JP3295274B2 - スクリーン印刷機、スクリーン印刷方法、該方法を用いた画像形成装置の製造方法および該製造方法を用いて得られた画像形成装置 - Google Patents

スクリーン印刷機、スクリーン印刷方法、該方法を用いた画像形成装置の製造方法および該製造方法を用いて得られた画像形成装置

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JP3295274B2
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スクリーン印刷機、ス
クリーン印刷方法、該方法を用いた画像形成装置の製造
方法および該製造方法を用いて得られた画像形成装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】今日、スクリーン印刷技術はグラフィッ
ク印刷分野、エレクトロニクス分野など、多くの分野に
おいて広く用いられている。
【０００３】スクリーン印刷の概略を図１４および図１
５を用いて以下に述べる。
【０００４】図１４および図１５において、２は版枠、
３はスクリーン、７はスキージ、１６は被印刷体、１７
はスクリーン押圧部、１８は版パターン、１９はインク
パターン、２０はインク、２４は張力、２３はギャップ
である。スクリーン３は、ステンレス等の材質のメッシ
ュ上に形成した樹脂フィルムにインク２０を吐出するた
めの版パターン１８が抜いて形成されており、一定の張
力で版枠２に張られている。
【０００５】印刷は次のような手順で行なう。版枠２
（すなわちスクリーン３の面）と被印刷体１６を所定の
ギャップ２３に保った後、スクリーン３上にペースト状
のインク２０を設置する。次に、樹脂等の材質でできて
いるスキージ７に印圧をかけながらインクを掻き取る
（図１４および１５において矢印の方向にスキージを移
動する）。その際の圧力によって、インク２０は版パタ
ーン１８を通して被印刷体１６上に吐出され、かつスク
リーン押圧部１７の張力２４の垂直成分に由来する復元
力によりスクリーン３が被印刷体から離れ、インク２０
が分離され、被印刷体１６上に所望のインクパターン１
９が形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
スクリーン印刷方法には以下のような問題点がある。
【０００７】図１６はスクリーン印刷において、スキー
ジを押圧したスクリーン部分の状態を示す模式的断面図
である。図１６において、３はスクリーン、７はスキー
ジ、１６は被印刷体、１７はスクリーン押圧部、２４は
張力、２２は粘着力である。図において、スキージ７は
右から左へと走査される。
【０００８】スキージ７を走査した直後のスクリーン押
圧部１７には、スクリーン３の張力２４とスクリーン３
と被印刷体１６を接着するインク（不図示）の粘着力２
２が負荷される。この粘着力２２がスクリーン３の張力
２４の垂直成分を上回る場合、スクリーン３が走査され
た後もスクリーン押圧部１７が被印刷体１６より速やか
に版離れせずに、ある時間付着したままになる。この版
離れ不良は、形成パターン周囲へのインクの飛び散り、
パターンの剥がれを引き起こし、配線等の電気回路を基
板に印刷する場合などはそれが原因で断線、ショートな
どの不良が生じる場合があった。
【０００９】またこのスクリーン印刷法の１種としてコ
ンタクト印刷法がある。コンタクト印刷法は印刷パター
ンを形成する被印刷体にスクリーン面を全部接触（ギャ
ップ＝０）させた状態でスキージを移動させ印刷する方
法である。
【００１０】従来のコンタクト印刷法においても一般的
なスクリーン印刷法と同様な版離れの問題が生じる。図
１７はコンタクト印刷のスキージ移動後の版離れの状態
を示す図である。図１７においては３はスクリーン、９
０は版離れ部、１６は被印刷体、２４は張力、２２は粘
着力である。
【００１１】コンタクトスクリーン印刷時のスクリーン
３と被印刷体１６を引き離す際の版離れ部に作用する力
は、スクリーン３よりの張力２４、インク（不図示）の
粘着力２２である。版離れ部９０においてスクリーン３
と被印刷体１６に一定角度が設定された際のスクリーン
３の張力２４の垂直成分が粘着力２２を上回ることで、
版離れ部９０は被印刷体１６との引き離しに応じて被印
刷体周辺部より中央部に向けて版離れが起こる。従っ
て、版離れは被印刷体の周辺部から始まり、中央部が最
後に起こる。その被印刷体面内における不均一な版離れ
によって形成パターン周囲への飛び散り、パターンの剥
がれによる断線、ショート等のパターン不良が生じる場
合があった。
【００１２】ところで、特開平４−３４７６３６号公報
には、スクリーンを印刷対象物より離す時、高周波、微
細振動をスクリーンに加えながらスクリーンを印刷物よ
り離すスクリーン印刷機が開示されている。当該公報に
よれば、ペーストの印刷ヌケ防止が容易になるとされて
いる。
【００１３】ところが通常、スクリーンの周囲は可撓性
を有する樹脂膜により引っ張られた状態でスクリーン枠
に固定されているために、このような状態では枠に振動
を与えても振動が樹脂膜によって十分にスクリーンに伝
わらない傾向にある。特にパターンのある領域では伝達
が不十分であり、離版性は、必ずしも満足できるもので
はないというのが実状である。また、離版性を向上させ
るために振動を強く与えてしまうと、パターン形状の転
写精度が下がり、離版性は向上するものの、所望のパタ
ーン形状が得られないといった問題が生じる。このよう
に振動をスクリーン枠に与える方法は、必ずしも離版性
と印刷パターンの転写精度を同時に満足させるものでは
ない。またスクリーン枠ばかりでなくスクリーン自体に
振動を与える方法も考えられるが、やはり離版性とパタ
ーン転写精度に関する問題点は解決されない。
【００１４】そこで本発明は、上述した技術的課題を解
決したスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法を提
供することを目的とする。
【００１５】本発明の別の目的は、従来のものに比べ、
スクリーンパターン全領域にわたり、安定かつ均一に印
刷を行い得るスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方
法を提供することにある。
【００１６】本発明のさらに別の目的は、本発明のスク
リーン印刷方法を利用した画像形成装置の製造方法およ
び該製造方法を用いて得られた画像形成装置を提供する
ことにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明のスクリーン印刷
機は、後述する構成ものである。
【００１８】すなわち本発明のスクリーン印刷機は、被
印刷体を設置するための印刷台、スクリーン、スキージ
を有し、前記印刷台上に設置される被印刷体上に前記ス
クリーンを介して前記スキージを配し、該スキージをイ
ンクと接した状態で移動させて前記被印刷体上に前記ス
クリーンに設けられたパターンに依存してインクパター
ンを形成するスクリーン印刷機において、前記スクリー
ンに対して移動可能で、かつ前記スクリーンと前記被印
刷体との間のインクによる粘着力を打ち消す方向に外力
を加え得る外力印加手段として吸引付与手段に接続され
た吸引口を備え、該吸引口が前記スクリーンのパターン
領域外に配置されることを特徴とするものである。また
本発明のスクリーン印刷機は、被印刷体を設置するため
の印刷台、スクリーン、スキージを有し、前記印刷台上
に設置される被印刷体上に前記スクリーンを介して前記
スキージを配し、該スキージをインクと接した状態で移
動させて前記被印刷体上に前記スクリーンに設けられた
パターンに依存してインクパターンを形成するスクリー
ン印刷機において、前記スクリーンに対して移動可能
で、かつ前記スクリーンと前記被印刷体との間のインク
による粘着力を打ち消す方向に外力を加え得る外力印加
手段として磁石を備え、前記スクリーンが磁性材からな
ることを特徴とする。さらに本発明のスクリーン印刷機
は、被印刷体を設置するための印刷台、スクリーン、ス
キージを有し、前記印刷台上に設置される被印刷体上に
前記スクリーンを介して前記スキージを配し、該スキー
ジをインクと接した状態で移動させて前記被印刷体上に
前記スクリーンに設けられたパターンに依存してインク
パターンを形成するスクリーン印刷機において、前記ス
クリーンに対して移動可能で、かつ前記スクリーンと前
記被印刷体との間のインクによる粘着力を打ち消す方向
に外力を加え得る外力印加手段として２つの剛体を備
え、該２つの剛体は、前記スクリーンのパターン領域外
かつ前記スキージによる走査領域を挟む２箇所で前記ス
クリーンと前記被印刷体との間に挿入されるように配置
されることを特徴とする。
【００１９】本発明のスクリーン印刷方法は、被印刷体
上にスクリーンを介してスキージを配し、該スキージを
インクと接した状態で移動させて前記被印刷体上に前記
スクリーンに設けられたパターンに依存してインクパタ
ーンを形成するスクリーン印刷方法において、前記スキ
ージを移動させて前記インクパターンを形成する工程、
および前記スクリーンに対して移動可能な位置に設けら
れた吸引口により前記スクリーンのパターン領域外を吸
引し、前記スクリーンを前記被印刷体から離す外力を加
える工程を有することを特徴とする。また本発明のスク
リーン印刷方法は、被印刷体上にスクリーンを介してス
キージを配し、該スキージをインクと接した状態で移動
させて前記被印刷体上に前記スクリーンに設けられたパ
ターンに依存してインクパターンを形成するスクリーン
印刷方法において、前記スキージを移動させて前記イン
クパターンを形成する工程、および前記スクリーンに対
して移動可能な位置に設けられた磁石により磁性材から
なる前記スクリーンを前記被印刷体から離す外力を加え
る工程を有することを特徴とする。さらに本発明のスク
リーン印刷方法は、被印刷体上にスクリーンを介してス
キージを配し、該スキージをインクと接した状態で移動
させて前記被印刷体上に前記スクリーンに設けられたパ
ターンに依存してインクパターンを形成するスクリーン
印刷方法において、前記スキージを移動させて前記イン
クパターンを形成する工程、および前記スクリーンに対
して移動可能な位置に設けられた外力印加手段である２
つの剛体を前記スクリーンのパターン領域外かつ前記ス
キージによる走査領域を挟む２箇所で前記スクリーンと
前記被印刷体との間に挿入されるように配置して前記ス
クリーンを前記被印刷体から離す外力を加える工程を有
することを特徴とする。
【００２０】上述した構成の本発明のスクリーン印刷機
およびスクリーン印刷方法によれば上述した目的が達成
される。
【００２１】本発明のスクリーン印刷機およびスクリー
ン印刷方法は、上述した通りの構成ものである。
【００２２】本発明のスクリーン印刷機において、スク
リーンに対して移動可能な外力印加手段は、スキージに
連動して移動可能なタイプのもの、スクリーン面と実質
的に平行に移動可能なタイプのもの、スクリーン面に実
質的に垂直な方向に移動可能なタイプのもの、スクリー
ン面に実質的に垂直な軸を中心として回動可能なタイプ
のもの、スクリーン面に実質的に平行な軸を中心として
回動可能なタイプのもの、蝶番を用いて回動可能なタイ
プのものを包含する。
【００２３】本発明のスクリーン印刷方法において、ス
クリーンに対して移動可能な位置とは、スキージに連動
して移動可能な位置、スクリーン面と実質的に平行に移
動可能な位置、スクリーン面に実質的に垂直な方向に移
動可能な位置、スクリーン面に実質的に垂直な軸を中心
として回動可能な位置、スクリーン面に実質的に平行な
軸を中心として回動可能な位置、蝶番を用いて回動可能
な位置を包含する。
【００２４】本発明においては、スクリーンに対して移
動可能な外力印加手段を用いることにより、スクリーン
と被印刷体との間に生じる粘着力を最適な状態で打ち消
すことができ、それにより、極めて優れた離版性と印刷
パターンの転写精度が得られる。
【００２５】以下、図面を参照しながら本発明を説明す
る。
【００２６】図１〜図１１は、それぞれ本発明のスクリ
ーン印刷機およびスクリーン印刷方法の例を示す模式図
である。
【００２７】図１および図２は、本発明のスクリーン印
刷機のうち外力印加手段が吸引付加手段であるスクリー
ン印刷機に関わる図であり、図１はそのようなスクリー
ン印刷機の実施態様を示す図であり、図２は、吸引付与
手段を有するスクリーン印刷機の吸引付与による外力印
加（引き離し）手段に接続している吸引口の側面図であ
る。
【００２８】これらの図において、１は印刷機フレー
ム、２は版枠、３はスクリーン（またはマスク）であ
る。版枠２は、印刷機フレーム１にある不図示の版枠固
定部に固定されている。４は吸引口、５はその吸引口の
位置設定手段、６は排気管であり、不図示の真空ポンプ
等の吸気付与手段に接続されている。７はスキージ、８
はスキージ高さ設定手段、９はヘッド、１０はヘッドレ
ールであり、ヘッド９はモーターなどの不図示の移動機
構によりヘッドレール１０上を移動させることができ
る。１１はヘッドレール固定部材、１２はテーブルであ
り、被印刷体（不図示）を固定する。また、テーブル１
２は、不図示のテーブル位置設定手段によってスクリー
ン３との間の距離が設定される。吸引口位置設定手段５
とスキージ７の位置設定手段（不図示）はヘッド９に設
置されていることから、スキージ７の走査に伴って吸引
口４がスキージと連動して走査される。このようにスキ
ージと連動するように吸引口を配置させることによっ
て、安定にスクリーンに外力が付与され、スクリーンパ
ターンの全領域にわたって印刷パターンが精度良く転写
される。また、吸引口４は吸引口位置設定手段５によっ
てスクリーン３に対する角度および距離が任意に設定さ
れることから、適当な吸引速度を設定すれば、スキージ
７の走査においてスクリーンを吸着することなく版離れ
を達成することができる。また、吸引口先端に溝等を設
けるか、あるいは吸引口の先端に通気口を有する所定の
間隔を保つための部材（間隔調整部材）を設けることに
よって一定の外力をスクリーンに定常的に与えることが
可能となり、一層のパターン転写精度向上を望むことが
できる。
【００２９】図３および図４はそれぞれ、外力印加手段
に剛体を用い、それの機械的な力（抗力）により版離れ
を行う場合の印刷機の斜視図およびスキージ走査部近傍
の断面図である。これらの図において、１３は剛体から
なる引き離し用部材であり、１４は引き離し用部材保持
部材、１５は連結部材、１６は被印刷体である。引き離
し用部材１３は被印刷体１６とスクリーン３の間に差し
込まれる。この場合引き離し用部材１３によってスキー
ジ走査後の印刷パターンに損傷を与えず、且つスクリー
ン面を均一に引き離すために、引き離し用部材１３は走
査領域を挟んで２箇所に配置されるのが好ましい。この
ような引き離し用部材１３は、引き離し用部材保持部材
１４、連結部材１５によってスキージ７に連動して走査
しうるようにスキージと共にヘッドに一体化させてい
る。あるいは一体化させなくとも剛体走査用の駆動手段
を設け、スキージの走査と同じ速度で引き離し用部材を
移動させ、スキージ走査と連動させても良い。また剛体
はスクリーンを傷付けないように先瑞に曲率を付け、テ
フロンなどフッ素を含むポリマーにより被覆されたもの
を用い、被印刷体とほぼ平行な状態で配置させるのが良
い。
【００３０】図５に外力が磁石の場合の印刷機の主要部
断面図を示す。
【００３１】本図において、２７はスクリーン吸着用磁
石、２８はその磁石２７の支持部材、２９は磁石高さ設
定手段、７はスキージ、３０はスキージ支持部材、８は
スキージ高さ設定手段、９はヘッド、２は版枠、３はス
クリーン、１６は被印刷体、１２はテーブル、２０はイ
ンクである。磁石支持部材２８とスキージ支持部材３０
は共にヘッド９に固定されているため、スキージ７の走
査と一体となってスクリーン吸着用磁石を走査すること
ができる。このようにすることにより、スクリーンに一
定の外力を付与することができパターン転写精度が向上
する。スクリーン吸着用磁石２７はテーブル１２の面に
対する角度が任意に設定できるように、磁石支持部材２
８に取付けられている。さらにスクリーン吸着用磁石２
７は磁石高さ設定手段２９によってテーブル１２から任
意の高さに設定できる。このような構成によって、スク
リーン吸着用磁石２７はスキージに対して任意の角度・
距離を設定できることから、適当な磁力の磁石を選択す
れば、スキージ走査においてスクリーンの接触・密着を
起こすことなく版離れを行なうことができる。このとき
磁石を電磁石とすることにより任意の磁力を選択するあ
るいは磁力をゼロにすることが可能になり印刷操作性が
向上する。またスクリーン吸着用磁石２７はスキージの
幅（図５の紙面に対して垂直な方向の長さ）以上にする
ことによって、スキージで走査した領域全てを磁力で引
きつけることが可能である。スキージ７の押し込み量は
スキージ支持部材３０を通して、スキージ高さ設定手段
８によって任意に設定できる。なお、図５ではスキージ
は図の右から左の方向に走査されてパターンを形成す
る。
【００３２】以上、述ベてきたように外力を付与するこ
とにより離版性を向上させるようになるが、スクリーン
に用いるステンレス鋼などのメッシュを選択することに
よって更に向上させることが可能になる。メッシュサイ
ズが小さく、ワイヤ径の大きいものを用いるとインクが
良好にパターンを抜けなくなるため配線など形成する場
合に断線等が生じる。特に４０インチ以上の大面積の平
面型表示装置のマトリクス状に配置された高精細配線を
形成する場合に特に問題となる。このため用いるスクリ
ーンはメッシュサイズ、メッシュに用いているワイヤの
線径がそれぞれ３００メッシュ以上、線径２０μｍ以下
のものが好ましく、特に高精細なパターンのためには３
５０メッシュ以上、線径１６μｍ以下のステンレススク
リーンが好ましい。
【００３３】本発明の印刷方法について図６および図７
を用いて説明する。
【００３４】図６（ａ）および図６（ｂ）はいずれも、
スキージ走査時のスキージ付近の平面図であって、
（ａ）は加える外力が吸引力、機械的な力などの印刷パ
ターンに影勢を及ぼしうるものである場合、（ｂ）は外
力が磁力などインクに及ぼす影響が軽微あるいは皆無の
ものの場合である。図７は図６におけるＡ−Ｂ断面の模
式図である。
【００３５】図６および図７において、スキージは矢印
の方向に走査される。３はスクリーン、７はスキージ、
１６は被印刷体、２４は張力、２５は粘着力、１０４−
１および１０４−２はスキージ走査時にスクリーンと被
印刷体との間の粘着力を打ち消す方向の外力が加えられ
る外力印加部、１０５は従来のスクリーンの版離れの不
良な場合の版離れ不良部を模式的に示したものである。
２６は外力である。従来の版離れ不良部１０５はスキー
ジで走査した直後のスクリーン印刷部に発生する。これ
はスクリーンに働くインクによる粘着力２５がスクリー
ンの張力のスクリーン面に対して垂直な成分を上回るた
めである。外力印加部１０４−１および１０４−２の位
置は移動するスキージの後方であって、スキージに近接
する部分であるが、図６（ａ）に示したように外力が吸
引力、剛体などの機械的な力の場合、１０４−１はスキ
ージ走査領域あるいはスクリーンのパターン形成領域を
含んではならない。これに対して外力が磁力などの場
合、１０４−２はスキージ走査領域をカバーしているこ
とが好ましい。図６（ａ）の場合と図６（ｂ）の場合の
相違は、図６（ａ）の場合においては外力が吸引力など
のために、仮にスクリーンの印刷パターン形成領域にあ
った場合は、スキージ走査を行ない印刷を行なう際にイ
ンクが吸引されたり、掻き取られるなどしてしまいパタ
ーンが良好に転写できなくなるという点である。また図
６（ｂ）の場合は、外力が磁力などインクの転写にほと
んど影響を及ぼさないため、外力を加える領域を十分大
きくとることができる。
【００３６】この外力印加部はスキージ走査に伴いスク
リーン上を移動する。従って、図７に示すようにスキー
ジ走査に連動して移動し、そのスキージと外力印加部と
の距離が一定に保たれるため、粘着力２５を打ち消す方
向の外力２６が外力印加部１０４−１または１０４−２
に加えられ、スクリーンの張力のスクリーン面に対して
垂直な方向の成分を均一に補うことが可能となり、版離
れを良好にすると共に安定して均一なパターンを形成す
ることができる。
【００３７】本発明の印刷方法において、版離れを促進
する外力を加える外力印加手段としては、インクパター
ンやスクリーンを損傷させるなどの影響を与えるもので
なければいずれも採用可能である。また外力印加手段は
スクリーン面の被印刷体側、スキージ側のいずれの側に
配置しても良い。
【００３８】次にコンタクトスクリーン印刷法の発明に
ついて図を用いて述ベる。
【００３９】図８〜図１１に本発明のそれぞれのコンタ
クトスクリーン印刷機の例を示す。
【００４０】図８において、１は印刷機フレーム、２は
版枠、３は磁性材料で作られたスクリーンである。
【００４１】版枠２は印刷機フレーム１にある不図示の
版枠固定部に固定されている。７はスキージ、７４はス
キージ支持ヘッド、８はスキージ高さ設定手段である。
７１はスクリーンを吸着するための磁石板であって、そ
の大きさはスキージ走査領域よりも大きい。本発明の印
刷機に使用できる磁石板としてはスクリーンと被印刷体
を引き離す際にスクリーン面を吸着できるだけの磁力を
有し、スキージの走査領域をカバーするだけの大きさを
有するものであれば良く、永久磁石、電磁石を用いるこ
とができるが、前述したように磁力の調整等を考慮する
と電磁石の方が望ましい。７２は磁石支持ヘッド、７３
はスクリーン吸着手段である。このスクリーン吸着手段
７３により、磁石板７１とスクリーン３との高さ、角度
が設定される。１０は磁石板をスクリーン上方の所定の
位置に移動させるための磁石可動手段であるヘッドレー
ル、１１はヘッドレール固定部材であり、ヘッドレール
１０上を前記のスキージ支持ヘッド７４と磁石支持ヘッ
ド７２が移動できるようになっている。従ってこの図の
場合は、スキージ７、スキージ支持ヘッド７４、スキー
ジ高さ設定手段９、ヘッドレール１０およびヘッドレー
ル固定部材１１でスキージ走査手段が形成されている。
本発明のスクリーン印刷機で用いる磁石板移動手段とス
クリーン吸着手段は通常の機械精度で設置されれば十分
であり、例えば、スクリーン吸着手段は通常のスクリー
ン印刷機におけるスキージスクレッパーの位置設定手段
を適用することで十分である。この図のような構成で
は、磁石支持ヘッド７２とスキージ支持ヘッド７４はヘ
ッドレール１０上を図の矢印方向に走査させることがで
きるので、スキージ支持ヘッド７４を走査させることに
よってスキージ７をスクリーン３上に走査した後、磁石
支持ヘッド７２を走査し、磁石板７１をスクリーン３に
吸着する高さまで下降させることができる。このような
機構によってスクリーン３のスキージ７の走査領域上に
磁石板７１を吸着できる。１２はテーブル（印刷台）で
あり、被印刷体（不図示）を吸着する。この際、不図示
のテーブル位置設定手段によって、テーブル１２とスク
リーン３との間隔を設定することができる。このような
機構によって、磁石板と一体となったスクリーン３を被
印刷体より離すことができ、良好な版離れが可能とな
る。
【００４２】なお、本発明のスクリーン印刷機で使用さ
れる磁石板可動手段は図８に示したスキージの移動方向
と同じ方向に磁石板を移動させるものに限定されるもの
ではなく、スクリーン面に平行に移動するものであって
も、例えば図１１に示したようにスクリーン面に垂直な
軸（磁石板支持ヘッド支持部材）８５を磁石板可動手段
とし、それを中心軸として磁石板を回動させても良い。
【００４３】さらに前記のようにスクリーン面に平行に
移動するものに限らず、例えば図９に示したように磁石
板支持ヘッド支持部材８５を磁石板支持手段とし、それ
を介して磁石板をスクリーン面と垂直な方向に移動させ
る形態や、図１０に示したように蝶番型の磁石板支持ヘ
ッド支持部材８５を磁石板可動手段として、スクリーン
面に平行な軸を中心軸として磁石板を回動させる形態と
しても良い。
【００４４】次にこのような本発明のコンタクトスクリ
ーン印刷機を用いた印刷方法について説明する。
【００４５】スクリーンを被印刷体に密着させ、スクリ
ーン上にインクを設置し、そのスクリーン上をスキージ
走査手段によってスキージを走査させて、印刷パターン
を被印刷体に形成する。次に磁石板移動手段によって磁
石板をスクリーン上方に移動し、スクリーン吸着手段に
よって、スクリーンを磁石板に吸着した後、被印刷体と
磁石板に吸着されたスクリーンとを引き離す。このよう
にスキージ走査後にスクリーンを磁石板に吸着してから
被印刷体と引き離すことによって、スクリーンと被印刷
体の接触している面の少なくとも印刷パターンを含む領
域において版離れを均一に行なうことができ、従来のコ
ンタクトスクリーン印刷で問題となっている不均一な版
離れを防止して、形成パターンの周囲へのインクの飛び
散り、パターンの剥がれを回避することが可能となる。
特に基板上に配線を印刷して回路基板を形成する場合
に、断線、ショート等のパターン不良を回避することが
できる。
【００４６】次に本発明の印刷機による回路基板の作製
方法例として、表面伝導型電子放出素子を用いた電子源
基板および画像形成装置の作製方法を示す。
【００４７】表面伝導型電子放出素子の典型的な例を図
１２に示す。本図において２０１は基板、２０２および
２０３は電気的接続を得るための素子電極、２０４は導
電性簿膜、２０７は電子放出部である。表面伝導型電子
放出素子において前記一対の電極２０２・２０３の電極
間隔は数百オングストロームから数百μｍである。素子
電極長さは、電極抵抗値や電子放出特性から数μｍ〜数
百μｍであり、また素子電極２０２および２０３の膜厚
は数百オングストローム〜数μｍが好ましい。導電性薄
膜２０４は良好な電子放出特性を得るために微粒子で構
成された微粒子膜が好ましく、その膜厚は素子電極２０
２および２０３へのステップカバレージ、素子電極２０
２および２０３の抵抗値などにより設定されるが、好ま
しくは数オングストローム〜数千オングストロームであ
る。
【００４８】また導電性薄膜を構成する材料は、Ｐｄ、
Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｒｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆ
ｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｄなどの金属；ＰｄＯ、
ＳｎＯ2、Ｉｎ2Ｏ3、ＰｂＯ、Ｓｂ2Ｏ3などの酸化物；
ＨｆＢ2、ＺｒＢ2、ＬａＢ6、ＣｅＢ6、ＹＢ4、ＧｄＢ4
などの硼化物；ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、ＴａＣ、Ｓｉ
Ｃ、ＷＣなどの炭化物；ＴｉＮ、ＺｒＮ，ＨｆＮなどの
窒化物；Ｓｉ、Ｇｅなどの半導体；カーボンが挙げられ
る。なお、ここで述べる徴粒子とは複数の微粒子が集合
した膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分
散配置したのみならず、微粒子が互いに隣接あるいは重
なった状態（島状態を含む）の膜をさしており、微粒子
の粒径は数オングストローム〜数千オングストロームで
あり、好ましくは１０オングストローム〜２００オング
ストロームである。
【００４９】電子放出部２０７は、導電性薄膜２０４の
一部に形成された高抵抗の亀裂であり、通電フォーミン
グ等により形成される。また亀裂内には数オングストロ
ーム〜数百オングストロームの粒径の導電性微粒子を含
んでいる。また電子放出部２０７およびその近傍の導電
性薄膜は炭素あるいは炭素化合物を有することもある。
【００５０】この表面伝導型電子放出素子により実際に
電子放出を行うためには真空容器内に電子放出素子を配
置させる必要がある。得られた基板上に電子放出素子を
有する電子源基板に蛍光体、メタルバック等を有するフ
ェースプレートを対向配置させ、内部を真空にした表示
パネルを作製する。そして素子電極間に電圧を印加させ
ることによって発光表示を行うことが可能となる。更に
は複数の電子放出素子を配置させることによって画像表
示を行うことも可能である。
【００５１】
【実施例】
（実施例１）図１に示す本発明の印刷機を用いパターン
形成を行なった。スクリーンパターンは直線パターンの
組を複数並べたものを用い、その直線パターンの形状は
幅１００μｍ、３００μｍ、５００μｍ、長さ３０ｃｍ
の組が繰り返されており、ピッチ２０００μｍである。
スクリーンパターン全体の領域は２０ｃｍ×３０ｃｍで
ある。
【００５２】印刷はインク粘度４０万ｃｐｓの銀ペース
ト、スキージはポリウレタン製の硬度８０度の平スキー
ジ、スクリーン版はメッシュサイズ、メッシュに用いて
いるステンレスワイヤの線径がそれぞれ２３０メッシ
ュ、線径２５μｍ；３００メッシュ、線径２０μｍ；３
５０メッシュ、線径１６μｍのステンレスメッシュの３
種類のステンレススクリーン、被印刷体はソーダライム
ガラスを用いた。印刷条件はギャップを２ｍｍ、押し込
み量を２ｍｍ、スキージ速度を１００ｍｍ／ｓとした。
印刷後、６００℃で１０分間焼成を行なった。また吸引
は各吸引口において５０リットル／ｍｉｎの流速で吸引
口をスクリーンより約５ｍｍ離して行なった。この印刷
は版離れが良好であり、転写されたパターンを光顕で観
察したところ、パターン全体の領域で精度良くパターン
が転写され、良好な結果であった。吸引を行なわない状
態で同様に印刷を行なった場合（これを比較例とする）
はスクリーンパターン中央部で版離れの良くない現象が
観察された。結果を表１に示す。
【００５３】（実施例２）図１および図２に示すような
先端に通気孔がある吸引口を有する本発明の印刷機を用
いた。実施例１と同様にパターン形成を行なった。吸引
ロをスクリーン中のパターンが形成されていない領域に
密着させるような吸引条件を設定し、吸引口が密着され
た状態で印刷を行なった。この印刷では実施例１よりも
版離れの均一性が良好であった。転写されたパターンを
光顕で観察したところ、パターン全体の領域で精度良く
転写され、良好な結果であった。結果を表１に示す。
【００５４】（実施例３）図３に示すような剛体を有す
る本発明の印刷機を用いた。実施例１と同様にパターン
形成を行なった。剛体はアルミニウム板にテフロン（Du
Pont社製）をコートしたもので厚さ０．２ｍｍ、先端部
の曲率ｒが０．１ｍｍの形状のものを２本使用した。印
刷はスキージ走査時に引き離し部材（剛体）の先端がス
クリーンと接触する部位の後方１０ｍｍになるように固
定配置し、スキージの移動速度と引き離し部材（剛体）
の移動速度を等しくした。この印刷でも実施例１と同様
に版離れが良好であった。転写されたパターンを光顕で
観察したところ、パターン全体の領域で精度良く転写さ
れ、良好な結果であった。結果を表１に示す。
【００５５】（実施例４）図５に示すようなスキージ後
方に磁石が固定配置された本発明の印刷機を用いた。実
施例１と同様にパターン形成を行なった。磁石は８００
ガウスの永久磁石を用いた。この印刷においても実施例
１と同様に版離れが良好であった。転写されたパターン
を光顕で観察したところ、パターン全体の領域で精度良
く転写され、良好な結果であった。結果を表１に示す。
また永久磁石の代わりに電磁石を用い、電圧印加手段に
より磁力を調整しながら同じように印刷を行なったとこ
ろ、永久磁石と同様に良好な結果を得た。電磁石の場合
は磁力を微妙に調整することが可能であったので間隔調
整を簡単に行なうことができた。
【００５６】（実施例５）ステンレスメッシュの代わり
にナイロン製メッシュとした以外は実施例１〜実施例３
と同様な印刷を行なったところ、実施例１〜３と同様な
結果を得ることができた。
【００５７】（実施例６）実施例１から実施例５に用い
た印刷機を用い、それぞれの印刷機で電子源基板および
画像形成装置を作製した。
【００５８】これを図１３を用いて説明する。
【００５９】図中、２０１はソーダライムガラスからな
る基板であり、スパッタ法により金属薄膜成膜後、ホト
リソエッチング法により素子電極２０５および２０６を
形成した。材質は厚み５ｎｍのＴｉを下引き層とした厚
み１００ｎｍのＮｉ薄膜から成っている。なお、素子電
極間隔は２μｍ、素子電極２０５の長さは２００μｍ、
素子電極２０６は３００μｍに形成した（図１３
（ａ））。
【００６０】次に素子電極２０５を接続するように下配
線（行方向配線）２３６を銀ペーストを用いて印刷法に
より形成し、これを焼成（焼成温度５５０℃、ピーク保
持時間約ｌ５分）した。用いた銀ペーストは実施例１〜
５で用いたものと同じである。配線幅は１００μｍであ
り、配線厚さは約１０μｍであった（図１３（ｂ））。
【００６１】次にガラスを主成分とする絶縁膜２５０を
印刷後、焼成することによって形成した。これは下配線
（行方向配線）２３６に直交した帯状の絶縁層である
が、部分的に切り欠きを有しており、この切り欠き部を
介して上配線（列方向配線）と素子電極２０６と電気的
に接続する。絶縁膜のペースト材料はＰｂＯを主成分と
してガラスバインダーを混合したペーストである。焼成
温度は５５０℃、ピーク保持時間は１５分間である。こ
の絶縁膜形成工程は２回繰り返し行った（図１３
（ｃ））。
【００６２】次に上配線（列方向配線）２３５を絶縁層
２５０上に形成した。上配線は帯状のパターンであり、
素子電極２０６と電気的に接続されるように形成する。
上配線は下配線と同様に形成した。幅３００μｍ、厚さ
１０μｍである（図１３（ｄ））。
【００６３】続いて導電性薄膜（電子放出部を含む薄
膜）２０４は、有機金属溶液（ｃｃｐ４２３０；奥野製
薬社製）を塗布し、焼成を行ない、厚さ２０ｎｍのＰｄ
微粒子からなる薄膜を形成後、パターニングをホトリソ
グラフィにより行ない形成した。これらの工程中、上配
線、層間絶縁層、下配線の形成を実施例１〜５で用いた
印刷機により行なった。形成された電子源基板は上配線
１００本、下配線１００本が層間絶縁層を介しマトリク
ス状に配置され、表面伝導型電子放出素子を１００００
素子有するものである。
【００６４】この電子源基板に外枠、蛍光体等が形成さ
れているフェースプレート等を用いて特開平６−３４２
６３６号公報に開示された方法と同様な方法で組立、駆
動回路を付与し画像形成装置を作製した。その画像形成
装置で画像形成を行ったところ、良好な画像を得ること
ができた。
【００６５】（実施例７）図８を用いて本発明の印刷機
を用いたコンタクトスクリーン印刷について説明する。
【００６６】実施例１で用いたパターンが形成された２
３０メッシュのステンレススクリーンを用い、スキージ
もポリウレタン製の硬度８０度の平スキージ、銀ペース
トも４０万ｃｐｓのものを用いた。
【００６７】印刷条件はギャップ０ｍｍのコンタクト状
態、押し込み量を１ｍｍ、スキージ走査速度１００ｍｍ
／ｓとした。また使用した磁石は形状が板状であり、磁
力が５００ガウスの永久磁石を用いた。以上の条件でス
キージ走査を行なった後、スクリーンの走査領域をスク
リーン版吸着用磁石板で吸着した。その後、ステージを
０．１ｍｍ／ｓでゆっくり下降させたところ印刷体全面
で版離れが均一に行なわれた。転写されたパターンを光
顕で観察したところ、パターン全体の領域で精度良く転
写され、良好な結果であった。磁石を用いなかった場合
はやや版離れがスクリーン中央部で良好でなかった。ま
た永久磁石の代わりに電磁石を用いて同様に印刷を行な
った。スクリーンに電磁石を接近させる際に、電源を切
っておくことにより電磁石をスクリーンに容易に接近さ
せ、密着を行なうことが可能になる。
【００６８】（実施例８）図９に示すような印刷機を用
い、実施例７と同様に印刷を行なった。
【００６９】図中、８５は磁石板をスクリーン面に対し
て垂直に移動させるレールである磁石板支持ヘッド支持
部材である。実施例６と同様にスキージ走査後、磁石支
持ヘッド７２を支持部材８５に沿って不図示の駆動機構
により下降させ、磁石板７１をスクリーン３上に近接、
密着させた。磁石板７１を密着後、実施例７と同様に版
離れ操作を行なった。実施例７と同様に良好なパターン
転写が行なわれた。
【００７０】（実施例９）図１０に示すような印刷機を
用いた以外は実施例７と同様に印刷を行なった。図中、
８４は蝶番型の磁石板支持ヘッド支持部材であって、ス
クリーン面と平行な軸を中心として磁石板７１を回動さ
せてスクリーン面に平行な状態とするものである。磁石
板７１をスクリーン３上に密着後、実施例７と同様に版
離れ操作を行なった。実施例７と同様に良好なパターン
転写が行なわれた。
【００７１】（実施例１０）図１１に示すような印刷機
を用いた以外は実施例７と同様に印刷を行なった。図
中、８５はスクリーン面に対して垂直に立てられた軸で
ある磁石板支持ヘッド支持部材であって、それを中心軸
としてスクリーン面と平行な面で磁石板７１を回動させ
てスクリーン面上方に移動させ、スクリーン面に平行な
状態とするものである。磁石板７１をスクリーン３上に
密着後、実施例７と同様に版離れ操作を行なった。実施
例７と同様に良好なパターン転写が行なわれた。
【００７２】（実施例１１）実施例７〜１０に示すよう
な印刷機を用い、実施例６と同様に電子源基板、画像形
成装置を作製した。実施例６と同様に良好な電子源基
板、画像形成装置を作製することができた。
【００７３】
【表１】 ◎；非常に良好 ○；良好 △；普通
【００７４】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明により、極め
て高い離版性および印刷パターン転写精度でスクリーン
印刷を行うことができ、そのスクリーン印刷を利用し
て、断線、ショート等のパターン不良のない良好な画像
を形成する優れた画像形成装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の吸引付与による外力印加（引き離し）
手段を有するスクリーン印刷機の模式図である。
【図２】吸引付与手段を有するスクリーン印刷機の吸引
付与による外力印加（引き離し）手段に接続している吸
引口の側面図である。
【図３】本発明の剛体による外力印加（引き離し）手段
を有するスクリーン印刷機の模式図である。
【図４】剛体による外力印加（引き離し）手段を有する
スクリーン印刷機のスキージ走査部付近の断面図であ
る。
【図５】スキージ後方に配置した磁石による外力印加
（引き離し）手段を有するスクリーン印刷機の断面図で
ある。
【図６】本発明の印刷機を用いた印刷方法の外力を付与
する部位を示す模式的平面図である。
【図７】図６（ｂ）のＡ−Ｂ断面図である。
【図８】磁石可動手段としてスクリーン面内に平行に移
動できるレールを有するコンタクトスクリーン印刷が可
能なスクリーン印刷機の模式図である。
【図９】磁石可動手段としてスクリーン面内に垂直に移
動できる軸を有するコンタクトスクリーン印刷が可能な
スクリーン印刷機の模式図である。
【図１０】磁石可動手段としてスクリーン面内に垂直に
移動できる軸を有するコンタクトスクリーン印刷が可能
なスクリーン印刷機の別の例の模式図である。
【図１１】磁石可動手段としてスクリーン面内に垂直な
軸を中心として磁石板を回動させる手段を有するコンタ
クトスクリーン印刷が可能なスクリーン印刷機の模式図
である。
【図１２】（ａ）は表面伝導型電子放出素子の平面図、
（ｂ）は断面図である。
【図１３】電子源基板に用いた表面伝導型電子放出素子
およびマトリクス状に形成された配線を示す平面図およ
びその電子源基板を製造する工程を示す模式図である。
【図１４】従来のスクリーン印刷のスキージ走査を示す
模式的斜視図である。
【図１５】従来のスクリーン印刷機の模式的断面図であ
る。
【図１６】従来のスクリーン印刷のスキージ走査時のス
キージ押圧部分を示す模式的断面図である。
【図１７】スクリーン印刷の原理を示す模式図である。
【符号の説明】
１ 印刷機フレーム ２ 版枠 ３ スクリーン ４ 吸引口 ５ 吸引口位置設定手段 ６ 排気管 ７ スキージ ８ スキージ高さ設定手段 ９ ヘッド １０ ヘッドレール １１ ヘッドレール固定部材 １２ テーブル １３ 引き離し用部材 １４ 引き離し用部材保持部材 １５ 連結部材 １６ 被印刷体 １７ スクリーン押圧部 １８ 版パターン １９ インクパターン ２０ インク ２２ 粘着力 ２３ ギャップ ２４ 張力 ２５ 粘着力 ２６ 外力 ２７ スクリーン吸着用磁石 ２８ 磁石支持部材 ２９ 磁石高さ設定手段 ３０ スキージ支持部材 ７１ 磁石板 ７２ 磁石支持ヘッド ７３ スクリーン吸着手段 ７４ スキージ支持ヘッド ８４ 蝶番型磁石板支持ヘッド支持部材 ８５ 磁石板支持ヘッド支持部材 ９０ 版離れ部 １０４−１、１０４−２ 外力印加部 １０５ 版離れ不良部 ２０１ 基板 ２０２、２０３ 素子電極 ２０４ 導電性簿膜 ２０５、２０６ 素子電極 ２０７ 電子放出部 ２３５ 上配線 ２３６ 下配線 ２５０ 絶縁膜
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41F 15/00 - 15/44 B41M 3/12

Claims (24)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被印刷体を設置するための印刷台、スク
    リーン、スキージを有し、前記印刷台上に設置される被
    印刷体上に前記スクリーンを介して前記スキージを配
    し、該スキージをインクと接した状態で移動させて前記
    被印刷体上に前記スクリーンに設けられたパターンに依
    存してインクパターンを形成するスクリーン印刷機にお
    いて、前記スクリーンに対して移動可能で、かつ前記ス
    クリーンと前記被印刷体との間のインクによる粘着力を
    打ち消す方向に外力を加え得る外力印加手段として吸引
    付与手段に接続された吸引口を備え、該吸引口が前記ス
    クリーンのパターン領域外に配置されることを特徴とす
    るスクリーン印刷機。
  2. 【請求項２】 被印刷体を設置するための印刷台、スク
    リーン、スキージを有し、前記印刷台上に設置される被
    印刷体上に前記スクリーンを介して前記スキージを配
    し、該スキージをインクと接した状態で移動させて前記
    被印刷体上に前記スクリーンに設けられたパターンに依
    存してインクパターンを形成するスクリーン印刷機にお
    いて、前記スクリーンに対して移動可能で、かつ前記ス
    クリーンと前記被印刷体との間のインクによる粘着力を
    打ち消す方向に外力を加え得る外力印加手段として磁石
    を備え、前記スクリーンが磁性材からなることを特徴と
    するスクリーン印刷機。
  3. 【請求項３】 被印刷体を設置するための印刷台、スク
    リーン、スキージを有し、前記印刷台上に設置される被
    印刷体上に前記スクリーンを介して前記スキージを配
    し、該スキージをインクと接した状態で移動させて前記
    被印刷体上に前記スクリーンに設けられたパターンに依
    存してインクパターンを形成するスクリーン印刷機にお
    いて、前記スクリーンに対して移動可能で、かつ前記ス
    クリーンと前記被印刷体との間のインクによる粘着力を
    打ち消す方向に外力を加え得る外力印加手段として２つ
    の剛体を備え、該２つの剛体は、前記スクリーンのパタ
    ーン領域外かつ前記スキージによる走査領域を挟む２箇
    所で前記スクリーンと前記被印刷体との間に挿入される
    ように配置されることを特徴とするスクリーン印刷機。
  4. 【請求項４】 前記外力印加手段は、前記スキージに連
    動して移動可能な請求項１乃至３いずれかに記載のスク
    リーン印刷機。
  5. 【請求項５】 前記外力印加手段は、前記スクリーン面
    と実質的に平行に移動可能な請求項１乃至３いずれかに
    記載のスクリーン印刷機。
  6. 【請求項６】 前記外力印加手段は、前記スクリーン面
    に実質的に垂直な方向に移動可能な請求項２記載のスク
    リーン印刷機。
  7. 【請求項７】 前記外力印加手段は、前記スクリーン面
    に実質的に垂直な軸を中心として回転可能な請求項２記
    載のスクリーン印刷機。
  8. 【請求項８】 前記外力印加手段は、蝶番を用いて回転
    可能な請求項２記載のスクリーン印刷機。
  9. 【請求項９】 前記スクリーンのメッシュサイズが３０
    ０メッシュ以上で、メッシュに用いるワイヤの線径が２
    ０μｍ以下である請求項１乃至３いずれかに記載のスク
    リーン印刷機。
  10. 【請求項１０】 前記スクリーンのメッシュサイズが３
    ５０メッシュ以上で、メッシュに用いるワイヤの線径が
    １６μｍ以下である請求項１乃至３いずれかに記載のス
    クリーン印刷機。
  11. 【請求項１１】 前記吸引口の先端に溝を有する請求項
    １記載のスクリーン印刷機。
  12. 【請求項１２】 前記磁石の面積が前記スキージの走査
    範囲よりも大きい請求項２記載のスクリーン印刷機。
  13. 【請求項１３】 前記磁石が電磁石である請求項２記載
    のスクリーン印刷機。
  14. 【請求項１４】 被印刷体上にスクリーンを介してスキ
    ージを配し、該スキージをインクと接した状態で移動さ
    せて前記被印刷体上に前記スクリーンに設けられたパタ
    ーンに依存してインクパターンを形成するスクリーン印
    刷方法において、前記スキージを移動させて前記インク
    パターンを形成する工程、および前記スクリーンに対し
    て移動可能な位置に設けられた吸引口により前記スクリ
    ーンのパターン領域外を吸引し、前記スクリーンを前記
    被印刷体から離す外力を加える工程を有することを特徴
    とするスクリーン印刷方法。
  15. 【請求項１５】 被印刷体上にスクリーンを介してスキ
    ージを配し、該スキージをインクと接した状態で移動さ
    せて前記被印刷体上に前記スクリーンに設けられたパタ
    ーンに依存してインクパターンを形成するスクリーン印
    刷方法において、前記スキージを移動させて前記インク
    パターンを形成する工程、および前記スクリーンに対し
    て移動可能な位置に設けられた磁石により磁性材からな
    る前記スクリーンを前記被印刷体から離す外力を加える
    工程を有することを特徴とするスクリーン印刷方法。
  16. 【請求項１６】 被印刷体上にスクリーンを介してスキ
    ージを配し、該スキージをインクと接した状態で移動さ
    せて前記被印刷体上に前記スクリーンに設けられたパタ
    ーンに依存してインクパターンを形成するスクリーン印
    刷方法において、前記スキージを移動させて前記インク
    パターンを形成する工程、および前記スクリーンに対し
    て移動可能な位置に設けられた外力印加手段である２つ
    の剛体を前記スクリーンのパターン領域外かつ前記スキ
    ージによる走査領域を挟む２箇所で前記スクリーンと前
    記被印刷体との間に挿入されるように配置して前記スク
    リーンを前記被印刷体から離す外力を加える工程を有す
    ることを特徴とするスクリーン印刷方法。
  17. 【請求項１７】 前記インクパターンを形成する工程と
    前記外力を加える工程を同時に行う請求項１４乃至１６
    いずれかに記載のスクリーン印刷方法。
  18. 【請求項１８】 前記インクパターンを形成する工程の
    後に前記外力を加える工程を行う請求項１４乃至１６い
    ずれかに記載のスクリーン印刷方法。
  19. 【請求項１９】 前記スクリーンに対して移動可能な位
    置は、前記スキージに連動して移動可能な位置である請
    求項１４乃至１６いずれかに記載のスクリーン印刷方
    法。
  20. 【請求項２０】 前記インクパターンが回路パターンの
    一部である請求項１４乃至１６いずれかに記載のスクリ
    ーン印刷方法。
  21. 【請求項２１】 前記回路が配線を含む回路パターンで
    ある請求項２０記載のスクリーン印刷方法。
  22. 【請求項２２】 請求項２０の印刷方法の工程を含む電
    子源基板の製造方法。
  23. 【請求項２３】 請求項２０の印刷方法の工程を含む画
    像形成装置の製造方法。
  24. 【請求項２４】 請求項２３記載の方法を用いて形成さ
    れた画像形成装置。
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