JP4605927B2 - 漏洩試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験体内又はチャンバ内にトレーサガス(He等)を導入し、被試験体のトレーサガスの漏れの有無又は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定する漏洩試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、漏洩試験装置(リークテスタ)として、以下に示すものがある。図9は、従来の漏洩試験装置を示す模式図である。図9に示すように、従来の漏洩試験装置においては、真空チャンバ112はその内側に、被試験体(ワーク)111を気密的に格納することができる。この被試験体111はパイプ117に連結されており、このパイプ117はチャンバ112の外側に気密的に導出されている。そして、このパイプ117を介して被試験体111が排気ポンプ116に連結されている。このパイプ117にはバルブV12が設けられている。また、このパイプ117には、空気源121及びトレーサガス供給源122が夫々パイプ123及び124を介して接続されており、被試験体111の内部に夫々エアー(空気)及びトレーサガス(He等)を導入するようになっている。パイプ123及びパイプ124には、夫々バルブV14及びバルブV15が設けられており、被試験体111に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブV14及びバルブV15の開度及び開閉時間により調整することができる。
【0003】
一方、真空チャンバ112はパイプ118に連結されており、このパイプ118は排気ポンプ115に連結されている。また、このパイプ118にはバルブV11が設けられている。更に、パイプ118には空気源125がパイプ126を介して接続されており、チャンバ112内にエアーを導入するようになっている。このパイプ126にはバルブV13が設けられており、チャンバ112に導入するエアの流量をバルブV13の開度及び開閉時間により調整することができる。圧力センサ114は、パイプ117に接続されており、被試験体111内の圧力を検出する。また、チャンバ112には、パイプ128によりトレーサガス検知器113に連結されている。このパイプ128には、センシングバルブ(センサ配管)V16が設けられている。
【0004】
次に、このように構成された従来の漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、トレーサガス検知器が正常に作動して確実に漏れを検出するための被試験体111内の圧力の最大許容値が求められているとする。
【0005】
先ず、チャンバ112内に被試験体111を装入し、被試験体111とパイプ117とを連結する。次に、排気ポンプ115,116を駆動し、バルブV11,V12を開にして、チャンバ112内及び被試験体111内を排気する。このとき、被試験体111の内の圧力を圧力センサ114で検出しながら、被試験体111内の圧力がトレーサガス検知器113が正常に動作する規定の圧力(最大許容値)以下になるように真空引きし、バルブV11を閉じる。次に、センシングバルブV16を開け、チャンバ112と検出器113を接続する。その後、バルブV12を閉じ、バルブV15を開いて、被試験体111内にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス検知器113により被試験体111から漏れて出たトレーサガスを検出する。ここで、被試験体111に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガスはセンシングバルブV16を通じてトレーサガス検知器113で検出される。そして、所定時間経過後の値(リークレート値)と、予め決められたしきい値とが比較され、リークレート値がしきい値以下か否かにより、被試験体111が合格か否かが決定される。
【0006】
試験の終了後は、以下のようにして大気圧まで戻す。先ず、バルブV15、V16を閉じ、バルブV12を開け、被試験体111内のトレーサガスを排気する。そして、バルブV13,V14を開け、被試験体111及びチャンバ112内へ大気を導入して、被試験体111及びチャンバ112の圧力を大気圧にまで戻す。その後、チャンバ112内から被試験体111を取り出す。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の技術においては、パイプ117に接続された圧力センサ114により、被試験体111内の圧力を検出していたため、空気の排気及びトレースガス導入時に気体の流動が生じ、この気体の流動による圧力損失により、ワーク内の圧力が正確に検出できないという問題点がある。
【0008】
また、被試験体内の圧力を正確に検出するために、パイプ117に接続された圧力センサ114とは別に、図9に示すように、被試験体111に連結され、チャンバ112の外側へ気密的に導出されたパイプ120と、このパイプ120に連結された圧力センサ127とを設け、被試験体111内の圧力を検出することもできるが、この場合、毎回、漏洩試験の度にパイプ120を被試験体111に接続する必要がある。更に、被試験体111に、パイプ120を接続するための連通口を設ける必要があるという問題点がある。
【0009】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、被試験体内の圧力を、試験工数を増加することなく正確に計測し、被試験体の漏れを極めて高い精度で検出することができる漏洩試験装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本願第1発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記被試験体内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする。
【0011】
本願第2発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記被試験体との接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記被試験体内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする。
【0012】
本願第3発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記チャンバ内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする。
【0013】
本願第4発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記チャンバとの接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記チャンバ内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする。
【0015】
本発明においては、圧力センサが、先端が前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置されたセンサ配管か、若しくは、前記被試験体に連結されたセンサ配管か、又は、先端が前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置されたセンサ配管か、若しくは、前記チャンバに連結されたセンサ配管に接続されているため、被試験体内又はチャンバ内の気体排気時における気体流動による圧力損失の影響を受けずに、被試験体内又はチャンバ内の圧力を極めて正確に検出することができる。そして、この圧力センサによる被試験体内又はチャンバ内の圧力検出結果をもとに、前記被試験体内排気手段又は前記チャンバ内排気手段による排気を制御するため、トレーサガスの導入前に、被試験体内又はチャンバ内を極めて高精度で排気でき、被試験体の漏れ検出精度が極めて高い。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は、本発明の第1の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【0017】
図1に示すように、真空チャンバ12はその内側に、検査対象である被試験体11を気密的に格納可能になっている。この被試験体11はパイプ(排気配管)17に連結されており、このパイプ17はチャンバ12の外側に気密的に導出され、排気ポンプ16に連結されている。このパイプ17にはバルブV2が設けられており、このバルブV2の開度により被試験体11内から排気する気体の流量を調整することができる。また、また、このパイプ17には、空気源21及びトレーサガス供給源22が夫々パイプ23及び24を介して接続されており、被試験体11の内部に夫々エアー(空気)及びトレーサガス(He等)を導入するようになっている。パイプ23及びパイプ24には、夫々バルブV4及びバルブV5が設けられており、被試験体11に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブV4及びバルブV5の開度により調整することができる。更に、パイプ17の直径D1よりも径が小さい直径D2のパイプ(センサ配管)19の一端部がパイプ17内に挿入されており、このパイプ19の先端が被試験体11の排気部に配置されている。パイプ19の他端部はパイプ17から導出されている。パイプ19を導出するため、パイプ17にはパイプ23、24の接続位置よりもチャンバ12から離隔した位置に貫通穴が設けられ、この貫通穴からパイプ19が気密的に導出されており、被試験体11内の圧力を検出する圧力センサ14に接続されている。なお、被試験体11の排気部とは、被試験体11とパイプ17との連結部である。また、パイプ19の先端は、被試験体11内部に延出されていてもよい。更に、パイプ19を導出する貫通穴は、いずれの位置に形成してもよく、例えば、パイプ17及び23の接続部と、パイプ17及び24の接続部との間に形成してもよい。
【0018】
一方、真空チャンバ12はパイプ18に連結されており、このパイプ18は排気ポンプ15に連結されている。パイプ18にはバルブV1が設けられ、このバルブV1の開度により、チャンバ12内から排気される気体の流量を調整することができる。更に、パイプ18には空気源25がパイプ26を介して接続されており、チャンバ12内にエアーを導入するようになっている。このパイプ26にはバルブV3が設けられており、チャンバ12に導入するエアの流量をバルブV3の開度及び開閉時間により調整することができる。なお、パイプ18に接続するパイプ26及びバルブV3を設けず、チャンバ12にパイプ27を接続し、このパイプ27にバルブV7を設けて、このバルブV7の開閉により、チャンバ12内に大気を導入してもよい。更に、チャンバ12にパイプ28が接続され、このパイプ28にトレーサガス検知器13が連結されている。パイプ28には、センシングバルブV6が設けられている。
【0019】
以下、本参考例に係る漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、トレーサガス検知器が正常に作動して確実に漏れを検出するための被試験体11内の圧力の最大許容値が求められているとする。
【0020】
先ず、チャンバ12に被試験体11を配置する。トレーサガス導入管17の先端部を被試験体11のトレーサガス供給口に直接又はカプラー等を介して接続し、チャンバ12の扉を閉めて密閉状態にする。
【0021】
次に、チャンバ真空引きバルブV1を開け、チャンバ12内の気体を所定の圧力まで真空引きすると同時に、試験体真空引きバルブV2を開け、被試験体11に接続された配管17から被試験体11内の気体を所定の圧力まで真空引きする。このとき、圧力センサ14で被試験体11内の圧力を検出しつつ、被試験体11内の圧力が規定の圧力(最大許容値)以下になるまで真空引きする。
【0022】
バルブV1を閉た後、センシングバルブV6を開け、チャンバ12とトレーサガス用検出器13とを接続する。そして、バルブV2を閉じ、バルブV5を開けてトレーサガス供給源から所定圧力のトレーサガスを被試験体11内へ供給する。ここで、もし、被試験体11に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガスはセンシングバルブV6を通じてトレーサガス検知器13で検出される。そして、所定時間経過後の値(リークレート値)と、予め決められたしきい値とが比較され、リークレート値がしきい値以下か否かにより、被試験体11が合格か否かが決定される。
【0023】
合否の判定が終わると、以下の手順で被試験体11及びチャンバ12を大気圧まで戻す。先ず、チャンバ12とトレーサガス検知器13とを接続するバルブV6と、トレーサガスを被試験体11に導入するバルブV5とを閉じる。そして、バルブV2を開けて、被試験体11内のトレーサガスを排気ポンプ16により排出し、次いでバルブV4及びバルブV3を開け、夫々被試験体11及びチャンバ12に大気を導入する。また、バルブV3を設けず、チャンバ12にバルブV7を設けた場合は、バルブV7を開けることにより、チャンバ12内に大気を導入してもよい。その後、チャンバ12の扉を開けて被試験体11を取り出し、リークテストを終了する。その後、別の被試験体11をチャンバ内に置き、同様のリークテストを繰り返す。
【0024】
なお、本参考例においては、圧力センサ14は、被試験体11内の圧力を検出するものとしたが、圧力センサ14をチャンバ12に接続されたパイプ18に接続し、被試験体内の圧力とチャンバ12内の圧力差を検出できるものとしてもよい。
【0025】
このように、漏洩試験においては、被試験体11内の大気を所定の圧力以下に真空引きした後、トレーサガスを導入する。この際、被試験体11に漏れがあると被試験体11からトレーサガスがチャンバ12内へ漏れだすため、この漏れだしたトレーサガスをトレーサガス検知器13により検出するが、トレーサガスの導入に先立ち、被試験体11内の圧力が規定の圧力値以下になるように排気されていないと、被試験体11からトレーサガスと共に大気がチャンバ内に漏れだしてしまい、トレーサガス検知器13によるトレーサガス検出精度が低下してしまう。トレーサガス検出精度を向上させて、漏洩試験の精度を向上させるためには、トレーサガスの導入に先立ち、被試験体11内の圧力が規定値以下になるように排気することが必要である。
【0026】
本参考例においては、被試験体11内に大気及びトレーサガスを供給するため及び被試験体11から大気及びトレーサガスを排出するためのパイプ17とは別に、パイプ19を被試験体11の排気部に配置し、このパイプ19に被試験体11内の圧力を検出するための圧力センサ14を接続したため、大気及びトレーサガスの気体流動による圧力損失の影響を受けずに圧力センサ14により被試験体11内の圧力を高精度で検出できる。従って、被試験体11内を排気する際には、排気ポンプ16の排気をバルブV2の開閉により正確に制御して被試験体11内の圧力を正確に規定圧力以下に真空引きすることができるため、被試験体11に漏れがある場合に被試験体11からのトレーサガスの漏れを正確に検出することができ、漏洩試験の精度が極めて高いものとなる。
【0027】
次に、本発明の第1の実施例について説明する。図2は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図2に示す第1の実施例において、図1に示す第1の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【0028】
第1の参考例においては、被試験体に対して大気及びトレーサガスの導入及び排気を行うパイプ17内に圧力検出用のパイプ19を挿入したものであったが、本実施例においては、図2に示すように、パイプ37の直径D1より小さい直径D3のパイプ39が、パイプ37内に挿入され、その一端部が被試験体11の排気部に配置されている。パイプ39の他端部は、パイプ37に設けられた貫通孔からパイプ37の外側へ気密的に導出され、被試験体11内の圧力を検出する圧力センサ14に接続されている。パイプ37には、空気源21及びトレーサガス供給源22が夫々パイプ33及び34を介して接続されており、被試験体11の内部に夫々エアー(空気)及びトレーサガス(He等)を導入するようになっている。パイプ33及びパイプ34には、夫々バルブV4及びバルブV5が設けられており、被試験体11に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブV4及びバルブV5の開度により調整することができる。その他の構成は、第1の参考例と同様である。
【0029】
このように構成された本実施例の漏洩装置を使用して漏洩試験を行うと、パイプ39がパイプ37から導出される貫通孔が、パイプ33、34よりもチャンバ12に近い位置に形成されており、被試験体11と圧力センサ14とを連結するパイプ39が短いため、圧力センサ14の応答性が高くなり、また、被試験体11内の圧力検出精度が向上する。
【0030】
また、本実施例においても、第1の参考例と同様に、被試験体11内の気体を排気し、被試験体11内へ気体を供給するためのパイプ37とは別に、圧力検出用のパイプ39を設けたため、パイプ37内の気体流動に関係なく被試験体11内の圧力を高精度で検出でき、漏洩試験の精度が極めて高い。
【0031】
次に、本発明の第2の参考例について説明する。図3は、本参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。本参考例においては、図3に示すように、チャンバ12には直径D1のパイプ49が連結されている。このパイプ49はチャンバ12の外側に気密的に導出され、圧力センサ14に接続されている。また、パイプ49の直径D1より径が小さい直径D4のパイプ47の一端部がパイプ49の内部に挿入され、その先端が被試験体11内まで延出され被試験体11の排気部に配置されている。パイプ47の他端部はパイプ49に設けられた貫通孔からパイプ49の外側へ気密的に導出され排気ポンプ16に接続されている。パイプ47は、パイプ49の外側に気密的導出されているため、パイプ49内に大気が流入しない。また、このパイプ47には、パイプ43及びパイプ44が接続され、パイプ49の外側に気密的に導出されている。そして、パイプ49の外側において、パイプ43及びパイプ44が夫々空気源21及びトレーサガス源22に連結されて、被試験体11に夫々大気及びトレーサガスを導入するようになっている。このパイプ43及びパイプ44には夫々バルブV4及びバルブV5が設けられ、被試験体11に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブV4及びバルブV5の開度により調整することができる。その他の構成は、第1の参考例と同様である。
【0032】
このように構成された本参考例においては、圧力センサ14と被試験体11とを連結するパイプ49の直径が大きいため、圧力センサ14の応答性が高く、被試験体11内の圧力を精度よく検出できる。また、本実施例においても、第1の参考例と同様の効果を奏する。
【0033】
次に、本発明の第2の実施例について説明する。図4は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。図4に示すように、被試験体11に連結され、チャンバ12の外側へ気密的に導出される直径D1のパイプ59に被試験体11内の圧力を検出する圧力センサ14が接続されている。また、パイプ59の直径D1より小さい直径D5のパイプ57の一端部がパイプ59の内部に挿入され、その先端が被試験体11の排気部に配置されている。パイプ57の他端部は、パイプ59に設けられた貫通孔からパイプ59の外側に気密的に導出され、被試験体11内の気体を吸引する排気ポンプ16に接続されている。更に、パイプ59から導出されたパイプ57には、パイプ59の外側でパイプ53及び54を介して夫々空気源21及びトレーサガス源22に接続されている。パイプ53及び54には、夫々バルブV4及びV5が設けられ、被試験体11に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブV4及びバルブV5の開度により調整することができる。その他の構成及び漏洩試験方法は、第1の参考例と同様である。
【0034】
このように構成された本実施例においては、圧力センサ14と被試験体11とを連結するパイプ59が第2の参考例よりも短いため、更に圧力センサ14の応答性が高く、被試験体11内の圧力検出精度が向上する。更に、パイプ59の外側に導出されたパイプ57にパイプ53及び54を接続し、これに夫々空気源21及びトレーサガス源22を接続するため、パイプ59にパイプ53及び54の貫通穴を設けてパイプ59から気密的に導出する必要がなく、装置が簡便になる。また、本実施例においても、第1の参考例と同様の効果を奏する。
【0035】
なお、上述の第1及び第2の実施例、並びに第1及び第2の参考例は、いずれも、被試験体11にトレーサガスを導入し、チャンバ12内へ漏れ出てくるトレーサガスを検出するものとしたが、以下に示す第3及び第4実施例、並びに第3及び第4の参考例のように、チャンバ12内にトレーサガスを導入し、被試験体11内へ漏れ出てくるトレーサガスを検出するようにしてもよい。この場合、被試験体11とトレーサガス検知器とを接続し、チャンバと圧力センサとを接続する。また、チャンバには、チャンバ内の大気及びトレーサガスを排気する排気ポンプ、チャンバ内へトレーサガス及び大気を導入する夫々トレーサガス供給源及び空気供給源を接続する。
【0036】
次に、本発明の第3の参考例について説明する。図5は、本参考例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図5に示す第3の参考例において、図1に示す第1の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【0037】
本参考例においては、図5に示すように、図1に示す第1の参考例と比較して、被試験体11とトレーサガス検知器13とがパイプ28により接続され、パイプ17、19がチャンバ12に接続されており、更に、パイプ18が被試験体11に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第1の参考例と同様である。即ち、本参考例では、排気ポンプ16はチャンバ12内を排気し、空気源21及びトレーサガス供給源22はチャンバ12内にエアー及びトレーサガスを導入し、排気ポンプ15は被試験体11内を排気し、空気源25は被試験体11内にエアーを供給する。本参考例においても、第1の参考例と同様の効果を得ることができる。
【0038】
次に、本発明の第3の実施例について説明する。図6は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図6に示す第3の実施例において、図2に示す第1の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【0039】
本実施例においては、図6に示すように、第1の実施例と比較して、被試験体11とトレーサガス検知器13とがパイプ28により接続され、パイプ37、39がチャンバ12に接続されており、更に、パイプ18が被試験体11に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第1の実施例と同様である。本実施例においても、第1の実施例と同様の効果を得ることができる。
【0040】
次に、本発明の第4の参考例について説明する。図7は、本参考例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図7に示す第4の参考例において、図3に示す第2の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【0041】
本参考例においては、図7に示すように、第2の参考例と比較して、被試験体11とトレーサガス検知器13とがパイプ28により接続され、パイプ47、49がチャンバ12に接続されており、更に、パイプ18が被試験体11に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第2の参考例と同様である。本参考例においても、第2の参考例と同様の効果を得ることができる。
【0042】
次に、本発明の第4の実施例について説明する。図8は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図8に示す第4の実施例において、図4に示す第2の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【0043】
本実施例においては、図8に示すように、第2の実施例と比較して、被試験体11とトレーサガス検知器13とがパイプ28により接続され、パイプ57、59がチャンバ12に接続されており、更に、パイプ18が被試験体11に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第2の実施例と同様である。本実施例においても、第2の実施例と同様の効果を得ることができる。
【0044】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、被試験体内にトレーサガスを導入する場合は、被試験体内の排気を行う排気配管とは別に、一端部が被試験体の排気部又は被試験体内部に配置され他端部が圧力センサに接続されたセンサ配管を設けたため、被試験体内の圧力を正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとに被試験体内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著しく向上させることができる。
【0045】
一方、チャンバ内にトレーサガスを導入する場合は、排気配管とは別に、一端部がチャンバの排気部又はチャンバ内部に配置され他端部が圧力センサに接続されたセンサ配管を設けたため、チャンバ内の圧力を正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとにチャンバ内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著しく向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図2】 本発明の第1の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図3】 本発明の第2の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図4】 本発明の第2の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図5】 本発明の第3の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図6】 本発明の第3の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図7】 本発明の第4の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図8】 本発明の第4の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図9】 従来の漏洩試験装置を示す模式図である。
【符号の説明】
11、111;被試験体 、12、112;チャンバ、 17、18、27、29、37、39、47、49、57、59、117、118;パイプ、 15、16、115、116;排気ポンプ、 13、113;トレーサガス検知器、V1〜V7、V11〜V16;バルブ、 14、114;圧力センサ
Claims (4)
- 被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記被試験体内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする漏洩試験装置。 - 被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記被試験体との接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記被試験体内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする漏洩試験装置。 - 被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記チャンバ内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする漏洩試験装置。 - 被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記チャンバとの接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記チャンバ内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする漏洩試験装置。
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