JP2996137B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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Description
特にたとえば、回転角速度を検知することによって移動
体の位置を検出し、適切な誘導を行うナビゲーションシ
ステム、または手ぶれなどの外的振動による回転角速度
を検知し適切な制振を行う手ぶれ防止装置などの除振シ
ステムなどに応用できる振動ジャイロに関する。
図解図である。この振動ジャイロ1は、振動子2を含
む。振動子2は、恒弾性金属材料からなる4角柱状の振
動体3を含む。振動体3の対向する一対の側面には、そ
れぞれ検出用圧電素子4が形成される。この検出用圧電
素子4は、圧電体基板の両面に電極が形成されたもので
ある。また、振動体3の検出用圧電素子4が形成されて
いない1対の側面には、それぞれ駆動用圧電素子5が形
成される。この駆動用圧電素子5も検出用圧電素子4と
同様に、圧電体基板の両面に電極が形成されたものであ
る。
点で支持部材6によって支持される。そして、駆動用圧
電素子5に駆動信号を印加すると、振動子2は、駆動用
圧電素子5の主面に直交する方向に屈曲振動をする。
えばその軸を中心として回転すると、振動方向に直交す
る方向にコリオリ力が働く。すると、コリオリ力によっ
て振動体3の振動方向が変わり、検出用圧電素子4に出
力電圧が発生する。そして、この出力電圧を測定するこ
とによって、振動ジャイロ1の回転角速度を知ることが
できる。
図解図である。この振動ジャイロ10は、振動子11を
含む。振動子11は、第1の圧電体基板12aおよび第
2の圧電体基板12bを含む。第1の圧電体基板12a
および第2の圧電体基板12bは、図9の矢印Pで示す
ように、互いに逆の厚み方向に分極される。そして、第
1の圧電体基板12aおよび第2の圧電体基板12b
は、積層され接着される。
幅方向に間隔を隔てて、2つの分割電極13,13が形
成される。また、第2の圧電体基板12bの主面には、
共通電極14が形成される。さらに、第1の圧電体基板
12aおよび第2の圧電体基板12b間には、ダミー電
極15が形成される。
は、駆動手段としての発振回路16の一方の出力端が、
抵抗17aおよび17bを介してそれぞれ接続される。
振動子11の共通電極14には、発振回路の他方の出力
端が接続される。また、振動子11の2つの分割電極1
3,13は、抵抗18aおよび18bを介して、検出手
段としての差動増幅回路19の非反転入力端および反転
入力端にそれぞれ接続される。さらに、差動増幅回路1
9の出力端および反転入力端間には、抵抗18cが接続
される。
基板12aおよび第2の圧電体基板12bが、互いに逆
の厚み方向に分極されているので、2つの分割電極1
3,13および共通電極14間にたとえば正弦波信号な
どの駆動信号を印加すれば、第1の圧電体基板12aお
よび第2の圧電体基板12bが互いに逆に伸縮振動す
る。そのため、振動子11は、その長手方向における両
端部から少しだけ内側の部分をノード部分として、その
主面に直交する方向に屈曲振動する。
示す従来の音片型の振動ジャイロ1および図9に示す従
来のバイモルフ型の振動ジャイロ10では、振動子2ま
たは振動子11を小型化すると、回転角速度の検出感度
が低下するという問題があった。
型で感度の良い振動ジャイロを提供することである。
ャイロは、厚み方向に分極され一体に積層された複数の
圧電体基板と、圧電体基板の主面に形成され、圧電体基
板を屈曲振動させるための駆動用電極と、圧電体基板の
厚み方向に互いに対向して形成され、回転角速度に対応
した信号を検出するための複数の分割電極とを含む、振
動ジャイロである。
用電極と、第1の駆動用電極の一方主面と対向し、圧電
体基板を挟んで形成される短冊状の第2の駆動用電極
と、第2の駆動用電極に接続され、第1の駆動用電極の
他方主面に対向し、他の圧電体基板を挟んで形成される
短冊状の第3の駆動用電極とを含んでもよい。
み方向に延び、複数の分割電極の一方を互いに接続する
ためのスルーホールと、積層された複数の圧電体基板の
厚み方向に延び、複数の分割電極の他方を互いに接続す
るためのスルーホールとを含んでもよい。
方向に延び、互いに異なる圧電体基板に形成された分割
電極の一方と他の分割電極の他方とを互いに接続するた
めの複数のスルーホールを含んでもよい。
いに対向して形成されるので、コリオリ力によって発生
する電荷を多く取り出すことができ、回転角速度の検出
感度が向上する。
用電極と、第1の駆動用電極の一方主面と対向し圧電体
基板を挟んで形成される短冊状の第2の駆動用電極と、
第2の駆動用電極に接続され、第1の駆動用電極の他方
主面に対向し他の圧電体基板を挟んで形成される短冊状
の第3の駆動用電極とを含む場合には、屈曲振動を効率
良く励振することができ、単位電圧当たりの屈曲量が増
加する。そのため、振動ジャイロを小型化しても、回転
角速度の検出感度が低下しない。
み方向に延び、複数の分割電極の一方を互いに接続する
ためのスルーホールと、積層された複数の圧電体基板の
厚み方向に延び複数の分割電極の他方を互いに接続する
ためのスルーホールとを含む場合には、出力電流が大き
くなり、検出感度が向上する。
方向に延び、異なる圧電体基板に形成された分割電極の
一方と他の分割電極の他方とを互いに接続するための複
数のスルーホールを含む場合には、出力電圧が大きくな
り、検出感度が向上する。
動ジャイロを得ることができる。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
る。図2は図1の線II−IIにおける断面図解図であ
る。図3は、図1に示す実施例の分割電極および駆動電
極の接続状況を示す図解図である。この振動ジャイロ2
0は、正4角柱状の振動子22を含む。
板24aを含む。第1の圧電体基板24aの一方主面に
は、図3に示すように、短冊状の第1の引出電極26a
が形成される。また、第1の圧電体基板24aの一方主
面には、第1の引出電極26aと長手方向に間隔を隔て
て、短冊状の第2の引出電極26bが形成される。この
第2の引出電極26bは、振動子22を屈曲振動させる
ための駆動電極の一つとして作用する。
振動子22を屈曲振動させるための短冊状の第1の駆動
電極28aが形成される。第1の駆動電極28aは、第
1の圧電体基板24aを間に挟んで第2の引出電極26
bの一方主面と対向して形成される。
厚み方向に貫通するようにして、スルーホール30aが
形成される。そして、第1の駆動電極28aは、スルー
ホール30aを介して、第1の引出電極26aと接続さ
れる。
駆動電極28aの一方主面を覆うようにして、断面矩形
の第2の圧電体基板24bが積層される。第2の圧電体
基板24bの厚み方向に第1の駆動電極28aの一方主
面と対向する面には、短冊状の第2の駆動電極28bが
形成される。
の圧電体基板24bを厚み方向に貫通するようにして、
スルーホール30bが形成される。この場合、第1の駆
動電極28aには、たとえば円形の貫通孔38が形成さ
れる。スルーホール30bは、第1の駆動電極28aと
絶縁されながら貫通孔38の中心を挿通するようにして
形成される。このスルーホール30bを介して、第2の
駆動電極28bは、第2の引出電極26bと接続され
る。
は、第2の駆動電極28bの一方主面を覆うようにし
て、断面矩形の第3の圧電体基板24cが積層される。
第3の圧電体基板24cの厚み方向に第2の駆動電極2
8bの一方主面と対向する面には、細長い短冊状の第1
の分割電極32a1および32a2が形成される。
は、第3の圧電体基板24cの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第3の圧電体基板24cの長手
方向一端側には、略円形の第1のランド電極34a1が
形成され、長手方向他端側には、略円形の第2のランド
電極34a2が形成される。そして、一方の第1の分割
電極32a1は、第3の圧電体基板24cの長手方向一
端側へ引き延ばされて、第1のランド電極34a1と接
続される。他方の第1の分割電極32a2は、第3の圧
電体基板24cの長手方向他端側へ引き延ばされて、第
2のランド電極34a2と接続される。
第1の分割電極32a1,32a2の一方主面を覆うよ
うにして、断面矩形の第4の圧電体基板24dが積層さ
れる。第4の圧電体基板24dの厚み方向に第1の分割
電極32a1,32a2の一方主面と対向する面には、
細長い短冊状の第2の分割電極32b1および32b2
が形成される。
は、第4の圧電体基板24dの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第4の圧電体基板24dの長手
方向一端側には、略円形の第3のランド電極34b1が
形成され、長手方向他端側には、略円形の第4のランド
電極34b2が形成される。そして、一方の第2の分割
電極32b1は、第4の圧電体基板24dの長手方向一
端側へ引き延ばされて、第3のランド電極34b1と接
続される。他方の第2の分割電極32b2は、第4の圧
電体基板24dの長手方向他端側へ引き延ばされて、第
4のランド電極34b2と接続される。
第2の分割電極32b1,32b2の一方主面を覆うよ
うにして、断面矩形の第5の圧電体基板24eが積層さ
れる。第5の圧電体基板24eの厚み方向に第2の分割
電極32b1,32b2の一方主面と対向する面には、
細長い短冊状の第3の分割電極32c1および32c2
が形成される。
は、第5の圧電体基板24eの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第5の圧電体基板24eの長手
方向一端側には、略円形の第5のランド電極34c1が
形成され、長手方向他端側には、略円形の第6のランド
電極34c2が形成される。そして、一方の第3の分割
電極32c1は、第5の圧電体基板24eの長手方向一
端側へ引き延ばされて、第5のランド電極34c1と接
続される。他方の第3の分割電極32c2は、第5の圧
電体基板24eの長手方向他端側へ引き延ばされて、第
6のランド電極34c2と接続される。
第3の分割電極32c1,32c2の一方主面を覆うよ
うにして、断面矩形の第6の圧電体基板24fが積層さ
れる。第6の圧電体基板24fの厚み方向に第3の分割
電極32c1,32c2の一方主面と対向する面には、
細長い短冊状の第4の分割電極32d1および32d2
が形成される。
は、第6の圧電体基板24fの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第6の圧電体基板24fの長手
方向一端側には、略円形の第7のランド電極34d1が
形成され、長手方向他端側には、略円形の第8のランド
電極34d2が形成される。そして、一方の第4の分割
電極32d1は、第6の圧電体基板24fの長手方向一
端側へ引き延ばされて、第7のランド電極34d1と接
続される。他方の第4の分割電極32d2は、第6の圧
電体基板24fの長手方向他端側へ引き延ばされて、第
8のランド電極34d2と接続される。
第4の分割電極32d1,32d2の一方主面を覆うよ
うにして、断面矩形の第7の圧電体基板24gが積層さ
れる。第7の圧電体基板24gの厚み方向に第4の分割
電極32d1,32d2の一方主面と対向する面には、
細長い短冊状の第5の分割電極32e1および32e2
が形成される。
は、第7の圧電体基板24gの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第7の圧電体基板24gの長手
方向一端側には、略矩形の第3の引出電極26cが形成
され、長手方向他端側には、略矩形の第4の引出電極2
6dが形成される。そして、一方の第5の分割電極32
e1は、第7の圧電体基板24gの長手方向一端側へ引
き延ばされて、第3の引出電極26cと接続される。他
方の第5の分割電極32e2は、第7の圧電体基板24
gの長手方向他端側へ引き延ばされて、第4の引出電極
26dと接続される。
24gが一体に積層される。この実施例では、第1〜第
7の圧電体基板24a〜24gは、それぞれ第7の圧電
体基板24gから第1の圧電体基板24aへと向かう方
向へと分極される。したがって、第1〜第7の圧電体基
板24a〜24gは、図2に矢印Pで示すように、それ
ぞれ同一方向へ分極される。
〜24gの長手方向の一端近傍には、厚み方向に延びる
スルーホール36aが形成され、長手方向の他端近傍に
は、厚み方向に延びるスルーホール36bが形成され
る。そして、スルーホール36aによって、第1,第
3,第5,第7のランド電極34a1,34b1,34
c1,34d1および第3の引出電極26cが互いに接
続される。また、スルーホール36bによって、第2,
第4,第6,第8のランド電極34a2,34b2,3
4c2,34d2および第4の引出電極26dが互いに
接続される。したがって、第1〜第5の分割電極32a
1〜32e1,32a2〜32e2は、積層された第1
〜第7の圧電体基板24a〜24g内部で、並列に接続
されることとなる。
イロ20の電気的接続状況を説明する。この振動ジャイ
ロ20は、検出手段としての差動増幅回路40を含む。
差動増幅回路40の非反転増幅端子は、抵抗44aを介
して引出電極26cに接続される。差動増幅回路40の
反転増幅端子は、抵抗44bを介して引出電極26dに
接続される。差動増幅回路40の出力端子と反転増幅端
子とは、抵抗44cを介して互いに接続される。
2に駆動信号を印加するための駆動手段としての発振回
路42を含む。発振回路42の一方の出力端は、引出電
極26aと接続され、他方の出力端は、引出電極26b
と接続される。
説明する。この振動ジャイロ20では、発振回路42か
ら出力されるたとえば正弦波信号などの駆動信号が、引
出電極26a,26b間に印加される。すると、第1の
圧電体基板24aおよび第2の圧電体基板24bが互い
に逆に伸縮振動する。すなわち、第1の圧電体基板24
aがその主面に平行する方向に伸びているときには、第
2の圧電体基板24bはその主面に平行する方向に縮
む。逆に、第1の圧電体基板24aがその主面に平行す
る方向に縮んでいるときには、第2の圧電体基板24b
はその主面に平行する方向に伸びる。そのため、振動子
22は、図5に示すように、その長手方向における両端
部から少しだけ内側の部分をノード部分として、第1〜
第7の圧電体基板24a〜24gの主面に直交する方向
に屈曲振動する。
図1および図5に示すように、たとえば線状の支持部材
46がそれぞれ取り付けられる。そして、振動子22
は、これらの支持部材46で支持される。なお、振動子
22の上面あるいは下面におけるノード部分の近傍に支
持部材46を取り付けても、振動に大きな影響を与える
ことなく振動子22を支持することが可能である。
で、振動ジャイロ20が振動子22の中心軸O(図1)
を中心に回転すると、その回転角速度に応じたコリオリ
力が、第1〜第7の圧電体基板24a〜24gの主面に
平行しかつ振動子22の中心軸Oに直交する方向に働
く。したがって、振動子22の屈曲振動の方向が変わ
る。そのため、一方の第1の分割電極32a1と他方の
第1の分割電極32a2間には、回転角速度に応じた信
号が発生する。同様にして、第2〜第5の分割電極32
b1〜32e1,32b2〜32e2には、それぞれ回
転角速度に応じた信号が発生する。第1〜第5の分割電
極32a1〜32e1,32a2〜32e2は、この実
施例では並列に接続されているので、発生した信号は、
第3の引出電極26cおよび第4の引出電極26dから
比較的大きな電圧として取り出すことができる。第3の
引出電極26cおよび第4の引出電極26dは、抵抗4
4aおよび44bを介して、差動増幅回路40と接続さ
れる。したがって、第1〜第5の分割電極32a1〜3
2e1,32a2〜32e2に発生する信号は、差動増
幅回路40によって検出される。したがって、この振動
ジャイロ20では、差動増幅回路40の出力信号によっ
て、回転角速度を知ることができる。
めには、第1〜第7の圧電体基板24a〜24gとなる
べき複数のセラミックグリーンシートが準備される。こ
れらのセラミックグリーンシートには、それぞれ上述の
各電極がたとえば厚膜印刷などにより形成される。この
場合、一枚のセラミックグリーンシート上には、同一の
電極パターンが複数繰り返して形成される。また、第1
〜第7の圧電体基板24a〜24gは、それぞれ同一の
厚み方向に分極される。
は、各電極パターンが上述のように接続されるようにし
て積層される。積層されたセラミックグリーンシート
は、図6に示すように、破線で示す部分でカットされ
る。さらに、カットされた各積層体が焼結されて、複数
の振動子22が形成される。
が取り付けられる。さらに、振動子22の各引出電極2
6a〜26dには、差動増幅回路40および発振回路4
2が接続される。
した信号を検出するための第1〜第5の分割電極32a
1〜32e1,32a2〜32e2が設けられ、それら
が並列に接続されるので、コリオリ力に対応した大きな
出力電圧を得ることができ、回転角速度の検出感度が向
上する。
26b,第1の駆動用電極28aおよび第2の駆動用電
極28bが、上述の構成で形成されるので、第1〜第7
の圧電体基板24a〜24gの分極方向を全て同一方向
にして積層した振動子22を、屈曲振動させることがで
きる。また、単位電圧当たりの振動子22の屈曲の変位
量が増加する。そのため、振動子の小型化、および回転
角速度の検出感度が向上を図ることができる。
型で感度の良い振動ジャイロ20を得ることができる。
部分の近傍に取り付けられた支持部材46で振動子22
が支持されるので、振動子22から外部へ振動がもれに
くく、振動子22を効率的に振動させることができる。
のような簡易な方法で複数の振動子22を量産すること
ができるので、量産性がよい。
よび駆動電極の接続状況を示す図解図である。振動子2
2は、図2に示すのと同様の断面矩形の第1の圧電体基
板24aを含む。第1の圧電体基板24aの一方主面に
は、短冊状の第1の引出電極26aが形成される。ま
た、第1の圧電体基板24aの一方主面には、第1の引
出電極26aと長手方向に間隔を隔てて、短冊状の第2
の引出電極26bが形成される。この第2の引出電極2
6bは、振動子22を屈曲振動させるための駆動電極の
一つとして作用する。
振動子22を屈曲振動させるための短冊状の第1の駆動
電極28aが形成される。第1の駆動電極28aは、第
1の圧電体基板24aを間に挟んで第2の引出電極26
bの一方主面と対向して形成される。
厚み方向に貫通するようにして、スルーホール30aが
形成される。そして、第1の駆動電極28aは、スルー
ホール30aを介して、第1の引出電極26aと接続さ
れる。
示すのと同様に、第1の駆動電極28aの一方主面を覆
うようにして、断面矩形の第2の圧電体基板24bが積
層される。第2の圧電体基板24bの厚み方向に第1の
駆動電極28aの一方主面と対向する面には、短冊状の
第2の駆動電極28bが形成される。
の圧電体基板24bを厚み方向に貫通するようにして、
スルーホール30bが形成される。この場合、第1の駆
動電極28aには、たとえば円形の貫通孔38が形成さ
れる。そして、スルーホール30bは、第1の駆動電極
28aと絶縁されながら貫通孔38の中心を挿通するよ
うにして形成される。このスルーホール30bを介し
て、第2の駆動電極28bは、第2の引出電極26bと
接続される。
は、図2に示すのと同様に、第2の駆動電極28bの一
方主面を覆うようにして、断面矩形の第3の圧電体基板
24cが積層される。第3の圧電体基板24cの厚み方
向に第2の駆動電極28bの一方主面と対向する面に
は、細長い短冊状の第1の分割電極32a1および32
a2が形成される。
は、第3の圧電体基板24cの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第3の圧電体基板24cの長手
方向一端側には、略矩形の第1のランド電極34a1が
形成され、長手方向他端側には、略円形の第2のランド
電極34a2が形成される。この実施例では、第1のラ
ンド電極34a1は、第1の分割電極32a2の長手方
向一端側に配置され、第2のランド電極34a2は、第
1の分割電極32a2の長手方向他端側に配置される。
そして、一方の第1の分割電極32a1は、第3の圧電
体基板24cの長手方向一端側へ略L字状に引き延ばさ
れて、第1のランド電極34a1と接続される。他方の
第1の分割電極32a2は、第3の圧電体基板24cの
長手方向他端側へ引き延ばされて、第2のランド電極3
4a2と接続される。
図2に示すのと同様に、第1の分割電極32a1および
32a2の一方主面を覆うようにして、断面矩形の第4
の圧電体基板24dが積層される。第4の圧電体基板2
4dの厚み方向に第1の分割電極32a1および32a
2の一方主面と対向する面には、細長い短冊状の第2の
分割電極32b1および32b2が形成される。
は、第4の圧電体基板24dの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第4の圧電体基板24dの長手
方向他端側には、略矩形の第3のランド電極34b1が
形成され、長手方向一端側には、略円形の第4のランド
電極34b2が形成される。この実施例では、第3のラ
ンド電極34b1は、第2の分割電極32b2の長手方
向他端側に配置され、第4のランド電極34b2は、第
2の分割電極32b2の長手方向一端側に配置される。
すなわち、第4のランド電極34b2は、第2のランド
電極34a2の真上に形成される。そして、一方の第2
の分割電極32b1は、第4の圧電体基板24dの長手
方向他端側へ略L字状に引き延ばされて、第3のランド
電極34b1と接続される。他方の第2の分割電極32
b2は、第4の圧電体基板24dの長手方向一端側へ引
き延ばされて、第4のランド電極34b2と接続され
る。
図2に示すのと同様に、第2の分割電極32b1および
32b2の一方主面を覆うようにして、断面矩形の第5
の圧電体基板24eが積層される。第5の圧電体基板2
4eの厚み方向に第2の分割電極32b1および32b
2の一方主面と対向する面には、細長い短冊状の第3の
分割電極32c1および32c2が形成される。
は、第5の圧電体基板24eの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第5の圧電体基板24eの長手
方向一端側には、略矩形の第5のランド電極34c1が
形成され、長手方向他端側には、略円形の第6のランド
電極34c2が形成される。この実施例では、第5のラ
ンド電極34c1は、第3の分割電極32c2の長手方
向一端側に配置され、第6のランド電極34c2は、第
3の分割電極32c2の長手方向他端側に配置される。
すなわち、第5のランド電極34c1は、第4のランド
電極34b2の真上に形成され、第6のランド電極34
c2は、第3のランド電極34b1の真上に形成され
る。そして、一方の第3の分割電極32c1は、第5の
圧電体基板24eの長手方向一端側へ略L字状に引き延
ばされて、第5のランド電極34c1と接続される。他
方の第3の分割電極32c2は、第5の圧電体基板24
eの長手方向他端側へ引き延ばされて、第6のランド電
極34c2と接続される。
図2に示すのと同様に、第3の分割電極32c1および
32c2の一方主面を覆うようにして、断面矩形の第6
の圧電体基板24fが積層される。第6の圧電体基板2
4fの厚み方向に第3の分割電極32c1および32c
2の一方主面と対向する面には、細長い短冊状の第4の
分割電極32d1および32d2が形成される。
は、第6の圧電体基板24fの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第6の圧電体基板24fの長手
方向他端側には、略矩形の第7のランド電極34d1が
形成され、長手方向一端側には、略円形の第8のランド
電極34d2が形成される。この実施例では、第7のラ
ンド電極34d1は、第4の分割電極32d2の長手方
向他端側に配置され、第8のランド電極34d2は、第
4の分割電極32d2の長手方向一端側に配置される。
すなわち、第7のランド電極34d1は、第6のランド
電極34c2の真上に形成され、第8のランド電極34
d2は、第5のランド電極34c1の真上に形成され
る。そして、一方の第4の分割電極32d1は、第6の
圧電体基板24fの長手方向他端側へ略L字状に引き延
ばされて、第7のランド電極34d1と接続される。他
方の第4の分割電極32d2は、第6の圧電体基板24
fの長手方向一端側へ引き延ばされて、第8のランド電
極34d2と接続される。
図2に示すのと同様に、第4の分割電極32d1,32
d2の一方主面を覆うようにして、断面矩形の第7の圧
電体基板24gが積層される。第7の圧電体基板24g
の厚み方向に第4の分割電極32d1,32d2の一方
主面と対向する面には、細長い短冊状の第5の分割電極
32e1および32e2が形成される。
は、第7の圧電体基板24gの幅方向に間隔を隔てて平
行に形成される。また、第7の圧電体基板24gの長手
方向一端側には、略矩形の第3の引出電極26cが形成
され、長手方向他端側には、略円形の第9のランド電極
34e2が形成される。そして、一方の第5の分割電極
32e1は、第7の圧電体基板24gの長手方向一端側
へ引き延ばされて、第3の引出電極26cと接続され
る。他方の第5の分割電極32e2は、第7の圧電体基
板24gの長手方向他端側へ引き延ばされて、第9のラ
ンド電極34e2と接続される。
その長手方向他端側に略矩形状の第4の引出電極26d
が形成される。
向の一端近傍には、厚み方向に延びるスルーホール36
a1が形成される。スルーホール36a1によって、第
1のランド電極34a1および第4のランド電極34b
2が互いに接続される。さらに、第5の圧電体基板24
eの長手方向の他端側には、厚み方向に延びるスルーホ
ール36a2が形成される。スルーホール36a2によ
って、第3のランド電極34b1および第6のランド電
極34c2が互いに接続される。また、第6の圧電体基
板24fの長手方向の一端近傍には、厚み方向に延びる
スルーホール36a3が形成される。スルーホール36
a3によって、第5のランド電極34c1および第8の
ランド電極34d2が互いに接続される。さらに、第7
の圧電体基板24gの長手方向の他端側には、厚み方向
に延びるスルーホール36a4が形成される。スルーホ
ール36a4によって、第7のランド電極34d1およ
び第9のランド電極34e2が互いに接続される。さら
に、第4〜第7の圧電体基板24d〜24gの長手方向
の他端近傍を厚み方向に挿通するようにして、スルーホ
ール36bが形成される。スルーホール36bによっ
て、第2のランド電極34a2と第4の引出電極26d
が互いに接続される。
1〜32e1,32a2〜32e2は、積層された第1
〜第7の圧電体基板24a〜24g内部で、直列に接続
されることとなる。
一体に積層されて、図1および図2に示すのと同様の振
動子22が形成される。図7に示す実施例でも、第1〜
第7の圧電体基板24a〜24gは、図2に矢印Pで示
すように、第7の圧電体基板24gから第1の圧電体基
板24aへと向かう方向へと分極される。
図4に示したものと同様に、検出手段としての差動増幅
回路40および発振回路42と接続される。
でも、図3に示すものと同様の効果を得ることができ
る。また、この場合には、第1〜第5の分割電極32a
1〜32e1,32a2〜32e2が直列に接続される
こととなるので、出力電流が高くなり、検出感度の向上
を図ることができる。
ある。
接続状況を示す図解図である。
す図解図である。
す図解図である。
図である。
極の接続状況を示す図解図である。
る。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 厚み方向に分極され一体に積層された複
数の圧電体基板、 前記圧電体基板の主面に形成され、前記圧電体基板を屈
曲振動させるための駆動用電極、および前記圧電体基板
の厚み方向に互いに対向して形成され、回転角速度に対
応した信号を検出するための複数の分割電極を含む、振
動ジャイロ。 - 【請求項2】 前記駆動用電極は、短冊状の第1の駆動
用電極、 前記第1の駆動用電極の一方主面と対向し、前記圧電体
基板を挟んで形成される短冊状の第2の駆動用電極、お
よび前記第2の駆動用電極と接続され、前記第1の駆動
用電極の他方主面と対向し、他の前記圧電体基板を挟ん
で形成される短冊状の第3の駆動用電極を含む、請求項
1に記載の振動ジャイロ。 - 【請求項3】 積層された複数の前記圧電体基板の厚み
方向に延び、前記複数の分割電極の一方を互いに接続す
るためのスルーホール、および積層された複数の前記圧
電体基板の厚み方向に延び、前記複数の分割電極の他方
を互いに接続するためのスルーホールを含む、請求項1
または請求項2に記載の振動ジャイロ。 - 【請求項4】 積層された複数の前記圧電体基板の厚み
方向に延び、互いに異なる前記圧電体基板に形成された
前記分割電極の一方と他の前記分割電極の他方とを互い
に接続するための複数のスルーホールを含む、請求項1
または請求項2に記載の振動ジャイロ。
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