JP5079393B2 - 流体機器ユニット構造 - Google Patents
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Description
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数の締結部材を締め付けることにより、全周にわたって均一な締付力を容易に付与して良好なシール性を得ることができる流体機器ユニット構造を提供することにある。
本発明は、シール対象となる円形断面形状の流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化する流体機器ユニット構造であって、前記流体機器類のケーシング部材を前記ベース部材との接合方向へ複数に分割し、前記ベース部材と密着する位置に配置される前記ケーシング部材のベース側分割部材もしくは前記ベース部材に、前記接合方向へ貫通する複数の雌ねじ部が円形リング状の連結部材により周方向へ等ピッチに一体化された雌ねじ部組立体を嵌合させて取り付けるとともに、前記ベース側部材を挟持して前記雌ねじ部の両側から各々異なる締結部材をねじ込んで締め付けることを特徴とするものである。
なお、シール対象となる流路の断面形状を円形とした場合、シール面の全周にわたって均一な締結力を得るのに好適な雌ねじ部組立体は、前記連結部材が円形リング状とされ、前記雌ねじ部の形成部材が前記連結部材の周方向へ等ピッチに配設されたものとなる。
また、本発明の雌ねじ部組立体を採用することにより、雌ねじ部の両側から各々異なる締結部材をねじ込んで締め付ける作業を行う際、雌ねじ部組立体が連れ回りしないので、締結部材の締め込み作業を容易にするという効果も得られる。
図5及び図6に示す流体機器ユニット1の構造は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材10に集積して一体化したものである。図示の構成例では、流体機器ユニット1の主要部が耐薬品性のフッ素樹脂製とされ、流体機器類として三つの空気圧操作弁20A,20B,20C、圧力センサ30及び図7に示す逆止弁40を使用し、これらの流体機器類をベース部材10に集積して一体化したものである。なお、図中の符号5はベース固定板、6はユニット基板である。
また、図7は流体機器ユニット1の流路(回路)構成を示しており、この流路構成例では、薬液流路2に第1の空気圧操作弁20A及び圧力センサ30が設けられ、第1の空気圧操作弁20Aの上流側から分岐する薬液リターン流路3には第2の空気圧操作弁20Bが設けられ、第1の空気圧操作弁20Aの下流側に合流する純水流路4には第3の空気圧操作弁20C及び逆止弁40が設けられている。なお、図中の符号2aは薬液入口、2bは薬液出口、3aは薬液リターン出口、4aは純水入口である。
この場合、ベース部材10は略直方体形状とされ、その上面には上述した流体機器類を設置するため、各中心位置が矩形を描くように配置された4つの設置面11が設けられている。なお、以下の説明では、第1の空気圧操作弁20Aを設置する設置面を第1設置面11Aとし、第2の空気圧操作弁20Bを設置する設置面を第2設置面11B、第3の空気圧操作弁20Cを設置する設置面を第3設置面11C、さらに、圧力センサ30を設置する設置面を第4設置面11Dとする。
また、図14の符号15はリング状凹部であり、空気圧操作弁20AのダイヤフラムDfに形成された凸部をリング状凹部15に挿入することで、ベース部材10と空気圧操作弁20Aとの連結部シール構造が形成されている。なお、ダイヤフラムDfの上方には、空気圧により弁を開閉するためのアクチュエータAcが設置されている。
なお、ここで採用した貫通ボルト50及びナット51については、後述する理由により分割ボルト構造を採用することが好ましい。
このように形成されたベース部材10の第3設置面11Cに対し、ばね43を介在させた弁体41を上部から弁体収納部42に組み込んだ後、空気圧操作弁20Cを上方から差し込むように挿入して取り付け、後述する分割ボルト構造のボルト17(図2参照)で固定する。この場合の連結部は、リング状凸部22とリング状凹部15との嵌合によりシールされる。
このような逆止弁40を流体機器ユニット1に採用すれば、弁体収納部42に連通する流体入口44及び流体出口45を所望の角度に交差させて設けることができるので、ユニット全体の小型化に有効である。すなわち、従来のインラインタイプと異なり、流体入口44及び流体出口45が所望の角度を有しているので、特に、平面視の設置面積を小さくすることが可能になる。
すなわち、隣接する設置面11の段差を大きくすることにより、加工用の穴を設けなくても傾斜角度の大きい傾斜流路12を容易に形成することができるようになり、従って、この傾斜流路12により連結可能となる設置面11間の間隔を狭めることができる。換言すれば、ベース部材10の隣接する設置面11間に段差を設けて傾斜流路12で連結することにより、設置面11に取り付ける流体機器間の設置間隔を狭めて小さくすることができ、この場合、段差が大きいほど傾斜流路12の傾斜角度も大きくなるので、設置間隔を狭めることができる。
第2設置面11Bには、たとえば図13に示すように、空気操作弁20Bが上方から挿入して取り付けられ、第4設置面11Dには、圧力センサ30が上方から挿入して取り付けられる。なお、空気操作弁20Bの連結部は、リング状凸部22とリング状凹部15との嵌合によりシールされ、圧力センサ30の連結部は、Oリング31を挟持した状態で押圧することによりシールされる。
なお、図3の断面図は、図4に示すベース部材23cの対角方向であるA−A断面について、雌ねじ部組立体19を取り除いた部品単体の断面形状を示したものである。
しかし、雌ねじ部組立体19は、各ボルト17毎の締付力をそれほど厳密に調整しなくても、連結リング18bがシール面の全周を均一に押圧することができる。従って、ボルト17の締付トルク管理及びケーシング部材23をベース部材10に密着させる力の調整が容易になるので、複数あるシール部を均等に締め付けて良好なシール性を得ることができる。
また、上述した流体機器ユニット1では、複数の流体機器が集積されているため、空気圧操作弁20Bのように単体として多数のシール部分を有する複数の流体機器がベース部材10に設置されることとなる。従って、流体機器の集積化が終了した後の完成品には、シール機能を確認しなくてはならないシール部が多数存在しており、各シール部毎の漏れ検査を実施する作業は非常に複雑化した工程となる。
また、まんがいち漏れがあった場合には、全てを分解してから組立をやり直す必要が生じるだけでなく、漏れの箇所を特定することも非常に難しいものとなる。従って、組立工程内で再組み立てのリスク、検査の簡略化なども同様に要求される。
上述した流体機器の類似品は、たとえばノーマルオープン及びノーマルクローズのように開閉モードが異なるもの、流量調整機能の有無が異なるものなど多種多様であり、ここに例示した機器類に限定されることはなく、流体機器単体としてシール部分が多数存在しているものを包含する。
また、本発明の雌ねじ部組立体19を採用することにより、ナット部18aの両側から各々異なるボルト17をねじ込んで締め付ける作業を行う際、雌ねじ部組立体19が連れ回りしないので、ボルト17の締め込み作業を容易にするという効果も得られる。
また、上述した実施形態では、雌ねじ部組立体19をベース側分割部材であるベース側部材23cに嵌合させて取り付ける構成としたが、ベース部材10に嵌合させて取り付ける構造としても同様の作用効果を得ることができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
10 ベース部材
11 設置面
11A 第1設置面
11B 第2設置面
11C 第3設置面
11D 第4設置面
12,12A,12B 傾斜流路
18a ナット部
18b 連結部材
19 雌ねじ部組立体
20A,20B,20C 空気圧操作弁
23 ケーシング部材
23c ベース側部材(ベース側分割部材)
30 圧力センサ
40 逆止弁
Claims (1)
- シール対象となる円形断面形状の流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化する流体機器ユニット構造であって、
前記流体機器類のケーシング部材を前記ベース部材との接合方向へ複数に分割し、前記ベース部材と密着する位置に配置される前記ケーシング部材のベース側分割部材もしくは前記ベース部材に、前記接合方向へ貫通する複数の雌ねじ部が円形リング状の連結部材により周方向へ等ピッチに一体化された雌ねじ部組立体を嵌合させて取り付けるとともに、前記ベース側部材を挟持して前記雌ねじ部の両側から各々異なる締結部材をねじ込んで締め付けることを特徴とする流体機器ユニット構造。
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