JP3287648B2 - 相変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方法及び相変化型情報記録ドライブ装置 - Google Patents

相変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方法及び相変化型情報記録ドライブ装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光メモリ関連機器等の
分野で利用されるものであって、情報記録媒体に光ビー
ムを照射することにより記録層材料に相変化を生じさせ
て、情報の記録、再生を行い、かつ、書換えが可能な相
変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方法及び相変
化型情報記録ドライブ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電磁波、特にレーザビームの照射による
情報の記録、再生及び消去可能な光メモリ媒体の一つと
して、結晶‐非結晶相間、或いは、結晶‐結晶相間の転
移を利用するようにした、所謂、相変化型情報記録媒体
がよく知られている。この相変化型情報記録媒体によれ
ば、特に光磁気メモリでは困難な単一ビームによるオー
バライトが可能であり、ドライブ側の光学系構成もより
単純である、等の理由から、最近、その研究開発が活発
化している。
【0003】このような相変化型情報記録媒体の代表例
として、例えば、米国特許第3,530,441号明細
書に示されるように、Ge‐Te,Ge‐Te‐Sn,
Ge‐Te‐S,Ge‐Se‐S,Ge‐Se‐Sb,
Ge‐As‐Se,In‐Te,Se‐Te,Se‐A
s等の、所謂、カルコゲン系合金材料が挙げられる。ま
た、安定性、高速結晶化などの向上を目的として、Ge
‐Te系に、Auを添加したもの(特開昭61−219
692号公報参照)、Sn及びAuを添加したもの(特
開昭61−270190号公報参照)、Pdを添加した
もの(特開昭62−19490号公報参照)に関する提
案がなされている。さらには、記録/消去の繰返し性能
向上を目的としてGe‐Te‐Se‐Sb,Ge‐Te
‐Sbの組成比を特定した材料に関しては、特開昭62
−73438号公報により提案されている。
【0004】ところが、これらの何れのものも、相変化
型情報記録媒体として要求される諸特性の全てを満足し
得るものとは言えず、特に、オーバライト時の消し残り
による消去比低下の防止、並びに、繰返し記録回数の向
上が、解決すべき最重要課題となっている。
【0005】一方、特開昭63−251290号公報に
よれば、結晶状態が実質的に3元以上の多元化合物単層
からなる記録層を具備した相変化型情報記録媒体が提案
されている。ここに、実質的に3元以上の多元化合物層
とは、3元以上の化学量論組成を持った化合物(例え
ば、In3SbTe2など)を記録層中に90原子%以上
含むものとされている。このような記録層を用いること
により、記録、消去特性の向上を図れるものとなる。反
面、消去比が低いといった欠点を有している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】これらの事情から、消
去比が高く、かつ、繰返し記録特性に優れた相変化型情
報記録媒体の開発が望まれている。
【0007】このため、記録層材料に適した保護層材料
の開発が進められ、ZnSSiO2,Al23,Ta2
5,SiN,AlNなどの材料が用いられている。しか
し、これらの材料の組合せによっても、光メモリ媒体と
して要求される諸特性の全てを満足し得るものは得られ
ていない現状にある。
【0008】また、一般に、光磁気メモリでは、消去→
記録→ベリファイという3つの動作(ディスクであれ
ば、3回転)が必要であり、ハードディスクに代表され
る磁気ディスクの記録→ベリファイという2つの動作
(通常は、2回転であるが、1回転で可能なものもあ
る)と比較して書込み速度の点で明かに劣っているもの
であるが、相変化型情報記録媒体においても、記録→ベ
リファイという2つの動作(ディスクであれば、2回
転)が必ず必要であり、書込み時間の短縮に大きな障害
を来たしている。具体的には、磁気ディスクの場合に比
較してデータの書込み時に2〜3倍の時間がかかり、デ
ータ転送時間の面で使い勝手が悪いものとなっている。
【0009】
【課題を解決するための手段】基本的には、相変化型情
報記録媒体に対する記録パルスの照射に、照射とほぼ
同時にその反射光強度が変化することを反射光により検
出して前記相変化型情報記録媒体に対する記録が正常に
行なわれたことを確認するようにした。
【0010】この場合、相変化型情報記録媒体として、
電磁波の照射時に生ずる記録層の光学定数の変化を情報
記録に用いるものや、基板上にAg,In,Sb,Te
からなる記録層と保護層と反射放熱層とを有するもの
や、基板上にAg,In,Sb,Teからなる記録層と
保護層と反射放熱層とを有し、前記記録層の安定状態に
おける組成及び化学構造が主として、 (AgSbTe(2+σ/Δ(InSb1−x ただし、0.4≦x≦0.55 0.5≦z≦2.5 −0.15≦σ≦0.1 Δ=(1−σ)x/{1+3x+z(1−x)} で表されるものを用いるようにした。
【0011】また、基板上にAg,In,Sb,Teか
らなる記録層と保護層と反射放熱層とを有する相変化型
情報記録媒体や、電磁波の照射時に生ずる記録層の光学
定数の変化を情報記録に用いる相変化型情報記録媒体
や、基板上にAg,In,Sb,Teからなる記録層と
保護層と反射放熱層とを有し、前記記録層の安定状態に
おける組成及び化学構造が主として、上式で表される相
変化型情報記録媒体に対する記録パルスの照射中に、
記記録層の反射光強度が変化することを反射光により検
出して前記相変化型情報記録媒体に対する記録が正常に
行なわれたことを確認するようにした。
【0012】或いは、電磁波の照射時に生ずる記録層の
光学定数の変化を情報記録に用いる相変化型情報記録媒
体や、基板上にAg,In,Sb,Teからなる記録層
と保護層と反射放熱層とを有する相変化型情報記録媒体
や、基板上にAg,In,Sb,Teからなる記録層と
保護層と反射放熱層とを有し、前記記録層の安定状態に
おける組成及び化学構造が主として、上式で表される相
変化型情報記録媒体に対してマルチパルス列方式の記録
パルス列を照射し、この記録パルス列の照射にその反
射光強度が変化することを各記録パルスのピークレベル
照射間のバイアスレベル照射時の反射光により検出して
前記相変化型情報記録媒体に対する記録が正常に行なわ
れたことを確認するようにした。
【0013】これらの場合、反射光強度の変化を、相変
化型情報記録媒体から得られるRF和信号のレベル変化
により検出するようにし、或いは、予め記録前後の反射
率変化の度合い情報を相変化型情報記録媒体の特定領域
に記録しておき、この度合い情報を参照して前記相変化
型情報記録媒体から得られるRF和信号のレベル変化に
より検出するようにし、又は、予め記録前後の反射率変
化の度合いを相変化型情報記録媒体のテスト領域で検出
し、この検出情報を参照して前記相変化型情報記録媒体
から得られるRF和信号のレベル変化により検出するよ
うにした。
【0014】さらに、これらの場合において、照射する
記録パルスのパルス列を、シングルパルス列によるも
の、又は、マルチパルス列によるものとした。
【0015】本発明によれば、基本的に相変化型情報記
録媒体の記録層は電磁波の照射時に光学定数が変化する
特性を持つため、照射とほぼ同時に反射光強度が変化す
ることを反射光によって検出することにより、記録と同
時的なベリファイが可能となり、ベリファイ動作を伴っ
ても記録時の速度の遅さが改善されることになる。例え
ば、相変化型情報記録媒体からのRF和信号の出力レベ
ルに注目した場合、未記録部では結晶状態にあり記録部
ではアモルファス状態にあり、両者の反射率が異なるた
め、このレベルが変化することになるが、このような反
射率の変化が記録パルス照射中若しくは照射終了後、極
く短時間で生ずるため、記録パルス照射の反射光の光
強度を検出することにより、記録即ベリファイが可能と
なる。
【0016】
【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。まず、本実施例で用いられる相変化型情報記録媒体
1は、図1に示すように、基板2上に下部耐熱性保護層
3、記録層4、上部耐熱性保護層5及び反射放熱層6を
積層形成した構造とされている。ここに、耐熱性保護層
3,5は必ずしも記録層4の両側に設ける必要はない
が、基板2がポリカーボネイト樹脂のように耐熱性が低
い材料による場合には少なくとも下部耐熱性保護層3を
設けるようにするのがよい。
【0017】ところで、前記記録層4は電磁波の照射時
に光学定数の変化を生ずるものであり、好ましくは相変
化型材料、特に好ましくはその媒体構成元素としてA
g,In,Sb,Teを含むものである。より好適に
は、安定状態におけるこれらの組成及び化学構造が主と
して、 (AgSbTe(2+σ/Δ(InSb1−x ただし、0.4≦x≦0.55 0.5≦z≦2.5 −0.15≦σ≦0.1 Δ=(1−σ)x/{1+3x+z(1−x)} で表されるものがよい。さらには、未記録部及び消去時
に化学量論組成又はそれに近いAgSbTe 微結晶
が存在することが好ましい。
【0018】このような記録層4は、各種気相成長法
(CVD法)、例えば、真空蒸着法、スパッタリング
法、プラズマCVD法、光CVD法、イオンプレーティ
ング法、電子ビーム蒸着法などによって形成される。気
相成長法以外に、例えばゾルゲル法のような湿式プロセ
ス法も可能である。また、記録層4の膜厚としては10
0〜10000Å、好適には200〜2000Åとする
のがよい。これは、100Åより薄いと光吸収性能が著
しく低下し記録層としての役割を果たさなくなり、ま
た、10000Åより厚いと高速で均一な相変化が起こ
りにくくなるからである。
【0019】また、記録層4と反射放熱層6との間に設
けられる上部耐熱性保護層5としては、SiO2 ,Si
O,ZnO,Al23などの酸化物、Si34,Al
N,BNなどの硫化物、或いは、これらの混合物が適し
ている。特に、AlN,BN,SiCなどのように熱伝
導率が1W/cm・k以上のものが好適である。これ
は、急冷を可能とすれば記録層4の状態変化を早め得る
からである。このような上部耐熱性保護層5は各種気相
成長法、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、プラ
ズマCVD法、光CVD法、イオンプレーティング法、
電子ビーム蒸着法などによって形成すればよい。上部耐
熱性保護層5の膜厚としては、100〜5000Å、好
適には200〜2000Åとするのがよい。これは、1
00Åよりも薄くなると耐熱性保護層としての機能を果
たさなくなり、逆に、5000Åよりも厚くなると感度
の低下を来たしたり、界面剥離を生じやすくなるからで
ある。また、必要に応じて多層化構成としてもよい。
【0020】次に、反射放熱層6としては、Al,A
g,Auなどの金属材料、又は、これらの材料の合金な
どを用いて形成すればよい。反射放熱層6は必ずしも必
要ではないが、過剰な熱を放熱することでディスク(基
板2側)への熱負担を軽減するためには設けたほうがよ
い。このような反射放熱層6は各種気相成長法、例え
ば、真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマCVD
法、光CVD法、イオンプレーティング法、電子ビーム
蒸着法などによって形成すればよい。反射放熱層6の膜
厚としては、100〜3000Å、好適には500〜2
000Åとするのがよい。これは、100Åよりも薄く
なると反射放熱層としての機能を果たさなくなり、逆
に、2000Åよりも厚くなると感度の低下を来たした
り、界面剥離を生じやすくなるからである。
【0021】さらに、基板2の材料としては、通常のガ
ラス、セラミックス、或いは樹脂を用い得るが、成形
性、コスト面を考えると樹脂基板とするのがよい。この
ような樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、アクリル
樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリロニト
リル‐スチレン共重合体樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリ
プロピレン樹脂、シリコン系樹脂、フッ素系樹脂、AB
S樹脂、ウレタン樹脂などを挙げることができる。これ
らの中で、加工性、光学特性等を考慮すると、ポリカー
ボネート樹脂やアクリル樹脂が好ましい。また、基板2
の形状としては、ディスク状、カード状或いはシート状
等の何れであってもよい。
【0022】一方、このような相変化型情報記録媒体1
に対する記録、再生及び消去に用いる電磁波としては、
レーザ光、電子線、X線、紫外線、可視光線、赤外線、
マイクロ波どの種々のものを用い得るが、ドライブ装置
への取付けを考慮した場合、小型でコンパクトな半導体
レーザが最適といえる。
【0023】さらに、このような相変化型情報記録媒体
1の初期化方法としては、Arレーザや半導体レーザに
よるレーザ光照射法がある。Arレーザの場合、そのパ
ワーは300mW〜2Wの範囲で、ディスクの線速は
1.2〜10m/sの範囲、レーザの送り速度は1〜2
0um/回転の範囲がよい。半導体レーザの場合、その
パワーは5〜20mWの範囲、ディスクの線速は1.2
〜10m/sの範囲がよい。
【0024】このような相変化型情報記録媒体1に対し
て本実施例のドライブ装置は、例えば図2に示すように
構成される。このドライブ装置は、概略的には光ピック
アップ11と信号処理系12とピックアップ制御系13
とにより構成されている。まず、光ピックアップ11
は、半導体レーザ14と、この半導体レーザ14から出
射されたレーザ光を平行光束化するカップリングレンズ
15と、光束分離用のビームスプリッタ16と、1/4
波長板17と、対物レンズ18と、相変化型情報記録媒
体1からの反射光を対物レンズ18、1/4波長板17
及びビームスプリッタ16による反射を経て受ける集光
レンズ19と、この集光レンズ19からの光束をナイフ
エッジプリズム20を介して受ける2分割受光素子21
及び受光素子22とにより構成されている周知構成のも
のである。ここに、前記対物レンズ18はトラッキング
用/フォーカス用のアクチュエータ23により変位駆動
し得るものである。
【0025】信号処理系12としては、まず、記録信号
に基づき変調回路24を変調駆動しレーザ駆動回路25
を介して前記半導体レーザ14を駆動するための駆動系
が設けられている。また、前記2分割受光素子21の両
方の受光素子から得られる信号(RF信号)の和をとる
演算器26が設けられ、この演算器26からのRF和信
号が復調回路27を介して再生信号として取込まれるよ
うに構成されている。さらに、前記2分割受光素子21
の両方の受光素子間の信号の差をとる演算器28が設け
られ、この演算器28からの差信号がフォーカスエラー
信号として得られることになる。同様に、前記受光素子
22の受光素子間の信号の差をとる演算器29が設けら
れ、この演算器29からの差信号がトラッキングエラー
信号として得られることになる。
【0026】ピックアップ制御系13としては、まず、
前記演算器28から得られたフォーカスエラー信号に基
づき前記アクチュエータ23中のフォーカス用のものを
変位駆動させてフォーカシングを行うフォーカシング駆
動回路(Fo)30が設けられている。また、前記演算
器29から得られたトラッキングエラー信号に基づき前
記アクチュエータ23中のトラッキング用のものを変位
駆動させてトラッキングを行うトラッキング駆動回路
(Tr)31が設けられている。
【0027】このような基本構成に加え、本実施例で
は、前記演算器26から得られるRF和信号を所定の基
準電圧と比較することにより、RF和信号におけるレベ
ル変化を検出する比較回路32が設けられ、この比較回
路32から記録同時ベリファイに基づく記録状態判定信
号が得られるように構成されている。
【0028】このような構成において、いま、本実施例
の具体例について説明する。まず、ピッチ約1.6μ
m、深さ約700Åの溝付きで厚さ1.2mm、直径1
20mmのポリカーボネート基板(基板2)上にRFス
パッタリング法によりZnSSiO2 保護層(下部耐熱
性保護層3)を2000Å、Ag‐In‐Sb‐Te記
録層(組成比はAg:In:Sb:Te=12:13:
51:24)(記録層4)を200Å、AlN保護層
(上部耐熱性保護層5)を300Å、Ag反射層(反射
放熱層6)を700Åずつ、順次積層して光ディスク
(相変化型情報記録媒体1)を作製した。光ディスクの
初期化は、半導体レーザのレーザ光照射により行った
(レーザパワーは10mW、線速は1.3m/sとし
た)。
【0029】このように作製した光ディスクに対してレ
ーザ光による記録パルス照射によりEFM信号を記録し
た。この場合、照射する記録パルスのパルス列として
は、図3(a)に示すような1パルス方式(シングルパ
ルス方式)とした。この時、RF和信号の出力レベルが
未記録部と記録部とで変化することになる。これは、一
般的に相変化記録においては、未記録部が結晶状態にあ
るのに対して記録部ではアモルファス状態となり、結晶
状態とアモルファス状態とでその反射率が異なり、記録
することによって記録層の反射率が変化するためであ
る。このような反射率の変化は、記録パルス照射終了
後、極、短時間で起こる。よって、上記のように作製し
た光ディスクにおいて、記録パルス照射終了後に、この
光ディスクから得られる反射光強度(RF和信号に相
当)を検出し、この反射光強度のレベルが、予め設定さ
れている未記録部の反射光強度レベル(基準電圧に相
当)より低くなれば、正常に記録が行われたことを即座
に確認できることになる(ベリファイ動作)。
【0030】また、上記具体例において、照射する記録
パルスのパルス列としては、1パルス方式のものに限ら
ず、例えば図3(b)に示すようなマルチパルス列方式
のものとしてもよい。このマルチパルス列方式は、ピー
クレベルPbとバイアスレベルPbとの間でレーザパワ
ーを単位周期毎に変化させる2段階方式のものであり、
記録直後の検出動作として各記録パルスのピークレベル
Pbの照射間に位置することになるバイアスレベルPb
の照射時の反射光のレベル変化を上述したように比較回
路32を通して検出するようにすれば、正常に記録が行
われたかを確認できるものとなる。
【0031】なお、相変化型情報記録媒体1からの記録
直後の反射光のレベル変化を検出する方法として、RF
和信号を基準電圧と比較するようにしたが、予め記録前
後の反射率変化の度合い情報を相変化型情報記録媒体1
の特定領域に記録しておき、この度合い情報を参照して
レベル変化を検出し、正常に書込みが行われたことを確
認するようにしてもよい。又は、予め記録前後の反射率
変化の度合いを相変化型情報記録媒体1のテスト領域で
検出するようにし、この検出情報を参照してレベル変化
を検出し、正常に書込みが行われたことを確認するよう
にしてもよい。
【0032】
【発明の効果】本発明は、上述したように、相変化型情
報記録媒体に対する記録パルス列中のピークレベル照射
終了直後の反射率変化中のバイアスレベル照射時に前記
情報記録媒体で反射した前記記録パルス列の反射率の変
化を検出して前記相変化型情報記録媒体に対する記録が
正常に行なわれたことを確認するようにしたことを基本
とし、相変化型情報記録媒体として、電磁波の照射時に
生ずる記録層の光学定数の変化を情報記録に用いるもの
や、基板上にAg,In,Sb,Teからなる記録層と
保護層と反射放熱層とを有するものや、基板上にAg,
In,Sb,Teからなる記録層と保護層と反射放熱層
とを有し、前記記録層の安定状態における組成及び化学
構造が主として、 (AgSbTe(2+σ/Δ))(InSb1−x ただし、0.4≦x≦0.55 0.5≦z≦2.5 −0.15≦σ≦0.1 Δ=(1−σ)x/{1+3x+z(1−x)} で表されるものを用いるようにし、或いは、基板上にA
g,In,Sb,Teからなる記録層と保護層と反射放
熱層とを有する相変化型情報記録媒体や、電磁波の照射
時に生ずる記録層の光学定数の変化を情報記録に用いる
相変化型情報記録媒体や、基板上にAg,In,Sb,
Teからなる記録層と保護層と反射放熱層とを有し、前
記記録層の安定状態における組成及び化学構造が主とし
て、上式で表される相変化型情報記録媒体に対する記録
パルス列中のピークレベル照射終了直後の反射率変化中
のバイアスレベル照射時に前記情報記録媒体で反射した
前記記録パルス列の反射率の変化を検出して前記相変化
型情報記録媒体に対する記録が正常に行なわれたことを
確認するようにし、又は、電磁波の照射時に生ずる記録
層の光学定数の変化を情報記録に用いる相変化型情報記
録媒体や、基板上にAg,In,Sb,Teからなる記
録層と保護層と反射放熱層とを有する相変化型情報記録
媒体や、基板上にAg,In,Sb,Teからなる記録
層と保護層と反射放熱層とを有し、前記記録層の安定状
態における組成及び化学構造が主として、上式で表され
る相変化型情報記録媒体に対してマルチパルス列方式の
記録パルス列を照射し、この記録パルス列の照射とほぼ
同時にその反射が変化することを各記録パルスのピー
クレベル照射間のバイアスレベル照射終了直後の反射光
により検出して前記相変化型情報記録媒体に対する記録
が正常に行なわれたことを確認するようにし、さらに、
具体的には、反射の変化を、相変化型情報記録媒体か
ら得られるRF和信号のレベル変化により検出するよう
にし、或いは、予め記録前後の反射率変化の度合い情報
を相変化型情報記録媒体の特定領域に記録しておき、こ
の度合い情報を参照して前記相変化型情報記録媒体から
得られるRF和信号のレベル変化により検出するように
し、又は、予め記録前後の反射率変化の度合いを相変化
型情報記録媒体のテスト領域で検出し、この検出情報を
参照して前記相変化型情報記録媒体から得られるRF和
信号のレベル変化により検出するようにし、さらに、こ
れらの場合において、照射する記録パルスのパルス列
を、シングルパルス列によるもの、又は、マルチパルス
列によるものとしたので、基本的に相変化型情報記録媒
体の記録層は電磁波の照射時に光学定数が変化する特性
を持つため、照射中に反射が変化することを反射光に
よって検出することにより、記録と同時的なベリファイ
を行うことができ、よって、ベリファイ動作を伴っても
記録時の速度の遅さを改善できるものとなり、具体的に
は、相変化型情報記録媒体からのRF和信号の出力レベ
ルに注目した場合、未記録部では結晶状態にあり記録部
ではアモルファス状態にあり、両者の反射率が異なるた
め、このレベルが変化することになるが、このような反
射率の変化が記録パルス照射終了後、極く短時間で生ず
るため、記録パルス照射中の反射光の光強度を検出する
ことにより、記録即ベリファイを行うことができるもの
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す相変化型情報記録媒体
の模式的構造図である。
【図2】ドライブ装置を示すブロック構成図である。
【図3】記録パルス方式を示すタイミングチャートであ
る。
【符号の説明】
1 相変化型情報記録媒体 2 基板 3 保護層 4 記録層 5 保護層 6 反射放熱層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 影山 喜之 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (72)発明者 出口 浩司 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (72)発明者 山田 勝幸 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (72)発明者 高橋 正悦 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (72)発明者 岩崎 博子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (56)参考文献 特開 平4−10237(JP,A) 特開 平3−9880(JP,A) 特開 平4−78031(JP,A) 特開 平5−62193(JP,A) 特開 平2−5222(JP,A) 特開 平2−185714(JP,A) 特開 昭63−253537(JP,A) 特表 平3−502384(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/00 - 7/013 G11B 7/24 B41M 5/26

Claims (19)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ピックアップとピックアップ制御系と
    信号処理系とから構成され、前記光ピックアップから情
    報記録媒体にピークレベルを有する記録パルスを照射し
    前記情報記録媒体上に記録部を形成する手段を有し、前
    記記録部と未記録部とで反射率が異なり前記記録部が前
    記記録パルスのピークレベル照射終了直後にも形成され
    て反射率変化が生じる情報記録媒体に対して情報記録を
    行う相変化型情報記録ドライブ装置において、前記記録
    パルスのピークレベル照射終了直後の前記反射率変化時
    に前記情報記録媒体で反射した反射光を受光する受光手
    段を設け、この受光手段で受光した反射光に基づいて記
    録が正常に行われたことを確認するようにしたことを特
    徴とする相変化型情報記録ドライブ装置。
  2. 【請求項2】 記録部と未記録部とで反射率が異なり前
    記記録部が記録パルスのピークレベル照射終了直後にも
    形成され反射率変化が生じる相変化型情報記録媒体に対
    して記録パルスを照射し、前記記録パルスのピークレベ
    ル照射終了直後の前記反射率変化時に前記情報記録媒体
    で反射した反射光を受光して、その受光した反射光に基
    づいて記録が正常に行なわれたことを確認するようにし
    たことを特徴とする相変化型情報記録媒体の記録同時ベ
    リファイ方法。
  3. 【請求項3】 電磁波の照射時に生ずる記録層の光学定
    数の変化を情報記録に用いる相変化型情報記録媒体とし
    たことを特徴とする請求項2記載の相変化型情報記録媒
    体の記録同時ベリファイ方法。
  4. 【請求項4】 基板上にAg,In,Sb,Teからな
    る記録層と保護層と反射放熱層とを有する相変化型情報
    記録媒体としたことを特徴とする請求項2記載の相変化
    型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方法。
  5. 【請求項5】 基板上にAg,In,Sb,Teからな
    る記録層と保護層と反射放熱層とを有し、前記記録層の
    安定状態における組成及び化学構造が主として、 (AgSbTe(2+σ/Δ))(InSb1−x ただし、0.4≦x≦0.55 0.5≦z≦2.5 −0.15≦σ≦0.1 Δ=(1−σ)x/{1+3x+z(1−x)} で表される相変化型情報記録媒体としたことを特徴とす
    る請求項2記載の相変化型情報記録媒体の記録同時ベリ
    ファイ方法。
  6. 【請求項6】 基板上にAg,In,Sb,Teからな
    る記録層と保護層と反射放熱層とを有し、前記記録層の
    安定状態における組成及び化学構造が主として、 (AgSbTe(2+σ/Δ))(InSb1−x ただし、0.4≦x≦0.55 0.5≦z≦2.5 −0.15≦σ≦0.1 Δ=(1−σ)x/{1+3x+z(1−x)} で表される相変化型情報記録媒体に対する記録パルスの
    照射開始後、前記記録層が結晶状態からアモルファス状
    態になることにより前記記録層の反射率が変化すること
    を前記記録パルスのピークレベル照射終了直後の前記反
    射率変化時に前記相変化型情報記録媒体で反射した反
    光により検出して前記相変化型情報記録媒体に対する記
    録が正常に行なわれたことを確認するようにしたことを
    特徴とする相変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ
    方法。
  7. 【請求項7】 前記反射の変化を、相変化型情報記録
    媒体から得られるRF和信号のレベル変化により検出す
    るようにしたことを特徴とする請求項3,4,5又は6
    記載の相変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方
    法。
  8. 【請求項8】 前記反射の変化を、予め記録前後の反
    射率変化の度合い情報を相変化型情報記録媒体の特定領
    域に記録しておき、この度合い情報を参照して前記相変
    化型情報記録媒体から得られるRF和信号のレベル変化
    により検出するようにしたことを特徴とする請求項3,
    4,5又は6記載の相変化型情報記録媒体の記録同時ベ
    リファイ方法。
  9. 【請求項9】 前記反射の変化を、予め記録前後の反
    射率変化の度合いを相変化型情報記録媒体のテスト領域
    で検出し、この検出情報を参照して前記相変化型情報記
    録媒体から得られるRF和信号のレベル変化により検出
    するようにしたことを特徴とする請求項3,4,5又は
    6記載の相変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方
    法。
  10. 【請求項10】 照射する記録パルスのパルス列をシン
    グルパルス列によるものとしたことを特徴とする請求項
    7,8又は9記載の相変化型情報記録媒体の記録同時ベ
    リファイ方法。
  11. 【請求項11】 照射する記録パルスのパルス列をピー
    クレベルとバイアスレベルが単位周期毎に繰り返すマル
    チパルス列によるものとしたことを特徴とする請求項
    7,8又は9記載の相変化型情報記録媒体の記録同時ベ
    リファイ方法。
  12. 【請求項12】 電磁波の照射時に生ずる記録層の光学
    定数の変化を情報記録に用い、記録部と未記録部とで反
    射率が異なり前記記録部が記録パルスのピークレベル照
    射終了直後にも形成されて反射率変化が生じる相変化型
    情報記録媒体に対する記録パルスの照射開始後、前記記
    録層が結晶状態からアモルファス状態になることにより
    前記記録層の反射が変化することを前記記録パルス
    ピークレベル照射終了直後の前記反射率変化時に前記相
    変化型情報記録媒体で反射した反射光により検出して前
    記相変化型情報記録媒体に対する記録が正常に行なわれ
    たことを確認するようにしたことを特徴とする相変化型
    情報記録媒体の記録同時ベリファイ方法。
  13. 【請求項13】 基板上にAg,In,Sb,Teから
    なる記録層と保護層と反射放熱層とを有し、記録部と未
    記録部とで反射率が異なり前記記録部が記録パルスのピ
    ークレベル照射終了直後にも形成されて反射率変化が生
    る相変化型情報記録媒体に対する記録パルスの照射開
    始後、前記記録層が結晶状態からアモルファス状態にな
    ることにより前記記録層の反射が変化することを前記
    記録パルスのピークレベル照射終了直後の前記反射率変
    化時に前記相変化型情報記録媒体で反射した反射光によ
    り検出して前記相変化型情報記録媒体に対する記録が正
    常に行なわれたことを確認するようにしたことを特徴と
    する相変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方法。
  14. 【請求項14】 前記反射の変化を、相変化型情報記
    録媒体から得られるRF和信号のレベル変化により検出
    するようにしたことを特徴とする請求項12又は13記
    載の相変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方法。
  15. 【請求項15】 電磁波の照射時に生ずる記録層の光学
    定数の変化を情報記録に用い、記録部と未記録部とで反
    射率が異なり前記記録部が記録パルスのピークレベル照
    射終了直後にも形成されて反射率変化が生じる相変化型
    情報記録媒体に対してピークレベルとバイアスレベルが
    単位周期毎に繰り返すマルチパルス列方式の記録パルス
    列を照射し、前記情報記録媒体上に記録部を形成し、前
    記記録パルス列中のピークレベル照射終了直後で反射率
    変化中のバイアスレベル照射時に前記情報記録媒体で反
    射した前記記録パルス列の反射の変化を検出し、前記
    反射の変化に基づいて前記相変化型情報記録媒体に対
    する記録が正常に行なわれたことを確認するようにした
    ことを特徴とする相変化型情報記録媒体の記録同時ベリ
    ファイ方法。
  16. 【請求項16】 基板上にAg,In,Sb,Teから
    なる記録層と保護層と反射放熱層とを有し、記録部と未
    記録部とで反射率が異なり前記記録部が記録パルスのピ
    ークレベル照射終了直後にも形成されて反射率変化が生
    る相変化型情報記録媒体に対してピークレベルとバイ
    アスレベルが単位周期毎に繰り返すマルチパルス列方式
    の記録パルス列を照射し、前記情報記録媒体上に記録部
    を形成し、前記記録パルス列中のピークレベル照射終了
    直後の反射率変化中のバイアスレベル照射時に前記情報
    記録媒体で反射した前記記録パルス列の反射の変化を
    検出し、前記反射の変化に基づいて前記相変化型情報
    記録媒体に対する記録が正常に行なわれたことを確認す
    るようにしたことを特徴とする相変化型情報記録媒体の
    記録同時ベリファイ方法。
  17. 【請求項17】 基板上にAg,In,Sb,Teから
    なる記録層と保護層と反射放熱層とを有し、前記記録層
    の安定状態における組成及び化学構造が主として、 (AgSbTe(2+σ/Δ))(InSb1−x ただし、0.4≦x≦0.55 0.5≦z≦2.5 −0.15≦σ≦0.1 Δ=(1−σ)x/{1+3x+z(1−x)} で表され、記録部と未記録部とで反射率が異なり前記記
    録部が記録パルスのピークレベル照射終了直後にも形成
    されて反射率変化が生じる相変化型情報記録媒体に対し
    てピークレベルとバイアスレベルが単位周期毎に繰り返
    すマルチパルス列方式の記録パルス列を照射し、前記情
    報記録媒体上に記録部を形成し、前記記録パルス列中の
    ピークレベル照射終了直後の反射率変化中のバイアスレ
    ベル照射時に前記情報記録媒体で反射した前記記録パル
    ス列の反射の変化を検出し、前記反射の変化に基づ
    いて前記相変化型情報記録媒体に対する記録が正常に行
    なわれたことを確認するようにしたことを特徴とする相
    変化型情報記録媒体の記録同時ベリファイ方法。
  18. 【請求項18】 前記反射の変化を、予め記録前後の
    反射率変化の度合い情報を相変化型情報記録媒体の特定
    領域に記録しておき、この度合い情報を参照して前記相
    変化型情報記録媒体から得られるRF和信号のレベル変
    化により検出するようにしたことを特徴とする請求項1
    4,15,16又は17記載の相変化型情報記録媒体の
    記録同時ベリファイ方法。
  19. 【請求項19】 前記反射の変化を、予め記録前後の
    反射率変化の度合いを相変化型情報記録媒体のテスト領
    域で検出し、この検出情報を参照して前記相変化型情報
    記録媒体から得られるRF和信号のレベル変化により検
    出するようにしたことを特徴とする請求項14,15,
    16又は17記載の相変化型情報記録媒体の記録同時ベ
    リファイ方法。
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