面、後端面、及び一方の表面の３面にだけ導
電層が形成された２枚の圧電振動板５０、５０を得るこ
とができる（図４（IV））。 【００２０】他方の内部電極５２だけが形成された領
域、つまり不活性領域を、金属や、固定面に導電層が形
成された固定基板５３を位置決めして（図７（I））に
接着剤で固定し、圧電振動板５０の端面５０ａと固定基
板５３とを導電性接着剤、または半田ペースト５４によ
り導電接続する。 【００２１】ついで、ダイシングソウやワイヤソウの切
断具５５により、自由端側の先端から少なくともセグメ
ント電極となる導電層４６と導電材料４１の後端側まで
スリット５６、５６、５６、‥‥を形成し、圧電振動子
９としての振動領域と、セグメント電極となる領域を櫛
歯状に切分けると、圧電振動子ユニットが完成する。 【００２２】なお、スリット５６、５６、５６、‥‥を
形成する際、両端部を若干幅広に切り出して振動関与し
ない若干幅広なダミーの圧電振動子９‘、９’を形成
し、また導電層４７を連続した状態で残すと、共通電極
の電気抵抗を下げるのに役立つ。 【００２３】 【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、固定基板の少なくとも圧電振動子の固定面が導電性
を有し、また圧電振動子の先端面、固定基板に接着され
ていない面に、隣接する圧電振動子と電気的に独立する
セグメント電極が、またセグメント電極から一定の間隔
をおいて固定基板に接着されていない面、及び後端面に
共通電極が形成され、後端面に形成された共通電極と固
定基板とを導電性接着手段により導通させたので、圧電
振動子の共通電極を導電性接着手段により導電性を有す
る固定基板に並列接続して電気抵抗が低減できるため、
圧電振動子に形成する共通電極を２面だけとして外部接
続用電極の形成面積を小さくしてコストの低減を図るこ
とができる。
方の面を振動板で封止し、この振動板を縦振動モードの
圧電振動子により圧力発生室を膨張、収縮させてノズル
開口からインク滴を発生させるインクジェット式記録ヘ
ッドに使用する圧電振動子ユニットの製造方法に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】例えば、特開平5-104715号公報に示され
たような縦振動モードの圧電振動子をインクジェット式
記録ヘッドの駆動に使用すると、圧電振動子と振動板と
の当接面積を極めて小さくできるため、１ユニット当た
り１８０ＤＰＩ以上の解像度を実現できる。 【０００３】縦振動モードの圧電振動子Ａは、図８に示
したように一方の極となる内部電極Ｂと、他方の極とな
る内部電極Ｃとを圧電材料Ｄを介してサンドイッチ状に
積層し、一方の内部電極Ｂを先端側に、また他方の内部
電極Ｃを後端側に露出させて、各端面でセグメント電極
Ｅ、及び共通電極Ｆに接続した圧電定数ｄ31のものとし
て構成され、固定基板Ｇに一定のピッチで配列、固定し
て構成され、セグメント電極Ｅと共通電極Ｆとにフレキ
シブルケーブルＨの導電パターンを接続して外部駆動回
路からの信号を供給するように構成されている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】後端側に形成される共
通電極Ｆは、すべての圧電振動子Ａの駆動電流が流れる
ため、これの抵抗を可及的に小さくする目的で、圧電振
動子Ａの上面、後端面、及び裏面の３面に導電層Ｆ１〜
Ｆ３を形成し、後端側を一部残すように櫛歯状に歯割り
して、導電路を確保するように構成されている。なお、
図中符号Ｊは、圧電振動子Ａによりインクの加圧を受け
てインク滴を吐出する流路ユニットを示す。このため、
圧電振動子Ａの先端面、後端面、及び表裏両面の４面に
外部接続用の電極層を必要とし、これらの外部電極層
は、インクに対する耐腐蝕性や半田付けの容易さを確保
する目的で金が使用されている。このため、高速駆動を
可能ならしめるため電極層の抵抗を下げるために電極層
を厚く形成しようとすると、電極形成にコストが掛かる
という問題がある。本発明は、このような問題に鑑みて
なされたものであって、その目的とするところは外部接
続用の電極層を３面として、高価な電極材料の使用料を
低減することができるインクジェット式記録ヘッドの圧
電振動子ユニットの製造方法を提案することである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために本発明においては、一方の極となる内部電極と
他方の極となる内部電極と圧電材料とを交互に重ね合わ
せ、各内部電極の一端だけが先端側、及び後端側に露出
するように積層した圧電振動板を２枚重ね合わせて、表
面、及び裏面のセグメント電極と共通電極との境界領域
にマスク材を固定して外部接続用電極形成材料を蒸着す
る工程と、 蒸着後に２枚の前記圧電振動板を分離し、ま
た前記マスク材を除去して不活性領域を少なくとも表面
が導電性を有する固定基板に接着剤で固定する工程と、
固定側の端面と固定基板とを導電性接着により導電接続
する工程と、 自由端側の先端から少なくとも前記セグメ
ント電極の後端までスリットを形成する工程と、 を有す
る。 【０００６】 【作用】圧電振動子の共通電極を導電性接着手段により
導電性を有する固定基板に並列接続して電気抵抗を低減
させて、圧電振動子に形成する共通電極を２面だけに形
成することを可能ならしめる。 【０００７】 【発明の実施の形態】図１、図２は本発明のインクジェ
ット式記録ヘッドの一実施例を示すものであって、流路
ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで穿設したノ
ズルプレート３と、ノズル開口２に連通する圧力発生室
４、これにインク供給口５を介してインクを供給するリ
ザーバ６を備えた流路形成基板７と、圧電振動ユニット
８の縦振動モードの各圧電振動子９の先端に当接して圧
力発生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板１０とを一
体に積層して構成されている。 【０００８】流路ユニット１は、高分子材料の射出成形
等により構成されたホルダー１１の開口面１２に、また
圧電振動ユニット８は外部からの駆動信号を伝達するフ
レキシブルケーブル１３に接続された上で収容室１４に
収容され、それぞれのホルダ１１との当接面を接着剤に
より固定され、ノズルプレート側にシールド材を兼ねる
枠体１５を挿入して記録ヘッドに構成されている。 【０００９】縦振動モードの圧電振動子９は、先端側か
ら固定基板１６との固定領域の手前まで延びる一方の極
となる内部電極２１と、先端近傍から後端まで延びる他
方の極となる内部電極２２とを圧電材料２３を介してサ
ンドイッチ状に積層し、一方の内部電極２１を先端側
で、また他方の内部電極２２を後端側で露出させて、圧
電定数ｄ31のものとして構成されている。 【００１０】一方の内部電極２１は、先端面から圧電振
動子９の中央近傍まで導電層を形成してなるセグメント
電極２４に、また他方の内部電極２２は、後端面から圧
電振動子９の中央部で、かつセグメント電極２４の後端
側と一定の間隔２５を有するように導電層を形成してな
る共通電極２６に接続されている。 【００１１】一方、固定基板１６は、導電性材料、たと
えば不錆鋼や、セラミックスの表面に金属層を形成して
構成され、これの表面に圧電振動子９を圧力発生室４の
配列ピッチに一致させて固定するとともに、圧電振動子
９の共通電極２６の後端面２６ａと導電性接着剤や、半
田ペーストの導電接合部２７により導電的に接続されて
いる。 【００１２】そして、これら圧電振動子９の列の少なく
とも一端側には、図３、図４に示したように圧電振動子
９と同様に構成、つまり先端側から固定基板１６との固
定領域の手前まで延びる一方の極となる内部電極２１
と、先端近傍から後端まで延びる他方の極となる内部電
極２２とを圧電材料２３を介してサンドイッチ状に積層
し、一方の内部電極２１を先端側で、また他方の内部電
極２２を後端側で露出させ、さらに内部電極２１は、先
端面から圧電振動子９の中央近傍まで導電層を形成して
なるセグメント電極２４に、また他方の内部電極２２
は、後端面から圧電振動子９の中央部で、かつセグメン
ト電極２４の後端側と一定の間隔２５を有するように導
電層を形成してなる共通電極２６に接続し、圧電振動子
９よりも若干幅広に形成されたダミー圧電振動子９’が
固定されている。 【００１３】振動子ユニット８の各圧電振動子９のセグ
メント電極２４、共通電極２６は、半田層２８、２９を
介してフレキシブルケーブル１３の導電パターンに接続
されている。 【００１４】フレキシブルケーブル１３は、図５に示し
たように振動子ユニット８の両端のダミーの圧電振動子
９’、９’の幅に一致するアース用の導電パターン３
１、３１と、圧電振動子９、９、９‥‥のセグメント電
極２４に対応する駆動信号供給用の導電パターン３２、
３２、３２、‥‥をベース材３３に形成して構成されて
いる。 【００１５】この実施例において、フレキシブルケーブ
ル１３を介して外部駆動回路から駆動信号を供給する
と、インク滴を吐出させるべき圧電振動子９は、フレキ
シブルケーブル１３の導電パターン３２、及びセグメン
ト電極２４を介して一方の極となる内部電極２１に、ま
たアース用導電パターン３１、固定基板１６、及び共通
電極２６を介して他方の極となる内部電極２２に駆動信
号を受け、圧電定数Ｄ31による変位によりノズル開口２
からインク滴を吐出させる。 【００１６】このように、各圧電振動子９は、その共通
電極２６が半田ペーストの導電接合部２７により導電性
を有する固定基板１６に接合されて並列に接続されてい
るため、小さな抵抗でフレキシブルケーブル１６のアー
ス用導電パターンに接続することになる。 【００１７】次に上述の圧電振動子ユニット８の製造方
法を図６、７に基づいて説明する。先端から活性領域の
終端側まで延びる一方の極となる内部電極となる導電材
料４１と、後端から先端近傍まで延びる他方の極となる
内部電極となる導電材料４２を、圧電材料４３をはさみ
ながら積層し、乾燥後に焼成して形成された圧電振動板
４４、４４を２枚を用意する（図６（I））。 【００１８】この圧電振動板４４、４４を２枚重ね合わ
せ、露出している表面と裏面の、セグメント電極と共通
電極との境界領域にマスク材４５、４５を固定し（図４
（II））、全周に外部接続用電極形成材料を蒸着して電
極層４６、４７を形成する（図４（III））。 【００１９】蒸着が終了した段階で、２枚の圧電振動板
４４、４４を分離し、またマスク材４５、４５を除去す
ると、先端面、後端面、及び一方の表面の３面にだけ導
電層が形成された２枚の圧電振動板５０、５０を得るこ
とができる（図４（IV））。 【００２０】他方の内部電極５２だけが形成された領
域、つまり不活性領域を、金属や、固定面に導電層が形
成された固定基板５３を位置決めして（図７（I））に
接着剤で固定し、圧電振動板５０の端面５０ａと固定基
板５３とを導電性接着剤、または半田ペースト５４によ
り導電接続する。 【００２１】ついで、ダイシングソウやワイヤソウの切
断具５５により、自由端側の先端から少なくともセグメ
ント電極となる導電層４６と導電材料４１の後端側まで
スリット５６、５６、５６、‥‥を形成し、圧電振動子
９としての振動領域と、セグメント電極となる領域を櫛
歯状に切分けると、圧電振動子ユニットが完成する。 【００２２】なお、スリット５６、５６、５６、‥‥を
形成する際、両端部を若干幅広に切り出して振動関与し
ない若干幅広なダミーの圧電振動子９‘、９’を形成
し、また導電層４７を連続した状態で残すと、共通電極
の電気抵抗を下げるのに役立つ。 【００２３】 【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、固定基板の少なくとも圧電振動子の固定面が導電性
を有し、また圧電振動子の先端面、固定基板に接着され
ていない面に、隣接する圧電振動子と電気的に独立する
セグメント電極が、またセグメント電極から一定の間隔
をおいて固定基板に接着されていない面、及び後端面に
共通電極が形成され、後端面に形成された共通電極と固
定基板とを導電性接着手段により導通させたので、圧電
振動子の共通電極を導電性接着手段により導電性を有す
る固定基板に並列接続して電気抵抗が低減できるため、
圧電振動子に形成する共通電極を２面だけとして外部接
続用電極の形成面積を小さくしてコストの低減を図るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。 【図２】同上装置の断面構造を示す図である。 【図３】同上記録ヘッドのダミーの圧電振動子とフレキ
シブルケーブルの接続構造を示す断面図である。 【図４】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上記録ヘッド
に用いる圧電振動ユニットの一実施例を示す斜視図であ
る。 【図５】フレキシブルケーブルの一実施例を示す図であ
る。 【図６】図（I）乃至（IV）は、それぞれ同上記録ヘッ
ドに用いる振動子ユニットの製造工程の内、電極形成工
程を示す図である。 【図７】図（I）乃至（III）は、それぞれ同上記録ヘッ
ドに用いる振動子ユニットの製造工程の内、分割工程ま
でを示す図である。 【図８】圧電定数ｄ31の圧電振動子を使用した従来のイ
ンクジェット式記録ヘッドの一例を示す断面図である。 【符号の説明】 １ 流路ユニット ８ 振動子ユニット ９ 圧電振動子 ９’ ダミーの圧電振動子 １３ フレキシブルケーブル １６ 固定基板２４ セグメント電極 ２６ 共通電極 ２７ 導電接合部２７
例を示す組み立て斜視図である。 【図２】同上装置の断面構造を示す図である。 【図３】同上記録ヘッドのダミーの圧電振動子とフレキ
シブルケーブルの接続構造を示す断面図である。 【図４】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上記録ヘッド
に用いる圧電振動ユニットの一実施例を示す斜視図であ
る。 【図５】フレキシブルケーブルの一実施例を示す図であ
る。 【図６】図（I）乃至（IV）は、それぞれ同上記録ヘッ
ドに用いる振動子ユニットの製造工程の内、電極形成工
程を示す図である。 【図７】図（I）乃至（III）は、それぞれ同上記録ヘッ
ドに用いる振動子ユニットの製造工程の内、分割工程ま
でを示す図である。 【図８】圧電定数ｄ31の圧電振動子を使用した従来のイ
ンクジェット式記録ヘッドの一例を示す断面図である。 【符号の説明】 １ 流路ユニット ８ 振動子ユニット ９ 圧電振動子 ９’ ダミーの圧電振動子 １３ フレキシブルケーブル １６ 固定基板２４ セグメント電極 ２６ 共通電極 ２７ 導電接合部２７
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/045
B41J 2/055
B41J 2/16
H01L 41/09
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 一方の極となる内部電極と他方の極とな
る内部電極と圧電材料とを交互に重ね合わせ、各内部電
極の一端だけが先端側、及び後端側に露出するように積
層した圧電振動板を２枚重ね合わせて、表面、及び裏面
のセグメント電極と共通電極との境界領域にマスク材を
固定して外部接続用電極形成材料を蒸着する工程と、 蒸着後に２枚の前記圧電振動板を分離し、また前記マス
ク材を除去して不活性領域を少なくとも表面が導電性を
有する固定基板に接着剤で固定する工程と、 固定側の端面と固定基板とを導電性接着により導電接続
する工程と、 自由端側の先端から少なくとも前記セグメント電極の後
端までスリットを形成する工程と、 からなる圧電振動子ユニットの製造方法。
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| JP18585997A JP3467579B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 圧電振動子ユニットの製造方法 |
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