JP2006177810A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 気密性の検査精度の向上を図った検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 製品の気密性を検査する検査装置１００において、検査対象製品２００の製品内部に気体を送り込む圧力源１０と、容器内を気密に保ちつつ、検査対象製品２００を収納可能な気密容器２０と、圧力源１０による気体の圧送時に、気密容器２０に接続された排気通路２１を流れる気体の量を測定することによって、検査対象製品２００からの気体の漏れ量を測定する流量センサ３０と、を備えることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、製品の気密性を検査する検査装置及び検査方法に関するものである。

一般的に、製品の気密性の検査は、差圧方式を用いて行われている。図５は従来例に係る気密検査装置の模式図である。

図５に示すように、従来例に係る気密検査装置は、検査対象製品４００とマスター５００の双方に同じ圧力の空気を圧送する圧力源３００と、それぞれの圧送路の途中に設けられる遮断弁６０１，６０２と、検査対象製品４００の内部の圧力降下を測定する圧力計４０１と、マスター５００の内部の圧力降下を測定する圧力計５０１とを備えている。マスター５００は、検査対象製品４００と同等の容積を有するもので、比較対象の基準となるものである。

以上のように構成される気密検査装置を用いて、次のように検査が行われる。すなわち、まず、圧力源３００により検査対象製品４００とマスター５００の双方に同じ圧力の空気を圧送する。そして、検査対象製品４００の内部圧力が安定した後に、遮断弁６０１，６０２により各圧送路を遮断する。これにより、検査対象製品４００とマスター５００の双方を別々に密閉する。そして、圧力計４０１，５０１によって、検査対象製品４００とマスター５００の圧力降下をそれぞれ測定する。このようにして、検査対象製品４００とマスター５００の圧力降下の比較結果から、検査対象製品４００の気密性を評価する（一定以上の空気漏れがあるか否かを検査する）。

以上のような差圧方式の検査方法を用いる場合、検査対象製品４００の外枠（密閉容器等）が空気圧送時の内部圧力によって膨張することにより、膨張分だけマスター５００との間で差圧が発生したり、検査対象製品４００の構成部材の性質等によりマスター５００との間で差圧が発生したりすることがある。また、検査対象製品４００自体が大き過ぎることで、空気圧送時に内部圧力が安定しない場合もある。更に、検査時の気圧・気温・湿度などの環境による影響を受けやすいという問題もある。

このようなことから、必ずしも正確な測定ができておらず、気密性の評価が十分ではない場合があった。したがって、検査の精度が十分ではなかった。

本発明の目的は、気密性の検査精度の向上を図った検査装置及び検査方法を提供することにある。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。

すなわち、本発明の検査装置は、
製品の気密性を検査する検査装置において、
検査対象製品の製品内部に気体を送り込む圧送手段と、
容器内を気密に保ちつつ、検査対象製品を収納可能な気密容器と、
前記圧送手段による気体の圧送時に、前記気密容器に接続された排気通路を流れる気体の量を測定することによって、検査対象製品からの気体の漏れ量を測定する測定手段と、
を備えることを特徴とする。

本発明の構成によれば、検査対象製品からの気体の漏れ量を直接的に測定することになる。従って、差圧方式の場合のように、マスターの測定値との比較に基づいて気密性を評価する場合と比べて、測定誤差が減少する。

また、前記圧送手段による圧送開始から所定期間の間、前記気密容器内の圧力を解放する弁を備えるとよい。

すなわち、検査対象製品が内部圧力により膨張した場合には、気密容器内の内部圧力が変化する。そして、この気密容器内の内部圧力の変化によって、排気通路に気体が流れている間は、排気通路に流れる気体が、検査対象製品からの漏れによるものなのかどうかの判断が困難なため、正確な検査ができない。特に、気密容器内の内部圧力の変化が長期間にわたる場合には、正確な測定を開始するまでの時間が長くなってしまう。そこで、上述の弁によって、圧送開始から所定期間の間、気密容器内の圧力を解放することにより、気密容器内の圧力変化に伴って排気通路に気体が流れることを早期に抑制することができる。これにより、検査対象製品からの気体の漏れ量の測定を早期に開始できる。

また、前記圧送手段によって製品内部に気体を圧送する際に、加圧量を調整する調整手段を備えるとよい。

このような調整手段を備えることで、検査対象製品の内部圧力が急激に増加してしまうことを防止でき、検査対象製品を構成する各種部材の破損等を防止できる。

また、前記気密容器自体からの気体の漏れ量を検査する検査手段を備えるとよい。

このような検査手段を備えることで、気密容器自体からの気体の漏れを原因とする、検査対象製品からの気体の漏れ量の測定誤差を抑制することができる。

また、前記気密容器内の気圧を検出する検出手段と、
該検出手段により検出された気圧が所定値を越えた場合には、前記気密容器内の圧力を解放する圧力解放手段と、を備えるとよい。

このように構成することで、気密容器内，排気通路内、及び測定手段等に、所定以上の気圧がかかることを防止できる。従って、これらに対して、大きな内部圧力がかかることを原因とする破損等を防止できる。

また、本発明の検査方法は、
製品の気密性を検査する検査方法において、
検査対象製品を気密容器内に気密状態で収納させる工程と、
検査対象製品の製品内部に気体を送り込む工程と、
製品内部に気体が送り込まれている最中に、前記気密容器に接続された排気通路を流れる気体の量を測定することによって、検査対象製品からの気体の漏れ量を測定する工程と、を有することを特徴とする。

本発明の検査方法によれば、検査対象製品からの気体の漏れ量を直接的に測定するため、測定誤差を抑制できる。

また、検査対象製品の製品内部に気体を送り込み始めてから所定期間の間、前記気密容器内の圧力を解放する工程を有するとよい。

また、検査中に前記気密容器内の圧力が所定値を越えた場合には、該気密容器内の圧力を解放するとよい。

なお、上記各構成は、可能な限り組み合わせて採用し得る。

以上説明したように、本発明によれば、気密性の検査精度を高めることができる。

以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、実施の形態及び実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、これらの実施の形態及び実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

（実施の形態１）
＜検査装置＞
図１を参照して、本発明の実施の形態１に係る検査装置について説明する。図１は本発明の実施の形態１に係る検査装置の模式図である。図示のように、本発明の実施の形態１に係る検査装置１００は、検査対象製品２００の製品内部に気体を送り込む圧送手段としての圧力源１０と、容器内を気密に保ちつつ、検査対象製品２００を収納可能な気密容器２０と、検査対象製品２００からの気体の漏れ量を測定する測定手段としての流量センサ３０とを備えている。圧力源１０から圧送される気体は、圧送通路Ｔ１によって、直接、検査対象製品２００の製品内部に送り込まれる。また、気密容器２０に設けられた貫通孔２１に排気通路Ｔ２が接続されている。そして、この排気通路Ｔ２上に流量センサ３０が設けられている。流量センサ３０は、例えば、マスフロメータなどの流量計を用いることができる。また、本実施の形態１で検査する対象となる検査対象製品２００としては、圧力容器や浄水器用カートリッジなどの水処理を行う分野の製品や、自動車部品、その他、一般産業機器部品などを挙げることができる。

＜検査方法＞
上記のように構成された検査装置により、検査対象製品２００の気密性を検査する検査方法について説明する。まず、気密容器２０内に検査対象製品２００をセットし、容器内を気密な状態にする。次に、圧力源１０によって、検査対象製品２００の製品内部に気体（空気など）を送り込む。そして、圧力源１０による加圧量を一定に保持した状態で、流量センサ３０によって、排気通路Ｔ２を流れる気体の流量を測定する。

検査対象製品２００は、気密容器２０内に気密な状態で収納されているため、検査対象製品２００内に気体が送り込まれた際に、当該製品から気体の漏れが生じた場合には、その分だけ、排気通路Ｔ２に気体が流れることになる。これにより、流量センサ３０によって、検査対象製品２００からの気体の漏れ量を、直接的に測定することができる。

従って、検査対象製品２００の膨張による影響が少ないという利点がある。すなわち、検査対象製品及びマスターの内部の圧力降下を比較する差圧式の場合には、検査対象製品内部に気体を送り込んだ場合に、検査対象製品の膨張が、その後、検査対象製品内の圧力降下の挙動に影響を及ぼす。従って、測定誤差を招きやすい。また、検査対象製品の膨張は、製品ごとにばらつきがあるため、検査精度が低くなってしまう。本実施の形態によれば、検査対象製品が膨張しても、影響を与えるのは、膨張した直後のみである。そして、膨張分の容積の気体が、気密容器２０から排気されてしまえば、誤差の少ない漏れ量のみを計測することが可能となる。

また、本実施の形態によれば、検査対象製品の構成部材の性質等による影響が少ないという利点もある。すなわち、差圧式の場合、検査対象製品の製品内部を所定の圧力で一定に安定させ、その後の密封時の圧力降下の度合いから漏れ量を推定する。しかしながら、検査対象製品の内部には、様々な部材が存在し、複雑な流路を形成している場合がある。例えば、検査対象製品が中空糸膜カートリッジの場合には、製品の内部に、中空糸膜の束や活性炭層が存在し、複雑で細かい流路が形成されている。また、検査対象製品の構成部材の中には、気体が圧送されることで経時的に変形を伴うものが含まれている場合がある。例えば、中空糸膜カートリッジの場合には、中空糸膜，ケース及び活性炭層などが、その素材によっては経時的に変形する。以上のことから、圧送した圧縮気体が検査対象製品の内部全体に一様に行き渡るまで（内部圧力が所定圧力で安定するまで）に相当の時間を要する場合がある。これに対し、本実施の形態によれば、圧力が検査対象製品２００の内部に印加される必要はあるものの、ある程度の圧力が製品内部に印加されれば、漏れの有無を確認できる。従って、厳密に、検査対象製品２００の製品内部が一様の所定圧力に安定するまで待機する必要がない。

また、本実施の形態によれば、検査対象製品２００自体の大きさによる検査精度や検査の安定性への影響が少ないという利点もある。すなわち、検査対象製品自体が大きい場合、差圧式では、上述の通り、検査対象製品の製品内部の圧力が安定するまでに相当の時間を要してしまう。また、検査対象製品の外枠（ケースなど）が大きいと、圧力をかけたときの検査対象製品自体の膨張が大きくなるため、漏れ計測時において、圧力降下の挙動による影響が大きくなる。従って、検査精度の低下の度合いが大きくなってしまう。これに対し、本実施の形態によれば、検査対象製品２００が膨張しても、気密容器２０から、膨張分の容積の気体を排気することで、気密容器２０内の圧力を安定させるまでの待ち時間を大きく短縮することができる。圧力安定までの待ち時間に関して、更に詳しく説明する。差圧式の場合、漏れ量を検出するためには、マスターとの極微小な圧力低下挙動の差を比較する必要性から非常に精度の良い検出が求められる。そのため、検査対象製品の内部圧力を完全に安定させてから、計測を開始する必要がある。これに対し、本実施の形態によれば、気密容器２０内に漏れ出した気体が気密容器２０の内部圧力を上昇させ、これに伴う気体の排気量を計測する。この場合、仮に、検査対象製品２００の膨張が排気量の計測に無視できない程度生じたとしても、そのとき計測される排気流量は安定せず、排気流量が安定した時点で、検査対象製品２００からの漏れ量を判断することができる。すなわち、差圧式では、膨張（圧力）が完全に安定してから圧力の経時変化の測定を開始しなければならないのに対して、本実施の形態によれば、膨張が安定し、比較的早い段階で漏れ量の判断ができることになる。

更に、本実施の形態によれば、気圧・気温・湿度などの環境の影響が少ないという利点もある。すなわち、気圧や気温などが変化し易い環境で計測が行われると、差圧式の場合には、これらによる圧力変動を計測してしまい、漏れが微小な場合に計測誤差の原因となってしまう。また、湿度に関しても、検査対象製品の構成部材が吸着性を有するもの（例えば、中空糸膜カートリッジに備えられた活性炭）である場合、圧送する気体中に含まれる水分が吸着される。そのため、製品内部の圧力低下が過大に評価されてしまい、差圧式の場合には、計測誤差の原因となる。これに対して、本実施の形態によれば、以上のような気圧・気温・湿度の変化による影響を受けない。

なお、流量センサ３０として、高精度のものを用いれば、高い精度で漏れの検出を行うことができる。このように、本実施の形態１に係る検査装置及び検査方法を用いれば、検査対象製品２００の気密性を正確に検査することができる。

（実施の形態２）
上述の実施の形態１に係る検査装置は、必要最小限の基本的な構成を示したものであるが、実際上は、適切な検査を行うために、検査対象製品２００，気密容器２０及び流量センサ３０の品質や性能に応じて、様々な対策を必要とする場合が生ずる。そこで、本実施の形態では、そのような対策を行った検査装置１００ａ及び検査方法について説明する。図２は本発明の実施の形態２に係る検査装置の模式図である。なお、本実施の形態２の基本的な構成は、上記実施の形態１と同一であるので、基本的構成についての説明は省略する。

＜検査対象製品の膨張に対する対策＞
検査対象製品２００の外枠（ケースなど）が樹脂などの剛性の低い素材から構成されている場合には、検査対象製品２００の製品内部に気体を圧送すると、外枠が膨張する。そのため、気密容器２０内の内部圧力（気密容器２０の内側の空間のうち、検査対象製品２００を除く部分の空間の圧力）が増加する。つまり、気密容器２０の内側の空間のうち、検査対象製品２００を除く部分の空間の体積が検査対象製品２００の外枠の膨張により減少するために、気密容器２０内の内部圧力が増加する。

このように、気密容器２０内の内部圧力が増加することにより、排気通路Ｔ２に気体が流れる。そのため、検査対象製品２００の外枠が膨張している間は、流量センサ３０によって測定される気体の流量が、検査対象製品２００からの漏れによるものなのか、気密容器２０内の内部圧力が増加することによるものなのかを判別することができない。従って、正確な測定を行うためには、気密容器２０内の内部圧力が安定するまで待機しなければならない。特に、流量センサ３０にマスフロメータなどオリフィス（絞り）の小さなものを用いた場合には、排出される気体の流量が少なくなるため、気密容器２０内の内部圧力が安定するまでに相当な時間を要する。そこで、このような不具合への対策について説明する。

気体の圧送を開始してから所定期間の間、気密容器２０内の内部圧力を解放することで、気密容器２０内の内部圧力の変化に伴って排気通路に気体が流れることを早期に抑制することができる。具体的には、気体の圧送を開始してから所定期間（検査対象製品２００の製品内部の圧力が上昇している間とその後の数秒間を合わせた期間であり、検査対象製品２００の大きさや構成部材の性質に応じて、０秒〜３０秒程度）の間、リリーフ弁により気密容器２０内の圧力を逃がすことで、気密容器２０内の内部圧力の変化に伴って排気通路に気体が流れることを早期に抑制することができる。リリーフ弁は、気密容器２０本体に直接取り付けてもよいし、排気通路の途中に取り付けてもよい。

本実施の形態においては、流量センサ３０に至る排気通路Ｔ２１の途中から分岐させた排気通路Ｔ２２を設けて、この排気通路Ｔ２２上にリリーフ弁４０が設けられている。そして、圧力源１０によって、気体の圧送を開始してから所定期間の間、リリーフ弁４０の弁を開くことによって、気密容器２０内の圧力を逃がすように制御する。図３は圧力源の動作とリリーフ弁の動作についてのタイミングチャートである。図示のように、圧力源１０の電源をオンにすると同時に、リリーフ弁４０をオンにして、リリーフ弁４０の弁を開く。そして、予め設定された一定期間が経過した後に、リリーフ弁４０をオフにして、リリーフ弁４０の弁を閉じる。その後、流量センサ３０によって漏れ量の測定を開始する。ここで、リリーフ弁４０をオンにする一定期間（リリーフ弁４０の弁を開かせる一定期間）は、図３に示すように、検査対象製品２００の製品内部の圧力が所定の検査圧力で安定した後、つまり、検査対象製品２００の製品内部の圧力が上昇している間とその後の数秒間を合わせた期間が経過した後となるように設定する。

以上のように、気体の圧送を開始してから所定期間の間、リリーフ弁４０によって、気密容器２０内の圧力を逃がすことで、気密容器２０内の圧力変化に伴って排気通路に気体
が流れてしまうことを早期に抑制することができる。従って、検査対象製品２００からの気体の漏れ量の測定を早期に開始することができる。

＜検査対象製品の製品内部に気体が送り込まれた際に受ける衝撃に対する対策＞
圧力源１０によって検査対象製品２００の製品内部に気体が送り込まれる際に、圧送される気体の加圧量が大きいと、検査対象製品２００の構成部材の強度によっては、送り込まれる気体の衝撃に耐えられずに、破損してしまうことが考えられる。例えば、浄水器カートリッジの場合には、強度の低い中空糸膜が、送り込まれる気体の衝撃に耐えられずに切れてしまう虞がある。また、圧送される気体の加圧量が大きいと、検査対象製品２００の膨張が初期的に過大となるため、検査対象製品２００の膨張容積が安定するまでに長い時間を要してしまうという問題もある。そこで、このような不具合への対策について説明する。

圧力源１０によって検査対象製品２００の製品内部に気体を圧送する際に、圧送する気体の加圧量を調整することによって、検査対象製品２００の内部圧力が急激に増加してしまうことを防止できる。具体的には、圧送通路Ｔ１上に、調整手段としての電空レギュレータ５０を設けることによって、加圧量を調整することができる。なお、電空レギュレータ５０は、電気信号によって圧力調整を可能とする減圧弁である。

このように、電空レギュレータ５０を設けて、検査対象製品２００の製品内部に気体を圧送する際に、徐々に圧力を高くすることによって、検査対象製品２００の構成部材が受ける衝撃を抑制することができる。これにより、検査対象製品２００の構成部材の破損等の発生を防止することができる。また、検査対象製品２００の急激な膨張を抑制することができ、膨張容積が安定するまでの時間を短縮することが可能となる。

＜気密容器自体からの気体の漏れに伴う測定誤差に対する対策＞
気密容器２０自体から気体の漏れが発生した場合には、流量センサ３０によって、検査対象製品２００からの気体の漏れ量を正確に測定できない。そこで、適時、気密容器２０自体から気体の漏れが発生しているか否かを検査することによって、検査対象製品２００からの気体の漏れ量の測定誤差を抑制することができる。

具体的には、排気通路Ｔ２１上に３方弁６０を設ける。そして、気密容器２０に対して３方弁６０の一方の下流側に流量センサ３０を設け、他方の下流側に気密容器２０の漏れ検査専用通路Ｔ３を介して検査手段としての差圧式気密検査機７０を設ける。差圧式気密検査機７０としては、差圧式のリークテスタなどを用いることができる。

以上のような構成により、検査対象製品２００の気密性の検査を行う場合には、３方弁６０において、差圧式気密検査機７０側の弁を閉じて、流量センサ３０側の弁を開き、気密容器２０自体の気密性の検査を行う場合には、３方弁６０において、差圧式気密検査機７０側の弁を開き、流量センサ３０側の弁を閉じる。なお、気密容器２０自体の気密性の検査は、気密容器２０の信頼性に応じて、適時行えばよい。勿論、この気密性の検査は、定期的に行ってもよいし、不定期的に行ってもよい。また、差圧式気密検査機７０は、公知の技術を用いればよく、通常、差圧式気密検査機７０によっても検出できないような微量の漏れは、流量センサ３０による測定値にほとんど影響を与えない。

以上のように、差圧式気密検査機７０によって、適時、気密容器２０自体から気体の漏れが生じていないかを検査することによって、気密容器２０自体からの気体の漏れを原因とする、検査対象製品２００からの気体の漏れ量の測定誤差を抑制することができる。

＜検査対象製品からの気体の漏れ量が過大な場合に流量センサ等が受ける衝撃に対する
対策＞
一般的に、気密性のある製品の漏れを検査するために用いられる流量センサ３０は、微小な流量を測定することを目的とするため、測定範囲は狭い範囲に限定されている。そのため、過大な流量の気体が流れ込むと、流量センサ３０が破損してしまう虞がある。また、気密容器２０についても、大きな内部圧力がかかると気密な状態を形成するためのシール部分が破損してしまう虞がある。従って、検査対象製品２００が不良品で、気密性が全くなかったような場合には、検査対象製品２００の製品内部に送り込んだ気体の圧力と略同一の圧力が流量センサ３０や気密容器２０にかかることになる。これにより、流量センサ３０や気密容器２０のシール部分が破損してしまう虞がある。そこで、このような不具合への対策について説明する。

気密容器２０の内部圧力を常時監視し、内部圧力が所定値を越えた場合には、気密容器２０内の圧力を解放することで、流量センサ３０や気密容器２０のシール部分の破損を防止できる。なお、気密容器２０内の圧力を解放する判定基準となる上記所定値は、流量センサ３０や気密容器２０のシール部分等の耐圧性に基づいて、これらが破損することのないように、予め設定することができる。

本実施の形態においては、気密容器２０内の内部圧力（気圧）を検出する検出手段としての圧力センサ８０を設けて、気密容器２０内の内部圧力を常時監視する。そして、この圧力センサ８０によって検出された値が、所定値を越えた場合には、直ちに、気密容器２０を開放することによって、気密容器２０内の圧力を解放する。ここで、気密容器２０の開放方法としては、気密容器２０を、アクチュエータによって気密状態を形成する位置と内部を開放する位置に移動させるように構成しておき、圧力センサ８０により検出された値が所定値を越えた場合には、このアクチュエータにより気密容器を移動させて内部を開放させることができる。また、気密容器２０の内部圧力を解放する方法としては、一定以上の圧力を受けた場合にのみ弁が開く１方向弁を、気密容器２０等に設けることによっても可能と考えられる。

以上のように構成することで、気密容器２０の内部圧力が所定値を越えてしまうことを防止することができる。従って、流量センサ３０や気密容器２０のシール部分が破損してしまうことを防止できる。

（実施例）
より具体的な実施例について、図４を参照して説明する。図４は本発明の実施例に係る検査装置の概略構成図である。本実施例では、検査対象製品として、浄水器用の中空糸膜カートリッジ２００ａの場合を例にして説明する。この中空糸膜カートリッジ２００ａは、入口２０１（浄化対象となる液体の導入口）と出口２０２（浄化された液体の排出口）を有するケース（気密性を有するケース）を備えた構成であり、本実施例に係る検査装置１００ｂによって、このケースの気密性を検査する。

本実施例に係る気密容器は、有底筒状の容器本体２０ａと、容器本体２０ａの開口部分を塞ぐと共に、検査対象である中空糸膜カートリッジ２００ａを載置するための土台部２０ｂと、容器本体２０ａと土台部２０ｂとの間をシールするためのシールリング２２とを備えている。

容器本体２０ａは、不図示のアクチュエータによって、図中矢印Ｘに示すように上下動するように構成されている。また、土台部２０ｂには、継手２０ｃ，２０ｄが設けられている。そして、容器本体２０ａが上部に移動されている状態で、中空糸膜カートリッジ２００ａが、その入口２０１と出口２０２が、それぞれ継手２０ｃ，２０ｄに接続されるように、土台部２０ｂに設置される。そして、容器本体２０ａが最下部まで移動すると、容
器本体２０ａと土台部２０ｂとの間がシールリング２２によりシールされると共に、入口２０１と継手２０ｃ、及び出口２０２と継手２０ｄとの間もシールされる。以上のようにして、気密容器内に、中空糸膜カートリッジ２００ａが気密状態で収納される。

ここで、継手２０ｃについては、入口２０１を完全にシールしているのに対して、継手２０ｄについては、中心に貫通孔が設けられ、圧送通路Ｔ１に接続された構成となっている。これにより、圧力源１０から、圧送通路Ｔ１及び継手２０ｄを通って、出口２０２より中空糸膜カートリッジ２００ａ内に気体（空気）が送られる。そして、中空糸膜カートリッジ２００ａに備えられるケースは、その入口２０１については継手２０ｃによってシールされているので、ケース自体から漏れる気体のみが、検査装置１００ｂの気密容器内に放出される。この気密容器内は気密状態であるので、中空糸膜カートリッジ２００ａのケース自体から漏れた気体の量と同量の気体のみが、土台部２０ｂに設けられた貫通孔２１を通って、排気通路Ｔ２へと流れていく。そして、この排気通路Ｔ２上に設けられた流量センサ３０であるマスフロメータによって、排気通路Ｔ２を流れる気体の流量が測定される。このようにして、中空糸膜カートリッジ２００ａからの気体の漏れ量を、直接的に測定することができ、中空糸膜カートリッジ２００ａの気密性を正確に検査することができる。

なお、本実施例では、上述した実施の形態２で説明した各種対策を設けている。すなわち、中空糸膜カートリッジ２００ａのケースの膨張に対する対策として、気体の圧送を開始してから所定期間の間、気密容器内の圧力を解放するためのリリーフ弁４０を設けている。ただし、上記実施の形態２では、流量センサ３０を設けた排気経路Ｔ２１の途中から分岐させた排気通路Ｔ２２上にリリーフ弁４０を設ける構成を説明したが、本実施例では、流量センサ３０を設けた排気通路Ｔ２上にリリーフ弁４０を設けている。このリリーフ弁４０によって排気することで、上記実施の形態２と同様に、気密容器内の圧力を解放することができる。

また、送り込まれる気体の圧力によって中空糸膜が切れてしまわないように、かつ中空糸膜カートリッジ２００ａのケースが急激に膨張してしまわないように、送り込む気体の圧力を徐々に高めるための電空レギュレータ５０を圧送通路Ｔ１上に設けている。

また、気密容器自体から気体が漏れていないか検査するための差圧式気密検査機７０も設けられている。また、これに伴い、中空糸膜カートリッジ２００ａの気密性の検査と気密容器自体の気密性の検査を切り換えるために、気体の流れを切り換えるための３方弁６０が設けられている

図１は本発明の実施の形態１に係る検査装置の模式図である。 図２は本発明の実施の形態２に係る検査装置の模式図である。 図３は圧力源の動作とリリーフ弁の動作についてのタイミングチャートである。 図４は本発明の実施例に係る検査装置の概略構成図である。 図５は従来例に係る気密検査装置の模式図である。

符号の説明

１０ 圧力源
２０ 気密容器
２０ａ 容器本体
２０ｂ 土台部
２０ｃ，２０ｄ 継手
２１ 貫通孔
２２ シールリング
３０ 流量センサ
４０ リリーフ弁
５０ 電空レギュレータ
６０ ３方弁
７０ 差圧式気密検査機
８０ 圧力センサ
１００，１００ａ，１００ｂ 検査装置
２００ 検査対象製品
２００ａ 中空糸膜カートリッジ
２０１ 入口
２０２ 出口
Ｔ１ 圧送通路
Ｔ２，Ｔ２１，Ｔ２２ 排気通路

Claims (8)

1. 製品の気密性を検査する検査装置において、
   検査対象製品の製品内部に気体を送り込む圧送手段と、
   容器内を気密に保ちつつ、検査対象製品を収納可能な気密容器と、
   前記圧送手段による気体の圧送時に、前記気密容器に接続された排気通路を流れる気体の量を測定することによって、検査対象製品からの気体の漏れ量を測定する測定手段と、を備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記圧送手段による圧送開始から所定期間の間、前記気密容器内の圧力を解放する弁を備えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記圧送手段によって製品内部に気体を圧送する際に、加圧量を調整する調整手段を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記気密容器自体からの気体の漏れ量を検査する検査手段を備えることを特徴とする請求項１，２または３に記載の検査装置。
5. 前記気密容器内の気圧を検出する検出手段と、
   該検出手段により検出された気圧が所定値を越えた場合には、前記気密容器内の圧力を解放する圧力解放手段と、を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の検査装置。
6. 製品の気密性を検査する検査方法において、
   検査対象製品を気密容器内に気密状態で収納させる工程と、
   検査対象製品の製品内部に気体を送り込む工程と、
   製品内部に気体が送り込まれている最中に、前記気密容器に接続された排気通路を流れる気体の量を測定することによって、検査対象製品からの気体の漏れ量を測定する工程と、を有することを特徴とする検査方法。
7. 検査対象製品の製品内部に気体を送り込み始めてから所定期間の間、前記気密容器内の圧力を解放する工程を有することを特徴とする請求項６に記載の検査方法。
8. 検査中に前記気密容器内の圧力が所定値を越えた場合には、該気密容器内の圧力を解放することを特徴とする請求項６または７に記載の検査方法。

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