FI113920B - IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite - Google Patents
IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite Download PDFInfo
- Publication number
- FI113920B FI113920B FI940014A FI940014A FI113920B FI 113920 B FI113920 B FI 113920B FI 940014 A FI940014 A FI 940014A FI 940014 A FI940014 A FI 940014A FI 113920 B FI113920 B FI 113920B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- interdigital
- group
- iidt
- surface acoustic
- belonging
- Prior art date
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title description 61
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 241000282836 Camelus dromedarius Species 0.000 claims 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000000614 phase inversion technique Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0033—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only
- H03H9/0038—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only the balanced terminals being on the same side of the track
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0033—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only
- H03H9/0042—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only the balanced terminals being on opposite sides of the track
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0047—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks
- H03H9/0052—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically cascaded
- H03H9/0057—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically cascaded the balanced terminals being on the same side of the tracks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0047—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks
- H03H9/0052—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically cascaded
- H03H9/0061—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically cascaded the balanced terminals being on opposite sides of the tracks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/1455—Transducers of particular shape or position constituted of N parallel or series transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
113920 IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite
Esillä olevan keksinnön kohteena on IIDT (Interdigited Interdigital Transducer) -tyyppinen pinta-akustinen laite ja erityisesti esillä olevan keksinnön kohteena on IIDT-tyyppinen pinta-5 akustinen aaltolaite, jossa ainakin joko sisäänmenot tai ulostulot on tasapainotettu suhteessa maapotentiaaliin.
Yleensä IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaitesuodatin tunnetaan suurtaajuisena pinta-akustisena aaltosuodattimena, jolla on leveä kaistanleveys ja matala väliinkytkemisvaimennus.
10
Kuvassa 8 esitetään tavanomainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltosuodatin 1. Tähän pinta-akustiseen aalto-suodattimeen 1 kuuluu pietsosähköinen alusta (ei esitetty) ja kolme interdigi-taalista muutinta (jatkossa kutsutaan nimellä IDT) 2 ja 4, jotka on sovitettu siihen pinta-aallon etenemisen suunnassa. IDT:t 2 ja 4 on vastaavasti varustettu parilla kampaelektrodilla 2a ja 2b, 15 3a ja 3b ja 4a ja 4b, jotka on siten sovitettu, että näiden elektrodihaarat on interdigitaalisesti kytketty toisiinsa. Nämä IDT:t 2 ja 4 toimivat vaihtoehtoisesti joko sisäänmeno- (tai ulostulo-) IDT:nä ja ulostulo- (tai sisäänmeno-) IDT:nä pitkin pinta-aallon etenemissuuntaa.
Kuvassa 9 esitetään toinen esimerkki tavanomaisesta HDT-tyyppisestä pinta-akustisesta aalto-20 suodattimesta 5. Tähän pinta-akustiseen aaltosuodattimeen 5 kuuluu 3 IDT:tä 6 ja 8, jotka on sovitettu pinta-aallon etenemissuunnassa toimimaan joko sisäänmeno- (tai ulostulo-) IDT:nä tai ulostulo- (tai sisäänmeno-) IDTrnä. Edelleen heijastimet 9 ja 10 on sovitettu IDT:iden 6 ja 8 . · · kummallekin puolelle pinta-aallon etenemissuunnassa. Tämä EDT-tyyppinen pinta-akustinen ....: aaltosuodatin 5 on kolmielektrodinen linjaan kytketty kaksoistila pinta-akustinen aaltoresonaatto- ••*.25 risuodatin.
♦ · · *'! Viime vuosina on tullut välttämättömäksi tasapainottaa ainakin sisäänmenot tai ulostulot pinta-';; | akustisessa aaltosuodattimessa siten, että tämä voidaan kytkeä differentiaali sisäänmeno/ulostulo ‘ ’ IC:hen (integroitu piiri) ilman symmetrointielintä, eli tasapaino-epätasapainomuuntajaa, joka 3 0 seuraa piirien integrointia pinta-akustisen aaltosuodattimen ympärillä.
* ♦ · • · ‘,,. · Seuraavassa viitataan kuvan 9 kolmielektrodiseen linjaan kytkettyyn kaksoistila pinta-akustiseen . ·. : aaltosuodattimeen 5, jolla on mahdollista esimerkiksi tasapainottaa sisäänmenot ja ulostulot * * · 1··] muodostamalla sisäänmenopäät (tai ulostulopäät) IDT 7:nkampaelektrodien 7a ja 7b yli samalla, ' ’ 35 kun kytketään kampaelektrodit 6a ja 8a kuten myös kampaelektrodit 6b ja 8b IDT:iden 6 ja 8 •.:. · samalle puolelle muodostamaan ja kytkemään j ohtavat osat 1 la ja 1 Ib, jotka on muodostettu :.., ·' pietsosähköiselle alustalle yhteen ja vastaavasti määrittämään ulostulopäät (tai sisäänmenopäät), kuten esitetään kuvassa 10. Tämän menetelmän mukaisesti yhdysjohdot pitenevät kuitenkin si- 2 113920 ten, että suodattimen 5 luotettavuus huononee, samalla kun suurtaajuus-ominaisuudet huononevat yhdysjohtojen induktansseista johtuen.
Toisaalta on mahdollista tasapainottaa kaksiasteisen liitäntätyyppisen pinta-akustisen aaltosuo-5 dattimen 15 sisäänmenot ja ulostulot, joka on muodostettu yhdistämällä kaksi IIDT-tyyppistä pinta-akustista aaltosuodatinta toisiinsa, kuten on esitetty kuvassa 11. Tässä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa sisäänmenopäät (tai ulostulopäät) muodostetaan IDT 16:n kampaelektrodien 16a ja 16b yli, joka IDT on sovitettu IDT-tyyppisen pinta-akustisen aaltosuodattimen sisään-menoasteeseen (tai ulostuloasteeseen). IDT:iden 17 ja 18 ensimmäiset kampaelektrodit 17a ja 10 18a, jotka on sovitettu IDT 16:n kummallekin puolelle, on kytketty maapotentiaaliin kun toi saalta tämän kampaelektrodit 17b ja 18b on kytketty IDT:iden 20 ja 21 ensimmäisiin kampa-elektrodeihin 20a ja 21a, jotka IDT:t on sovitettu pinta-akustisen aaltosuodattimen ulostuloasteeseen (tai sisäänmenoasteeseen) liittämällä toisiinsa johtavat osat 22a ja 22b vastaavasti. Ulostuloasteen (tai sisäänmenoasteen) IDT:iden 20 ja 21 kampaelektrodit 20b ja 21b on kytketty 15 maapotentiaaliin. Ulostulopäät (tai sisäänmenopäät) muodostetaan IDT:n 19 kampaelektrodien 19a ja 19b yli.
Kaksiastekytkentäisen pinta-akustisen aaltosuodattimen 15 yhteydessä IDT 16:n kampa-elektrodin 16b kokoomakisko on sovitettu IDT:n 19 kampaelektrodin 19a vastaavaan lähei-20 syyteen, joka on sovitettu IIDT-tyyppisen pinta-akustisen aaltosuodattimen ulostuloasteeseen (tai sisäänmenoasteeseen). Vaikkakin sisäänmenot ja ulostulot on tasapainotettu yllä mainitulla tavalla, ei kuitenkaan riittävää tasapainotusta voida aikaansaada, myös johtuen yhdysjohtojen pituuseroista.
I t t •,,, '25 Yllä mainittu ongelma on vakavampi kuvan 12 esittämässä IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa :' ’: aaltosuodattimessa 25, joka on varustettu useammalla IDT:llä. IIDT-tyyppisessä pintaakustisessa • · · aaltosuodattimessa 25 seitsemän IDT:tä 28-34 on sovitettu heijastimien 26 ja 27 väliin siten, että M · » ·' :·. IDT:t 28,30,32 ja 34 on sähköisesti liitetty toisiinsa johtavalla osalla 35 ja IDT:t 29,31 ja 33 on myös sähköisesti liitetty toisiinsa toisella johtavalla osalla 36. Kun tällaiset IIDT-tyyppiset pinta-, · t ; 30 akustiset aaltosuodattimet 25 liitetään toisiinsa useissa asteissa, liitäntäjohtojen pituus lisääntyy yhä siten, että muodostunut pinta-akustinen aaltolaite huononee luotettavuudeltaan tai että sitä ei '; * voida käytännössä toteuttaa tasapainotuksen puuttuessa.
: ’ ’: On tunnettua, että IDT:iden väliset tilat täytetään tehokkaasti elektrodeilla väliin kytkemis- ]. 35 vaimennuksen vähentämiseksi käytettäessä 64° Y X LiNb03 -alustaa pietsosähköisenä alustana.
• * ♦ ! IKun sisäänmenot j a ulostulot tasapainotetaan yllä mainitulla tavanomaisella menetelmällä on kuitenkin mahdollista täyttää IDT:iden väliset tilat elektrodeilla.
3 113920
Esillä olevan keksinnön tarkoituksena on aikaansaada uusi IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aalto-laite, joka voi tasapainottaa sisäänmenot ja/tai ulostulot yksinkertaisella rakenteella, jolla ratkaistaan tunnetun tekniikan mukaiset eri ongelmat.
5 Esillä olevan keksinnön mukaisen laajan näkemyksen mukaisesti IIDT-tyyppiseen pinta- akustiseen aaltolaitteeseen kuuluu pietsosähköinen alustaja ainakin kolme IDT:tä, jotka on muodostettu pietsosähköisen alustan pinnalle pinta-aallon etenemissuunnassa, ja johon kuhunkin kuuluu pari kampaelektrodia, joilla on useita elektrodisormia, jotka ovat interdigitaalisia keskenään siten, että IDT:t vaihtoehtoisesti toimivat sisäänmeno- (tai ulostulo-) IDT:nä tai ulostulo-10 (tai sisäänmeno-) IDT:nä. Kun sisäänmeno- tai ulostulo-IDT:t ovat parillisia luvultaan ne jaetaan ryhmiin jaettuna keskeltä, jolloin kukin IDT, joka kuuluu ensimmäiseen ryhmään invertoidaan vaiheeltaan suhteessa IDTihen, joka kuuluu toiseen ryhmään, ja toisen ryhmän IDT:t kytketään keskenään sarjaan.
15 IIDT-tyyppisen pinta-akustisen aaltolaitteen mukaisesti kukin IDT, joka kuuluu ensimmäiseen ryhmään invertoidaan vaiheeltaan suhteessa siihen, joka kuuluu toiseen ryhmään mikäli parillinen lukumäärä IDT:itä on jaettu kahteen ryhmään keskeltä, kun taas toisen ryhmän IDT:t kytketään sarjaan keskenään. Siksi sisäänmenot ja ulostulot tasapainottuvat sivulla, jolla sijaitsee parillinen lukumäärä IDT:itä. Tässä tapauksessa edelleen yhdysjohtojen pituus ei lisäänny paljon, 20 kuten selviää selostuksesta alla. Täten on mahdollista aikaansaada IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite, joka on luotettava ja jolla on riittävä tasapainotus.
4 · · :..: Esillä olevan keksinnön mukaisen tietyn näkemyksen mukaisesti IIDT-tyyppiseen moniaste- ' · * * · pinta-akustiseen aaltolaitteeseen kuuluu pietsosähköinen alusta ja ainakin kaksi astetta IIDT- • · · ',','•25 tyyppistäpinta-akustista aaltolaitetta, jotka on muodostettu pietsosähköiselle alustalle siten, että : : ne kytketään peräkkäin. Ainakin joko sisäänmeno- tai ulostuloaste-IIDT-tyyppinen pinta- • I · akustinen aaltolaite muodostetaan IIDT-tyyppisestä pinta-akustisesta aaltolaitteesta patentti- .':*; vaatimuksen 1 mukaisesti, jolloin EDT:t, jotka on sovitettu parillisena lukumääränä toimivat sisäänmeno- tai ulostulo-IDT:nä.
.·. :30 !.. * Tällaisessa moniasteisessa IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltolaitteessa, ainakin joko si- ·;*’ säänmeno- tai ulostuloaste-IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite muodostetaan patentti- • #' · j vaatimuksen 1 mukaisesti kun IDT:t on sovitettu parillisena lukumääränä ja toimivat sisään- : ” *: meno- tai ulostulo-IDT:nä, jolloin on mahdollista tasapainottaa ainakin joko sisäänmenot tai \ # 35 ulostulot moniaste-IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltolaitteessa. Edelleen yhdysjohtojen I I 4 ;;; pituus ei paljoa pitene IDT:issä, joilla on tasapainotetut sisäänmenot tai ulostulot. Erityisesti mo-" · * niasteisessa liitäntätyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa, joka on tunnettua tyyppiä, on ollut hyvin vaikeata tasapainottaa käytännössä sisäämenot ja/tai ulostulot. Esillä olevan kek- 4 113920 sinnön mukaisesti toisaalta on mahdollista riittävästi tasapainottaa sisäänmenot ja/tai ulostulot tällaisessa moniasteisessa liitäntätyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa, koska yhdys-johtojen pituudet eivät paljoa pitene.
5 Edellä olevan keksinnön mukaisesti edelleen elektrodisormet, jotka sijaitsevat päätyosissa, voidaan liittää maapotentiaaliin IDT:tä suunniteltaessa, jolloin on mahdollista pienentää väliin kyt-kemisvaimennus täyttämällä IDTiiden välit elektrodeilla.
Nämä ja keksinnön muut edut ilmenevät seuraavasta selostuksesta, jossa viitataan oheisiin ku-10 viin, joissa kuva IA on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään elektrodirakenne IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa esillä olevan keksinnön ensimmäisen suoritusmuodon mukaisesti, kuva IB on tasokuva, jossa nähdään IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltosuodatin 15 esillä olevan keksinnön ensimmäisen suoritusmuodon mukaisesti, kuva 2 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään elektrodirakenne IIDT-tyyppisestä pinta-akustisesta aaltosuodattimesta esillä olevan keksinnön toisen suoritusmuodon mukaisesti, kuva 3 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään elektrodirakenne IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa esillä olevan keksinnön kolmannen suoritusmuodon mukai-20 sesti, kuva 4 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään elektrodirakenne IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa esillä olevan keksinnön neljännen suoritusmuodon mukai- « · « :. ·: sesti, ’: * * * kuva 5 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään elektrodirakenne IIDT-tyyppisessä • « · ',,,'•25 pinta-akustisessa aaltosuodattimessa esillä olevan keksinnön viidennen suoritusmuodon mukai-sesti, •«· kuva 6 on tyypillinen tasokuva, j ossa nähdään elektrodirakenne IIDT-tyyppisessä . : *. pinta-akustisessa aaltosuodattimessa esillä olevan keksinnön kuudennen suoritusmuodon mukaisesti, . # .30 kuva 7 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään elektrodirakenne IIDT-tyyppisessä * pinta-akustisessa aaltosuodattimessa esillä olevan keksinnön seitsemännen suoritusmuodon mu-* · "· kaisesti, • · : kuva 8 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään elektrodirakenne tavanomaisessa ; ”': IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa, *. # 35 kuva 9 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään edelleen toinen elektrodirakenne » · · _ ;; .* tavanomaisessa IIDT -tyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa, * » • * · * kuva 10 on tyypillinen tasokuva, jossa esitetään esimerkki menetelmästä kuvassa 9 esitetyn tavanomaisen suodattimen sisäänmenojen ja ulostulojen tasapainottamiseksi, 5 113920 kuva 11 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään edelleen toinen tavanomainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltosuodatin, ja kuva 12 on tyypillinen tasokuva, jossa nähdään edelleen tavanomainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltosuodatin.
5
Ensimmäinen suoritusmuoto
Kuvassa IA esitetään kolmielektrodisen linjaan kytketyn kaksoistila-pinta-akustisen aalto-suodattimen 41 elektrodirakenne esillä olevan keksinnön ensimmäisen suoritusmuodon mukaisesti, ja kuva IB on tasokuva ensimmäisen suoritusmuodon mukaisesta IIDT-tyyppisestä pinta-10 akustisesta aaltosuodattimesta 41. Pinta-akustiseen aaltosuodattimeen 41 kuuluu pietsosähköinen alusta 40 ja kolme IDT:tä 44, jotka on sovitettu alustaan 40 pinta-aallon etenemissuunnassa heijastimien 42 ja 43 väliin. IDT 45 muodostaa sisäänmeno- tai ulostulo-IDT:n. Toisaalta jäljellä olevat IDT:t 44 ja 46 ovat ulostulo- (tai sisäänmeno-) IDT.itä.
15 IDT:t 44 ja 46 on muodostettu siten, että IDT 44 on invertoitu vaiheeltaan suhteessa toiseen IDT:hen 46. IDT:n 44 kampaelektrodi 44a on sovitettu yhdysjohtoon 47a, kun IDT:n 46 kampa-elektrodi 46a on sovitettu elektrodin 44a samalle sivulle ja sovitettu toisesta yhdysjohdosta 47b. Toisaalta kampaelektrodit 44b ja 46a on kytketty maapotentiaaliin.
20 Kuvasta IA ilmenee selvästi, että kampaelektrodien 45a ja 46a välinen etäisyys siirtyy yhden elektrodisormen verran verrattuna etäisyyteen elektrodien 44a ja 45 a välillä. Koska IDT:n 44 kampaelektrodin 44a elektrodisormet täten siirtyvät suhteessa IDT:n 46 kampaelektrodin 46a : · ·: elektrodisormiin, IDT:t 44 ja 46 invertoituvat vaiheiltaan toisiinsa nähden. Edelleen IDT:t 44 ja * * 46 on kytketty Saijaan maapotentiaalin kautta. Siksi tasapainotetut sisäänmenot tai ulostulot saa-
Ml •... :25 daan liittimistä 48a ja 48b, jotka on kytketty yhdysjohtoihin 47a ja 47b.
« · y Edelleen yhdysjohdot 47a ja 47b, jotka on sovitettu samalle sivulle, voidaan lyhentää huomat- : ‘ · *; tavasti verrattuna tavanomaisen pinta-akustisen aaltosuodattimen johtoihin (kts. kuva 10), jolla on tasapainotetut sisäänmenot tai ulostulot. Vaikka IDT:iden 44 ja 46 muut kampaelektrodit 44b , ·. ;30 ja 46b on kytketty maapotentiaaliin pinta-akustisessa aaltosuodattimessa 41 tämän suoritus-* muodon mukaisesti, aikaansaadaan kuitenkin suurtaajuuslaite, jolla on laaja maa-alue, ja siten '* tätä voidaan kytkeä kampaelektrodeihin 44b ja 46b lyhyin yhdysjohdoin.
• · i · » • · • · * : Tämän suoritusmuodon mukaisessa pinta-akustisessa aaltosuodattimessa 41 yhdysjohdot, jotka , '-,35 ovat välttämättömiä IDTiiden liittämiseksi, eivät paljoakaan pitene, jolloin varmistetaan riittävä ( > · _ luotettavuus.
t » 6 113920 IDT:iden 44 ja 46 kampaelektrodit 44b ja 46b voidaan sähköisesti kytkeä toisiinsa johtavan mallin kautta, mikäli pinta-akustinen aaltosuodatinsiru omaa riittävän joustavuuden, mutta tämä johtava malli kytketään edelleen edullisesti maapotentiaaliin myös tässä tapauksessa.
5 Toinen suoritusmuoto
Kuvassa 2 esitetään IIDT-tyyppisen pinta-akustisen aaltosuodattimen 51 elektrodirakenne esillä olevan keksinnön toisen suoritusmuodon mukaisesti. Tämä IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aalto-suodatin 51 on kaksiasteisesti kytketty pinta-akustinen aaltosuodatin. Pinta-akustinen aaltosuodattimen kukin aste omaa elektrodirakenteen, joka on olennaisesti vastaava kuin kuvassa IA 10 esitetyn IIDT-tyyppisen pinta-akustinen aaltosuodattimen 41 elektrodirakenne.
Täten kolme IDT:tä 54-56 on sovitettu heijastimien 52 ja 53 väliin sisäänmenoaste-pinta-akustisessa aaltosuodattimessa, kun toisaalta kolme IDT:tä 64-66 on samalla tavalla sovitettu heijastimien 62 ja 63 väliin ulostuloasteen pinta-akustisessa aaltosuodattimessa. IDT:iden 55 ja 15 65 kampaelektrodit 55b ja 65a on sähköisesti kytketty toisiinsa johtavan mallin 60 avulla.
Tämän suoritusmuodon mukaisessa IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa 51 IDT 56 on invertoitu vaiheeltaan suhteessa sisäänmenoasteen IDT:hen 54, ja IDT 66 on myös invertoitu vaiheeltaan suhteessa ulostuloasteen EDT:hen 64. Täten liittimien 58a ja 58b sisään-20 menot ja liittimistä 68a ja 68b otetut ulostulot ovat tasapainotettuja.
Edelleen liittimet 58a ja 58b, kuten myös liittimet 68a ja 68b on muodostettu samoille puolille vastaavasti, jolloin on mahdollista tasapainottaa sisäänmenot ja ulostulot ilman suurta johtojen ' · “ · pidentämistä, samalla tavalla kuin ensimmäisessä suoritusmuodossa.
* « · 25 * · 1 : ' 1: Lisäksi liitäntäjohdot, jotka ovat välttämättömiä kampaelektrodien 54b, 55a, 56b, 64a, 65b ja 66a < · · liittämiseksi maapotentiaaliin, voidaan myös lyhentää pituudeltaan ensimmäisen suoritusmuodon ,';': mukaisesti, koska suurtaajuinen laite on yleensä varustettu laajapintaisella maa-alueella.
tt .30 Kun kolme tai enemmän IIDT-tyyppistä pinta-akustista aaltolaitetta kytketään toisiinsa tässä ei .. ’ tarvita tasapainotusta niille, jotka eivät muodosta sisäänmeno- tai ulostuloastetta, vaan ainoastaan » 1 '; · ’ niille, jotka ovat kummassakin päässä eli sisäänmeno- ja ulostuloastesuodattimille, jotka on tasa- t » !, 1 | painotettava. Vaikkakin sisäänmenot ja ulostulot on tasapainotettu kummassakin sisään-: ’ ”: meno- ja ulostuloastesuodattimessa toisessa suoritusmuodossa, tällainen tasapainotus voidaan *.35 suorittaa ainoastaan toisessa asteessa.
* i t I I « • I ·
• · I
» · · 1 7 113920
Vaiheinversiomenetelmiä selventäviä suoritusmuotoja
Kuvissa 3 ja 4 on esitetty elektrodien rakennediagrammeja, joissa nähdään esillä olevan keksinnön kolmannen ja neljännen suoritusmuodon mukaiset IIDT-tyyppiset pinta-akustiset aal-tosuodattimet 71 ja 81, käyttäen toisistaan eroavia vaiheinversiomenetelmiä.
5
Kuvan 3 pinta-akustisessa aaltosuodattimessa 71 on järjestetty kolme IDT:tä 72-74 pinta-aallon etenemissuunnassa. Sisäänmenopäät (tai ulostulopäät) on muodostettu IDTriden 72 ja 74 kampa-elektrodien 72a ja 74a yli, jotka IDT:t on sovitettu kummallekin puolelle. Muut kampa-elektrodit 72b ja 74b on kytketty maapotentiaaliin. Kun IDT:itä 72 ja 74 käytetään sisäänmeno-10 IDT:inä on täten mahdollista tasapainottaa sisäänmenot vastaavalla tavalla kuin ensimmäisessä suoritusmuodossa.
Tämän suoritusmuodon mukaisesti kampaelektrodien 73a ja 74a välinen lisääntyy yhden pykälän verran verrattuna kampaelektrodin 72a ja kampaelektrodin 73a etäisyyteen siten, että kampa-15 elektrodin 72a elektrodisormet, jotka sijaitsevat IDT:ssä 72, siirtyvät pykälämäisesti suhteessa IDT:n 74 kampaelektrodiin 74a ensimmäisen ja toisen suoritusmuodon mukaisesti, jolloin IDT 74 invertoituu vaiheeltaan suhteessa IDT:hen 72.
Kuvassa 4 esitetyn neljännen suoritusmuodon mukaisessa IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa 20 aaltosuodattimessa 81 on toisaalta sovitettu vale-elektrodisormia 85 ja 86 toiseen kampa- elektrodiin 82b ja 84b, jotka on sovitettu pareittain IDT:iden 82 ja 84 kampaelektrodien 82a ja 84a kanssa vastaavasti. Vale-elektrodisormet 85 on sovitettu kampaelektrodin 82b elektrodi-sormen A taakse, joka sijaitsee lähinnä IDT:tä 83, lähestyen IDT:tä 83 yhden pykälän verran.
. ·: · Etäisyys vale-elektrodisormen 85 ja IDT:n 83 välillä on sama kuin IDT:n 83 ja kampaelektrodin • ;..j25 84b välillä.
• · . · · ·. Siksi IDT:n 82, joka sijaitsee lähinnä IDT:tä 83, kampaelektrodin 82b elektrodisormen Aja
I I
’ * ! IDT:n kampaelektrodin 83b välinen etäisyys lisääntyy yhden pykälän verran verrattuna elektro- ‘! din 84b, joka on lähinnä IDT:tä 83, elektrodisormen B etäisyyteen. Täten IDT 82 invertoituu » · · * * *30 vaiheeltaan suhteessa IDT:hen 84. Vale-elektrodisormi 86, joka on sovitettu IDT:n 84 sor- mielektrodiin 84b, ei ole välttämätön kuitenkaan.
• · • a · • · I • · a · a '...: On myös mahdollista invertoida ulommat IDT:t 82-84 vaiheeltaan toistensa suhteen muodos- . ·. : tantalla vale-elektrodisormet 85, kuten on esitetty neljännessä suoritusmuodossa. Tässä tapauk- . · ·.35 sessa elektrodisormet, jotka on kytketty maapotentiaaliin, voidaan sovittaa sulkemaan sisäänsä • · ‘ 1 ’ IDT:iden ulkosivuja, jolloin IDT:iden 82 ja 84 väliset välit voidaan täyttää elektrodeilla 89, kuten •.:. · on esitetty kuvassa 5 väliinkytkemisvaimennuksen pienentämiseksi. Täten on mahdollista pie- a a a :.,,: nentää väliinkytkemisvaimennusta edelleen.
8 113920
Vale-elektrodisormet 85 ja 86 on sovitettu estämään IDT:iden 82 ja 84 vaiheita siirtymästä hieman täydellisestä inversiosta, elektrodisormilla varustettujen ja ilman elektrodisormia olevien osien välisten pinta-akustisten aaltojen etenemisnopeuden erotuksella. Kun tällainen nopeus-erotus voidaan absorboida muuttamalla IDT:iden 82 ja 84 sijainteja, on mahdollista jättää pois 5 vale-elektrodisormet 85 ja 86.
Suoritusmuotoja, joissa IIDT-tvvppisisillä pinta-akustisilla aaltosuodattimilla on useita IDT:itä Kuvissa 6 ja 7 esitetään esillä olevan keksinnön mukaisen kuudennen ja seitsemännen suoritusmuodon mukaisien IIDT-tyyppisten pinta-akustisten aaltosuodattimien 91 ja 101 elektrodiraken-10 teitä. Kuudennessa ja seitsemännessä suoritusmuodossa IDT:iden lukumääriä on lisätty verrattu na edellisiin suoritusmuotoihin.
Kuvassa 6 esitetyssä IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa 91 seitsemän IDT:tä 94-100 on sovitettu heijastimen 92 ja 93 väliin pinta-aallon etenemissuunnassa. Nämä IDT:t 94-15 100 on vuorotellen sovitettu sisäänmeno- (tai ulostulo-) ja ulostulo- (sisäänmeno-) IDT:ksi pinta- aallon etenemissuunnassa.
Tässä oletetaan, että IDT:t 94,96,98 ja 100 ovat sisäänmeno-IDT:itä ja IDT:t 95,97 ja 99 ovat ulostulo-IDT:itä. Ryhmässä, johon kuuluu parillinen lukumäärä IDT:itä, eli sisäänmeno-IDT:t 20 94,96,98 ja 100, IDT:t 94 ja 96, jotka sijaitsevat alueen vasemmalla puolella, joka on varustettu kaikilla IDT:illä pinta-aallon etenemissuunnassa, invertoidaan vaiheeltaan suhteessa IDT:ihin 98 ja 100, jotka on sovitettu oikealle puolelle.
• 1 · IDT:iden vaiheet invertoidaan samalla menetelmällä kuin ensimmäisessä suoritusmuodossa.
• # · · ....25 Tämä tarkoittaa sitä, elektrodien 96aja 98a, jotka on sovitettu samalle sivulle ja IDT:n 95 väli- • · ·. nen etäisyys siirretään siten, että IDT 96 invertoituu vaiheeltaan suhteessa IDT:hen 98 samalla > tavalla kuin ensimmäisessä suoritusmuodossa. IDT:issä 94 ja 96 kampaelektrodit 94a ja 96a on ' ’; liitetty yhteen kun toisaalta jäljellä olevat elektrodit 94b ja 96b on kytketty maapotentiaaliin.
·;;; IDT:issä 98 ja 100, jotka sijaitsevat oikealla sivulla kampaelektrodit 98a ja 100a on liitetty yh-• · · *·’ 130 teen kun toisaalta jäljellä olevat kampaelektrodit 98b ja 100b on kytketty maapotentiaaliin, samalla tavalla kuin yllä. Täten IDT:t 94 ja 96, kuten myös IDT:t 98 ja lOOon kytketty saqaan toi- • · *. ’ : siinsa nähden maapotentiaalin kautta, siten, että sisäänmenot on tasapainotettu toisiinsa nähden.
. ·. : Kuvassa 7 esitetyssä IIDT-tyyppisessä pinta-akustisessa aaltosuodattimessa 101 on toisaalta seit- ·".. ’35 semän IDT:tä 94-100 sovitettu heijastimen 92 ja 93 väliin pinta-aallon etenemissuunnassa, sa- '!' maila tavalla kuin kuudennessa suoritusmuodossa. Näistä IDTristä IDT:t 94,96,98 ja 100, jotka :: ovat sisäänmeno-IDT:itä esimerkiksi, on muodostettu samalla tavalla kuin kuvan 6 suoritusmuo- 113920 9 dossa. Seitsemäs suoritusmuoto eroaa kuudennesta suoritusmuodosta siinä, että IDT 97, joka sijaitsee ulostulo-IDT:iden keskellä, on jaettu kahteen osaan pinta-aallon etenemis-suunnan mukaisesti.
5 Tässä IDT:ssä 97 on kampaelektrodi 97a ja kampaelektrodit 97b ja 97c, jonka elektrodisormet on kytketty interdigitaalisesti kampaelektrodin 97a kanssa. Kampaelektrodit 97b ja 97c on kytketty yhdessä kampaelektrodeihin 95b ja 99b IDT:issä 95 ja 99 vastaavasti. IDT 97, joka on jaettu kahteen osaan, toimii kahtena IDT:nä, jolloin ulostulot, jotka otetaan liittimistä 112 ja 113, on tasapainotettu myös ulostulopäässä.
10
Kuten selvästi ilmenee kuvista 6 ja 7, on mahdollista tasapainottaa ainakin joko sisäänmenot tai ulostulot paljoakaan lisäämättä yhdysjohtojen pituuksia esillä olevan keksinnön mukaisesti, myös lisätyillä IDT:iden lukumäärillä.
15 Yleensä IDT:iden impedanssi pyrkii pienentymään suurtaajuusalueella, joka estää hyvää impedanssisovitusta. Esillä olevan keksinnön mukaisesti useat IDT:t, jotka on sovitettu tasapainotetulle puolelle, kytketään Saijaan toistensa kanssa maapotentiaalin kautta. Siksi IDT:t, jotka on kytketty saqaan toistensa kanssa, saavat lisääntyneen impedanssin impedanssi-sovituksen mahdollistamiseksi.
20
Esillä olevan keksinnön mukainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite ei rajoitu yllä mainittuun IIDT-tyyppiseen pinta-akustiseen aaltosuodattimeen, vaan sitä voidaan soveltaa myös viivelaitteeseen tai vastaavaan.
.... 25 Vaikka esillä olevaa keksintöä on esitettyjä selostettu yksityiskohtaisesti on ymmärrettävää, että tämä on ainoastaan esimerkki ja keksinnön suojan määräävät seuraavat patenttivaatimukset.
» · 1 • · · » • · ·
Claims (12)
1. IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite (41), joka käsittää pietsosähköisen alustan ja ainakin kolme pietsosähköisen alustan (40) pintaan pinta-aaltojen etenemisen suuntaisesti 5 muodostettua interdigitaalista muutinta (44-46), joista muuttimista jokainen on varustettu kampaelektrodiparilla (44a,b-46a,b) joissa on useita elektrodisormia, jotka elektrodi sormet ovat interdigitaalisesti kytketty toisiinsa, interdigitaalisten muuttimien kuuluessa yhteen kahdesta tyypistä, jotka kaksi tyyppiä käsittävät sisäänmeno- ja ulostulo-interdigitaalisen muuttimen pinta-aaltojen etenemisen suuntaisesti, mainittuja saman tyy-10 pin muuttimia on parillinen määrä ja ne on jaettu ensimmäiseen ja toiseen ryhmään, tunnettu siitä, että ryhmä voi sisältää yhden muuttimen, jokaisen ensimmäiseen ryhmään kuuluvan interdigitaalisen muuttimen ollessa invertoitu vaiheeltaan jokaisen toisen ryhmän interdigitaalisen muuttimen kanssa, mainittujen kahden ryhmän ollessa jaettu kaikkien interdigitaalisten muuttimien alueen keskiviivan suhteen, kaikkien kahden ryhmän 15 muuttimien ollessa kytketty sarjaan.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite, tunnettu siitä, että se kampaelektrodi, joka on kytketty interdigitaalisen muuttimen sisäänmeno/ulostulo-päähän ja kuuluu mainittuun ensimmäiseen ryhmään, siirtyy yhden elektrodisormipykälän 20 verran suhteessa sellaiseen, joka on kytketty kunkin mainitun interdigitaalisen muuttimen si-säänmeno/ulostulo-päähän, joka kuuluu mainittuun toiseen ryhmään, jolloin kukin interdigi-,...: taalinen muutin, joka kuuluu mainittuun ensimmäiseen ryhmään tällöin invertoituu vai- • · ·. heeltaan suhteessa kuhunkin mainittuun interdigitaaliseen muuttuneen, j oka kuuluu mainit- . 1 1. tuun toiseen ryhmään. .:.25
:' ·’: 3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite, tunnettu sii tä, että se mainituista kampaelektrodeista, joka on yhdistetty siihen, joka on kytketty interdi-: 1 ·.: gitaalisen muuttimen sisäänmeno/ulostulo-päähän, joka kuuluu mainittuun ensimmäiseen • : ryhmään, on varustettu vale-elektrodisormella (85,86) tai parittomalla lukumäärällä va- :30 lesormia, jolloin kukin interdigitaalinen muutin, joka kuuluu mainittuun ensimmäiseen ryh- mään, on tällöin invertoitu vaiheeltaan suhteessa kuhunkin mainittuun interdigitaaliseen *. muuttuneen, joka kuuluu mainittuun toiseen tyhmään. · · 113920
4. Patenttivaatimuksen 1 mukainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite, tunnettu siitä, että mainittu interdigitaalinen muutin, joka kuuluu mainittuun ensimmäiseen ryhmään, on kytketty saqaan kunkin interdigitaalisen muuttimen kanssa, joka kuuluu mainittuun ryhmään maapotentiaalin kautta. 5
5. Patenttivaatimuksen 1 mukainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite, tunnettu siitä, että tasapainotetut sisäänmeno/ulostulo-päät on sovitettu mainitun alueen toiselle puolelle, joka on varustettu kaikilla interdigitaalisilla muuttimilla.
6. Patenttivaatimuksen 1 mukainen IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite, tunnettu sii tä, että siihen edelleen kuuluu pari heijastinta (42,43), jotka on sovitettu alueen kummallekin puolelle, joka on varustettu mainitulla ainakin kolmella interdigitaalisella muuttimella.
7. IIDT-tyyppinen moniasteinen pinta-akustinen aaltolaite (51), johon kuuluu sähköinen 15 alusta ja ainakin kaksi IIDT-tyyppistä pinta-akustista aaltolaiteastetta, jotka on muodostettu mainitulle pietsosähköiselle alustalle ja on peräkkäin kytketty toisiinsa nähden, jokainen mainittu IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite käsittää pietsosähköisen alustan ja ainakin kolme pietsosähköisen substraatin pintaan pinta-aaltojen etenemisen suuntaisesti muodostettua interdigitaalista muutinta, joista muuttimista jokainen on varustettu kampa-20 elektrodiparilla joissa on useita elektrodisormia, jotka elektrodisormet ovat interdigitaali- sesti kytketty toisiinsa, interdigitaalisten muuttimien kuuluessa yhteen kahdesta tyypistä, ....: jotka kaksi tyyppiä käsittävät sisäänmeno- ja ulostulo-interdigitaalisen muuttimen pinta- • · *. aaltojen etenemisen suuntaisesti, mainittuja saman tyypin muuttimia on parillinen määrä ;. ja ne on jaettu ensimmäiseen ja toiseen ryhmään, tunnettu siitä, että ryhmä voi sisältää * * · • | -25 yhden muuttimen, jokaisen ensimmäiseen ryhmään kuuluvan interdigitaalisen muuttimen : ’ ·': ollessa invertoitu vaiheeltaan jokaisen toisen ryhmän interdigitaalisen muuttimen kanssa, mainittujen kahden ryhmän ollessa jaettu kaikkien interdigitaalisten muuttimien alueen : *.: keskiviivan suhteen, kaikkien kahden ryhmän muuttimien ollessa kytketty sarjaan. . ‘ :3 0
8. Patenttivaatimuksen 7 mukainen IIDT-tyyppinen moniasteinen pinta-akustinen aaltolaite, • · :' ’ ’; tunnettu siitä, että se kampaelektrodi, joka on kytketty interdigitaalisen muuttimen sisään- [ · t meno/ulostulo-päähän ja kuuluu mainittuun ensimmäiseen ryhmään, siirtyy yhden elektro- . · · ·. disormipykälän verran suhteessa sellaiseen, joka on kytketty kunkin mainitun interdigitaali sen muuttimen sisäänmeno/ulostulo-päähän, joka kuuluu mainittuun toiseen ryhmään, jolloin 113920 kukin interdigitaalinen muutin, joka kuuluu mainittuun ensimmäiseen ryhmään tällöin invertoituu vaiheeltaan suhteessa kuhunkin mainittuun interdigitaaliseen muuttimeen, joka kuuluu mainittuun toiseen ryhmään.
9. Patenttivaatimuksen 7 mukainen IIDT-tyyppinen moniasteinen pinta-akustinen aaltolai- te, tunnettu siitä, että se mainituista kampaelektrodeista, joka on yhdistetty siihen, joka on kytketty interdigitaalisen muuttimen sisäänmeno/ulostulo-päähän, joka kuuluu mainittuun ensimmäiseen ryhmään, on varustettu vale-elektrodisormella tai parittomalla lukumäärällä valesormia, jolloin kukin interdigitaalinen muutin, joka kuuluu mainittuun en-10 simmäiseen ryhmään, on tällöin invertoitu vaiheeltaan suhteessa kuhunkin mainittuun interdigitaaliseen muuttimeen, joka kuuluu mainittuun toiseen ryhmään.
10. Patenttivaatimuksen 7 mukainen IIDT-tyyppinen moniasteinen pinta-akustinen aaltolaite, tunnettu siitä, että mainittu interdigitaalinen muutin, joka kuuluu mainittuun ensimmäiseen 15 ryhmään, on kytketty sarjaan kunkin interdigitaalisen muuttimen kanssa, joka kuuluu mainit tuun ryhmään maapotentiaalin kautta.
11. Patenttivaatimuksen 7 mukainen IIDT-tyyppinen moniasteinen pinta-akustinen aaltolaite, tunnettu siitä, että tasapainotetut sisäänmeno/ulostulo-päät on sovitettu mainitun alueen toi- 20 selle puolelle, joka on varustettu kaikilla interdigitaalisilla muuttimilla.
..,.; 12. Patenttivaatimuksen 7 mukainen IIDT-tyyppinen moniasteinen pinta-akustinen aaltolaite, • · ·. tunnettu siitä, että siihen edelleen kuuluu pari heijastinta, jotka on sovitettu alueen kummal- # · · • 1 1 ·. lekin puolelle, j oka on varustettu mainitulla ainakin kolmella interdigitaalisella muuttimella. * · · * « · · • · · » · · * · · » · • · · • » • · • · • · · • · · · • · » · * · · > · • · · i3 113920
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35093 | 1993-01-05 | ||
JP00035093A JP3254779B2 (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 多電極形弾性表面波装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI940014A0 FI940014A0 (fi) | 1994-01-03 |
FI940014A FI940014A (fi) | 1994-07-06 |
FI113920B true FI113920B (fi) | 2004-06-30 |
Family
ID=11471393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI940014A FI113920B (fi) | 1993-01-05 | 1994-01-03 | IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5568002A (fi) |
EP (1) | EP0605884A1 (fi) |
JP (1) | JP3254779B2 (fi) |
FI (1) | FI113920B (fi) |
Families Citing this family (69)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0584761B2 (en) * | 1992-08-24 | 2005-08-31 | NRS Technologies Inc. | Surface acoustic wave resonator filter |
JP3237387B2 (ja) * | 1994-04-12 | 2001-12-10 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波共振子フィルタ |
JP3244386B2 (ja) * | 1994-08-23 | 2002-01-07 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波装置 |
US5835990A (en) * | 1995-06-16 | 1998-11-10 | Northern Telecom Limited | Longitudinally coupled double mode surface wave resonators |
GB2306821B (en) * | 1995-11-03 | 2000-05-31 | Advanced Saw Prod Sa | Electro-acoustic device |
JPH09205342A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
DE69724689T2 (de) * | 1996-04-02 | 2004-04-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Akustischer Oberflächenwellenfilter |
JP3239064B2 (ja) * | 1996-05-28 | 2001-12-17 | 富士通株式会社 | 弾性表面波装置 |
US6003370A (en) * | 1996-05-30 | 1999-12-21 | Minolta Co., Ltd. | Elastic surface wave gyroscope |
DE19638370C2 (de) * | 1996-09-19 | 2001-06-13 | Epcos Ag | Oberflächenwellenfilter für unsymmetrische/symmetrische und symmetrische/symmetrische Betriebsweise |
JP3186604B2 (ja) * | 1996-10-09 | 2001-07-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ装置 |
JP2982864B2 (ja) * | 1996-10-14 | 1999-11-29 | 日本電気株式会社 | 弾性表面波装置 |
US6144288A (en) * | 1997-03-28 | 2000-11-07 | Eaton Corporation | Remote wireless switch sensing circuit using RF transceiver in combination with a SAW chirp processor |
US5896071A (en) * | 1997-05-15 | 1999-04-20 | Northern Telecom Limited | Surface wave device balun resonator filters |
DE19724259C2 (de) * | 1997-06-09 | 2002-11-14 | Epcos Ag | Dualmode-Oberflächenwellenfilter |
DE19724258C2 (de) * | 1997-06-09 | 2002-10-10 | Epcos Ag | Dualmode-Oberflächenwellenfilter |
WO2004102797A1 (ja) * | 1997-07-17 | 2004-11-25 | Michiaki Takagi | 2ポートsaw共振子 |
EP0940915B1 (en) * | 1998-03-06 | 2007-07-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Surface acoustic wave device and communication apparatus |
DE19818038B4 (de) * | 1998-04-22 | 2004-07-22 | Epcos Ag | Dualmode-Oberflächenwellenfilter |
DE19818826B4 (de) * | 1998-04-27 | 2004-11-04 | Epcos Ag | Oberflächenwellenfilter mit erhöhter Bandbreite |
JP2000286675A (ja) * | 1999-03-29 | 2000-10-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波フィルター装置及びこれを具えた携帯電話機 |
US6255915B1 (en) * | 1999-05-10 | 2001-07-03 | Research In Motion Limited | Differential surface acoustic wave filter having balanced outputs |
JP3607833B2 (ja) * | 1999-05-28 | 2005-01-05 | 沖電気工業株式会社 | 差動弾性表面波フィルタ |
DE19938748B4 (de) * | 1999-08-16 | 2007-02-01 | Epcos Ag | Dualmode-Oberflächenwellen-Filter mit verbesserter Symmetrie und erhöhter Sperrdämpfung |
US6720842B2 (en) | 2000-02-14 | 2004-04-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter device having first through third surface acoustic wave filter elements |
DE10007178A1 (de) | 2000-02-17 | 2001-08-23 | Epcos Ag | Oberflächenwellenfilter mit Reaktanzelementen |
JP2001267885A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波装置 |
DE10013861A1 (de) * | 2000-03-21 | 2001-09-27 | Epcos Ag | Dualmode-Oberflächenwellenfilter mit verbesserter Symmetrie und erhöhter Sperrdämpfung |
JP3391346B2 (ja) | 2000-04-18 | 2003-03-31 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
US6825794B2 (en) * | 2000-06-02 | 2004-11-30 | Research In Motion Limited | Wireless communication system using surface acoustic wave (SAW) second harmonic techniques |
US6462698B2 (en) | 2000-06-02 | 2002-10-08 | Research In Motion Limited | Wireless communication system using surface acoustic wave (SAW) single-phase unidirectional transducer (SPUDT) techniques |
JP3391347B2 (ja) | 2000-06-26 | 2003-03-31 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
JP3687566B2 (ja) * | 2000-07-25 | 2005-08-24 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
JP3478260B2 (ja) * | 2000-10-27 | 2003-12-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタおよび通信機装置 |
JP3440935B2 (ja) * | 2000-11-29 | 2003-08-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
JP3480445B2 (ja) * | 2001-01-10 | 2003-12-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
US6828879B2 (en) * | 2001-02-16 | 2004-12-07 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Longitudinal coupled multiple mode surface acoustic wave filter |
JP3384403B2 (ja) * | 2001-03-01 | 2003-03-10 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、通信装置 |
JP2002300004A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 弾性表面波フィルタ |
KR100609219B1 (ko) * | 2001-04-09 | 2006-08-02 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성표면파 장치 및 통신 장치 |
JP3509771B2 (ja) * | 2001-04-18 | 2004-03-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ装置、通信装置 |
EP1263137B1 (en) | 2001-05-31 | 2017-07-26 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter, balanced type filter and communication device |
JP2003069383A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP3820954B2 (ja) * | 2001-10-12 | 2006-09-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、通信装置 |
TWI315607B (en) * | 2001-10-29 | 2009-10-01 | Panasonic Corp | Surface acoustic wave filter element, surface acoustic wave filter and communication device using the same |
JP3826877B2 (ja) * | 2002-01-22 | 2006-09-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置およびそれを有する通信装置 |
JP3846409B2 (ja) * | 2002-02-15 | 2006-11-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、通信装置 |
JP3838128B2 (ja) | 2002-03-18 | 2006-10-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、および、これを搭載した通信装置 |
EP1372263A3 (en) * | 2002-04-15 | 2009-09-16 | Panasonic Corporation | High-frequency device and communication apparatus |
US6856214B2 (en) * | 2002-12-10 | 2005-02-15 | Nortel Networks Limited | Surface wave devices with low passband ripple |
FR2848745B1 (fr) * | 2002-12-17 | 2005-04-08 | Temex Sa | Filtre dms a faibles pertes d'insertion et symetrie optimisee |
JP4291115B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2009-07-08 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波フィルタ及びそれを用いた無線装置 |
DE102004020183B4 (de) | 2004-04-22 | 2015-12-03 | Epcos Ag | Oberflächenwellen-Resonatorfilter mit longitudinal gekoppelten Wandlern |
KR100680512B1 (ko) | 2004-08-23 | 2007-02-08 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 밸런스형 탄성 표면파 필터 |
JP4303178B2 (ja) | 2004-08-31 | 2009-07-29 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波装置 |
DE102004048715B4 (de) | 2004-10-06 | 2014-05-22 | Epcos Ag | SAW-Filter mit Impedanz-Transformation |
JP4556950B2 (ja) | 2004-10-22 | 2010-10-06 | 株式会社村田製作所 | バランス型弾性表面波フィルタ |
CN1976222B (zh) | 2005-11-30 | 2011-09-21 | 京瓷株式会社 | 声表面波元件、声表面波装置以及具有它的通信装置 |
JP2006101550A (ja) * | 2005-12-05 | 2006-04-13 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波デバイス及びこれを用いた通信装置、並びにアンテナデュプレクサ |
CN101438495B (zh) * | 2006-05-08 | 2012-04-18 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波装置和双工器 |
WO2007148510A1 (ja) * | 2006-06-21 | 2007-12-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ |
JP4873010B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2012-02-08 | 株式会社村田製作所 | バランス型弾性波フィルタ装置 |
KR101113362B1 (ko) | 2007-08-23 | 2012-03-02 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 듀플렉서, 통신 모듈, 및 통신 장치 |
WO2009139280A1 (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-19 | 株式会社村田製作所 | アンプモジュール |
JP5350720B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2013-11-27 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、及び弾性波装置 |
JP5100890B2 (ja) * | 2009-06-26 | 2012-12-19 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波フィルタおよびそれを用いた分波器 |
CN104902416B (zh) * | 2015-04-28 | 2018-02-16 | 南京航空航天大学 | 一种多叉指并联型乐甫波器件结构及其批量液体检测方法 |
CN105631106B (zh) * | 2015-12-25 | 2018-11-20 | 北京航天微电科技有限公司 | 一种高频声表面波器件声电协同全波仿真方法 |
US20170245361A1 (en) * | 2016-01-06 | 2017-08-24 | Nokomis, Inc. | Electronic device and methods to customize electronic device electromagnetic emissions |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3872410A (en) * | 1972-12-04 | 1975-03-18 | Gte Laboratories Inc | Surface wave filter for tv if stage |
US4044321A (en) * | 1976-03-01 | 1977-08-23 | Rockwell International Corporation | Surface acoustic wave band pass filtering |
JPS57202114A (en) * | 1981-06-05 | 1982-12-10 | Hitachi Ltd | Band pass filter |
JPS62115A (ja) * | 1985-02-25 | 1987-01-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フイルタ |
JPH01157109A (ja) * | 1987-12-14 | 1989-06-20 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振器 |
DE3942148A1 (de) * | 1989-12-20 | 1991-06-27 | Siemens Ag | Oberflaechenwellen-reflektorfilter |
EP0487783B1 (de) * | 1990-11-30 | 1997-02-05 | SIEMENS MATSUSHITA COMPONENTS GmbH & CO. KG | Oberflächenwellen-Resonator |
CA2062463C (en) * | 1991-03-29 | 1996-01-16 | Yoshio Satoh | Surface acoustic wave device for band-pass filter having small insertion loss and predetermined pass-band characteristics for broad band |
-
1993
- 1993-01-05 JP JP00035093A patent/JP3254779B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1993-12-28 EP EP93121017A patent/EP0605884A1/en not_active Withdrawn
-
1994
- 1994-01-03 FI FI940014A patent/FI113920B/fi not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-10-10 US US08/541,935 patent/US5568002A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5568002A (en) | 1996-10-22 |
EP0605884A1 (en) | 1994-07-13 |
JPH06204781A (ja) | 1994-07-22 |
JP3254779B2 (ja) | 2002-02-12 |
FI940014A (fi) | 1994-07-06 |
FI940014A0 (fi) | 1994-01-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI113920B (fi) | IIDT-tyyppinen pinta-akustinen aaltolaite | |
US8225470B1 (en) | Process of making series connected interdigitated transducers with center chirping | |
US6353372B1 (en) | Dual-mode surface acoustic wave filter with split input/output converters determining impedance | |
CN1126247C (zh) | 表面波器件平衡-不平衡转换谐振器滤波器和表面波器件 | |
US9035726B2 (en) | SAW filter circuit having improved ESD resistance | |
KR100730890B1 (ko) | 탄성 표면파 장치 | |
EP1670138B1 (en) | Surface acoustic wave filter and communication unit | |
CN1133269C (zh) | 邻近耦合差动式输入/输出声表面波设备 | |
JP2004096244A (ja) | 弾性表面波装置、通信装置 | |
JP3534080B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
KR20010082157A (ko) | 탄성 표면파 필터 장치 | |
CN101006640A (zh) | 平衡型声波滤波器件 | |
KR100861219B1 (ko) | 밸런스형 saw필터 | |
US6441704B1 (en) | Surface acoustic wave filter having balanced crosstalk capacitances in symmetric operation | |
KR20030019132A (ko) | 탄성 표면파 필터 | |
JP4655161B2 (ja) | バランス型弾性波フィルタ装置及び複合フィルタ | |
JP2013526808A (ja) | 平衡/不平衡作動型のsawフィルタ | |
JP2003124777A (ja) | 弾性表面波装置 | |
US20100045397A1 (en) | Resonator Filter Working With Surface Acoustic Waves | |
KR101743183B1 (ko) | 탄성표면파 필터 장치 및 듀플렉서 | |
CA1252528A (en) | Electrical filter with acoustic waves | |
KR20000017376A (ko) | 리젝션을 보상하는 서로 다른 2 채널을 갖는 음향 필터 | |
WO2017176856A1 (en) | Saw filter with a large bandwidth | |
JP2015002375A (ja) | 分波装置 | |
CN101667815B (zh) | 声波装置和*** |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MA | Patent expired |