JP3201667B2 - 逆止弁用試験装置及び逆止弁の試験方法 - Google Patents
逆止弁用試験装置及び逆止弁の試験方法Info
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- JP3201667B2 JP3201667B2 JP02159793A JP2159793A JP3201667B2 JP 3201667 B2 JP3201667 B2 JP 3201667B2 JP 02159793 A JP02159793 A JP 02159793A JP 2159793 A JP2159793 A JP 2159793A JP 3201667 B2 JP3201667 B2 JP 3201667B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、逆止弁用試験装置と逆
止弁の試験方法の改良に係り、逆閉止圧力を極めて低く
出来るようにした高性能逆止弁の試験に主として利用さ
れるものである。
止弁の試験方法の改良に係り、逆閉止圧力を極めて低く
出来るようにした高性能逆止弁の試験に主として利用さ
れるものである。
【０００２】
【従来の技術】逆止弁の試験には、クラッキング試
験、逆閉止圧力試験（低圧シートリーク試験）、シ
ートリーク試験（弁座漏洩試験）及び耐圧・気密試験
等がある。そして、前記クラッキング試験では、二次側
を大気へ開放した状態で一次側から順方向の圧力を加え
た際に、二次側へ所定量の流体が流れ始めるときの最低
圧力が検査される。また、前記逆閉止圧力試験では、一
次側を大気へ開放した状態で二次側から逆方向の正圧力
が加わった際に、流体の逆流を遮断できるときの最低圧
力が検査される。更に、前記シートリークの試験では、
一次側を大気へ開放した状態で二次側より所定の逆方向
圧力を加えた際の、シートリーク量が検査される。
験、逆閉止圧力試験（低圧シートリーク試験）、シ
ートリーク試験（弁座漏洩試験）及び耐圧・気密試験
等がある。そして、前記クラッキング試験では、二次側
を大気へ開放した状態で一次側から順方向の圧力を加え
た際に、二次側へ所定量の流体が流れ始めるときの最低
圧力が検査される。また、前記逆閉止圧力試験では、一
次側を大気へ開放した状態で二次側から逆方向の正圧力
が加わった際に、流体の逆流を遮断できるときの最低圧
力が検査される。更に、前記シートリークの試験では、
一次側を大気へ開放した状態で二次側より所定の逆方向
圧力を加えた際の、シートリーク量が検査される。
【０００３】例えば、前記従前の逆閉止圧力試験に於い
ては、図７に示す如く逆止弁Ａの一次側Ｓ1 を大気へ開
放すると共に、二次側Ｓ2 より加える圧力Ｐを０ｋｇｆ
／ｃｍ2 Ｇより徐々に昇圧し、シートから一次側への流
体のリークが停止したことを所謂水上置換法で確認す
る。そして、前記リークが停止したときの圧力△Ｐが
０. １ｋｇｆ／ｃｍ2 Ｇ以下であれば、当該逆止弁の逆
閉止圧力は合格値にあると判断している。
ては、図７に示す如く逆止弁Ａの一次側Ｓ1 を大気へ開
放すると共に、二次側Ｓ2 より加える圧力Ｐを０ｋｇｆ
／ｃｍ2 Ｇより徐々に昇圧し、シートから一次側への流
体のリークが停止したことを所謂水上置換法で確認す
る。そして、前記リークが停止したときの圧力△Ｐが
０. １ｋｇｆ／ｃｍ2 Ｇ以下であれば、当該逆止弁の逆
閉止圧力は合格値にあると判断している。
【０００４】一方、近年逆止弁の性能が大幅に向上し、
例えば図８の如き構造のダイヤフラム型逆止弁Ａに於い
ては、前記逆閉止圧力△Ｐを０. ０１ｋｇｆ／ｃｍ2 ａ
ｂｓ程度の低圧力にまで下げることが可能になってい
る。従って、当該ダイヤフラム型逆止弁Ａの様な高性能
逆止弁の検査に於いては、シートからのリークの検出も
高精度で行う必要があり、必然的に高感度なリーク検出
法が要求されることになる。ところが、従前の逆止弁の
逆閉止圧力試験やシートリーク試験で用いられている水
上置換法や石けん膜法等のリーク検出法は、リークの最
小検出感度が１０-5Ａｃｃ／ｓ（１気泡０. １ｃｃ，３
６００ｓｅｃ間の検出値）程度であって比較的悪いた
め、高性能逆止弁の逆閉止圧力試験等へ適用した場合に
は、逆閉止圧力△Ｐに大きな誤差を含むことになる。
例えば図８の如き構造のダイヤフラム型逆止弁Ａに於い
ては、前記逆閉止圧力△Ｐを０. ０１ｋｇｆ／ｃｍ2 ａ
ｂｓ程度の低圧力にまで下げることが可能になってい
る。従って、当該ダイヤフラム型逆止弁Ａの様な高性能
逆止弁の検査に於いては、シートからのリークの検出も
高精度で行う必要があり、必然的に高感度なリーク検出
法が要求されることになる。ところが、従前の逆止弁の
逆閉止圧力試験やシートリーク試験で用いられている水
上置換法や石けん膜法等のリーク検出法は、リークの最
小検出感度が１０-5Ａｃｃ／ｓ（１気泡０. １ｃｃ，３
６００ｓｅｃ間の検出値）程度であって比較的悪いた
め、高性能逆止弁の逆閉止圧力試験等へ適用した場合に
は、逆閉止圧力△Ｐに大きな誤差を含むことになる。
【０００５】一方、流体のリークを高感度で検出する方
策としては、ヘリウムリークディテクター（以下ＨｅＬ
Ｄと呼ぶ）の利用が考えられる。当該ＨｅＬＤはリーク
の最小検出感度が５×１０-11 Ａｃｃ／ｓ程度であって
極めてよく、高精度なリークの検出、延ては高精度な逆
閉止圧力△Ｐの測定が可能となる。
策としては、ヘリウムリークディテクター（以下ＨｅＬ
Ｄと呼ぶ）の利用が考えられる。当該ＨｅＬＤはリーク
の最小検出感度が５×１０-11 Ａｃｃ／ｓ程度であって
極めてよく、高精度なリークの検出、延ては高精度な逆
閉止圧力△Ｐの測定が可能となる。
【０００６】而して、前記ＨｅＬＤによるリーク検出
は、通常一次側Ｓ1 を高真空（１０-4ｔｏｒｒ程度）
に、また二次側Ｓ2 を大気圧に近い状態に保持して行わ
れている。従って、前記シートリーク試験（弁座漏洩試
験）の方は、当該ＨｅＬＤを被検査逆止弁の一次側へ接
続することにより、簡単且つ容易に高精度なリーク量検
出が行なえる。これに対して、前記逆閉止圧力試験に於
いては、前述の通り一次、二次間の差圧△Ｐが０. ０１
ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ程度の近傍でリークの検出を行わ
ねばならないため、従前のＨｅＬＤによるリークの検出
方法をそのまま適用できないと云う問題がある。
は、通常一次側Ｓ1 を高真空（１０-4ｔｏｒｒ程度）
に、また二次側Ｓ2 を大気圧に近い状態に保持して行わ
れている。従って、前記シートリーク試験（弁座漏洩試
験）の方は、当該ＨｅＬＤを被検査逆止弁の一次側へ接
続することにより、簡単且つ容易に高精度なリーク量検
出が行なえる。これに対して、前記逆閉止圧力試験に於
いては、前述の通り一次、二次間の差圧△Ｐが０. ０１
ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ程度の近傍でリークの検出を行わ
ねばならないため、従前のＨｅＬＤによるリークの検出
方法をそのまま適用できないと云う問題がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従前の逆止
弁検査に於ける上述の如き問題、即ち、水上置換法や
石けん膜法によるリーク検査を用いる場合には、高性能
逆止弁に於いてはその逆閉止圧力等を高精度で検出する
ことができないこと、ＨｅＬＤを用いれば、高精度な
リーク検出を行うことが可能となるが、高性能逆止弁で
はその逆閉止圧力が極めて低いため、従前のＨｅＬＤに
よるリーク検出方法を高性能逆止弁の逆閉止圧力検査に
はそのまま適用できないこと等の問題を解決せんとする
ものであり、ダイヤフラム型逆止弁等の高性能逆止弁で
あっても、その逆閉止圧力検査やシートリーク検査等の
各種の検査を簡単に、しかも高精度で行なえるようにし
た逆止弁用試験装置と逆止弁の試験方法を提供するもの
である。
弁検査に於ける上述の如き問題、即ち、水上置換法や
石けん膜法によるリーク検査を用いる場合には、高性能
逆止弁に於いてはその逆閉止圧力等を高精度で検出する
ことができないこと、ＨｅＬＤを用いれば、高精度な
リーク検出を行うことが可能となるが、高性能逆止弁で
はその逆閉止圧力が極めて低いため、従前のＨｅＬＤに
よるリーク検出方法を高性能逆止弁の逆閉止圧力検査に
はそのまま適用できないこと等の問題を解決せんとする
ものであり、ダイヤフラム型逆止弁等の高性能逆止弁で
あっても、その逆閉止圧力検査やシートリーク検査等の
各種の検査を簡単に、しかも高精度で行なえるようにし
た逆止弁用試験装置と逆止弁の試験方法を提供するもの
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本件装置発明は、被検査
逆止弁１の一次側に制御弁Ｖ8 を介設して連結したヘリ
ウムリークディテクター２と；前記被検査逆止弁１の二
次側に制御弁Ｖ2 を介設して連結したヘリウム流量調整
器５と；前記ヘリウム流量調整器５へ制御弁Ｖ 1 を通し
てヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給口９と；前
記制御弁Ｖ2 の出口側に制御弁Ｖ4 を介設して連結した
真空ポンプ３と；前記被検査逆止弁１の一次側圧力を計
測する圧力計７及び二次側圧力を計測する圧力計８とを
発明の基本構成とするものである。
逆止弁１の一次側に制御弁Ｖ8 を介設して連結したヘリ
ウムリークディテクター２と；前記被検査逆止弁１の二
次側に制御弁Ｖ2 を介設して連結したヘリウム流量調整
器５と；前記ヘリウム流量調整器５へ制御弁Ｖ 1 を通し
てヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給口９と；前
記制御弁Ｖ2 の出口側に制御弁Ｖ4 を介設して連結した
真空ポンプ３と；前記被検査逆止弁１の一次側圧力を計
測する圧力計７及び二次側圧力を計測する圧力計８とを
発明の基本構成とするものである。
【０００９】また、本件方法発明は、被検査逆止弁１の
二次側を大気へ連通させると共に、その一次側をヘリウ
ムリークディテクター２の真空ポンプによって高真空に
保持し、次に、被検査逆止弁１の二次側の大気への連通
を遮断したあと、ヘリウム流量調整器５を通して被検査
逆止弁１の二次側へヘリウムガスを供給すると共に、被
検査逆止弁１の二次側を真空ポンプ３によって順次排気
し、前記被検査逆止弁１の二次側圧力Ｐ2 と一次側圧力
Ｐ1 との差△Ｐを所望の設定値とした場合に於けるヘリ
ウムリークディテクター２の検出値から、被検査逆止弁
の逆閉止圧力を確認することを発明の基本構成とするも
のである。
二次側を大気へ連通させると共に、その一次側をヘリウ
ムリークディテクター２の真空ポンプによって高真空に
保持し、次に、被検査逆止弁１の二次側の大気への連通
を遮断したあと、ヘリウム流量調整器５を通して被検査
逆止弁１の二次側へヘリウムガスを供給すると共に、被
検査逆止弁１の二次側を真空ポンプ３によって順次排気
し、前記被検査逆止弁１の二次側圧力Ｐ2 と一次側圧力
Ｐ1 との差△Ｐを所望の設定値とした場合に於けるヘリ
ウムリークディテクター２の検出値から、被検査逆止弁
の逆閉止圧力を確認することを発明の基本構成とするも
のである。
【００１０】
【作用】被検査逆止弁１の一次側は、予かじめヘリウム
リークディテクター２の真空ポンプによって真空引きさ
れ、圧力Ｐ1 の高真空度に保持されている。一方、被検
査逆止弁１の二次側へはヘリウム流量調整器５を通して
十分なヘリウムガスが連続供給されると共に、当該被検
査逆止弁１の二次側は真空ポンプ３によって連続的に排
気される。その結果、被検査逆止弁１の二次側圧力Ｐ2
は、流量調整器５を通して定流量で供給されるヘリウム
ガスと、真空ポンプ３によって排出されるヘリウムガス
流量によって定まる所望の低圧力Ｐ2 に調整され、当該
二次側圧力Ｐ2 と前記一次側圧力Ｐ1 との差△Ｐが、被
検査逆止弁１の弁体に加えられることになる。前記被検
査逆止弁１の逆閉止圧力の確認は、前記差圧△Ｐが所定
値の場合に於けるヘリウムリークディテクター２の漏洩
検出値の大・小によって行われる。
リークディテクター２の真空ポンプによって真空引きさ
れ、圧力Ｐ1 の高真空度に保持されている。一方、被検
査逆止弁１の二次側へはヘリウム流量調整器５を通して
十分なヘリウムガスが連続供給されると共に、当該被検
査逆止弁１の二次側は真空ポンプ３によって連続的に排
気される。その結果、被検査逆止弁１の二次側圧力Ｐ2
は、流量調整器５を通して定流量で供給されるヘリウム
ガスと、真空ポンプ３によって排出されるヘリウムガス
流量によって定まる所望の低圧力Ｐ2 に調整され、当該
二次側圧力Ｐ2 と前記一次側圧力Ｐ1 との差△Ｐが、被
検査逆止弁１の弁体に加えられることになる。前記被検
査逆止弁１の逆閉止圧力の確認は、前記差圧△Ｐが所定
値の場合に於けるヘリウムリークディテクター２の漏洩
検出値の大・小によって行われる。
【００１１】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１は本発明に係る逆止弁用試験装置の全体系統
図であり、図に於いて、１は被検査逆止弁、２はヘリウ
ムリークディテクター、３は真空ポンプ、４は気密試験
箱、５はヘリウム流量調整器、６は窒素流量調整器、７
は一次側圧力計、８は二次側圧力計、９・１０はヘリウ
ムガス供給口、１１は窒素ガスＮ2 供給口、１２は排気
口、１３は制御装置、Ｖ1 〜Ｖ12は制御弁である。
する。図１は本発明に係る逆止弁用試験装置の全体系統
図であり、図に於いて、１は被検査逆止弁、２はヘリウ
ムリークディテクター、３は真空ポンプ、４は気密試験
箱、５はヘリウム流量調整器、６は窒素流量調整器、７
は一次側圧力計、８は二次側圧力計、９・１０はヘリウ
ムガス供給口、１１は窒素ガスＮ2 供給口、１２は排気
口、１３は制御装置、Ｖ1 〜Ｖ12は制御弁である。
【００１２】前記被検査逆止弁１はダイヤフラム型逆止
弁等の高性能逆止弁であり、金属製の気密試験箱４内へ
取外し自在に収納されている。また、前記ヘリウムリー
クディテクター２には公知のＤＬＭＳ−３３ＬＳターボ
仕様（日本真空技術株式会社製）が使用されており、そ
の最小検出リーク量は４×１０-12 気泡・ｍ3 ／ｓｅｃ
（３×１０-11 ｔｏｒｒ，ｌ／ｓｅｃ）である。更に、
前記真空ポンプ３には油回転ポンプ又はドライポンプが
使用されており、到達圧力は１０-2ｔｏｒｒ、排気速度
は１５０ｌ／ｍｉｎに選定されている。
弁等の高性能逆止弁であり、金属製の気密試験箱４内へ
取外し自在に収納されている。また、前記ヘリウムリー
クディテクター２には公知のＤＬＭＳ−３３ＬＳターボ
仕様（日本真空技術株式会社製）が使用されており、そ
の最小検出リーク量は４×１０-12 気泡・ｍ3 ／ｓｅｃ
（３×１０-11 ｔｏｒｒ，ｌ／ｓｅｃ）である。更に、
前記真空ポンプ３には油回転ポンプ又はドライポンプが
使用されており、到達圧力は１０-2ｔｏｒｒ、排気速度
は１５０ｌ／ｍｉｎに選定されている。
【００１３】前記気密試験箱４は金属製の耐圧・密閉式
容器であり、上蓋を開放して内部へ逆止弁１を収納し、
これをメタルシール型の継手を介して一次側及び二次側
管路へ夫々連結したあと、前記上蓋を閉じて逆止弁１を
密封する。尚、前記逆止弁１と管路との接続は、エアー
シリンダー等の自動連結機構を用いた自動接続とするの
が望ましく、また、内部放出ガスの発生を少なくして真
空引きを容易にするため、継手機構はメタルタイプの構
造とするのが望ましい。
容器であり、上蓋を開放して内部へ逆止弁１を収納し、
これをメタルシール型の継手を介して一次側及び二次側
管路へ夫々連結したあと、前記上蓋を閉じて逆止弁１を
密封する。尚、前記逆止弁１と管路との接続は、エアー
シリンダー等の自動連結機構を用いた自動接続とするの
が望ましく、また、内部放出ガスの発生を少なくして真
空引きを容易にするため、継手機構はメタルタイプの構
造とするのが望ましい。
【００１４】前記ヘリウム流量調整器５及び窒素流量調
整器６は所謂マスフローコントローラであり、操作信号
（０〜５Ｖ）を入力することにより、ヘリウムガス又は
窒素ガスの流量（最大流量５ｌ／ｍｉｎ）が調整され
る。また、前記一次側及び二次側圧力計７，８は、所謂
バラメトロン型真空計（０. ０１ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ
〜１５ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）であって、本実施例では
０. ０１ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の分解能を有する真空計が
使用されている。
整器６は所謂マスフローコントローラであり、操作信号
（０〜５Ｖ）を入力することにより、ヘリウムガス又は
窒素ガスの流量（最大流量５ｌ／ｍｉｎ）が調整され
る。また、前記一次側及び二次側圧力計７，８は、所謂
バラメトロン型真空計（０. ０１ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ
〜１５ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）であって、本実施例では
０. ０１ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の分解能を有する真空計が
使用されている。
【００１５】前記制御弁Ｖ1 〜Ｖ12は空気圧作動型のス
トップ弁であり、その最高使用圧力は２０ｋｇｆ／ｃｍ
2 Ｇに設定されている。また、前記ヘリウムガス供給口
９へは１. ３３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ（０. ３ｋｇｆ／
ｃｍ2 Ｇ）のヘリウムガスと１２. ０３ｋｇｆ／ｃｍ2
ａｂｓ（１１ｋｇｆ／ｃｍ2 Ｇ）のヘリウムガスが切換
自在に供給され、且つヘリウムガス供給口１０へは１
２. ０３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓのヘリウムガスが供給さ
れている。更に、前記窒素ガス供給口１１へは２. ０３
ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ（１ｋｇｆ／ｃｍ2 Ｇ）の窒素ガ
スが供給されている。
トップ弁であり、その最高使用圧力は２０ｋｇｆ／ｃｍ
2 Ｇに設定されている。また、前記ヘリウムガス供給口
９へは１. ３３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ（０. ３ｋｇｆ／
ｃｍ2 Ｇ）のヘリウムガスと１２. ０３ｋｇｆ／ｃｍ2
ａｂｓ（１１ｋｇｆ／ｃｍ2 Ｇ）のヘリウムガスが切換
自在に供給され、且つヘリウムガス供給口１０へは１
２. ０３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓのヘリウムガスが供給さ
れている。更に、前記窒素ガス供給口１１へは２. ０３
ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ（１ｋｇｆ／ｃｍ2 Ｇ）の窒素ガ
スが供給されている。
【００１６】前記制御装置１３はマイクロコンピュータ
を主体として形成されており、ヘリウムリークディテク
ター２、真空ポンプ３、流量調整器５，６及び各制御弁
Ｖ1〜Ｖ12等の作動を自動制御することにより、後述す
る被検査逆止弁１の各試験を、予かじめ定めた順序で自
動的に行うと共に、ヘリウムリークディテクター２や圧
力計７，８の標準設定値と測定値を対比することによ
り、各試験結果の合否を判定すると共に、これを記録並
びに表示する。
を主体として形成されており、ヘリウムリークディテク
ター２、真空ポンプ３、流量調整器５，６及び各制御弁
Ｖ1〜Ｖ12等の作動を自動制御することにより、後述す
る被検査逆止弁１の各試験を、予かじめ定めた順序で自
動的に行うと共に、ヘリウムリークディテクター２や圧
力計７，８の標準設定値と測定値を対比することによ
り、各試験結果の合否を判定すると共に、これを記録並
びに表示する。
【００１７】次に、本発明に係る逆止弁用試験装置を用
いた各種の試験方法について説明する。尚、被検査逆止
弁１の仕様は、呼び径６. ３５φ、最高使用圧力１１.
０３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ，耐圧１６. ０３ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 ａｂｓのものが使用されており、その逆閉止圧力は
０. ０１ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ以下、クラッキング圧力
は０. ０７ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ以下、シートリーク量
は１×１０-9Ａｃｃ／ｓ以下に夫々設定されている。 （１）クラッキング圧力試験 図２に示す如く、制御装置１３（図示省略）からの信号
により、制御弁Ｖ3 ，Ｖ5 ，Ｖ9 及びＶ10を開とし、そ
の他の制御弁を閉にする。次に、流量調整器６から３ｌ
／ｍｉｎのＮ2 ガスを被検査逆止弁１へ順方向に流し、
二次側圧力計８の読みを測定する。この時、二次側圧力
計８の読みが基準値０. ０７ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ以下
であれば、当該逆止弁１はクラッキング圧力試験に合格
とし、前記圧力計８の読みが０. ０７ｋｇｆ／ｃｍ2 ａ
ｂｓ以上であれば、不合格とする。尚、これらの合否の
判定は、制御装置１３内に於いて自動的に行われる。
いた各種の試験方法について説明する。尚、被検査逆止
弁１の仕様は、呼び径６. ３５φ、最高使用圧力１１.
０３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ，耐圧１６. ０３ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 ａｂｓのものが使用されており、その逆閉止圧力は
０. ０１ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ以下、クラッキング圧力
は０. ０７ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ以下、シートリーク量
は１×１０-9Ａｃｃ／ｓ以下に夫々設定されている。 （１）クラッキング圧力試験 図２に示す如く、制御装置１３（図示省略）からの信号
により、制御弁Ｖ3 ，Ｖ5 ，Ｖ9 及びＶ10を開とし、そ
の他の制御弁を閉にする。次に、流量調整器６から３ｌ
／ｍｉｎのＮ2 ガスを被検査逆止弁１へ順方向に流し、
二次側圧力計８の読みを測定する。この時、二次側圧力
計８の読みが基準値０. ０７ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ以下
であれば、当該逆止弁１はクラッキング圧力試験に合格
とし、前記圧力計８の読みが０. ０７ｋｇｆ／ｃｍ2 ａ
ｂｓ以上であれば、不合格とする。尚、これらの合否の
判定は、制御装置１３内に於いて自動的に行われる。
【００１８】（２）逆閉止圧力試験 図３は逆止弁の逆指圧力試験の実施説明図である。試験
に際しては、先ず制御装置１３（図示省略）からの信号
により、制御弁Ｖ2 ，Ｖ4 ，Ｖ6 ，Ｖ7 ，Ｖ10，Ｖ11，
Ｖ12を閉に、また制御弁Ｖ3 ，Ｖ5 ，Ｖ8 を開にし、逆
止弁１の二次側を大気へ開放した状態でヘリウムリーク
ディテクター２を作動させ、逆止弁１の一次側を高真空
度に排気する。
に際しては、先ず制御装置１３（図示省略）からの信号
により、制御弁Ｖ2 ，Ｖ4 ，Ｖ6 ，Ｖ7 ，Ｖ10，Ｖ11，
Ｖ12を閉に、また制御弁Ｖ3 ，Ｖ5 ，Ｖ8 を開にし、逆
止弁１の二次側を大気へ開放した状態でヘリウムリーク
ディテクター２を作動させ、逆止弁１の一次側を高真空
度に排気する。
【００１９】次に、Ｖ3 を閉、Ｖ2 及びＶ4 を開に切替
えて、ヘリウム流量調整器５を通してＨｅ（１. ３３ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）を大流量で流すと共に、真空ポン
プ３を起動して、逆止弁１の二次側を大気圧より徐々に
排気する。尚、真空ポンプ３の排気速度は、ヘリウム流
量調整器５から供給されるＨｅ流量とマッチングした速
度に調整される。そして、二次側圧力計８が０. ０１ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓにまで減圧された際のヘリウムリー
クディテクター２の設定値（即ち、逆止弁１の二次側か
ら一次側への漏洩量）を検出し、当該ヘリウムリークデ
ィテクター２の設定値がバックグランド値よりも上昇し
ない場合、若しくは５秒間内の漏洩量の測定値が１×１
０ -9Ａｃｃ／ｓを越えない場合には、当該逆止弁１は逆
圧閉圧力試験に合格したものとする。また、逆に、逆止
弁１の二次側圧力調整過程に於いてヘリウムリークディ
テクター２の測定値が１×１０-8Ａｃｃ／ｓを越えた場
合には、当該逆止弁は逆圧閉圧力試験に不合格とし、直
ちに制御弁Ｖ8 を閉にする。尚、この場合、制御弁Ｖ 8
を閉にするのは、所謂ヘリウムリークディテクターのＨ
ｅ汚染を防止するためである。
えて、ヘリウム流量調整器５を通してＨｅ（１. ３３ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）を大流量で流すと共に、真空ポン
プ３を起動して、逆止弁１の二次側を大気圧より徐々に
排気する。尚、真空ポンプ３の排気速度は、ヘリウム流
量調整器５から供給されるＨｅ流量とマッチングした速
度に調整される。そして、二次側圧力計８が０. ０１ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓにまで減圧された際のヘリウムリー
クディテクター２の設定値（即ち、逆止弁１の二次側か
ら一次側への漏洩量）を検出し、当該ヘリウムリークデ
ィテクター２の設定値がバックグランド値よりも上昇し
ない場合、若しくは５秒間内の漏洩量の測定値が１×１
０ -9Ａｃｃ／ｓを越えない場合には、当該逆止弁１は逆
圧閉圧力試験に合格したものとする。また、逆に、逆止
弁１の二次側圧力調整過程に於いてヘリウムリークディ
テクター２の測定値が１×１０-8Ａｃｃ／ｓを越えた場
合には、当該逆止弁は逆圧閉圧力試験に不合格とし、直
ちに制御弁Ｖ8 を閉にする。尚、この場合、制御弁Ｖ 8
を閉にするのは、所謂ヘリウムリークディテクターのＨ
ｅ汚染を防止するためである。
【００２０】（３）低圧シートリークテスト及び高圧シ
ートリークテスト 図４は逆止弁１の低圧シートリーク試験と高圧シートリ
ーク試験の実施説明図であり、制御弁Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ5
及びＶ8 を開にすると共に、Ｖ3 ，Ｖ4 ，Ｖ6 ，Ｖ7 ，
Ｖ10，Ｖ11及びＶ12を閉にして、供給口９から１. ３３
ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓのヘリウムを制御弁Ｖ1 の入口側
へ供給する。この際、一次側を予かじめ高真空状態とし
たヘリウムリークディテクター２の測定値がバックグラ
ンド値を越えない場合、又は５秒間内の漏洩量が１×１
０-9Ａｃｃ／ｓ以下であれば、当該逆止弁は低圧シート
リークラストに合格したものとし、逆に、前記５秒間内
の漏洩測定値が１×１０-9Ａｃｃ／ｓを越えた場合に
は、低圧シートリークテストに不合格とする。
ートリークテスト 図４は逆止弁１の低圧シートリーク試験と高圧シートリ
ーク試験の実施説明図であり、制御弁Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ5
及びＶ8 を開にすると共に、Ｖ3 ，Ｖ4 ，Ｖ6 ，Ｖ7 ，
Ｖ10，Ｖ11及びＶ12を閉にして、供給口９から１. ３３
ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓのヘリウムを制御弁Ｖ1 の入口側
へ供給する。この際、一次側を予かじめ高真空状態とし
たヘリウムリークディテクター２の測定値がバックグラ
ンド値を越えない場合、又は５秒間内の漏洩量が１×１
０-9Ａｃｃ／ｓ以下であれば、当該逆止弁は低圧シート
リークラストに合格したものとし、逆に、前記５秒間内
の漏洩測定値が１×１０-9Ａｃｃ／ｓを越えた場合に
は、低圧シートリークテストに不合格とする。
【００２１】次に、制御弁Ｖ1 へのＨｅ供給ラインを切
換えて、ヘリウムガス供給口９より１２. ０３ｋｇｆ／
ｃｍ2 ａｂｓ（１１ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ）のヘリウムを供給
すると共に、ヘリウム流量調整器５を通して徐々に逆止
弁１の二次側を昇圧する。前記昇圧途中に於いてヘリウ
ムリークディテクター２の設定値が１×１０-8Ａｃｃ／
ｓを越えた場合には、当該逆止弁は高圧シートリーク試
験に不合格とする。また、二次側圧力計８の読みが１
２. ０３ｋｇ／ｃｍ2 ａｂｓなった後、５秒間内のリー
ク量が１×１０-9Ａｃｃ／ｓ以下であれば、当該逆止弁
１は高圧シートリーク試験に合格したものとする。
換えて、ヘリウムガス供給口９より１２. ０３ｋｇｆ／
ｃｍ2 ａｂｓ（１１ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ）のヘリウムを供給
すると共に、ヘリウム流量調整器５を通して徐々に逆止
弁１の二次側を昇圧する。前記昇圧途中に於いてヘリウ
ムリークディテクター２の設定値が１×１０-8Ａｃｃ／
ｓを越えた場合には、当該逆止弁は高圧シートリーク試
験に不合格とする。また、二次側圧力計８の読みが１
２. ０３ｋｇ／ｃｍ2 ａｂｓなった後、５秒間内のリー
ク量が１×１０-9Ａｃｃ／ｓ以下であれば、当該逆止弁
１は高圧シートリーク試験に合格したものとする。
【００２２】（４）気密試験 前記高圧シートリーク試験が終わると、図５に示す如
く、先ず制御弁Ｖ2を閉に、制御弁Ｖ3 を開にし、逆止
弁１の二次側残圧をパージする。次に、制御弁Ｖ2 ，Ｖ
3 を閉にすると共に制御弁Ｖ12を開にして、気密試験箱
４内をヘリウムリークディテクター２の真空ポンプによ
って真空排気すると共に、ヘリウムリークディテクター
２の作動準備が完了したことを確認する。その後、制御
弁Ｖ11を開放し、供給口１０から１２. ０３ｋｇｆ／ｃ
ｍ2ａｂｓ（１１ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ）のヘリウムを逆止弁
１の一次側へ印加する。この際、ヘリウムリークディテ
クター２の測定値が１×１０-8Ａｃｃ／ｓを越えた場合
には、制御弁１２を閉にし、且つ当該逆止弁１は気密試
験に不合格とする。また、１０秒間内に於けるヘリウム
リークディテクター２の測定値が１×１０-9Ａｃｃ／ｓ
以下であれば、当該逆止弁１は気密試験に合格したもの
とする。
く、先ず制御弁Ｖ2を閉に、制御弁Ｖ3 を開にし、逆止
弁１の二次側残圧をパージする。次に、制御弁Ｖ2 ，Ｖ
3 を閉にすると共に制御弁Ｖ12を開にして、気密試験箱
４内をヘリウムリークディテクター２の真空ポンプによ
って真空排気すると共に、ヘリウムリークディテクター
２の作動準備が完了したことを確認する。その後、制御
弁Ｖ11を開放し、供給口１０から１２. ０３ｋｇｆ／ｃ
ｍ2ａｂｓ（１１ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ）のヘリウムを逆止弁
１の一次側へ印加する。この際、ヘリウムリークディテ
クター２の測定値が１×１０-8Ａｃｃ／ｓを越えた場合
には、制御弁１２を閉にし、且つ当該逆止弁１は気密試
験に不合格とする。また、１０秒間内に於けるヘリウム
リークディテクター２の測定値が１×１０-9Ａｃｃ／ｓ
以下であれば、当該逆止弁１は気密試験に合格したもの
とする。
【００２３】（５）逆止弁用試験装置のパージ操作 前記（１）〜（４）の各試験が終われば、最後に系内の
Ｈｅガスのパージ操作を行う。図６に示す如く、先ず、
制御弁Ｖ5 ，Ｖ3 を開にして逆止弁１の二次側を大気へ
開放し、その後制御弁Ｖ3 を閉に、制御弁Ｖ10を開にし
て、供給口１１より窒素ガス（２. ０３ｋｇｆ／ｃｍ2
ａｂｓ）を系内へ充填する。次に、制御弁Ｖ3 ，Ｖ10を
閉に、制御弁Ｖ4 ，Ｖ6 ，Ｖ7 を開にし、真空ポンプ３
を運転して約１０秒間系内を排気する。
Ｈｅガスのパージ操作を行う。図６に示す如く、先ず、
制御弁Ｖ5 ，Ｖ3 を開にして逆止弁１の二次側を大気へ
開放し、その後制御弁Ｖ3 を閉に、制御弁Ｖ10を開にし
て、供給口１１より窒素ガス（２. ０３ｋｇｆ／ｃｍ2
ａｂｓ）を系内へ充填する。次に、制御弁Ｖ3 ，Ｖ10を
閉に、制御弁Ｖ4 ，Ｖ6 ，Ｖ7 を開にし、真空ポンプ３
を運転して約１０秒間系内を排気する。
【００２４】上述の如きＮ2 充填操作と真空排気操作と
複数回繰り返したあと、制御弁Ｖ3を開にし、更に気密
試験箱４を開放して、被検査逆止弁１を別のものと交換
する。
複数回繰り返したあと、制御弁Ｖ3を開にし、更に気密
試験箱４を開放して、被検査逆止弁１を別のものと交換
する。
【００２５】尚、本発明では、上記の（１）〜（５）の
各試験やパージ操作は、全て制御装置１３からの指令に
より自動的に行われ、同様に、逆止弁１の各試験結果に
基づく合否の判定も制御装置１３に於いて自動的に行わ
れる。
各試験やパージ操作は、全て制御装置１３からの指令に
より自動的に行われ、同様に、逆止弁１の各試験結果に
基づく合否の判定も制御装置１３に於いて自動的に行わ
れる。
【００２６】
【発明の効果】本件発明においては、被検査逆止弁１の
一次側にヘリウムリークディテクター２を接続し、当該
ヘリウムリークディテクター２により逆止弁１の一次側
を高真空度Ｐ1 に真空引きすると共に、逆止弁１の二次
側へヘリウム流量調整器５を通して所定流量のヘリウム
ガスを供給しつつ当該逆止弁１の一次側を真空ポンプ３
によって真空引きする構成としている。その結果、前記
真空ポンプ３による真空引き量を調整することにより、
被検査逆止弁１の二次側圧力Ｐ2 を所望の値に容易に調
整することができ、これにより、被検査逆止弁１の一次
・二次間の差圧△Ｐ（△Ｐ＝Ｐ2 −Ｐ1 ）が容易に且つ
正確に調整可能となり、ダイヤフラム型逆止弁等の逆閉
止圧力の極めて低い高性能逆止弁であっても、その逆閉
止圧力等を高精度で検出若しくは確認することが出来
る。
一次側にヘリウムリークディテクター２を接続し、当該
ヘリウムリークディテクター２により逆止弁１の一次側
を高真空度Ｐ1 に真空引きすると共に、逆止弁１の二次
側へヘリウム流量調整器５を通して所定流量のヘリウム
ガスを供給しつつ当該逆止弁１の一次側を真空ポンプ３
によって真空引きする構成としている。その結果、前記
真空ポンプ３による真空引き量を調整することにより、
被検査逆止弁１の二次側圧力Ｐ2 を所望の値に容易に調
整することができ、これにより、被検査逆止弁１の一次
・二次間の差圧△Ｐ（△Ｐ＝Ｐ2 −Ｐ1 ）が容易に且つ
正確に調整可能となり、ダイヤフラム型逆止弁等の逆閉
止圧力の極めて低い高性能逆止弁であっても、その逆閉
止圧力等を高精度で検出若しくは確認することが出来
る。
【００２７】また、本件発明においては、制御装置１３
によって各制御弁の切替作動等を行うことにより、逆止
弁１に必要とするクラッキング圧力試験、逆閉止圧力試
験、低・高圧シートリーク試験、気密試験及びパージ操
作等を順序よく高能率でしかも高精度で実施することが
可能となる。本発明は上述の通り、優れた実用的効用を
奏するものである。
によって各制御弁の切替作動等を行うことにより、逆止
弁１に必要とするクラッキング圧力試験、逆閉止圧力試
験、低・高圧シートリーク試験、気密試験及びパージ操
作等を順序よく高能率でしかも高精度で実施することが
可能となる。本発明は上述の通り、優れた実用的効用を
奏するものである。
【図１】本発明に係る逆止弁用試験装置の系統図であ
る。
る。
【図２】逆止弁のクラッキング圧力試験の実施説明図で
ある。
ある。
【図３】逆止弁の逆閉止圧力試験の実施説明図である。
【図４】逆止弁の低圧及び高圧シートリーク試験の実施
説明図である。
説明図である。
【図５】逆止弁の気密試験の実施説明図である。
【図６】逆止弁用試験装置のパージ操作に於ける窒素充
填操作及び真空排気操作の実施説明図である。
填操作及び真空排気操作の実施説明図である。
【図７】従前の逆閉止圧力試験の実施説明図である。
【図８】ダイヤフラム型逆止弁の一例を示すものであ
る。
る。
１は被検査逆止弁、２はヘリウムリークディテクター、
３は真空ポンプ、４は気密試験箱、５はヘリウム流量調
整器、６は窒素流量調整器、７は一次側圧力計、８は二
次側圧力計、９，１０はヘリウムガス供給口、１１は窒
素ガス供給口、１２は排気口、１３は制御装置、Ｖ1 〜
Ｖ12は制御弁。
３は真空ポンプ、４は気密試験箱、５はヘリウム流量調
整器、６は窒素流量調整器、７は一次側圧力計、８は二
次側圧力計、９，１０はヘリウムガス供給口、１１は窒
素ガス供給口、１２は排気口、１３は制御装置、Ｖ1 〜
Ｖ12は制御弁。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 13/00 G01M 3/02 G01M 3/20 G01M 3/26
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査逆止弁（１）の一次側に制御弁
（Ｖ8 ）を介設して連結したヘリウムリークディテクタ
ー（２）と；前記被検査逆止弁（１）の二次側に制御弁
（Ｖ2 ）を介設して連結したヘリウム流量調整器（５）
と；前記ヘリウム流量調整器（５）へ制御弁（Ｖ1 ）を
通してヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給口
（９）と；前記制御弁（Ｖ2 ）の出口側に制御弁
（Ｖ4 ）を介設して連結した真空ポンプ（３）と；前記
被検査逆止弁（１）の一次側圧力を計測する圧力計
（７）及び二次側圧力を計測する圧力計（８）とから構
成したことを特徴とする逆止弁用試験装置。 - 【請求項２】 被検査逆止弁（１）を着脱自在に収納す
る気密試験箱（４）と；前記気密試験箱（４）内の被検
査逆止弁（１）の一次側へ制御弁（Ｖ8 ）を介設して、
及び気密試験箱（４）の内部へ制御弁（Ｖ12）を介設し
て夫々連結したヘリウムリークディテクター（２）と；
前記被検査逆止弁（１）の二次側に制御弁（Ｖ5 ）及び
制御弁（Ｖ2 ）を介設して連結したヘリウム流量調整器
（５）と；前記ヘリウム流量調整器（５）へ制御弁（Ｖ
1 ）を通して低圧ヘリウムガス又は高圧ヘリウムガスを
切換的に供給するヘリウムガス供給口（９）と；前記制
御弁（Ｖ2 ）と制御弁（Ｖ5 ）との接続管路へ制御弁
（Ｖ4 ）を介設して、また前記制御弁（Ｖ8 ）と被検査
逆止弁（１）との接続管路へ制御弁（Ｖ7 ）を介設し
て、更に前記気密試験箱（４）の内部へ制御弁（Ｖ6 ）
を介設して夫々連結した真空ポンプ（３）と；前記被検
査逆止弁（１）の一次側圧力を計測する圧力計（７）及
び二次側圧力を計測する圧力計（８）と；前記被検査逆
止弁（１）の一次側へ制御弁（Ｖ11）を通して高圧ヘリ
ウムを供給するヘリウムガス供給口（１０）と；前記被
検査逆止弁（１）の一次側へ制御弁（Ｖ10）を介設して
連結した窒素流量調整器（６）と；前記窒素流量調整器
（６）へ制御弁（Ｖ9 ）を通して窒素ガスを供給する窒
素ガス供給口（１１）と；被検査逆止弁（１）の二次側
へ制御弁（Ｖ3 ）を通して連結した排気口（１２）と；
前記各制御弁（Ｖ1 〜Ｖ12）及び各流量調整器（５），
（６）の作動を制御すると共に両圧力計（７），（８）
及びヘリウムリークディテクター（２）の計測値より試
験結果の合否を判定表示する制御装置（１４）とより構
成したことを特徴とする逆止弁用検査装置。 - 【請求項３】 気密試験箱（４）を、被検査逆止弁
（１）の一次側及び二次側を各管路へ自動的に連結する
自動連結機構を備えた構成とした請求項２に記載の逆止
弁用試験装置。 - 【請求項４】 被試験逆止弁（１）の二次側を大気へ連
通させると共にその一次側をヘリウムリークディテクタ
ー（２）の真空ポンプによって高真空に保持し、次に、
被検査逆止弁（１）の二次側の前記大気への連通を遮断
したあと、ヘリウム流量調整器（５）を通して被検査逆
止弁（１）の二次側へヘリウムガスを供給しつつ被検査
逆止弁（１）の二次側を真空ポンプ（３）によって順次
排気し、前記被検査逆止弁（１）の二次側圧力Ｐ2 と一
次側圧力Ｐ1 との差△Ｐを所望の設定値とした場合に於
けるヘリウムリークディテクター（２）の検出値から、
被検査逆止弁の逆閉止圧力を検査することを特徴とする
逆止弁の試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02159793A JP3201667B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 逆止弁用試験装置及び逆止弁の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02159793A JP3201667B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 逆止弁用試験装置及び逆止弁の試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06235680A JPH06235680A (ja) | 1994-08-23 |
| JP3201667B2 true JP3201667B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=12059449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02159793A Expired - Fee Related JP3201667B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 逆止弁用試験装置及び逆止弁の試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3201667B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130047001A (ko) * | 2011-10-31 | 2013-05-08 | 대우조선해양 주식회사 | 이중 체크 밸브의 누설 테스트장치 및 방법 |
| WO2019004401A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | 株式会社キッツ | バルブ用弁座検査及び耐圧検査装置並びにこれらの検査方法とバルブ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4596472B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2010-12-08 | 株式会社東京自働機械製作所 | 逆止弁検査装置とその方法 |
| CN104019973B (zh) * | 2014-06-12 | 2017-01-11 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种冷媒过滤器的阀片弹簧的检测装置及方法 |
| CN109313100B (zh) * | 2016-06-30 | 2021-12-21 | 株式会社开滋 | 阀用耐压检查装置和其检查方法、以及氢气检测单元 |
| JP7205136B2 (ja) * | 2018-09-25 | 2023-01-17 | 大日本印刷株式会社 | 蓄電デバイス用弁装置及び蓄電デバイス |
| KR102266496B1 (ko) * | 2020-04-01 | 2021-06-18 | 주식회사 성우테크윈 | 항공기용 플로우 컨트롤 밸브 성능 테스트 시뮬레이션장치 |
| CN112729799A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-30 | 联合汽车电子有限公司 | 燃油泵总成中储油桶与单向阀装配质量的检测***及方法 |
| CN112985801A (zh) * | 2021-02-22 | 2021-06-18 | 一汽解放汽车有限公司 | 燃料泵单向阀的开启压力和密封性的测试***及测试方法 |
| CN114526877A (zh) * | 2022-02-22 | 2022-05-24 | 三门核电有限公司 | 一种止回阀低压差密封性检测***及检测方法 |
| CN117646813B (zh) * | 2024-01-29 | 2024-04-16 | 烟台万通阀门有限公司 | 一种直通式截止止回阀结构及加工设备 |
-
1993
- 1993-02-10 JP JP02159793A patent/JP3201667B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130047001A (ko) * | 2011-10-31 | 2013-05-08 | 대우조선해양 주식회사 | 이중 체크 밸브의 누설 테스트장치 및 방법 |
| KR101938164B1 (ko) * | 2011-10-31 | 2019-04-12 | 대우조선해양 주식회사 | 이중 체크 밸브의 누설 테스트장치 및 방법 |
| WO2019004401A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | 株式会社キッツ | バルブ用弁座検査及び耐圧検査装置並びにこれらの検査方法とバルブ |
| JPWO2019004401A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-11-07 | 株式会社キッツ | バルブ用弁座検査及び耐圧検査装置並びにこれらの検査方法 |
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|---|---|
| JPH06235680A (ja) | 1994-08-23 |
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