JP3379557B2 - インクジェット記録装置用の圧電駆動体 - Google Patents
インクジェット記録装置用の圧電駆動体Info
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置用の圧電駆動体に関し、より詳しくは圧電駆動体の表
面に形成する外部電極のパターンに関する。
置用の圧電駆動体に関し、より詳しくは圧電駆動体の表
面に形成する外部電極のパターンに関する。
【０００２】
【従来の技術】縦振動モードの変位を利用してノズルか
らインク滴を吐出するようにしたインクジェット記録装
置は、一般に特開平４−１０５２号公報に見られるよう
に、ノズルプレートの上に狭い間隙をおいて列設した各
ノズルに対応するよう分割形成した各圧電振動子の先端
を振動板に当接し、記録信号に応動するこれらの振動子
によりノズルプレートと振動板との間でインクを加圧し
て、これをノズルよりインク滴として飛翔させるように
したものである。
らインク滴を吐出するようにしたインクジェット記録装
置は、一般に特開平４−１０５２号公報に見られるよう
に、ノズルプレートの上に狭い間隙をおいて列設した各
ノズルに対応するよう分割形成した各圧電振動子の先端
を振動板に当接し、記録信号に応動するこれらの振動子
によりノズルプレートと振動板との間でインクを加圧し
て、これをノズルよりインク滴として飛翔させるように
したものである。
【０００３】この種のインクジェット記録装置に用いら
れる圧電駆動体は、各ノズルに合せて振動子を細かく分
割形成しなければならない関係上、その成形がきわめて
困難であるばかりでなく、圧電プレートの表面に形成し
た外部電極にフレキシブル回路基板を正しく対応させて
接合させなければならないといった組付け上の困難な問
題を有している。
れる圧電駆動体は、各ノズルに合せて振動子を細かく分
割形成しなければならない関係上、その成形がきわめて
困難であるばかりでなく、圧電プレートの表面に形成し
た外部電極にフレキシブル回路基板を正しく対応させて
接合させなければならないといった組付け上の困難な問
題を有している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
圧電プレートとフレキシブル回路基板との接続の自由度
を高めることによって、この種の組付け作業を大巾に改
善することのできる新たなインクジェット記録装置用の
圧電駆動体を提供することにある。
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
圧電プレートとフレキシブル回路基板との接続の自由度
を高めることによって、この種の組付け作業を大巾に改
善することのできる新たなインクジェット記録装置用の
圧電駆動体を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明はかか
る課題を達成するためのインクジェット記録装置用の圧
電駆動体として、自由端側を活性部、固定端側を非活性
部となした多数の振動子と、振動子の並び方向両側部に
位置させたダミー振動子とを固定端側に一体化させて櫛
歯状に形成するとともに、振動子には、少なくとも自由
端側端面から固定端の近傍にかけての部分に外部信号電
極を、ダミー振動子には、固定端側端面から外部信号電
極の固定端側端縁よりも自由端寄りに延在した部分に外
部共通電極をそれぞれ形成するようにしたものである。
る課題を達成するためのインクジェット記録装置用の圧
電駆動体として、自由端側を活性部、固定端側を非活性
部となした多数の振動子と、振動子の並び方向両側部に
位置させたダミー振動子とを固定端側に一体化させて櫛
歯状に形成するとともに、振動子には、少なくとも自由
端側端面から固定端の近傍にかけての部分に外部信号電
極を、ダミー振動子には、固定端側端面から外部信号電
極の固定端側端縁よりも自由端寄りに延在した部分に外
部共通電極をそれぞれ形成するようにしたものである。
【０００６】
【実施例】そこで以下に図示した実施例について説明す
る。図１は、本発明の一実施例をなす圧電駆動体とフレ
キシブル回路基板との接合状態を示したものであり、図
２は、この圧電駆動体の断面構成を示したものである。
る。図１は、本発明の一実施例をなす圧電駆動体とフレ
キシブル回路基板との接合状態を示したものであり、図
２は、この圧電駆動体の断面構成を示したものである。
【０００７】図において符号１は、圧電駆動体としての
圧電振動子組立体で、この組立体１は、自由端側の巾方
向中央部を櫛歯状に分割形成した圧電プレート２と、こ
の圧電プレート２をインクジェット記録装置に取付ける
べく、その後端背面に固定した支持プレート１５とによ
って構成されている。
圧電振動子組立体で、この組立体１は、自由端側の巾方
向中央部を櫛歯状に分割形成した圧電プレート２と、こ
の圧電プレート２をインクジェット記録装置に取付ける
べく、その後端背面に固定した支持プレート１５とによ
って構成されている。
【０００８】これをさらに詳細に説明すると、圧電プレ
ート２は、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムの
ようなペースト状の圧電材料層３と、この圧電材料層３
に塗着もしくは蒸着した銀パラジウム等よりなる内部導
電層４とを積層することによって、自由端側を活性部
５、固定端側つまり基端側を非活性部６として構成し、
さらに、基端側の非活性部６の背面に、例えば圧電材料
と同一材料よりなるペースト状の快削性セラミックス材
によって形成した支持プレート１５を積層した上、これ
ら全体を焼結により一体的に成形したものである。
ート２は、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムの
ようなペースト状の圧電材料層３と、この圧電材料層３
に塗着もしくは蒸着した銀パラジウム等よりなる内部導
電層４とを積層することによって、自由端側を活性部
５、固定端側つまり基端側を非活性部６として構成し、
さらに、基端側の非活性部６の背面に、例えば圧電材料
と同一材料よりなるペースト状の快削性セラミックス材
によって形成した支持プレート１５を積層した上、これ
ら全体を焼結により一体的に成形したものである。
【０００９】この圧電プレート２は、自由端側の巾方向
中央部分を振動子形成領域７となして、この部分を櫛歯
状に切割って多数の圧電振動子８‥‥を形成する一方、
その両側には切割りを設けないダミー振動子９、９を形
成して、この部分を図示しない圧電駆動体保持ブロック
の両側に設けた位置決め溝に挿入することにより、圧電
振動子組立体１を保持ブロックに位置決め固定するよう
に構成されている。
中央部分を振動子形成領域７となして、この部分を櫛歯
状に切割って多数の圧電振動子８‥‥を形成する一方、
その両側には切割りを設けないダミー振動子９、９を形
成して、この部分を図示しない圧電駆動体保持ブロック
の両側に設けた位置決め溝に挿入することにより、圧電
振動子組立体１を保持ブロックに位置決め固定するよう
に構成されている。
【００１０】この圧電プレート２には、図１に示したよ
うに、振動子形成領域７においてはその上面に、活性部
５の下面から自由端側端面を経て圧電プレート２の後端
近傍に達する外部信号電極１０が内部導電層４と導通す
るようにして被覆形成され、また、左右のダミー振動子
９、９の上面には、基端側端面に設けた電極１１と連通
する外部共通電極１２が外部信号電極１０との間に若干
の非導電面１３を介在させるようにして不活性部６の前
縁近傍にわたって被覆形成されている。
うに、振動子形成領域７においてはその上面に、活性部
５の下面から自由端側端面を経て圧電プレート２の後端
近傍に達する外部信号電極１０が内部導電層４と導通す
るようにして被覆形成され、また、左右のダミー振動子
９、９の上面には、基端側端面に設けた電極１１と連通
する外部共通電極１２が外部信号電極１０との間に若干
の非導電面１３を介在させるようにして不活性部６の前
縁近傍にわたって被覆形成されている。
【００１１】ついで、この圧電振動子組立体１には、支
持プレート１５との接合端縁Ａから少なくとも圧電プレ
ート２の後端面上半部Ｂを結ぶ切割り線Ｌ−Ｌを境とし
て圧電プレート２の活性部５側の全ての部分と、基端側
の非活性部６のうち支持プレート１５上の上半部分をワ
イヤーソーやダイシングソーによりノズルの配設ピッチ
に相当する間隙をもって櫛歯状に分割して多数の圧電振
動子８‥‥を形成する。
持プレート１５との接合端縁Ａから少なくとも圧電プレ
ート２の後端面上半部Ｂを結ぶ切割り線Ｌ−Ｌを境とし
て圧電プレート２の活性部５側の全ての部分と、基端側
の非活性部６のうち支持プレート１５上の上半部分をワ
イヤーソーやダイシングソーによりノズルの配設ピッチ
に相当する間隙をもって櫛歯状に分割して多数の圧電振
動子８‥‥を形成する。
【００１２】一方、圧電プレート２上の上記した外部電
極１０、１２に接続するフレキシブル回路基板１６は圧
電プレート２とほぼ同じ巾に形成され、その巾方向中央
部分には、各圧電振動子８‥‥とともに切割られた各外
部信号電極１０‥‥のそれぞれに接続する多数のリード
線１７‥‥が、またこの両側には、ダミー振動子９、９
の上面に形成された外部共通電極１２に接続するリード
線１８が、それぞれ回路基板１６の前端縁に達するよう
にして形成されている。
極１０、１２に接続するフレキシブル回路基板１６は圧
電プレート２とほぼ同じ巾に形成され、その巾方向中央
部分には、各圧電振動子８‥‥とともに切割られた各外
部信号電極１０‥‥のそれぞれに接続する多数のリード
線１７‥‥が、またこの両側には、ダミー振動子９、９
の上面に形成された外部共通電極１２に接続するリード
線１８が、それぞれ回路基板１６の前端縁に達するよう
にして形成されている。
【００１３】なお、図中符号１９は先端部を除いてフレ
キシブル回路基板１６の下面に添設された絶縁材性のカ
バーシートを示している。
キシブル回路基板１６の下面に添設された絶縁材性のカ
バーシートを示している。
【００１４】このように構成されたフレキシブル回路基
板１６を中央部の各リード線１７‥‥が圧電振動子８‥
‥上の各外部信号電極１０‥‥に対応するように巾方向
に位置決めしつつその先端縁１６ａを圧電プレート２の
非活性部６に位置させるように添着する。
板１６を中央部の各リード線１７‥‥が圧電振動子８‥
‥上の各外部信号電極１０‥‥に対応するように巾方向
に位置決めしつつその先端縁１６ａを圧電プレート２の
非活性部６に位置させるように添着する。
【００１５】これにより、フレキシブル回路基板１６の
前端縁１６ａが、外部共通電極１２の前端縁１２ａと外
部信号電極１０の前端縁１０ａによって囲まれるゾーン
Ｚのいずれの位置にあるように添着されても、フレキシ
ブル回路基板１６の中央部に設けた各リード線１７‥‥
は圧電振動子８上の各外部信号電極１０‥‥に接続し、
また回路基板１６の左右に設けた各リード線１８、１８
はダミー振動子９、９上の外部共通電極１２、１２に接
続することになる。
前端縁１６ａが、外部共通電極１２の前端縁１２ａと外
部信号電極１０の前端縁１０ａによって囲まれるゾーン
Ｚのいずれの位置にあるように添着されても、フレキシ
ブル回路基板１６の中央部に設けた各リード線１７‥‥
は圧電振動子８上の各外部信号電極１０‥‥に接続し、
また回路基板１６の左右に設けた各リード線１８、１８
はダミー振動子９、９上の外部共通電極１２、１２に接
続することになる。
【００１６】ところで図３は、この圧電振動子組立体１
の成形法について示したもので、はじめに圧電材料層３
と内部電極４とを積層することにより形成した大型の圧
電プレート形成板２２に、マスクを用いて同図（ａ）に
示したパターンのような外部共通電極３２と外部信号電
極３０を形成する。
の成形法について示したもので、はじめに圧電材料層３
と内部電極４とを積層することにより形成した大型の圧
電プレート形成板２２に、マスクを用いて同図（ａ）に
示したパターンのような外部共通電極３２と外部信号電
極３０を形成する。
【００１７】すなわち、この圧電プレート形成板２２に
は、その基端側からダミー振動子９の２倍の巾を有する
複数の外部共通電極３２‥‥を、基端面に設けた電極３
１と連通するように、かつ圧電プレート２の巾に相当す
る間隔をおいて非活性部６の表面を覆うように突出形成
する一方、自由端側からは活性部５の下面から自由端側
端面を経て表面に達した外部信号電極３０のうち、振動
子形成領域上の外部信号電極３０ａが圧電プレート形成
板２２の後端縁近くに達するように、かつその他の部分
３０ｂが非導電面３３を介して外部共通電極３２の外縁
を取囲むように歯車状に形成する。
は、その基端側からダミー振動子９の２倍の巾を有する
複数の外部共通電極３２‥‥を、基端面に設けた電極３
１と連通するように、かつ圧電プレート２の巾に相当す
る間隔をおいて非活性部６の表面を覆うように突出形成
する一方、自由端側からは活性部５の下面から自由端側
端面を経て表面に達した外部信号電極３０のうち、振動
子形成領域上の外部信号電極３０ａが圧電プレート形成
板２２の後端縁近くに達するように、かつその他の部分
３０ｂが非導電面３３を介して外部共通電極３２の外縁
を取囲むように歯車状に形成する。
【００１８】ついで、このように形成した圧電プレート
形成板２２を、外部共通電極３２の中心を通る線に沿っ
て切断し、複数の圧電プレート２‥‥として分離形成す
る（同図（Ｂ）。
形成板２２を、外部共通電極３２の中心を通る線に沿っ
て切断し、複数の圧電プレート２‥‥として分離形成す
る（同図（Ｂ）。
【００１９】そして最後に、分離形成した各圧電プレー
ト２の基端部下面に支持プレート１５を接合するととも
に、支持プレート１５との接合端縁Ａから少なくとも圧
電プレート２の後端面上半部Ｂを結ぶ切割り線を境とし
て圧電プレート２の活性部５側の全ての部分と、基端側
の非活性部６のうち支持プレート１５上の上半部分をワ
イヤーソーＷやダイシングソーによりノズルの配設ピッ
チに相当する間隙をもって櫛歯状に分割して多数の圧電
振動子８‥‥を形成する。
ト２の基端部下面に支持プレート１５を接合するととも
に、支持プレート１５との接合端縁Ａから少なくとも圧
電プレート２の後端面上半部Ｂを結ぶ切割り線を境とし
て圧電プレート２の活性部５側の全ての部分と、基端側
の非活性部６のうち支持プレート１５上の上半部分をワ
イヤーソーＷやダイシングソーによりノズルの配設ピッ
チに相当する間隙をもって櫛歯状に分割して多数の圧電
振動子８‥‥を形成する。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、圧電
プレートの表面に、その巾方向中央の振動子形成領域に
は、自由端側端面から固定端近傍に達する外部信号電極
を形成し、その両側の延長部には、固定端側端面から非
活性部端縁近傍に達する外部共通電極を設けるようにし
たので、両外部電極が互いに噛合うように形成された長
手方向の領域の全てをフレキシブル回路基板との接続面
にすることができて、両者の組付け接合の自由度を大巾
に高めることができるとともに、圧電プレート側におい
ては、外部共通電極を接続するための別部品を不要と
し、またフレキシブル回路基板側では、両外部電極に接
続するリード線を一連に形成して任意の位置で切断して
使用し得るようにすることができるなど、部品点数を削
減させたり組付け性を改善したりすることができる。
プレートの表面に、その巾方向中央の振動子形成領域に
は、自由端側端面から固定端近傍に達する外部信号電極
を形成し、その両側の延長部には、固定端側端面から非
活性部端縁近傍に達する外部共通電極を設けるようにし
たので、両外部電極が互いに噛合うように形成された長
手方向の領域の全てをフレキシブル回路基板との接続面
にすることができて、両者の組付け接合の自由度を大巾
に高めることができるとともに、圧電プレート側におい
ては、外部共通電極を接続するための別部品を不要と
し、またフレキシブル回路基板側では、両外部電極に接
続するリード線を一連に形成して任意の位置で切断して
使用し得るようにすることができるなど、部品点数を削
減させたり組付け性を改善したりすることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す圧電駆動体の全容を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】圧電振動子組立体を断面で示した図である。
【図３】（ａ）乃至（ｃ）は圧電振動子の一形成方法に
ついて示した図である。
ついて示した図である。
１ 圧電振動子組立体
２ 圧電プレート
５ 活性部
６ 非活性部
８ 圧電振動子
９ ダミー振動子
１０ 外部信号電極
１２ 外部共通電極
１５ 支持プレート
１６ フレキシブル回路基板
Claims (4)
- 【請求項１】 自由端側を活性部、固定端側を非活性部
となした多数の振動子と、該振動子の並び方向両側部に
位置させたダミー振動子とを固定端側に一体化させて櫛
歯状に形成するとともに、前記振動子には、少なくとも
自由端側端面から固定端の近傍にかけての部分に外部信
号電極を、前記ダミー振動子には、固定端側端面から前
記外部信号電極の前記固定端側、端縁よりも自由端寄り
に延在した部分に外部共通電極をそれぞれ形成したこと
を特徴とするインクジェット記録装置用の圧電駆動体。 - 【請求項２】 前記外部信号電極を、圧電プレートの側
端面を経由して一方のダミー振動子から他方のダミー振
動子にかけて形成したことを特徴とする請求項１記載の
インクジェット記録装置用の圧電駆動体。 - 【請求項３】 自由端側中央部に複数の振動子を櫛歯状
に分割形成し、かつ該振動子の並び方向両側部にダミー
振動子を形成してなる圧電プレートの前記固定端側に支
持プレートを一体的に積層したことを特徴とする請求項
１記載のインクジェット記録装置用の圧電駆動体。 - 【請求項４】 前記圧電プレートの固定端側に回路基板
を添設して、該基板の巾方向中央部に切割り形成した多
数のリード線を前記外部信号電極のそれぞれに接続させ
るとともに、該基板の巾方向両端部に形成したリード線
を前記外部共通電極に接続させたことを特徴とする請求
項１記載のインクジェット記録装置用の圧電駆動体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35168693A JP3379557B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | インクジェット記録装置用の圧電駆動体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35168693A JP3379557B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | インクジェット記録装置用の圧電駆動体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07195688A JPH07195688A (ja) | 1995-08-01 |
| JP3379557B2 true JP3379557B2 (ja) | 2003-02-24 |
Family
ID=18418940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35168693A Expired - Fee Related JP3379557B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | インクジェット記録装置用の圧電駆動体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3379557B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3553972B2 (ja) * | 1996-09-06 | 2004-08-11 | シチズン時計株式会社 | インクジェットヘッド用圧電アクチュエータの製造方法及び同アクチュエータの支持フレーム |
| US6338549B1 (en) | 1997-06-27 | 2002-01-15 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink-jet recording head |
| JP3381779B2 (ja) | 1998-09-17 | 2003-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子ユニット、圧電振動子ユニットの製造方法、及びインクジェット式記録ヘッド |
| US6417600B2 (en) | 1998-09-17 | 2002-07-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
| JP4670225B2 (ja) * | 2003-04-04 | 2011-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子形成部材およびその製造方法ならびにそれを用いた圧電素子ユニットおよび液体噴射ヘッド |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP35168693A patent/JP3379557B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07195688A (ja) | 1995-08-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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