JP4049612B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は弾性表面波装置に関し、特に入出力のいずれか一方が平衡型あるいは差動型端子対を有する弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
弾性表面波装置は、一適用例として、携帯電話等に代表される無線装置の高周波回路においてフィルタ機能を有するデバイスとして広く用いられている。近年、この無線装置の高周波回路において、平衡あるいは差動入出力をもつ集積回路素子（ＩＣ）が使われてきている。
【０００３】
これに対し、従来の弾性表面波装置を用いるフィルタ（以下適宜弾性表面波フィルタという）は、入出力端子がともに不平衡であった。このためバランと呼ばれる不平衡−平衡変換用部品もしくは、個別部品から構成された変換回路が必要とされていた。
【０００４】
さらに、弾性表面波フィルタは、通常５０Ωの入出力インピーダンスを持つのに対し、平衡端子対をもつミキサー回路用ＩＣ等のインピーダンスは多くの場合、１００〜２００Ω程度と高く、このようなＩＣと弾性表面波フィルタとを接続するためにはインピーダンス変換回路も必要であった。
【０００５】
これらの事情により無線装置において使用回路部品点数の増加につながってしまう。また、一層の小型化の要求を実現するために、省スペースの設計が要求されている。そこで、不平衡−平衡変換機能とインピーダンス変換の機能を備え、同時に小型化を実現する弾性表面波装置の開発・研究がなされてきた。
【０００６】
かかる開発・研究の過程において本発明者等は、先の出願ＰＣＴ／ＪＰ０１／０５６７７により不平衡−平衡変換機能とインピーダンス変換機能を有する弾性表面波装置を提案している。
【０００７】
かかる先の出願（ＰＣＴ／ＪＰ０１／０５６７７）において提示された弾性表面波装置の基本構成は図１及び図２に示す如くである。
【０００８】
図１は、弾性表面波フィルタを構成する電極構造を示し、図２は、この電極構造が圧電基板上に形成された弾性表面波装置１０を示している。
【０００９】
１つの櫛形電極構造の入力用インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）１００と出力用インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）２００は圧電基板１１上に形成される弾性表面波の伝搬路上に配置されている。なお、これらの入力用及び出力用のＩＤＴ１００，２００は、可逆関係にあるので、これらを逆の関係即ち、ＩＤＴ１００側を不平衡出力、ＩＤＴ２００側を平衡入力とすることも可能である。以下の説明においても同様である。
【００１０】
さらに、図１に示す電極構造を配置した圧電基板１１は、ＬｉＴａＯ3或いは、ＬｉＮｂＯ3の結晶体から所定角度で切り出されて得られたものである。
【００１１】
図２において、弾性表面波装置の入力端子ＩＮ、接地端子ＧＮＤ、及び出力端子ＯＵＴ１，ＯＵＴ２は、図示しないパッケージ外部に設けられ、圧電基板１１上に形成された電極パッド１２と各端子との間が引き出し線で接続されている。
【００１２】
図１、図２において、入力用ＩＤＴ１００の片側の櫛形の第１の電極指１０１は入力信号端子ＩＮに接続され、対向する櫛形の第２の電極指１０２は接地電位に接続されている。これら第１の電極指１０１と第２の電極指１０２が重なる幅Ｘが入力用ＩＤＴ１００の交差幅である。
【００１３】
一方、出力用ＩＤＴ２００は、入力用ＩＤＴ１００の交差幅Ｘの範囲内で、交差幅Ｘの略半分の交差幅Ｘ１，Ｘ２を有する第１、第２の分割されたインターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）２０１，２０２を有する。
【００１４】
第１の分割ＩＤＴ２０１の一方の電極指と第２の分割ＩＤＴ２０２の一方の電極指が、それぞれ平衡出力端子対ＯＵＴ１,ＯＵＴ２に接続され、更に第１、第２の分割されたＩＤＴ２０１，２０２のそれぞれの他方の電極指が共通の電極２０３により直列接続される様に構成されている。
【００１５】
かかる図１，図２の構成により入力用ＩＤＴ１００側の端子を不平衡型に、他方の出力用ＩＤＴ２００側の端子を平衡型にすることができる。さらに出力用ＩＤＴ２００を構成する第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２は、直列接続とされているので、入力用ＩＤＴ１００側に対し、インピーダンスを４倍とすることが可能である。
【００１６】
ここで、特に第１、第２の分割ＩＤＴ２０１，２０２の電極指は、互いに電極指の位置が１周期分、すなわち弾性表面波長λの１／２分ずれた構成とされている。
【００１７】
さらに、図１において、ＩＤＴ２０１とＩＤＴ２０２の接続部の共通電極２０３は、電極２１３によって入力用ＩＤＴ１００の片側の接地電位ＧＮＤに接続される第２の電極指１０２に接続されている。これによりＩＤＴ２０１とＩＤＴ２０２の接続部の共通電極２０３を強制的に接地電位ＧＮＤに落とすことが可能である。かかる構造とすることにより平衡出力端子対ＯＵＴ１，ＯＵＴ１における信号の位相差バランスを良好にすることが可能である。
【００１８】
さらに、図３に示す電極構造は、図１の基本電極構造をダブルモード型弾性表面波装置に適用した例である。すなわち、入力用ＩＤＴ１００及び、出力用ＩＤＴ２００をともに、多段のＩＤＴ（図３の例では３段のＩＤＴ１〜３）の両側に反射器ＲＥＦ１，ＲＥＦ２を備えたダブルモード型弾性表面波構成とし、更に、不平衡入力段と、平衡出力段とを直列接続に接続している。
【００１９】
かかる図３の構成において、分割ＩＤＴ２０１，２０２を直列接続する共通電極２０３が隣接するＩＤＴ２０４，２０５の接地電極に接続されている。これにより、図３に示すダブルモード多段直列接続構成の弾性表面波装置においても、位相差バランスを良好にすることができる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、かかる本発明者による先の出願により提示された弾性表面波装置を前提に、平衡入力端子あるいは、平衡出力端子における位相差バランスを改善し、更に好ましくは通過帯域におけるスプリアスを抑制し、挿入損失が大きくなることを防止できる弾性表面波装置を提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第１の態様として、圧電基板と、前記圧電基板の弾性表面波伝搬路上に配置され、それぞれ少なくとも一つ以上のインターデジタルトランスデューサを有して構成される入力用インターデジタルトランスデューサ及び、出力用インターデジタルトランスデューサを有し、前記入力用インターデジタルトランスデューサ又は、出力用インターデジタルトランスデューサの電極指の交差幅をＸとする時、前記出力用インターデジタルトランスデューサ又は、入力用インターデジタルトランスデューサは、それぞれ交差幅を略Ｘ／２とする電極指を持つ２つの分割インターデジタルトランスデューサを有し、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサのそれぞれの電極指の電極は、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサから引き出され、平衡端子対に接続される２つの出力又は入力における信号の位相が１８０°異なる様に配置され、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサは、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサにおける電極指のピッチの２倍より大きい電極幅を有するべた形状の共通電極により直列接続され、更に前記共通電極は、接地電位に接続されていることを特徴とする。
【００２２】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第２の態様として、第１の態様において、さらに、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサに隣接するインターデジタルトランスデューサを有し、前記共通電極は前記隣接するインターデジタルトランスデューサの電極指を通して接地電位に接続されることを特徴とする。
【００２３】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第３の態様として、第１の態様において、さらに、送受信用インターデジタルトランスデューサを有し、前記入力用インターデジタルトランスデューサ及び出力用インターデジタルトランスデューサは、前記送受信用インターデジタルトランスデューサにより、２段に接続されていることを特徴とする。
【００２４】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第４の態様として、圧電基板と、前記圧電基板の弾性表面波伝搬路上に配置され、それぞれ少なくとも一つ以上のインターデジタルトランスデューサを有して構成される入力用インターデジタルトランスデューサ及び、出力用インターデジタルトランスデューサを有し、前記入力用インターデジタルトランスデューサ又は、出力用インターデジタルトランスデューサの電極指の交差幅をＸとする時、前記出力用インターデジタルトランスデューサ又は、入力用インターデジタルトランスデューサは、それぞれ交差幅を略Ｘ／２とする電極指を持つ第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサを有し、前記第１及び、第２の分割インターデジタルトランスデューサのそれぞれの電極指の電極は、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサから引き出され、平衡端子対に接続される２つの出力又は入力における信号の位相が１８０°異なる様に配置され、前記第１の分割インターデジタルトランスデューサの電極指を共通に接続する第１の共通電極と、前記第２の分割インターデジタルトランスデューサの電極指を共通に接続する第２の共通電極との間に空隙を有し、前記第１及び第２の共通電極が、接地電位に接続されていることを特徴とする。
【００２５】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第５の態様として、第４の態様において、さらに、前記第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサに隣接するインターデジタルトランスデューサを有し、前記第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサの第１の共通電極及び第２の共通電極は、前記隣接するインターデジタルトランスデューサの電極指を通して接地電位に接続されていることを特徴とする。
【００２６】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第６の態様として、第４の態様において、さらに、送受信用インターデジタルトランスデューサを有し、前記入力用インターデジタルトランスデューサ及び出力用インターデジタルトランスデューサは、前記送受信用インターデジタルトランスデューサにより、２段に接続されていることを特徴とする。
【００２７】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第７の態様として、第４の態様において、前記第１の共通電極と第２の共通電極との間に有する空隙が、前記空隙の両端において、それぞれ電極で接続されていることを特徴とする。
【００２８】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第８の態様として、第４の態様において、前記第１の共通電極と第２の共通電極との間に有する空隙が、複数の電極で接続されていることを特徴とする。
【００２９】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第９の態様として、第４の態様において、前記第１の共通電極と第２の共通電極との間の空隙において、前記第１、第２の共通電極の長さより短い一つの電極により接続されていることを特徴とする。
【００３０】
本発明の特徴は、以下に図面に従い説明される発明の実施の形態例から明らかになる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
図４は、本発明の第１の特徴を実現する実施の形態例である。図１と同様に電極構造のみを示しているが、圧電基板に形成されて図２に示したと同様に弾性表面波装置が構成される。以下の実施の形態例においても同様であり、説明の簡単化のために実施の形態例として電極構造のみを示す。
【００３２】
図４において、入力ＩＤＴ３００，３０１と、分割された第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２が直列接続されて構成される平衡出力用ＩＤＴ２００を有して構成される。
【００３３】
なお、図４におけるインピーダンスについて言及すると、両側の入力ＩＤＴ３００、３０１のインピーダンスはそれそれ１００Ωで、ＩＮ端子に共通に接続することで、入力インピーダンスとしては５０Ωとなる。出力ＩＤＴ２００については分割前のインピーダンスが５０Ωで、分割後がそれぞれ１００Ω、さらに直列接続することで出力インピーダンスとしては２００Ωとなり、入力インピーダンスの４倍ということになります。また、図では入出力ＩＤＴともに同じ電極対数のイメージで示されているが、実施例として、出力ＩＤＴ２００の電極対数が入力ＩＤＴの対数の２倍程度あり、分割前の出力ＩＤＴ２００のインピーダンスは１つの入力ＩＤＴの半分の５０Ωとなっている。
【００３４】
この実施の形態例における特徴は、本発明に従い第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する共通電極２０３の電極幅が弾性表面波の波長λより大きく設定されていることにある。
【００３５】
図５は、本発明の第１の特徴を実現する第２の実施の形態例であり、図３の構成例に対応して入力段と出力段が直列接続された構成である、
入力段は、不平衡入力端子を有する入力用ＩＤＴ１００と、入力用ＩＤＴ１００で生成した弾性表面波を出力段に伝達する送信用ＩＤＴ１１０，１１１を有して構成される。一方、出力段は、入力段の送信用ＩＤＴ１１０，１１１のそれぞれと直列接続された受信用ＩＤＴ２１０，２１１と、平衡出力端子を有する出力用ＩＤＴ２００を有して構成される。
【００３６】
図５に示す実施の形態例では、図４に示す実施の形態例と同様に出力用ＩＤＴ２００が、直列接続された第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２で構成されている。
【００３７】
第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する共通電極２０３は、図４の実施の形態例構成と同様に隣接する受信用ＩＤＴ２１０，２１１の櫛形電極指を通して接地電位に強制的に接続されている。さらに、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する共通電極２０３の電極は、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２の電極指のピッチの２倍（弾性表面波の波長λに対応する）より大きな電極幅に設定されている。
【００３８】
上記図４及び図５の実施の形態例に共通する特徴として、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する共通電極２０３は、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２の電極指のピッチの２倍より大きい電極幅を有するべた形状の電極形状を成している。かかる本発明の第１の特徴により、位相差バランスをより改善することができる。
【００３９】
図６は、かかる本発明の第１の特徴による弾性表面波フィルタにおける位相差バランスの改善を示す図である。図６において、グラフIは図３に示す電極構造と同様に、それぞれ３つのＩＤＴ１〜３をカスケード接続した入力段と、出力段を有する弾性表面波フィルタの位相バランス特性を示している。
【００４０】
さらに、上記構成で入力段の３つのＩＤＴ１〜３のうち、ＩＤＴ１,３は、それぞれ３つのブロックに分かれ、それらの電極対数と電極波長λ（＝電極ピッチ［λ／２］×２）に関し、左のブロックから電極対数：１２−２−１．５［対］，電極波長：４．４３−４．３１５−４．００５［μｍ］、電極交差幅Ｘ：２４４μｍである。さらに、ＩＤＴ２も３つのブロックに分かれ、それらの電極対数と電極波長λ（＝電極ピッチ［λ／２］×２）に関し、左のブロックから電極対数：２．５−１４−２．５［対］，電極波長：４．２１−４．４７−４．２１［μｍ］、電極交差幅Ｘ：２４４μｍである。
【００４１】
一方、出力段の３つのＩＤＴ１〜３のうち、ＩＤＴ１,３はそれぞれ３つのブロックに分かれ、それらの電極対数と電極波長λ（＝電極ピッチ［λ／２］×２）に関し、左のブロックから電極対数：１２−２−１．５［対］，電極波長：４．４３−４．３１５−４．００５［μｍ］、電極交差幅Ｘ：２４４μｍである。さらに、ＩＤＴ２は、２つの分割ＩＤＴで構成され、それぞれ３つのブロックに分かれ、電極波長λ（＝電極ピッチ［λ／２］×２）に関し、左のブロックから電極対数：２．５−１４−２．５［対］，電極波長：４．２１−４．４７−４．２１［μｍ］、電極交差幅Ｘ：１３３μｍである。
【００４２】
上記電極構造の弾性表面波フィルタにおいて、図６のグラフIは、２つの分割ＩＤＴを直列接続する共通電極２０３の電極幅を２．５μｍ（＜中心ブロック波長λ＝４．４７）としたときの特性である。
【００４３】
一方、図６のグラフIIは、２つの分割ＩＤＴを直列接続する共通電極２０３の電極幅を７．５μｍ（＞波長λ＝４．４７）としたときの特性である。
【００４４】
これらの特性グラフにおいて、弾性表面波フィルタの通過帯域が正規化周波数で０．９８〜１．０２の範囲であり、この時の位相差の範囲は、電極幅７．５μｍの場合、１７４°〜１８６°であり、電極幅２．５μｍの場合は、１７３°〜１８８°である。
【００４５】
したがって、図６のグラフから、上記に示した図４，図５に示す実施の形態例において、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を大きくする（グラフI→グラフII）と、平衡出力あるいは平衡入力端子における位相差バランスをより改善できることが理解される。
【００４６】
一方、ここで、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を弾性表面波の波長λ以下にすることが、通過帯域内のスプリアス特性に関し、望ましいことが報告されている（特開２００１−２９２０５０号公報：詳細な説明の欄の項【００３７】）。
【００４７】
本発明者においても、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を大きくしていくと通過帯域内でディップ（ノッチあるいはスプリアスとも言う）が生じ、挿入損失が大きくなることを確認している。このディップが生じる原理は、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２のそれぞれで生じる横モードの振動（弾性表面波の進行方向）と、ＩＤＴ２０１とＩＤＴ２０２間で生じる縦信号モードが相互に干渉することにより生じる。
【００４８】
したがって、本発明者等は、先に説明したように、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を弾性表面波の波長λに対し、λより大きい値に設定する本発明の第１の特徴により位相差バランスの改善効果を維持しながら、上記のディップによる挿入損失が大きくなることを防ぐことを検討した。
【００４９】
図７は、先に説明した第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を弾性表面波の波長λに対し、λより大きいものとして位相バランスを改善する本発明の第１の特徴のみに基づく実施の形態例の減衰特性と、スプリアスにより生じるディップによる挿入損失の増加を改善する、後に説明する本発明の第２の特徴を合わせて有する実施の形態例の減衰特性とを比較する図である。
【００５０】
図８は、更に図７における通過帯域部分を拡大して示す図である。図８において、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を弾性表面波の波長λに対し、λより大きい値に設定する本発明の第１の実施の形態例の特性において、○で囲った部分にディップが生じていることが判る。
【００５１】
図９は、かかるディップを改善した本発明に従う第２の特徴を有する実施の形態例である。この実施の形態例は、図４の実施の形態例と同様に、入力電極３００，３０１と、分割された第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２が直列接続されて構成される平衡出力電極端子２００を有して構成される。
【００５２】
さらに、特徴として第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３が”べた”電極ではなく、空隙領域２１４を有する様に構成される。
【００５３】
すなわち、電極２０３は、第１の分割ＩＤＴ２０１の櫛形電極の共通電極２０３−１と、第２の分割ＩＤＴ２０２の櫛形電極の共通電極２０３−２とに分離し、これらの間に空隙２１４を設けている。さらに、共通電極２０３−１と２０３−２とを両端の電極２１６，２１７で接続している。
【００５４】
空隙２１４の両端の電極２１６、２１７は、隣接の入力電極３００，３０１の櫛形電極と接続する電極２１３を通して接地電位に接続されている。
【００５５】
この様に第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３が”べた”電極でなく、空隙２１４を有する様に構成されることにより、通過帯域内に生じるディップを解消することができる。
【００５６】
図８における挿入損失の特性図において、グラフIIは、図９の実施の形態例における特性図であり、グラフIにおいて生じていたディップがなくなり、本発明の第２の特徴により挿入損失を小さくすることが可能であることが理解できる。
【００５７】
図１０は、図９に示す実施の形態例と同様に、本発明の第２の特徴である第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３に空隙２１４を設けた構成を図５に示す第１の特徴を有する実施の形態例に適用した例である。
【００５８】
かかる実施の形態例においても、本発明の第１及び第２の特徴を有することができる。
【００５９】
ここで、本発明の第２の特徴は、図９，図１０示す空隙２１４の態様に限定されず他の構成とすることが可能である。
【００６０】
図１１は、更に本発明の第２の特徴を実現する別の実施の形態例である。図９の実施の形態例と比較して、第１の分割ＩＤＴ２０１の共通電極２０３−１と第２の分割ＩＤＴの共通電極２０３−２との間の空隙２０４を複数の電極２１７で接続した構成である。
【００６１】
図１２は、本発明の第２の特徴を実現する更に別の実施の形態例である。図１２に示す実施の形態例は、図４の実施の形態例と比較して、第１の分割ＩＤＴ２０１の共通電極２０３−１と第２の分割ＩＤＴ２０２の共通電極２０３−２を直列接続する電極２０３の長さを短くして、共通電極２０３−１、２０３−２の間で、電極２０３の両側に空隙２１４を設けた構成である。このような構成により本発明の第１及び、第２の特徴を実現することができる。
【００６２】
【発明の効果】
以上図面に従い実施の形態例を説明したように、本発明により、不平衡−平衡変換機能を有する弾性表面波装置において、位相バランスとともに、挿入損失の改善を実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】先に提案した弾性表面波フィルタを構成する電極構造を示す図である。
【図２】図１に示す電極構造が圧電基板上に形成された弾性表面波装置を示す図である。
【図３】図１の基本電極構造をダブルモード型弾性表面波装置に適用した例を示す図である。
【図４】本発明の第１の特徴を実現する実施の形態例を示す図である。
【図５】本発明の第１の特徴を実現する第２の実施の形態例であり、図３の構成例に対応して入力段と出力段が直列接続された構成を示す図である。
【図６】本発明の第１の特徴による弾性表面波フィルタにおける位相差バランスの改善を示す図である。
【図７】本発明の第１の特徴のみに基づく実施の形態例と第２の特徴を合わせて有する実施の形態例の減衰特性とを比較する図である。
【図８】図７における通過帯域部分を拡大して示す図である。
【図９】ディップを改善した本発明に従う第２の特徴を有する実施の形態例である。
【図１０】本発明の第２の特徴である構成を図５に示す第１の特徴を有する実施の形態例に適用した例である。
【図１１】本発明の第２の特徴を実現する別の実施の形態例である。
【図１２】本発明の第２の特徴を実現する更に別の実施の形態例である。
【符号の説明】
１１ 圧電基板
１００ 不平衡入力用ＩＤＴ
２００ 平衡出力用ＩＤＴ
２０１、２０２ 分割ＩＤＴ
２０３ 分割ＩＤＴを直列接続する共通電極
２１４ 空隙
【発明の属する技術分野】
本発明は弾性表面波装置に関し、特に入出力のいずれか一方が平衡型あるいは差動型端子対を有する弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
弾性表面波装置は、一適用例として、携帯電話等に代表される無線装置の高周波回路においてフィルタ機能を有するデバイスとして広く用いられている。近年、この無線装置の高周波回路において、平衡あるいは差動入出力をもつ集積回路素子（ＩＣ）が使われてきている。
【０００３】
これに対し、従来の弾性表面波装置を用いるフィルタ（以下適宜弾性表面波フィルタという）は、入出力端子がともに不平衡であった。このためバランと呼ばれる不平衡−平衡変換用部品もしくは、個別部品から構成された変換回路が必要とされていた。
【０００４】
さらに、弾性表面波フィルタは、通常５０Ωの入出力インピーダンスを持つのに対し、平衡端子対をもつミキサー回路用ＩＣ等のインピーダンスは多くの場合、１００〜２００Ω程度と高く、このようなＩＣと弾性表面波フィルタとを接続するためにはインピーダンス変換回路も必要であった。
【０００５】
これらの事情により無線装置において使用回路部品点数の増加につながってしまう。また、一層の小型化の要求を実現するために、省スペースの設計が要求されている。そこで、不平衡−平衡変換機能とインピーダンス変換の機能を備え、同時に小型化を実現する弾性表面波装置の開発・研究がなされてきた。
【０００６】
かかる開発・研究の過程において本発明者等は、先の出願ＰＣＴ／ＪＰ０１／０５６７７により不平衡−平衡変換機能とインピーダンス変換機能を有する弾性表面波装置を提案している。
【０００７】
かかる先の出願（ＰＣＴ／ＪＰ０１／０５６７７）において提示された弾性表面波装置の基本構成は図１及び図２に示す如くである。
【０００８】
図１は、弾性表面波フィルタを構成する電極構造を示し、図２は、この電極構造が圧電基板上に形成された弾性表面波装置１０を示している。
【０００９】
１つの櫛形電極構造の入力用インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）１００と出力用インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）２００は圧電基板１１上に形成される弾性表面波の伝搬路上に配置されている。なお、これらの入力用及び出力用のＩＤＴ１００，２００は、可逆関係にあるので、これらを逆の関係即ち、ＩＤＴ１００側を不平衡出力、ＩＤＴ２００側を平衡入力とすることも可能である。以下の説明においても同様である。
【００１０】
さらに、図１に示す電極構造を配置した圧電基板１１は、ＬｉＴａＯ3或いは、ＬｉＮｂＯ3の結晶体から所定角度で切り出されて得られたものである。
【００１１】
図２において、弾性表面波装置の入力端子ＩＮ、接地端子ＧＮＤ、及び出力端子ＯＵＴ１，ＯＵＴ２は、図示しないパッケージ外部に設けられ、圧電基板１１上に形成された電極パッド１２と各端子との間が引き出し線で接続されている。
【００１２】
図１、図２において、入力用ＩＤＴ１００の片側の櫛形の第１の電極指１０１は入力信号端子ＩＮに接続され、対向する櫛形の第２の電極指１０２は接地電位に接続されている。これら第１の電極指１０１と第２の電極指１０２が重なる幅Ｘが入力用ＩＤＴ１００の交差幅である。
【００１３】
一方、出力用ＩＤＴ２００は、入力用ＩＤＴ１００の交差幅Ｘの範囲内で、交差幅Ｘの略半分の交差幅Ｘ１，Ｘ２を有する第１、第２の分割されたインターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）２０１，２０２を有する。
【００１４】
第１の分割ＩＤＴ２０１の一方の電極指と第２の分割ＩＤＴ２０２の一方の電極指が、それぞれ平衡出力端子対ＯＵＴ１,ＯＵＴ２に接続され、更に第１、第２の分割されたＩＤＴ２０１，２０２のそれぞれの他方の電極指が共通の電極２０３により直列接続される様に構成されている。
【００１５】
かかる図１，図２の構成により入力用ＩＤＴ１００側の端子を不平衡型に、他方の出力用ＩＤＴ２００側の端子を平衡型にすることができる。さらに出力用ＩＤＴ２００を構成する第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２は、直列接続とされているので、入力用ＩＤＴ１００側に対し、インピーダンスを４倍とすることが可能である。
【００１６】
ここで、特に第１、第２の分割ＩＤＴ２０１，２０２の電極指は、互いに電極指の位置が１周期分、すなわち弾性表面波長λの１／２分ずれた構成とされている。
【００１７】
さらに、図１において、ＩＤＴ２０１とＩＤＴ２０２の接続部の共通電極２０３は、電極２１３によって入力用ＩＤＴ１００の片側の接地電位ＧＮＤに接続される第２の電極指１０２に接続されている。これによりＩＤＴ２０１とＩＤＴ２０２の接続部の共通電極２０３を強制的に接地電位ＧＮＤに落とすことが可能である。かかる構造とすることにより平衡出力端子対ＯＵＴ１，ＯＵＴ１における信号の位相差バランスを良好にすることが可能である。
【００１８】
さらに、図３に示す電極構造は、図１の基本電極構造をダブルモード型弾性表面波装置に適用した例である。すなわち、入力用ＩＤＴ１００及び、出力用ＩＤＴ２００をともに、多段のＩＤＴ（図３の例では３段のＩＤＴ１〜３）の両側に反射器ＲＥＦ１，ＲＥＦ２を備えたダブルモード型弾性表面波構成とし、更に、不平衡入力段と、平衡出力段とを直列接続に接続している。
【００１９】
かかる図３の構成において、分割ＩＤＴ２０１，２０２を直列接続する共通電極２０３が隣接するＩＤＴ２０４，２０５の接地電極に接続されている。これにより、図３に示すダブルモード多段直列接続構成の弾性表面波装置においても、位相差バランスを良好にすることができる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、かかる本発明者による先の出願により提示された弾性表面波装置を前提に、平衡入力端子あるいは、平衡出力端子における位相差バランスを改善し、更に好ましくは通過帯域におけるスプリアスを抑制し、挿入損失が大きくなることを防止できる弾性表面波装置を提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第１の態様として、圧電基板と、前記圧電基板の弾性表面波伝搬路上に配置され、それぞれ少なくとも一つ以上のインターデジタルトランスデューサを有して構成される入力用インターデジタルトランスデューサ及び、出力用インターデジタルトランスデューサを有し、前記入力用インターデジタルトランスデューサ又は、出力用インターデジタルトランスデューサの電極指の交差幅をＸとする時、前記出力用インターデジタルトランスデューサ又は、入力用インターデジタルトランスデューサは、それぞれ交差幅を略Ｘ／２とする電極指を持つ２つの分割インターデジタルトランスデューサを有し、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサのそれぞれの電極指の電極は、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサから引き出され、平衡端子対に接続される２つの出力又は入力における信号の位相が１８０°異なる様に配置され、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサは、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサにおける電極指のピッチの２倍より大きい電極幅を有するべた形状の共通電極により直列接続され、更に前記共通電極は、接地電位に接続されていることを特徴とする。
【００２２】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第２の態様として、第１の態様において、さらに、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサに隣接するインターデジタルトランスデューサを有し、前記共通電極は前記隣接するインターデジタルトランスデューサの電極指を通して接地電位に接続されることを特徴とする。
【００２３】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第３の態様として、第１の態様において、さらに、送受信用インターデジタルトランスデューサを有し、前記入力用インターデジタルトランスデューサ及び出力用インターデジタルトランスデューサは、前記送受信用インターデジタルトランスデューサにより、２段に接続されていることを特徴とする。
【００２４】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第４の態様として、圧電基板と、前記圧電基板の弾性表面波伝搬路上に配置され、それぞれ少なくとも一つ以上のインターデジタルトランスデューサを有して構成される入力用インターデジタルトランスデューサ及び、出力用インターデジタルトランスデューサを有し、前記入力用インターデジタルトランスデューサ又は、出力用インターデジタルトランスデューサの電極指の交差幅をＸとする時、前記出力用インターデジタルトランスデューサ又は、入力用インターデジタルトランスデューサは、それぞれ交差幅を略Ｘ／２とする電極指を持つ第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサを有し、前記第１及び、第２の分割インターデジタルトランスデューサのそれぞれの電極指の電極は、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサから引き出され、平衡端子対に接続される２つの出力又は入力における信号の位相が１８０°異なる様に配置され、前記第１の分割インターデジタルトランスデューサの電極指を共通に接続する第１の共通電極と、前記第２の分割インターデジタルトランスデューサの電極指を共通に接続する第２の共通電極との間に空隙を有し、前記第１及び第２の共通電極が、接地電位に接続されていることを特徴とする。
【００２５】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第５の態様として、第４の態様において、さらに、前記第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサに隣接するインターデジタルトランスデューサを有し、前記第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサの第１の共通電極及び第２の共通電極は、前記隣接するインターデジタルトランスデューサの電極指を通して接地電位に接続されていることを特徴とする。
【００２６】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第６の態様として、第４の態様において、さらに、送受信用インターデジタルトランスデューサを有し、前記入力用インターデジタルトランスデューサ及び出力用インターデジタルトランスデューサは、前記送受信用インターデジタルトランスデューサにより、２段に接続されていることを特徴とする。
【００２７】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第７の態様として、第４の態様において、前記第１の共通電極と第２の共通電極との間に有する空隙が、前記空隙の両端において、それぞれ電極で接続されていることを特徴とする。
【００２８】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第８の態様として、第４の態様において、前記第１の共通電極と第２の共通電極との間に有する空隙が、複数の電極で接続されていることを特徴とする。
【００２９】
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置は、第９の態様として、第４の態様において、前記第１の共通電極と第２の共通電極との間の空隙において、前記第１、第２の共通電極の長さより短い一つの電極により接続されていることを特徴とする。
【００３０】
本発明の特徴は、以下に図面に従い説明される発明の実施の形態例から明らかになる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
図４は、本発明の第１の特徴を実現する実施の形態例である。図１と同様に電極構造のみを示しているが、圧電基板に形成されて図２に示したと同様に弾性表面波装置が構成される。以下の実施の形態例においても同様であり、説明の簡単化のために実施の形態例として電極構造のみを示す。
【００３２】
図４において、入力ＩＤＴ３００，３０１と、分割された第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２が直列接続されて構成される平衡出力用ＩＤＴ２００を有して構成される。
【００３３】
なお、図４におけるインピーダンスについて言及すると、両側の入力ＩＤＴ３００、３０１のインピーダンスはそれそれ１００Ωで、ＩＮ端子に共通に接続することで、入力インピーダンスとしては５０Ωとなる。出力ＩＤＴ２００については分割前のインピーダンスが５０Ωで、分割後がそれぞれ１００Ω、さらに直列接続することで出力インピーダンスとしては２００Ωとなり、入力インピーダンスの４倍ということになります。また、図では入出力ＩＤＴともに同じ電極対数のイメージで示されているが、実施例として、出力ＩＤＴ２００の電極対数が入力ＩＤＴの対数の２倍程度あり、分割前の出力ＩＤＴ２００のインピーダンスは１つの入力ＩＤＴの半分の５０Ωとなっている。
【００３４】
この実施の形態例における特徴は、本発明に従い第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する共通電極２０３の電極幅が弾性表面波の波長λより大きく設定されていることにある。
【００３５】
図５は、本発明の第１の特徴を実現する第２の実施の形態例であり、図３の構成例に対応して入力段と出力段が直列接続された構成である、
入力段は、不平衡入力端子を有する入力用ＩＤＴ１００と、入力用ＩＤＴ１００で生成した弾性表面波を出力段に伝達する送信用ＩＤＴ１１０，１１１を有して構成される。一方、出力段は、入力段の送信用ＩＤＴ１１０，１１１のそれぞれと直列接続された受信用ＩＤＴ２１０，２１１と、平衡出力端子を有する出力用ＩＤＴ２００を有して構成される。
【００３６】
図５に示す実施の形態例では、図４に示す実施の形態例と同様に出力用ＩＤＴ２００が、直列接続された第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２で構成されている。
【００３７】
第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する共通電極２０３は、図４の実施の形態例構成と同様に隣接する受信用ＩＤＴ２１０，２１１の櫛形電極指を通して接地電位に強制的に接続されている。さらに、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する共通電極２０３の電極は、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２の電極指のピッチの２倍（弾性表面波の波長λに対応する）より大きな電極幅に設定されている。
【００３８】
上記図４及び図５の実施の形態例に共通する特徴として、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する共通電極２０３は、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２の電極指のピッチの２倍より大きい電極幅を有するべた形状の電極形状を成している。かかる本発明の第１の特徴により、位相差バランスをより改善することができる。
【００３９】
図６は、かかる本発明の第１の特徴による弾性表面波フィルタにおける位相差バランスの改善を示す図である。図６において、グラフIは図３に示す電極構造と同様に、それぞれ３つのＩＤＴ１〜３をカスケード接続した入力段と、出力段を有する弾性表面波フィルタの位相バランス特性を示している。
【００４０】
さらに、上記構成で入力段の３つのＩＤＴ１〜３のうち、ＩＤＴ１,３は、それぞれ３つのブロックに分かれ、それらの電極対数と電極波長λ（＝電極ピッチ［λ／２］×２）に関し、左のブロックから電極対数：１２−２−１．５［対］，電極波長：４．４３−４．３１５−４．００５［μｍ］、電極交差幅Ｘ：２４４μｍである。さらに、ＩＤＴ２も３つのブロックに分かれ、それらの電極対数と電極波長λ（＝電極ピッチ［λ／２］×２）に関し、左のブロックから電極対数：２．５−１４−２．５［対］，電極波長：４．２１−４．４７−４．２１［μｍ］、電極交差幅Ｘ：２４４μｍである。
【００４１】
一方、出力段の３つのＩＤＴ１〜３のうち、ＩＤＴ１,３はそれぞれ３つのブロックに分かれ、それらの電極対数と電極波長λ（＝電極ピッチ［λ／２］×２）に関し、左のブロックから電極対数：１２−２−１．５［対］，電極波長：４．４３−４．３１５−４．００５［μｍ］、電極交差幅Ｘ：２４４μｍである。さらに、ＩＤＴ２は、２つの分割ＩＤＴで構成され、それぞれ３つのブロックに分かれ、電極波長λ（＝電極ピッチ［λ／２］×２）に関し、左のブロックから電極対数：２．５−１４−２．５［対］，電極波長：４．２１−４．４７−４．２１［μｍ］、電極交差幅Ｘ：１３３μｍである。
【００４２】
上記電極構造の弾性表面波フィルタにおいて、図６のグラフIは、２つの分割ＩＤＴを直列接続する共通電極２０３の電極幅を２．５μｍ（＜中心ブロック波長λ＝４．４７）としたときの特性である。
【００４３】
一方、図６のグラフIIは、２つの分割ＩＤＴを直列接続する共通電極２０３の電極幅を７．５μｍ（＞波長λ＝４．４７）としたときの特性である。
【００４４】
これらの特性グラフにおいて、弾性表面波フィルタの通過帯域が正規化周波数で０．９８〜１．０２の範囲であり、この時の位相差の範囲は、電極幅７．５μｍの場合、１７４°〜１８６°であり、電極幅２．５μｍの場合は、１７３°〜１８８°である。
【００４５】
したがって、図６のグラフから、上記に示した図４，図５に示す実施の形態例において、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を大きくする（グラフI→グラフII）と、平衡出力あるいは平衡入力端子における位相差バランスをより改善できることが理解される。
【００４６】
一方、ここで、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を弾性表面波の波長λ以下にすることが、通過帯域内のスプリアス特性に関し、望ましいことが報告されている（特開２００１−２９２０５０号公報：詳細な説明の欄の項【００３７】）。
【００４７】
本発明者においても、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を大きくしていくと通過帯域内でディップ（ノッチあるいはスプリアスとも言う）が生じ、挿入損失が大きくなることを確認している。このディップが生じる原理は、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２のそれぞれで生じる横モードの振動（弾性表面波の進行方向）と、ＩＤＴ２０１とＩＤＴ２０２間で生じる縦信号モードが相互に干渉することにより生じる。
【００４８】
したがって、本発明者等は、先に説明したように、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を弾性表面波の波長λに対し、λより大きい値に設定する本発明の第１の特徴により位相差バランスの改善効果を維持しながら、上記のディップによる挿入損失が大きくなることを防ぐことを検討した。
【００４９】
図７は、先に説明した第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を弾性表面波の波長λに対し、λより大きいものとして位相バランスを改善する本発明の第１の特徴のみに基づく実施の形態例の減衰特性と、スプリアスにより生じるディップによる挿入損失の増加を改善する、後に説明する本発明の第２の特徴を合わせて有する実施の形態例の減衰特性とを比較する図である。
【００５０】
図８は、更に図７における通過帯域部分を拡大して示す図である。図８において、第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３の電極幅を弾性表面波の波長λに対し、λより大きい値に設定する本発明の第１の実施の形態例の特性において、○で囲った部分にディップが生じていることが判る。
【００５１】
図９は、かかるディップを改善した本発明に従う第２の特徴を有する実施の形態例である。この実施の形態例は、図４の実施の形態例と同様に、入力電極３００，３０１と、分割された第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２が直列接続されて構成される平衡出力電極端子２００を有して構成される。
【００５２】
さらに、特徴として第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３が”べた”電極ではなく、空隙領域２１４を有する様に構成される。
【００５３】
すなわち、電極２０３は、第１の分割ＩＤＴ２０１の櫛形電極の共通電極２０３−１と、第２の分割ＩＤＴ２０２の櫛形電極の共通電極２０３−２とに分離し、これらの間に空隙２１４を設けている。さらに、共通電極２０３−１と２０３−２とを両端の電極２１６，２１７で接続している。
【００５４】
空隙２１４の両端の電極２１６、２１７は、隣接の入力電極３００，３０１の櫛形電極と接続する電極２１３を通して接地電位に接続されている。
【００５５】
この様に第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３が”べた”電極でなく、空隙２１４を有する様に構成されることにより、通過帯域内に生じるディップを解消することができる。
【００５６】
図８における挿入損失の特性図において、グラフIIは、図９の実施の形態例における特性図であり、グラフIにおいて生じていたディップがなくなり、本発明の第２の特徴により挿入損失を小さくすることが可能であることが理解できる。
【００５７】
図１０は、図９に示す実施の形態例と同様に、本発明の第２の特徴である第１の分割ＩＤＴ２０１と第２の分割ＩＤＴ２０２を直列接続する電極２０３に空隙２１４を設けた構成を図５に示す第１の特徴を有する実施の形態例に適用した例である。
【００５８】
かかる実施の形態例においても、本発明の第１及び第２の特徴を有することができる。
【００５９】
ここで、本発明の第２の特徴は、図９，図１０示す空隙２１４の態様に限定されず他の構成とすることが可能である。
【００６０】
図１１は、更に本発明の第２の特徴を実現する別の実施の形態例である。図９の実施の形態例と比較して、第１の分割ＩＤＴ２０１の共通電極２０３−１と第２の分割ＩＤＴの共通電極２０３−２との間の空隙２０４を複数の電極２１７で接続した構成である。
【００６１】
図１２は、本発明の第２の特徴を実現する更に別の実施の形態例である。図１２に示す実施の形態例は、図４の実施の形態例と比較して、第１の分割ＩＤＴ２０１の共通電極２０３−１と第２の分割ＩＤＴ２０２の共通電極２０３−２を直列接続する電極２０３の長さを短くして、共通電極２０３−１、２０３−２の間で、電極２０３の両側に空隙２１４を設けた構成である。このような構成により本発明の第１及び、第２の特徴を実現することができる。
【００６２】
【発明の効果】
以上図面に従い実施の形態例を説明したように、本発明により、不平衡−平衡変換機能を有する弾性表面波装置において、位相バランスとともに、挿入損失の改善を実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】先に提案した弾性表面波フィルタを構成する電極構造を示す図である。
【図２】図１に示す電極構造が圧電基板上に形成された弾性表面波装置を示す図である。
【図３】図１の基本電極構造をダブルモード型弾性表面波装置に適用した例を示す図である。
【図４】本発明の第１の特徴を実現する実施の形態例を示す図である。
【図５】本発明の第１の特徴を実現する第２の実施の形態例であり、図３の構成例に対応して入力段と出力段が直列接続された構成を示す図である。
【図６】本発明の第１の特徴による弾性表面波フィルタにおける位相差バランスの改善を示す図である。
【図７】本発明の第１の特徴のみに基づく実施の形態例と第２の特徴を合わせて有する実施の形態例の減衰特性とを比較する図である。
【図８】図７における通過帯域部分を拡大して示す図である。
【図９】ディップを改善した本発明に従う第２の特徴を有する実施の形態例である。
【図１０】本発明の第２の特徴である構成を図５に示す第１の特徴を有する実施の形態例に適用した例である。
【図１１】本発明の第２の特徴を実現する別の実施の形態例である。
【図１２】本発明の第２の特徴を実現する更に別の実施の形態例である。
【符号の説明】
１１ 圧電基板
１００ 不平衡入力用ＩＤＴ
２００ 平衡出力用ＩＤＴ
２０１、２０２ 分割ＩＤＴ
２０３ 分割ＩＤＴを直列接続する共通電極
２１４ 空隙
Claims (9)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の弾性表面波伝搬路上に配置され、それぞれ少なくとも一つ以上のインターデジタルトランスデューサを有して構成される入力用インターデジタルトランスデューサ及び、出力用インターデジタルトランスデューサを有し、
前記入力用インターデジタルトランスデューサ又は、出力用インターデジタルトランスデューサの電極指の交差幅をＸとする時、前記出力用インターデジタルトランスデューサ又は、入力用インターデジタルトランスデューサは、それぞれ交差幅を略Ｘ／２とする電極指を持つ２つの分割インターデジタルトランスデューサを有し、
前記２つの分割インターデジタルトランスデューサのそれぞれの電極指の電極は、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサから引き出され、平衡端子対に接続される２つの出力又は入力における信号の位相が１８０°異なる様に配置され、
前記２つの分割インターデジタルトランスデューサは、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサにおける電極指のピッチの２倍より大きい電極幅を有するべた形状の共通電極により直列接続され、更に
前記共通電極は、接地電位に接続されている
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項１において、
さらに、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサに隣接するインターデジタルトランスデューサを有し、
前記共通電極は前記隣接するインターデジタルトランスデューサの電極指を通して接地電位に接続される
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項１において、
さらに、送受信用インターデジタルトランスデューサを有し、
前記入力用インターデジタルトランスデューサ及び出力用インターデジタルトランスデューサは、前記送受信用インターデジタルトランスデューサにより、２段に接続されていることを特徴とする弾性表面波装置。 - 圧電基板と、
前記圧電基板の弾性表面波伝搬路上に配置され、それぞれ少なくとも一つ以上のインターデジタルトランスデューサを有して構成される入力用インターデジタルトランスデューサ及び、出力用インターデジタルトランスデューサを有し、
前記入力用インターデジタルトランスデューサ又は、出力用インターデジタルトランスデューサの電極指の交差幅をＸとする時、前記出力用インターデジタルトランスデューサ又は、入力用インターデジタルトランスデューサは、それぞれ交差幅を略Ｘ／２とする電極指を持つ第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサを有し、
前記第１及び、第２の分割インターデジタルトランスデューサのそれぞれの電極指の電極は、前記２つの分割インターデジタルトランスデューサから引き出され、平衡端子対に接続される２つの出力又は入力における信号の位相が１８０°異なる様に配置され、
前記第１の分割インターデジタルトランスデューサの電極指を共通に接続する第１の共通電極と、前記第２の分割インターデジタルトランスデューサの電極指を共通に接続する第２の共通電極との間に空隙を有し、
前記第１及び第２の共通電極が、接地電位に接続されている
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項４において、
さらに、前記第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサに隣接するインターデジタルトランスデューサを有し、
前記第１及び第２の分割インターデジタルトランスデューサの、前記第１及び第２の共通電極は、前記隣接するインターデジタルトランスデューサの電極指を通して接地電位に接続されている
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項４において、
さらに、送受信用インターデジタルトランスデューサを有し、
前記入力用インターデジタルトランスデューサ及び出力用インターデジタルトランスデューサは、前記送受信用インターデジタルトランスデューサにより、２段に接続されていることを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項４において、
前記第１の共通電極と第２の共通電極との間に有する空隙が、前記空隙の両端において、それぞれ電極で接続されていることを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項４において、
前記第１の共通電極と第２の共通電極との間に有する空隙が、複数の電極で接続されていることを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項４において、
前記第１の共通電極と第２の共通電極との間の空隙において、前記第１、第２の共通電極の長さより短い一つの電極により接続されていることを特徴とする弾性表面波装置。
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