JP3348245B2 - 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 - Google Patents
保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品Info
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Description
【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は基材のための透明コーティングに関し、そし
て特に物理的および化学的に耐性である透明コーティン
グに関するものである。
て特に物理的および化学的に耐性である透明コーティン
グに関するものである。
発明の背景 ガラスおよび同様の透明基材はガラスの光学的性質を
変えるために透明フィルムでコーティングされ得る。高
可視性の透過率で、低輻射率のコーティングは可視光を
透過する能力を特徴とする一方、その他の波長の光、特
に赤外スペクトルの光の透過を最低限に抑えることを特
徴とする。この特徴は可視性を損なわずに輻射熱移動を
最低限に抑えるために有用であり、そしてこのタイプの
コーティングはガラスまたは自動車用ウインドウにおい
て用途を見出す。コーティングが「無彩（中性）」色、
すなわち無色を有するように、可視スペクトルを介して
比較的一定の反射率を維持することがしばしば望まし
い。
変えるために透明フィルムでコーティングされ得る。高
可視性の透過率で、低輻射率のコーティングは可視光を
透過する能力を特徴とする一方、その他の波長の光、特
に赤外スペクトルの光の透過を最低限に抑えることを特
徴とする。この特徴は可視性を損なわずに輻射熱移動を
最低限に抑えるために有用であり、そしてこのタイプの
コーティングはガラスまたは自動車用ウインドウにおい
て用途を見出す。コーティングが「無彩（中性）」色、
すなわち無色を有するように、可視スペクトルを介して
比較的一定の反射率を維持することがしばしば望まし
い。
一般的に言えば、高い透過率および低い輻射率が付与
されるガラス上へのコーティングは、通常金属酸化物フ
ィルムである反射防止性誘電層の間に積層される高い赤
外線反射率および低い伝達性を有する１またはそれ以上
の薄い金属フィルムを有するフィルムの積み重ね（スタ
ック）からなる。上記の金属酸化物の層は透過率を高め
るフィルムのスタックの可視性の反射を低下させる作用
を示し、そして通常1.9またはそれ以上のオーダーの比
較的高い屈折率を特徴とする。
されるガラス上へのコーティングは、通常金属酸化物フ
ィルムである反射防止性誘電層の間に積層される高い赤
外線反射率および低い伝達性を有する１またはそれ以上
の薄い金属フィルムを有するフィルムの積み重ね（スタ
ック）からなる。上記の金属酸化物の層は透過率を高め
るフィルムのスタックの可視性の反射を低下させる作用
を示し、そして通常1.9またはそれ以上のオーダーの比
較的高い屈折率を特徴とする。
銀、銅等の薄い透明な金属フィルムは、それらが湿気
のある、または水気のある条件下で種々の汚染物質、例
えば大気中の塩化物、硫化物、二酸化硫黄等と接触され
る場合、腐蝕（例えば汚染）を受けやすい。このタイプ
のフィルムはマルチペインガラスユニット（多層窓ガラ
スユニット）の内面に通常使用され、その結果、フィル
ムはペイン間の空間から水分を除去する乾燥剤等により
乾燥状態に保持される。汚染はガラスの被覆されたペイ
ンが後加工のために絶縁ガラスユニット中に保存される
場合に生じ得る。
のある、または水気のある条件下で種々の汚染物質、例
えば大気中の塩化物、硫化物、二酸化硫黄等と接触され
る場合、腐蝕（例えば汚染）を受けやすい。このタイプ
のフィルムはマルチペインガラスユニット（多層窓ガラ
スユニット）の内面に通常使用され、その結果、フィル
ムはペイン間の空間から水分を除去する乾燥剤等により
乾燥状態に保持される。汚染はガラスの被覆されたペイ
ンが後加工のために絶縁ガラスユニット中に保存される
場合に生じ得る。
積層膜は頻繁に周囲との接触から隔てられ、そして上
記タイプの積層膜はマルチペイン絶縁ガラスユニットの
内面の一方に設置され得る。しかしながら、コーティン
グスタックを有するガラスペインが移送されるか、また
はマルチペインユニット中に組み込まれる際に、それら
はしばしば積層膜の物理的な損傷を引き起こし得る比較
的過酷な条件に晒される。
記タイプの積層膜はマルチペイン絶縁ガラスユニットの
内面の一方に設置され得る。しかしながら、コーティン
グスタックを有するガラスペインが移送されるか、また
はマルチペインユニット中に組み込まれる際に、それら
はしばしば積層膜の物理的な損傷を引き起こし得る比較
的過酷な条件に晒される。
通常、積層膜は、例えばチャピン（Chapin）の米国特
許第4166018号に記載されるようなマグネトロンスパッ
タリング法の使用により市販の製品ベース上のガラスシ
ート上に供給される。
許第4166018号に記載されるようなマグネトロンスパッ
タリング法の使用により市販の製品ベース上のガラスシ
ート上に供給される。
ギラリー（Gillery）等の米国特許第4786563号は保護
層として二酸化チタンの薄いオーバーコート（保護被
膜）の使用を示唆している。しかしながら、二酸化チタ
ンのオーバーコートは特に輸送および洗浄操作の間に引
掻傷や擦傷を生じ、ガラスペインが商品としての使用に
不適当なものになる傾向がある。オシャウフネシー（O'
Shaughnessy）等の米国特許第5296302号は酸化物、例え
ば酸化亜鉛の保護用オーバーコートを供給することによ
りこの問題を解決しており、このオーバーコートはスタ
ックにおけるその他のフィルムに比べ相対的に非常に薄
く、そして10−40Åの範囲内の厚さを有するこのタイプ
の保護用オーバーコートが開示されている。
層として二酸化チタンの薄いオーバーコート（保護被
膜）の使用を示唆している。しかしながら、二酸化チタ
ンのオーバーコートは特に輸送および洗浄操作の間に引
掻傷や擦傷を生じ、ガラスペインが商品としての使用に
不適当なものになる傾向がある。オシャウフネシー（O'
Shaughnessy）等の米国特許第5296302号は酸化物、例え
ば酸化亜鉛の保護用オーバーコートを供給することによ
りこの問題を解決しており、このオーバーコートはスタ
ックにおけるその他のフィルムに比べ相対的に非常に薄
く、そして10−40Åの範囲内の厚さを有するこのタイプ
の保護用オーバーコートが開示されている。
米国特許第5296302号に記載されるタイプの高透過率
の低輻射率積層膜は引掻傷に対して優れた耐性にもかか
わらず、それでも通常銀である反射金属層の曇りまたは
その他の変色に関連した問題を起こしていた。さらに、
ある種のフィルム、例えば酸化チタンのスパッタ積層は
酸化亜鉛に比べより遅いので、例えば30Åを越える厚さ
の酸化チタンフィルムの存在を回避するのが望ましいで
あろう。
の低輻射率積層膜は引掻傷に対して優れた耐性にもかか
わらず、それでも通常銀である反射金属層の曇りまたは
その他の変色に関連した問題を起こしていた。さらに、
ある種のフィルム、例えば酸化チタンのスパッタ積層は
酸化亜鉛に比べより遅いので、例えば30Åを越える厚さ
の酸化チタンフィルムの存在を回避するのが望ましいで
あろう。
物理的損傷（例えば引掻き）に対するだけでなく、積
層膜に使用される金属反射層の曇りや変色に対しても保
護された積層膜を提供することが望ましい。
層膜に使用される金属反射層の曇りや変色に対しても保
護された積層膜を提供することが望ましい。
発明の要約 我々は、積層膜における保護フィルムとしてケイ素と
窒素の化合物、例えば窒化ケイ素の薄いスパッタオンフ
ィルムの適用が下層の金属（例えば銀）フィルムに腐蝕
に対する優れた耐性を与える一方、スタックの光学的性
質に実質的に全く影響を与えることなしに、下層のスタ
ックに物理的損傷に対する耐性を与えることを見出し
た。好ましくは、窒化ケイ素保護フィルムのすぐ下のフ
ィルムは窒化ケイ素と実質的に同じ屈折率、すなわち約
2.0±0.1の屈折率を有する誘電フィルムである。窒化ケ
イ素フィルムのすぐ下のフィルムは金属酸化物、例えば
亜鉛もしくはスズの酸化物またはそれらの合金からなる
ものであってよく、これらの酸化物は実質的に同じ屈折
率を有する。このようにして、当該積層膜の光学的性質
は相接して結合される酸化亜鉛／窒化ケイ素フィルムの
厚さを調整することにより調整され得る。望ましくは、
窒化ケイ素フィルムは少なくとも10Åの厚さであり、そ
して150Å未満、好ましくは100Å以下、そして最も好ま
しくは約50Å以下で存在する。積層膜はチタン化合物、
例えば酸化チタンの薄い（通常約20Å以下の）犠牲的ま
たは遮蔽用フィルムを有してもよいが、該スタックは約
30Åを越える厚さを有するチタン含有フィルムがないこ
とが望ましい。
窒素の化合物、例えば窒化ケイ素の薄いスパッタオンフ
ィルムの適用が下層の金属（例えば銀）フィルムに腐蝕
に対する優れた耐性を与える一方、スタックの光学的性
質に実質的に全く影響を与えることなしに、下層のスタ
ックに物理的損傷に対する耐性を与えることを見出し
た。好ましくは、窒化ケイ素保護フィルムのすぐ下のフ
ィルムは窒化ケイ素と実質的に同じ屈折率、すなわち約
2.0±0.1の屈折率を有する誘電フィルムである。窒化ケ
イ素フィルムのすぐ下のフィルムは金属酸化物、例えば
亜鉛もしくはスズの酸化物またはそれらの合金からなる
ものであってよく、これらの酸化物は実質的に同じ屈折
率を有する。このようにして、当該積層膜の光学的性質
は相接して結合される酸化亜鉛／窒化ケイ素フィルムの
厚さを調整することにより調整され得る。望ましくは、
窒化ケイ素フィルムは少なくとも10Åの厚さであり、そ
して150Å未満、好ましくは100Å以下、そして最も好ま
しくは約50Å以下で存在する。積層膜はチタン化合物、
例えば酸化チタンの薄い（通常約20Å以下の）犠牲的ま
たは遮蔽用フィルムを有してもよいが、該スタックは約
30Åを越える厚さを有するチタン含有フィルムがないこ
とが望ましい。
一つの態様において、本発明は透明支持体、例えばそ
の上にスパッタ析出された透明な積層膜を有するガラス
を有し、該積層膜は反射金属フィルム、該金属フィルム
上の誘電フィルムおよび該誘電フィルム上の薄い（10Å
−150Å）保護用窒化ケイ素フィルムを有する。もう一
つの態様において、本発明は誘電フィルムにより分断さ
れた一対の反射金属フィルムを有し、積層膜は外側誘電
フィルムと該外側誘電フィルム上の窒化ケイ素の薄い保
護フィルムとを包含する透明物品に関する。望ましく
は、保護用窒化ケイ素フィルムの直下の誘電フィルムは
窒化ケイ素のものと実質的に同じ屈折率を有する金属酸
化物フィルム、例えば酸化亜鉛または酸化スズであり、
その結果、外側誘電フィルムおよび窒化ケイ素フィルム
はスタックの光学的性質を調整するための単一フィルム
として処理され得る。
の上にスパッタ析出された透明な積層膜を有するガラス
を有し、該積層膜は反射金属フィルム、該金属フィルム
上の誘電フィルムおよび該誘電フィルム上の薄い（10Å
−150Å）保護用窒化ケイ素フィルムを有する。もう一
つの態様において、本発明は誘電フィルムにより分断さ
れた一対の反射金属フィルムを有し、積層膜は外側誘電
フィルムと該外側誘電フィルム上の窒化ケイ素の薄い保
護フィルムとを包含する透明物品に関する。望ましく
は、保護用窒化ケイ素フィルムの直下の誘電フィルムは
窒化ケイ素のものと実質的に同じ屈折率を有する金属酸
化物フィルム、例えば酸化亜鉛または酸化スズであり、
その結果、外側誘電フィルムおよび窒化ケイ素フィルム
はスタックの光学的性質を調整するための単一フィルム
として処理され得る。
図面の説明 図１は本発明の一態様に係る本発明の積層膜で被覆さ
れた基材の模式図である。
れた基材の模式図である。
図２は本発明の別の態様に係る積層膜で被覆された基
材の模式図である。
材の模式図である。
好ましい態様の詳細な説明 まず図１を参照すると、透明物品10は積層膜14を持つ
ガラスシート12を含むものとして示されている。積層膜
14は慣用の方法により製造され得るが、米国特許第4166
018号に記載されたタイプのマグネトロンスパッタリン
グ法（この方法は参照により本明細書に編入される）が
好ましい。この方法において、ガラスシート12は積層膜
14を構成する種々のフィルムが順に適用される一連の低
圧ゾーンを介して移送される。金属性フィルムは金属供
給源または「ターゲット」からスパッタされる（スパッ
タリングが行われる）。金属酸化物または金属窒化物フ
ィルムは反応性酸素または窒素雰囲気中で金属をスパッ
タするか、または金属を基材上にスパッタしてフィルム
を形成し、次に金属フィルムを酸素または窒素の反応性
雰囲気に晒すことにより形成され得る。望ましいなら
ば、異なる金属酸化物の２またはそれ以上の相接するフ
ィルムが単一の金属酸化物フィルムの代わりに使用され
てもよい。マグネトロンスパッタリング法はこの分野で
十分に公知であり、そしてここでは詳細に説明する必要
はない。
ガラスシート12を含むものとして示されている。積層膜
14は慣用の方法により製造され得るが、米国特許第4166
018号に記載されたタイプのマグネトロンスパッタリン
グ法（この方法は参照により本明細書に編入される）が
好ましい。この方法において、ガラスシート12は積層膜
14を構成する種々のフィルムが順に適用される一連の低
圧ゾーンを介して移送される。金属性フィルムは金属供
給源または「ターゲット」からスパッタされる（スパッ
タリングが行われる）。金属酸化物または金属窒化物フ
ィルムは反応性酸素または窒素雰囲気中で金属をスパッ
タするか、または金属を基材上にスパッタしてフィルム
を形成し、次に金属フィルムを酸素または窒素の反応性
雰囲気に晒すことにより形成され得る。望ましいなら
ば、異なる金属酸化物の２またはそれ以上の相接するフ
ィルムが単一の金属酸化物フィルムの代わりに使用され
てもよい。マグネトロンスパッタリング法はこの分野で
十分に公知であり、そしてここでは詳細に説明する必要
はない。
図１を参照すると、ガラスペイン12の表面13上には、
第１の反射防止フィルム16が、次の金属フィルム18とガ
ラス基材12との間の界面から生じ得るあらゆる反射を減
らすかまたは解消するために十分な厚さにスパッタ析出
されている。フィルム16に使用される適当な金属酸化物
は酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、酸化ビスマ
ス、酸化チタン、酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウ
ム、ならびにそれらの組合せを包含するが、特に好まし
い態様において、内部金属酸化物フィルム16は120−700
Åの範囲、好ましくは300−700Åの範囲の厚さの酸化亜
鉛から構成される。
第１の反射防止フィルム16が、次の金属フィルム18とガ
ラス基材12との間の界面から生じ得るあらゆる反射を減
らすかまたは解消するために十分な厚さにスパッタ析出
されている。フィルム16に使用される適当な金属酸化物
は酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、酸化ビスマ
ス、酸化チタン、酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウ
ム、ならびにそれらの組合せを包含するが、特に好まし
い態様において、内部金属酸化物フィルム16は120−700
Åの範囲、好ましくは300−700Åの範囲の厚さの酸化亜
鉛から構成される。
金属酸化物フィルム16のスパッタ析出に続いて、反射
金属フィルム18、例えば銀、金、銅またはアルミニウム
がスパッタ析出され、金属は好ましくは約70Åないし約
150Åの範囲の厚さに析出された銀であり、約110Åの厚
さが最も好ましい。保護されないならば、得られる金属
性銀フィルムは酸素等の反応性の気体と反応するであろ
う。従って、金属フィルム18上に直接、薄い犠牲金属フ
ィルム（本明細書では「遮蔽」フィルムと記載する）、
例えばチタンがスパッタ析出され、その金属フィルム20
は、この例では次の金属酸化物フィルム22のスパッタ析
出の間に下層の銀フィルム18を遮蔽および保護し、そし
て銀フィルムが酸化されるのを防止する。このようにし
て得られるフィルム20は反射銀フィルム18に直接チタン
金属の薄いフィルムの適用、そしてそれに続いてチタン
フィルムの酸化により直接形成される。オーバーレイ金
属酸化物フィルム22が金属を反応性酸素雰囲気中にスパ
ッタすることにより適用される場合、チタン金属フィル
ムは酸化して酸化チタンを形成し、そのようにして下層
の銀フィルムを遮蔽するように作用する。約20Åの遮蔽
チタンフィルムは十分に機能し、そして記載したよう
に、酸化チタンフィルム20の形成を導く。
金属フィルム18、例えば銀、金、銅またはアルミニウム
がスパッタ析出され、金属は好ましくは約70Åないし約
150Åの範囲の厚さに析出された銀であり、約110Åの厚
さが最も好ましい。保護されないならば、得られる金属
性銀フィルムは酸素等の反応性の気体と反応するであろ
う。従って、金属フィルム18上に直接、薄い犠牲金属フ
ィルム（本明細書では「遮蔽」フィルムと記載する）、
例えばチタンがスパッタ析出され、その金属フィルム20
は、この例では次の金属酸化物フィルム22のスパッタ析
出の間に下層の銀フィルム18を遮蔽および保護し、そし
て銀フィルムが酸化されるのを防止する。このようにし
て得られるフィルム20は反射銀フィルム18に直接チタン
金属の薄いフィルムの適用、そしてそれに続いてチタン
フィルムの酸化により直接形成される。オーバーレイ金
属酸化物フィルム22が金属を反応性酸素雰囲気中にスパ
ッタすることにより適用される場合、チタン金属フィル
ムは酸化して酸化チタンを形成し、そのようにして下層
の銀フィルムを遮蔽するように作用する。約20Åの遮蔽
チタンフィルムは十分に機能し、そして記載したよう
に、酸化チタンフィルム20の形成を導く。
図１に示された態様において、適用されるべき次のフ
ィルムは金属酸化物であることが望ましく、そして最も
望ましくは窒化ケイ素と実質的に同じ屈折率を有する誘
電反射防止フィルムである。例えば、窒化ケイ素および
酸化亜鉛または酸化スズの屈折率は実質的に同じであ
る。誘電反射防止フィルム22は150−350Åの範囲内の厚
さを有してもよい。
ィルムは金属酸化物であることが望ましく、そして最も
望ましくは窒化ケイ素と実質的に同じ屈折率を有する誘
電反射防止フィルムである。例えば、窒化ケイ素および
酸化亜鉛または酸化スズの屈折率は実質的に同じであ
る。誘電反射防止フィルム22は150−350Åの範囲内の厚
さを有してもよい。
最後に、反射防止誘電フィルム22の上には、窒化ケイ
素の薄いフィルム24がスパッタ析出され、該フィルム24
は望ましくは窒素雰囲気中のケイ素ターゲット（適当に
はドープされてそれを導電性にする）からスパッタ析出
される。薄い窒化ケイ素フィルムはシートの光学的性質
を過度に妨げないあらゆる厚さで存在し得、そして約10
Åないし約150Åの範囲内の窒化ケイ素の厚さが適当で
ある。窒化ケイ素フィルムは約50Åより厚くないことが
一般に望ましい。
素の薄いフィルム24がスパッタ析出され、該フィルム24
は望ましくは窒素雰囲気中のケイ素ターゲット（適当に
はドープされてそれを導電性にする）からスパッタ析出
される。薄い窒化ケイ素フィルムはシートの光学的性質
を過度に妨げないあらゆる厚さで存在し得、そして約10
Åないし約150Åの範囲内の窒化ケイ素の厚さが適当で
ある。窒化ケイ素フィルムは約50Åより厚くないことが
一般に望ましい。
窒化ケイ素フィルム24および下層の誘電層22が実質的
に同じ屈折率を有し、そして相接しているならば、これ
らの２つのフィルムは積層膜14の光学的性質を決定およ
び調整するための単一フィルム26として処理され得る。
すなわち、この例におけるフィルム22および24の相対的
な厚さは積層膜の光学的性質にはたとえあるとしてもほ
とんど影響を与えず、むしろ、それは所望の光学的性質
を与えるように調整され得るこれらのフィルムの合計の
厚さである。フィルム22およひ24の合計の厚さは約250
ないし約400Åの範囲内であることが望ましい。単一の
反射金属フィルムのみを有する積層膜、例えば図１に示
されるスタックの場合、フィルム22および24の合計の厚
さは300−350Åが好ましく、これに対し、２またはそれ
以上の金属反射層を用いる積層膜、例えば図２に示され
るスタックの場合、フィルム22'および24'の合計の厚さ
は275−325Åが好ましい。
に同じ屈折率を有し、そして相接しているならば、これ
らの２つのフィルムは積層膜14の光学的性質を決定およ
び調整するための単一フィルム26として処理され得る。
すなわち、この例におけるフィルム22および24の相対的
な厚さは積層膜の光学的性質にはたとえあるとしてもほ
とんど影響を与えず、むしろ、それは所望の光学的性質
を与えるように調整され得るこれらのフィルムの合計の
厚さである。フィルム22およひ24の合計の厚さは約250
ないし約400Åの範囲内であることが望ましい。単一の
反射金属フィルムのみを有する積層膜、例えば図１に示
されるスタックの場合、フィルム22および24の合計の厚
さは300−350Åが好ましく、これに対し、２またはそれ
以上の金属反射層を用いる積層膜、例えば図２に示され
るスタックの場合、フィルム22'および24'の合計の厚さ
は275−325Åが好ましい。
次に図２を参照すると、同じ厚さである必要はない一
連のフィルム18,20および22が反復されていることを除
いて、図１のものと同様の態様が示されている。図１に
示されているものと同じ要素にはプライム（’）が付さ
れた同じ数字が与えられている。
連のフィルム18,20および22が反復されていることを除
いて、図１のものと同様の態様が示されている。図１に
示されているものと同じ要素にはプライム（’）が付さ
れた同じ数字が与えられている。
図２において、透明支持材12'、例えばガラスは第１
の誘電反射防止フィルム16'と共に与えられ、次に赤外
線反射金属フィルム18'、例えば銀が与えられる。銀フ
ィルムの上には、引続き酸化チタンに酸化される薄いチ
タン金属遮蔽フィルムがスパッタ析出され、次いで次の
反射防止誘電フィルム28が例えば酸化亜鉛の形態で適用
される。その後、フィルム18'と同様である金属フィル
ム30が適用され、次に酸化チタンに続いて酸化され、そ
して32で表示されるチタン遮蔽フィルムが適用され、次
いで誘電反射防止フィルム、例えば酸化亜鉛フィルム2
2'が適用される。誘電フィルム22'上には、24'で表示さ
れる薄い窒化ケイ素保護フィルムが積層されている。
の誘電反射防止フィルム16'と共に与えられ、次に赤外
線反射金属フィルム18'、例えば銀が与えられる。銀フ
ィルムの上には、引続き酸化チタンに酸化される薄いチ
タン金属遮蔽フィルムがスパッタ析出され、次いで次の
反射防止誘電フィルム28が例えば酸化亜鉛の形態で適用
される。その後、フィルム18'と同様である金属フィル
ム30が適用され、次に酸化チタンに続いて酸化され、そ
して32で表示されるチタン遮蔽フィルムが適用され、次
いで誘電反射防止フィルム、例えば酸化亜鉛フィルム2
2'が適用される。誘電フィルム22'上には、24'で表示さ
れる薄い窒化ケイ素保護フィルムが積層されている。
窒化ケイ素フィルム24,24'は積層膜の最外層またはオ
ーバーコート（保護被膜）フィルムであることが望まし
いけれども、場合によっては、次の引掻き耐性が非常に
高い薄いフィルム34、例えばその教示は参照により本明
細書に編入される米国特許第5296302号に報告されたよ
うな酸化亜鉛のフィルムを加えることが望ましい。後者
のフィルム34は望ましくは約10ないし約40Åの範囲内の
厚さで適用されるのが望ましく、そしてスタックの残り
の光学的特性には顕著に影響を与えない。オーバーコー
ト34は酸化亜鉛からなることが望ましいけれども、ス
ズ、インジウム、ビスマスおよびそれらの合金からなる
群から選択される金属の酸化物から形成されてもよい。
ーバーコート（保護被膜）フィルムであることが望まし
いけれども、場合によっては、次の引掻き耐性が非常に
高い薄いフィルム34、例えばその教示は参照により本明
細書に編入される米国特許第5296302号に報告されたよ
うな酸化亜鉛のフィルムを加えることが望ましい。後者
のフィルム34は望ましくは約10ないし約40Åの範囲内の
厚さで適用されるのが望ましく、そしてスタックの残り
の光学的特性には顕著に影響を与えない。オーバーコー
ト34は酸化亜鉛からなることが望ましいけれども、ス
ズ、インジウム、ビスマスおよびそれらの合金からなる
群から選択される金属の酸化物から形成されてもよい。
図１および２に示されたタイプの積層膜はスパッタ析
出されて下の表１および２にまとめられているタイプお
よび厚さの一連のフィルムを形成され得る。酸化亜鉛は
酸素含有雰囲気中の亜鉛ターゲットからスパッタ析出さ
れ、そして窒化ケイ素は窒素含有雰囲気中のドープされ
たケイ素ターゲットからスパッタ析出される。もちろ
ん、追加のフィルム、例えば窒化チタン、チタン、ステ
ンレス鋼およびその他の金属および金属の酸化物が所望
通りに使用され得るが、表１および２に列挙されたフィ
ルムは互いに相接していることが望ましい。
出されて下の表１および２にまとめられているタイプお
よび厚さの一連のフィルムを形成され得る。酸化亜鉛は
酸素含有雰囲気中の亜鉛ターゲットからスパッタ析出さ
れ、そして窒化ケイ素は窒素含有雰囲気中のドープされ
たケイ素ターゲットからスパッタ析出される。もちろ
ん、追加のフィルム、例えば窒化チタン、チタン、ステ
ンレス鋼およびその他の金属および金属の酸化物が所望
通りに使用され得るが、表１および２に列挙されたフィ
ルムは互いに相接していることが望ましい。
表１ 材料 厚さ，Å ガラス 酸化亜鉛 370 銀 110 チタン＊ 20 酸化亜鉛 225 窒化ケイ素 100 表２ 材料 厚さ，Å ガラス 酸化亜鉛 120 銀 110 チタン＊ 20 酸化亜鉛 600 銀 110 チタン＊ 20 酸化亜鉛 230 窒化ケイ素 100＊ 引続き酸化チタンに変換される遮蔽フィルム 約10Åないし約150Åの範囲の厚さを有する窒化ケイ
素保護用オーバーコートを利用する記載されたタイプの
積層膜は、米国特許第5296302号に示されたタイプの積
層膜に比べ、金属フィルムの変色に対する耐性に関し、
優れた結果が得られることが示されている。試験の一つ
の系において、表１および２に示されるようなほぼ同一
の構成の積層膜を有するガラスシートは厳しい耐候性試
験に暴露された：小さいポリスチレンビーズにより分断
された被覆ガラスシートのラックが密閉された空間内に
設置され、そして高湿度および高温（各期間は90゜Fお
よび60％の相対湿度で16時間である）と比較的低温およ
び低湿度（65−70゜F,30％の相対湿度）のサイクルに暴
露する。21日（21サイクル）後、窒化ケイ素オーバーコ
ートを有する積層膜は目に見える変化はなかったが、そ
の他の積層膜は銀層に対する損傷と関連する商品として
不適切な斑点を生じた。
素保護用オーバーコートを利用する記載されたタイプの
積層膜は、米国特許第5296302号に示されたタイプの積
層膜に比べ、金属フィルムの変色に対する耐性に関し、
優れた結果が得られることが示されている。試験の一つ
の系において、表１および２に示されるようなほぼ同一
の構成の積層膜を有するガラスシートは厳しい耐候性試
験に暴露された：小さいポリスチレンビーズにより分断
された被覆ガラスシートのラックが密閉された空間内に
設置され、そして高湿度および高温（各期間は90゜Fお
よび60％の相対湿度で16時間である）と比較的低温およ
び低湿度（65−70゜F,30％の相対湿度）のサイクルに暴
露する。21日（21サイクル）後、窒化ケイ素オーバーコ
ートを有する積層膜は目に見える変化はなかったが、そ
の他の積層膜は銀層に対する損傷と関連する商品として
不適切な斑点を生じた。
これまで本発明の好ましい態様が記載されてきたが、
本発明の精神および添付の請求の範囲の範囲から逸脱す
ることなしに、種々の変更、付加および変形が上記態様
になされ得ることは理解されるべきである。
本発明の精神および添付の請求の範囲の範囲から逸脱す
ることなしに、種々の変更、付加および変形が上記態様
になされ得ることは理解されるべきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ホフマン，ウエイン アメリカ合衆国 ウイスコンシン 53588 スプリング グリーン ローリ ング リッジ イー 4980 (56)参考文献 特公 昭47−16315（ＪＰ，Ｂ１) 国際公開93／20256（ＷＯ，Ａ１) 欧州特許出願公開567735（ＥＰ，Ａ １) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03C 15/00 - 23/00 C23C 14/06 C23C 14/34 - 14/46
Claims (13)
- 【請求項１】透明な非金属性基材と、および 該基材によって支持され、また該基材から順に、70Åな
いし150Åの範囲の厚さを有する銀赤外線反射フィルム
と、金属酸化物誘電フィルムと、および該金属酸化物誘
電フィルムに相接した10Åないし150Åの範囲の厚さを
有する窒化ケイ素の保護フィルムとを有する透明な積層
膜 を有し、前記誘電フィルムと前記窒化ケイ素フィルムと
が250Åないし400Åの範囲の合計の厚さを有する透明物
品。 - 【請求項２】前記窒化ケイ素フィルムの厚さが約50Å以
下である、請求項１記載の透明物品。 - 【請求項３】前記誘電フィルムが窒化ケイ素と実質的に
同じ屈折率を有する、請求項１記載の透明物品。 - 【請求項４】前記誘電フィルムが酸化亜鉛である、請求
項３記載の透明物品。 - 【請求項５】透明な非金属性基材と、および 該基材上によって支持され、また該基材から外側に向け
て順に、誘電フィルムと、70Åないし150Åの範囲の厚
さを有する銀赤外線反射金属フィルムと、該赤外線反射
金属フィルムに相接している遮蔽フィルムと、金属酸化
物フィルムと、および10Åないし150Åの範囲の厚さを
有する窒化ケイ素の保護フィルムとを有する透明な積層
膜 を有し、前記金属酸化物フィルムと前記窒化ケイ素フィ
ルムとが250Åないし400Åの範囲の合計の厚さを有する
透明物品。 - 【請求項６】前記窒化ケイ素のフィルムが前記金属酸化
物フィルムに相接している、請求項５記載の透明物品。 - 【請求項７】前記金属酸化物フィルムが酸化亜鉛であ
る、請求項５記載の透明物品。 - 【請求項８】透明な積層膜を有する透明な非金属性基材
であって、該積層膜は、該基材から外側に向けて順に、
赤外線反射金属フィルムと、該金属フィルムに相接して
いる遮蔽フィルムと、金属酸化物誘電フィルムと、およ
び該誘電フィルムに相接しまた10ないし150Åの厚さを
有する窒化ケイ素の保護フィルムを有し、該金属酸化物
フィルムと該窒化ケイ素のフィルムとの合計の厚さが25
0ないし400Åの範囲内である該非金属性基材を有する透
明物品。 - 【請求項９】透明な積層膜を有するガラス基材であっ
て、該積層膜は、該ガラスから外側に向けて順に、該透
明な基材上に析出された誘電ベースフィルムと、赤外線
反射金属フィルムと、第二の誘電フィルムと、第二の赤
外線反射金属フィルムと、第三の誘電フィルムと、およ
び約10Åないし約150Åの厚さを有する窒化ケイ素の保
護フィルムを有し、前記第三の誘電フィルムと前記窒化
ケイ素の保護フィルムとが250Åないし400Åの範囲の合
計の厚さを有する該ガラス基材を有する透明物品。 - 【請求項１０】前記第三の誘電フィルムが窒化ケイ素と
実質的に同じ屈折率を有する、請求項９記載の透明物
品。 - 【請求項１１】前記第三の誘電フィルムが酸化亜鉛であ
る、請求項９記載の透明物品。 - 【請求項１２】前記窒化ケイ素の保護フィルムが約50Å
以下の厚さである、請求項９記載の透明物品。 - 【請求項１３】前記金属フィルムの各々に相接する遮蔽
フィルムを含む、請求項９記載の透明物品。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US23793194A | 1994-05-03 | 1994-05-03 | |
| US08/237,931 | 1994-05-03 | ||
| PCT/US1995/005440 WO1995029883A1 (en) | 1994-05-03 | 1995-05-02 | Transparent article having protective silicon nitride film |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000223672A Division JP2001089197A (ja) | 1994-05-03 | 2000-07-25 | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10503745A JPH10503745A (ja) | 1998-04-07 |
| JP3348245B2 true JP3348245B2 (ja) | 2002-11-20 |
Family
ID=22895831
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52848695A Expired - Fee Related JP3348245B2 (ja) | 1994-05-03 | 1995-05-02 | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 |
| JP2000223672A Pending JP2001089197A (ja) | 1994-05-03 | 2000-07-25 | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000223672A Pending JP2001089197A (ja) | 1994-05-03 | 2000-07-25 | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5834103A (ja) |
| EP (1) | EP0758306B2 (ja) |
| JP (2) | JP3348245B2 (ja) |
| AT (1) | ATE169288T1 (ja) |
| DE (1) | DE69503896T3 (ja) |
| DK (1) | DK0758306T3 (ja) |
| ES (1) | ES2122595T3 (ja) |
| MX (1) | MX9605356A (ja) |
| WO (1) | WO1995029883A1 (ja) |
Families Citing this family (69)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6673438B1 (en) * | 1994-05-03 | 2004-01-06 | Cardinal Cg Company | Transparent article having protective silicon nitride film |
| FR2728559B1 (fr) | 1994-12-23 | 1997-01-31 | Saint Gobain Vitrage | Substrats en verre revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire |
| KR19990008413A (ko) * | 1996-03-07 | 1999-01-25 | 르네뮬러 | 유리 상에 반사층을 증착하는 방법 및 이의 제품 |
| GB9606281D0 (en) * | 1996-03-26 | 1996-05-29 | Glaverbel | Coated substrate for a transparent assembly with high selectivity |
| GB2311791A (en) * | 1996-04-02 | 1997-10-08 | Glaverbel | Gold-tinted glazing panels |
| JPH10213708A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Alps Electric Co Ltd | 光吸収フィルタ |
| US6124912A (en) * | 1997-06-09 | 2000-09-26 | National Semiconductor Corporation | Reflectance enhancing thin film stack in which pairs of dielectric layers are on a reflector and liquid crystal is on the dielectric layers |
| US20050096288A1 (en) * | 1997-06-13 | 2005-05-05 | Aragene, Inc. | Lipoproteins as nucleic acid vectors |
| US6495251B1 (en) | 1997-06-20 | 2002-12-17 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Silicon oxynitride protective coatings |
| FR2766174B1 (fr) * | 1997-07-21 | 1999-08-20 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince |
| DE69825398T3 (de) | 1997-12-11 | 2008-07-31 | Saint-Gobain Glass France | Durchsichtiges Substrat mit einem Dünnschichtaufbau mit Infrarot reflektierenden Eigenschaften |
| HU224414B1 (hu) * | 1998-12-18 | 2005-08-29 | č< îáęâá< | Bevonatos üvegtábla, és eljárás annak előállítására |
| EP1154964A1 (en) * | 1998-12-18 | 2001-11-21 | Glaverbel | Glazing panel |
| SK285852B6 (sk) * | 1998-12-18 | 2007-09-06 | Glaverbel | Zasklievacia tabuľa a spôsob jej výroby |
| US6610410B2 (en) | 1998-12-18 | 2003-08-26 | Asahi Glass Company, Limited | Glazing panel |
| HU224665B1 (hu) * | 1998-12-18 | 2005-12-28 | č< îáęâá< | Bevonatos üvegtábla és eljárás annak előállítására |
| WO2000037381A1 (en) * | 1998-12-18 | 2000-06-29 | Glaverbel | Glazing panel |
| US6490091B1 (en) * | 1999-01-21 | 2002-12-03 | Viratec Thin Films, Inc. | Display panel filter and method of making the same |
| US6350397B1 (en) | 1999-03-10 | 2002-02-26 | Aspen Research Corporation | Optical member with layer having a coating geometry and composition that enhance cleaning properties |
| US6797388B1 (en) | 1999-03-18 | 2004-09-28 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods of making low haze coatings and the coatings and coated articles made thereby |
| KR100424254B1 (ko) * | 1999-08-06 | 2004-03-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 표시 장치용 광학 필터 |
| EP1230189B1 (en) | 1999-10-14 | 2006-02-22 | Glaverbel | Glazing |
| JP3477148B2 (ja) * | 1999-12-02 | 2003-12-10 | カーディナル・シージー・カンパニー | 耐曇り性透明フィルム積層体 |
| US6576349B2 (en) * | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable low-E coated articles and methods of making same |
| US6445503B1 (en) | 2000-07-10 | 2002-09-03 | Guardian Industries Corp. | High durable, low-E, heat treatable layer coating system |
| US20030186064A1 (en) * | 2000-09-29 | 2003-10-02 | Kenji Murata | Transparent laminate having low emissivity |
| FR2818272B1 (fr) * | 2000-12-15 | 2003-08-29 | Saint Gobain | Vitrage muni d'un empilement de couches minces pour la protection solaire et/ou l'isolation thermique |
| JP3322262B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2002-09-09 | 日本電気株式会社 | 無線携帯端末通信システム |
| US20030043464A1 (en) * | 2001-08-30 | 2003-03-06 | Dannenberg Rand David | Optical coatings and associated methods |
| US20030049464A1 (en) | 2001-09-04 | 2003-03-13 | Afg Industries, Inc. | Double silver low-emissivity and solar control coatings |
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-
1995
- 1995-05-02 DK DK95917793T patent/DK0758306T3/da active
- 1995-05-02 DE DE69503896T patent/DE69503896T3/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-02 EP EP95917793A patent/EP0758306B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-02 ES ES95917793T patent/ES2122595T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-02 AT AT95917793T patent/ATE169288T1/de active
- 1995-05-02 MX MX9605356A patent/MX9605356A/es unknown
- 1995-05-02 JP JP52848695A patent/JP3348245B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-05-02 WO PCT/US1995/005440 patent/WO1995029883A1/en active IP Right Grant
- 1995-10-19 US US08/547,690 patent/US5834103A/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-07-25 JP JP2000223672A patent/JP2001089197A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001089197A (ja) | 2001-04-03 |
| EP0758306A1 (en) | 1997-02-19 |
| ES2122595T3 (es) | 1998-12-16 |
| EP0758306B1 (en) | 1998-08-05 |
| DE69503896D1 (de) | 1998-09-10 |
| EP0758306B2 (en) | 2005-03-23 |
| DK0758306T3 (da) | 1999-05-10 |
| MX9605356A (es) | 1997-12-31 |
| JPH10503745A (ja) | 1998-04-07 |
| WO1995029883A1 (en) | 1995-11-09 |
| DE69503896T3 (de) | 2005-10-27 |
| ATE169288T1 (de) | 1998-08-15 |
| DE69503896T2 (de) | 1998-12-10 |
| US5834103A (en) | 1998-11-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080913 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090913 Year of fee payment: 7 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090913 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090913 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100913 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110913 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120913 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |