CN101298984A - 坐标测量方法及装置 - Google Patents

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CN101298984A CNA2008100928202A CN200810092820A CN101298984A CN 101298984 A CN101298984 A CN 101298984A CN A2008100928202 A CNA2008100928202 A CN A2008100928202A CN 200810092820 A CN200810092820 A CN 200810092820A CN 101298984 A CN101298984 A CN 101298984A
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P·乔迪尔
B·彼得森
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Abstract

本发明提供了一种测量方法和***,包括测量坐标探测器,所述测量坐标探测器能够通过合适的致动器相对于所述探测器安装于其上的定位平台(60)精确运动;并且该探测器相对于所述定位平台(60)的位置可通过合适的编码器(780)测量。可采用具有不同性质的探测器、致动器和编码器来实施本发明。致动器(730)优选允许探测器根据两个或更多个自由度运动,从而使探测器自身可在平面内运动,或者在三维空间区域中运动,并且其朝向可在某些合适限制内选择。本发明的方法和***提供了非常精确的局部测量,即使在平台(60)并不具有非常优良的精确性的情况下亦是如此。

Description

坐标测量方法及装置
技术领域
[0001]本发明总体上涉及坐标测量方法,特别地(但并非排他地)是涉及坐标测量机及其使用方法。这些用于尺寸测量的装置被使用来通过合适的测量探测器测量机械元件的表面上的各点坐标。测量探测器可为接触型的(例如接触探针)或者非接触型的(例如光学探测器或激光探测器)。然而,本发明的范围并不限于特定种类的装置。
背景技术
[0002]坐标定位机,也称为坐标测量机或CMM,一般包括:固定参考表面,例如因其刚度高和尺寸稳定性高而选用的大型花岗岩工作台;和运动***,其可相对于固定参考表面运动并携载着测量探测器。然而,在一些已知的坐标测量机实例中,参考表面是可运动的,而测量探测器是固定的。
[0003]图1以非常简化的方式示出了一种已知类型的CMM。运动***采用例如运动台架上层结构40(也称为桥接件)的形状,其可平行于固定参照底座30的一侧(Y轴)运动。台架40的水平横向部携载滑动托架50,该托架沿垂直于Y轴的水平方向(X轴)运动。第三运动轴线(Z轴)由竖直心轴60提供,该心轴相对于托架50上下运动。测量探测器连接到心轴60的端部,并且通过以上描述的X、Y和Z运动,能够在三维测量空间中***。还已知有其它坐标定位机,它们使用带旋转接头的关节臂。
[0004]测量探测器通常为接触式探测器,其具有携带校准红宝石球120的弹簧加载触针。随着探测器接触待测工件200的表面,通过各轴线上合适的编码器获得的X、Y、Z坐标被同时传送到CMM控制器,该控制器通过已知的计算方法精确地确定接触点的坐标。较简单的测量探测器为接触-触发探测器,其确定接触瞬时的情况,举例而言如EP 1610087所述。
[0005]其它探测器能够确定触针的偏斜量(例如通过LVDT或应变仪传感器),并将该偏斜量发送到集成在坐标计算中的控制器。这类探测器称为扫描式探测器,因为它们特别适于扫描测量,在这种测量中,探测器连续接触被测工件。简单的接触式探测器在某些情况下也用于连续扫描模式,或者被振动以在许多间距极小的点处接触(轻敲)工件200的表面,这些点的坐标XYZ被CMM机器的控制器记录。
[0006]一种可用于CMM的光学探测器为微成像数字***,其运动类似于机械式测量探测器,并且瞄准坐标待测的点,而不是接触到材料,从而允许进行3维坐标测量。
[0007]另外可使用激光坐标探测器,随着扫描激光束照射到被测物件表面上的各点,该激光坐标探测器能够确定所述各点的坐标。还已知,在这类光学测量探测器中,是以扇形光束打开激光器,以便在激光线沿工件行进的同时获得沿激光线的大量点。或者,激光束可被设置为以栅格方式照射多个测量点。
[0008]成像探测器和激光探测器属于非接触式探测器的范畴,也就是说,它们能够在不进行物理接触的情况下提供测试表面上各点的坐标。
[0009]另一种已知的坐标机器不同于上文所述的台架结构,从而有利于关节臂运动***。这类装置由例如EP 1718924描述,包括关节臂而不是一组线性轴线X、Y、Z,该关节臂包括固定在一端的一系列旋转接头,并在另一端携载光学或机械式坐标探测器。所述臂的关节联接允许测量探测器在3维测量空间内***。
[0010]任何CMM机器的主要和最希望的特征是精确性。一微米量级或者甚至更优的最大容忍误差并不罕见。在本领域中,通过提供极具刚性和稳定性的结构,通过使用先进的位置编码器,并通过精细校准以及误差校正过程,可获得上述这类极其严格的精确性。然而,这类测量也带来了负面效应,因为它们增大了***的体积、质量和成本,而且耗时较长的复杂校准会降低使用的简易性。在许多情况中,如果机器的测量跨度较大,或者如果需要探测器高速运动,就不能保证最终的精确性,因此不得不在这些对立的特性之间进行折衷。
[0011]还已知的是,在制造***中使用工业机器人、机械手和/或自动臂来实现对工件的重复作业,例如像涂料、焊接、组装或定位。在一些情况中,工业机器人也用于例如通过测量探测器或光学检查相机来检查工件。尽管工业机器人是通用且快速的,然而它们通常并具有计量设备所要求的精确性。
[0012]因此,需要一种测量方来来克服上述局限,特别是需要一种既有高精确性和快速运动能力,又不出现上述缺陷的测量方法。
发明内容
[0013]根据本发明,这些目标通过所附权利要求的目标来实现。
附图说明
[0014]在作为示例给出的且由附图示出的实施例的描述的帮助下,本发明将得到更好的理解,附图中:
[0015]图1示出了一种已知类型的普通CMM机器的简化图。
[0016]图2示出了根据本发明一方面的定位平台和可运动坐标测量探测器。
[0017]图3示出了本发明的平台和探测器的一种可能变型。
[0018]图4示出根据本发明的坐标探测器的另一变型。
[0019]图5和6示出了本发明的一种变型,其中定位平台配备有非接触式可运动探测器。
[0020]图7示意性地示出了根据本发明另一方面的探测器,该探测器的运动通过一个包含多关节接头的臂实现。
[0021]图8和9示意性地示出了一种探测器,该探测器通过适于实现本发明的致动器的两个变型而安装在定位平台上。
[0022]图10示意性地示出了根据本发明一方面的测量示例。
[0023]图11以非常简化的示意性方框图示出了根据本发明一种实现方式的***中的数据流结构。
具体实施方式
[0024]根据本发明的第一方面,如图2所示,测量装置包括接触式探测器150,其在触针123的末端处携带有校准球120。接触式探测器在偏移位置处附接到转子100,转子100连接到定位平台60,定位平台60能够将转子100定位在与工件相关的空间中的希望位置,定位平台60例如可为坐标测量机的心轴,然而在不同方法中,也可以是工业机器人的自动臂的远端,或者数字控制机械工具中的工具固定器,或者任何其它合适的定位装置。
[0025]诸如电机500等的合适致动器可使转子100围绕旋转轴线65旋转,所述致动器如图所示位于定位装置60中,或者在一个未示出的等同变型中,所述致动器可位于转子本身中。通过光学角度变换器,或者任何其它合适的编码器,对转子100的转角进行编码,所述编码器未示出并能够等同地容纳于转子100中或者容纳于定位平台60中。
[0026]参考X,Y,Z轴线的常规定向,下文中,“Z”轴的方向将代表竖直方向,而以“X”和“Y”轴确定的平面作为水平面。然而,应该理解的是,这些常规方向的使用仅仅为了简便,并不限制本发明的范围,可以通过具有一般性空间几何定向和任意数目的位移轴线的测量机和探测器来实施本发明。
[0027]优选地,致动器500在转动角度方面不受限制。转子100能够在两个旋转方向上进行若干种旋转。
[0028]接触式探测器150包括径向臂149,从而将球120从旋转轴线65偏移一定距离。受助于这种特征,当定位平台60保持静止不动时,接触式探测器150能够扫描待测量的工件的表面上的圆形路径,该圆形路径由相对于竖直轴线65的旋转来确定。
[0029]优选地,接触式探测器150对球体120在一个或多个方向上(例如在竖直方向z上)的位移敏感。由此,装配有图2探测器的CMM能够被编程为沿扫描路径测量工件的轮廓和表面质量。
[0030]根据本发明的一个方面,与定位装置60本身的绝对位置相比,相对于定位平台60来确定扫描接触式探测器150的位置和接触球体120的偏斜量具有较高的精确度。通过作用于探测器旋转位置可对路径进行扫描,所述***可用于沿着该路径实现工件各点坐标的相对测量,而不需要使定位装置60运动。
[0031]为了使探测器相对定位平台进行较大范围的运动,可以针对探测器进行多种变型。图3示出了一种根据本发明的接触式探测器103的变型,该探测器对接触点在水平方向上的位移的偏斜敏感。探测器例如包括滑行件106,其能够在水平方向上平移,该水平方向为与旋转轴线65正交的方向。滑行件106相对于探测器底座103的位置由未示出的合适编码器记录,所述编码器例如为LVDT变换器或任何其它合适的变换器。在球体120和表面201之间的水平接触力由未示出的本领域公知的合适致动器确定。图3的探测器能够沿如下扫描路径行进,即,在该扫描路径中,围绕轴线65的旋转半径“r”并不恒定,且处于滑行件106的位移极限内。
[0032]图4示出了根据本发明的接触式探测器的另一变型。根据本实施例,触针123固定于接触式探测器中心处,并相对于竖直旋转轴线65倾斜一个角度α。结果,测量点相对于轴线65偏移距离“r”。优选地,触针的倾斜度能够通过在转子底座108中未示出的合适致动器来任意设置。然而,在简化版本中,触针123的倾斜角度α能够通过操作员手动确定。通过作用于倾斜角度α的值以及触针123的长度,图4的探测器的偏移半径“r”能够被随意设置,例如以便扫描圆柱形孔的内表面206,如图所示。
[0033]上述实施例的接触式探测器优选为对偏斜量敏感的探测器,其在每一希望时刻提供接触球20相对标称刻度位置的偏斜量。本发明涵盖了单轴线探测器的情况,例如探测器对沿竖直轴线的位移敏感,本发明还涵盖了多轴线探测器的情况,该探测器对位移的三个分量敏感。本发明的接触式探测器可涵盖所有方式的位移传感器,例如电子式、开关式、感应式传感器、应变仪、磁或光学位移传感器。
[0034]由图5和6所示的本发明其它变型包括激光探测器190,其提供了探测器头和待测表面的照射点199之间沿光束195获取的距离。如上所述,测量头150安装在定位平台60的转子100上,该测量头150能够被选择性地驱动从而围绕轴线65旋转,轴线65例如与竖直的“Z”坐标轴重合。待测点199被臂140相对于旋转轴线65偏移。根据本发明未示出的变型,采用类似于图4的方式,通过将中央激光探测器倾斜一定角度,可以实现相同的偏移。图6示出了本发明的另一变型,其包括多束型激光探测器,或扇形光学探测器,从而提供待测工件206上的照射线309沿线上的各点的坐标的相关信息。根据进一步未示出的变型,多束型激光探测器可包括多条平行的竖直激光束(耙状探测器或梳状探测器),例如它们可被竖直设置从而与旋转轴线65形成不同偏移。
[0035]图7示出了本发明的另一方面,其涉及多接头式探测器600和坐标测量机。
[0036]本发明装置(部分地示于图8)包括如先前示例所述的可运动定位平台60,其例如可根据三个正交坐标轴XYZ平移,这是本领域所公知的。转子100可旋转地连接到平台60,以便能够围绕旋转轴线A1旋转,旋转轴线A1例如是平行于“Z”坐标轴的竖直旋转轴线。用于致动转子100的旋转装置类似于已经结合图2所述的那些装置,在此不予赘述。
[0037]多接头式探测器600包括由刚性元件125、127链接的一串旋转接头124、126和128。优选地,每个接头包括两条独立的正交旋转轴线A,其能够在合适数字控制器控制下由诸如电机等的合适致动器来以旋转方式设置。接头的旋转角度也被诸如光学编码器的合适编码器读取。编码值被控制器采用,控制器然后能够在每一时刻计算坐标探测器的位置和朝向。在该变型中,坐标探测器可相对于定位平台在整个三维工作空间中运动,另外,能够设定多个朝向。
[0038]本发明还涉及并行致动器,该致动器包括通过多根连杆连接到端平台的底座平台。图8和9示出了这类致动器的两个示例。在这两副图中,相同的附图标记用于指代与之前附图所示相同的特征。相对于串行致动器(其某些示例已经上文中示出),并行致动器能够提供在受限工作空间中的较高的刚性和速度。
[0039]图8示出通过三根刚性连杆240、250和260连接到转子100的接触式坐标探测器150。所述连杆接合在固定有探测器150的端平台210上,还接合在转子100上,接合方式允许围绕沿方向“Y”的一条轴线枢转,方向“Y”与附图平面正交。在转子一侧上,所述连杆接合到滑行件230和220,这两个滑行件能够通过合适致动器(未示出)沿着水平滑道运动,并且其位置通过合适编码器得到测量。
[0040]连接到同一滑行件220的连杆250和260构建了平行四边形接头,该接头确保探测器150处于竖直状态。通过沿相反方向使滑行件230和220运动,探测器150能够沿着“Z”轴抬升和下降,而通过将滑行件230和220沿相同方向运动,探测器150被水平移位。由此,通过将滑行件220和230的运动与转子150的转动相结合,坐标探测器的传感末端能够被拉至三维工作空间中的任意位置,并且探测器可***控以沿工件表面上的任意路径行进,而不需要使定位平台60运动。由此可实现精确的局部测量,即使平台60并不具有非常良好的精确性亦是如此。
[0041]图8的接触式探测器150也可以被替换成非接触式激光探测器或照相机或者其它任意类型的探测器。另一方面,如果使用接触式探测器,则在偏斜敏感类型方面并不做严格要求。也可使用简单的接触-触发式探测器。根据一种未示出的变型,滑行件220可分成两个可独立运动的元件,从而允许倾斜探测器150。
[0042]图9示出了另一类适于实现本发明的并行致动器。在这种情况下,包含六个可伸缩支杆400的Stewart(斯图尔特)平台480允许在三维工作空间内对探测器190(该探测器在此被示为激光探测器,然而也可为任意类型的坐标探测器)的位置和朝向进行完全控制。可伸缩支杆400通过球形接头和/或万向接头连接到定位平台60和固定有探测器的端平台410,并提供在定位平台60和探测器190之间的完全棱柱连接(holonomicprimatic connection)。
[0043]根据本发明的一方面,可为接触式探测器也可为非接触式探测器的测量探测器150或103通过一个或多个致动器500、106、108运动,以便扫描工件表面上的路径,而同时定位装置60保持静止不动,以便实现对该路径的坐标点的相对测量。由此,本发明的探测器在致动器500、106、108所覆盖的范围内,能够提供工件上特征相对于定位平台60的精确局部测量(例如,孔的直径和深度、表面状况、角度、轴线间距和平行度,等等)。一旦完成局部测量,定位平台60运动至另一选定位置,探测器150、103再次在致动器500、106、108所覆盖的范围内进行另一局部测量。
[0044]一般而言,由于定位装置60的不精确性,在不同位置处进行的局部测量(即,包含定位装置60的位移)会被置于一种只能接受附加误差的关系中。然而,只要两个局部测量重叠,就可以通过比较在两个测量设置中对应特征的坐标,来计算定位装置的误差,并对该误差进行校正。
[0045]图10以俯视图的方式示出了根据本发明一个方面的测量示例。在此以类似于图3的形式示出的定位平台60安装在定位机(仅示出局部)的心轴50上。定位机可为坐标测量机、工业机械手、机器人、机械工具的工具固定器、或其它任意的定位装置。定位平台60应该优选能够在马达或合适致动器的作用下进行自动运动。然而,这并不是本发明的必要技术特征。定位平台60能够例如通过手动操作的机械工具进行运动。
[0046]然而,优选地,定位平台60能够沿着三个独立方向相对于固定基座30进行运动,并能够随意定位在三维全局测量空间内。定位平台60的运动相对于某一参照物进行测量。举例而言,如果定位平台连接到CMM,其相对于CMM的固定基座30的位移将通过CMM的合适编码器获知;另一方面,如果使用工业机器人,则平台60相对于机器人的固定底座的在任意时刻的位置将被获知,该底座通常位于车间地板上。优选地,定位平台60的运动将通过运行在数字控制器中的程序来确定,并且同一控制器也负责探测器相对于定位平台的定位。
[0047]图11以示意性方框图的形式示出了根据实现本发明的一个示例的***中的数据流结构。数字处理器710包括致动模块715和测量模块716,在该示例中,这两个模块是两个分立的软件模块,其包含在由处理器逻辑单元执行的程序中。根据其它变型,测量模块和致动模块可关联到两个物理上分离的连接控制器,或者它们的功能可被组合的软件模块执行。
[0048]致动模块控制不同的致动器,这些致动器确定了定位平台60相对于固定参照框架(例如固定底座30)的运动,以及探测器相对定位平台60的运动。所示的示例涉及探测器类似于图3以及如图1所示的CMM的探测器这种情况,在该示例中,平台60的定位由平台致动器720x、720y、720z实现;探测器的相对位置通过分别由探测器致动器730a和730d操作的两条轴线α和d确定。
[0049]测量模块对平台编码器770x、770y、770z的读数敏感,这些编码器传送沿着轴线XYZ的位置信息,该信息对应于定位平台60相对固定底座30以及探测器编码器780a和780d的位置,从而给出了探测器相对于定位平台60的位置,如值α和d所确定的。坐标轴的数目和它们的含义可根据所使用的运动学配置在本发明的框架内改变。
[0050]测量模块使用探测器编码器780a和780d的输出,来获得工件上各点的局部测量和坐标,其在定位平台60的相对坐标中得到测量。
[0051]可选地,测量模块716可使用平台编码器770X、770Y、770Z的输出来将测量结果和坐标从定位平台60的相对坐标框架转换成固定底座30的绝对坐标框架。结果被传送至显示和/或存储单元800,并可以可选地反馈回致动模块715。
[0052]再次参照图10,探测器150安装在定位平台60上,并能够相对于定位平台60自动运动。在该示例中,探测器安装在转子上,如图3所示,并且其轴向位移可变。通过改变转子的旋转角度α和轴线位移d,探测器可被控制,从而在可通达探测器的局部工作空间501中进行工件200各点的精确坐标测量,并且同时保持定位平台60静止不动。探测器被控制以测量在工作空间501内的任何希望特征,例如孔600的直径和轴向位置。
[0053]一旦完成在工作空间501中的测量,定位平台60就运动到第二位置。此时,工作空间501可访问探测器,并进行第二局部测量。平台60然后根据需要运动到进一步的位置等等。
[0054]当仅需要局部特征(例如测量直径、角度、相对距离或表面状况)时,没有必要将在两个不同的局部工作空间内进行的局部测量相组合,因此平台60的定位误差不影响结果。
[0055]当该测量包括获取或绘制坐标点图时,这种图在每个局部工作空间501、502、503中可表示为相对于定位平台60的坐标。如果需要一个跨越多个局部测量的全局图,则在连接局部测量时必须考虑连接平台60的定位误差。在某一情况中,当局部工作空间重叠时(如图10),必须通过比较两个局部测量中的相同特征的坐标来解决平台60的定位误差。
[0056]在这种情况下,本发明的方法将包含如下步骤,即,将两个或更多个局部测量连接在一起,以获得全局测量。在本发明的上下文中,全局测量为与不同局部测量的不同局部工作空间中存在的特征相对应的在共同参照框架中表示的一组测量数据。
[0057]举例而言,参照图10,定位平台60在三个不同位置沿X和Y方向运动,以便获得局部测量501、502、503。在这种情况下,工件200平坦得足以使定位平台在竖直Z方向上不可能存在运动。定位平台60的位移向量仅被粗略得知。在局部测量150、151、152的每一个中,探测器150获得在抵达范围内的所有孔600的轴线坐标和直径。
[0058]局部测量501、502和503中的每一个提供一系列对应于孔600的直径值。直径固有地为相对量,并且它们的测量并不取决于它们所采用的坐标框架。该方法允许精确测量孔600的直径,即使并不确切知道探测器的绝对位置亦是如此。当然,所述方法允许直接确定可由探测器单独获得的任意相对计量值。这种相对值除了其它角度之外还包括,正交度、平面度、平行度、离心率等等。
[0059]局部测量501、502和503也例如提供处于每个相应范围内的孔600的轴线。它们可例如表示为在与定位平台60一起运动的相对参照系中的成对的X和Y坐标。在这种情况下,属于同一局部测量的各点的坐标可被直接比较,例如可直接计算点距离。另一方面,属于不同局部测量的各点的坐标不能被直接比较,因为它们被表达于不同参照系中,定位平台60的运动仅被并不完美地获知,但定位平台60的运动允许在这些参照系之间进行变换。
[0060]重要的是,孔600a包含在局部测量150和151的重叠部分中;孔600b处于测量151和152的重叠区域中。受助于此,可以通过比较孔600a和600b的轴线的坐标来获得局部测量150和151(相应地,151和152)的坐标系之间的变换。由此,本发明的***能够在一个全局测量中连接局部测量150、151和152。
[0061]应该注意的是,在上述示例中,定位平台60的运动仅包含两个独立自由度X和Y。因此,可以通过比较在局部测量的重叠区域中足够数量的点的X和Y坐标,来精确确定定位平台60的位移。本领域技术人员能够将该方法扩展到一般情况,即,在一般情况下,通过多个独立自由度,例如三个平移参数和三个旋转角度,来描述定位平台60的运动。同样要清楚的是,本发明将局部测量连接形成全局测量的方法并不限于圆形孔的使用,本领域技术人员能够将其扩展到使用不同的可测量特征,例如横挡、突起等等。
[0062]在图10的示例中,工件200初始包括充足数量的重叠特征件(在该例为孔600),以允许连接局部测量。然而,也可以为如下情况,即,工件200的可感知特征过于稀疏而不允许连接局部测量。在这种情况下,如果必要,则在进行测量之前,特定数量的参照特征可人工添加到工件200,以确保每个局部测量包括足够数量的重叠特征。
[0063]这种参照特征,例如参照球体、圆柱体或棱柱,可持久或临时地附接到工件,并优选在测量后去除。附接方式可为磁吸、粘附或任意其它附接形式。如果使用光学探测器,参照特征件可为例如在粘合标签上的光学目标。本领域技术人员将理解的是,对于本发明而言,假设额外的特征件位置稳定,则这些额外特征件放置得是否非常精确并不重要。
[0064]因此,当将精确测量探测器150与具有较小精确度的定位平台组合时,本发明的方法和***会特别有用。举例而言,坐标探测器安装在工业机器人上。本发明方法的另一有益应用为如下情况,即,定位平台能够进行精确运动,但是它较为缓慢或难于使用,或者不能容易地与坐标探测器150的控制器进行协调。例如,这种情况可以出现在当坐标探测器安装在手动操作机械工具上时。因此,本发明方法允许在这种情况下进行有效测量,并使操作员的干涉减到最小。
[0065]因此,本发明方法包括测量坐标探测器,其能够通过合适致动器相对于其上安装有探测器的定位平台60精确运动;并且该测量坐标探测器的相对于所述定位平台60的位置能够通过合适的编码器进行测量。清楚的是,可采用具有不同性质的探测器、致动器和编码器来实施本发明。
[0066]致动器优选允许探测器根据两个或更多个独立自由度运动(虽然这并非本发明的必要技术特征),从而使探测器本身能够在平面内或三维空间区域内运动,并且可以在某些合适限制下选定其朝向。

Claims (14)

1、一种利用坐标探测器测量工件上的坐标的方法,所述坐标探测器通过一个或多个致动器可运动地连接到定位平台,所述探测器相对于所述定位平台的位置可由探测器编码器测量,所述方法包括如下以任何适当顺序执行的步骤:
使所述定位平台相对于固定参照物运动到预定位置;
控制所述致动器,以使所述坐标探测器相对于所述定位平台运动,同时保持所述定位平台在所述固定参照物中静止不动,以在可通达坐标探测器的局部工作空间中感测工件表面;
通过将所述测量数据与所述探测器编码器提供的探测器位置数据结合,从而获得所述工件的局部测量;
使所述定位平台相对于固定参照物运动到不同位置。
2、根据权利要求1所述的方法,其中所述局部测量包括:获取所述工件的表面上各点相对于所述定位平台的坐标图。
3、根据权利要求1所述的方法,其中所述局部测量包括获得局部尺寸,例如半径、角度或相对距离。
4、根据权利要求2所述的方法,进一步包括如下步骤:读取平台编码器的输出,所述平台编码器提供了所述定位平台相对于所述固定参照物的坐标;还包括如下步骤:将各点相对于所述定位平台的坐标转换成各点相对于所述固定参照物的坐标。
5、根据权利要求1所述的方法,其中在所述定位平台的不同位置处重复如下步骤,即,控制所述致动器以使所述坐标探测器运动并获得局部测量;所述方法进一步包括如下步骤:通过将两个或更多个局部测量连接在一起而获得全局测量。
6、根据权利要求5所述的方法,进一步包括如下步骤:
在所述局部测量中选择与两个或更多个局部测量的两个或更多个局部工作空间共有的重叠区域相对应的参照测量数据,
基于所述参照测量数据计算所述局部测量之间的关系。
7、根据权利要求6所述的方法,进一步包括如下步骤,即,将临时参照元件放置在所述工件上;且其中,所述参照测量数据从所述临时参照元件的测量结果中选出。
8、根据权利要求1所述的方法,其中使所述定位平台相对于所述固定参照物运动的步骤包括,作用于多个平台致动器。
9、一种尺寸测量***,包括:
坐标探测器,其通过一个或多个致动器可运动地连接到定位平台,所述探测器相对于所述定位平台的位置可通过探测器位置编码器测量,
自动控制器,其对所述致动器进行控制,并对所述编码器的输出敏感,所述自动控制器具有存储程序的程序存储器,所述程序用以执行权利要求1所述方法的各步骤。
10、根据权利要求9所述的***,其中所述定位平台的运动范围大于所述坐标探测器的运动范围。
11、根据权利要求10所述的***,其中所述坐标探测器由所述致动器在三维工作空间中驱动。
12、根据权利要求11所述的***,其中所述定位平台是可手动定位的臂,或者坐标定位机、或者机器人臂、或者机械工具。
13、根据权利要求9所述的***,其中通过所述控制器运行所存储的程序并作用于平台致动器,来自动地确定所述定位平台的位置。
14、根据权利要求13所述的***,其中所述定位平台能够根据三个独立轴线(XYZ)运动。
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