JP3048583B2 - 高真空ポンプ用のポンプ段 - Google Patents
高真空ポンプ用のポンプ段Info
- Publication number
- JP3048583B2 JP3048583B2 JP1262311A JP26231189A JP3048583B2 JP 3048583 B2 JP3048583 B2 JP 3048583B2 JP 1262311 A JP1262311 A JP 1262311A JP 26231189 A JP26231189 A JP 26231189A JP 3048583 B2 JP3048583 B2 JP 3048583B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- pump
- pump stage
- stator
- web
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、高真空ポンプ用の、ロ−タ及びステ−タを
有するポンプ段であつて、ロ−タ又はステ−タが気体の
搬送を生じさせる構造部分を有する形式のものに関す
る。
有するポンプ段であつて、ロ−タ又はステ−タが気体の
搬送を生じさせる構造部分を有する形式のものに関す
る。
高真空ポンプに分子ポンプ段又はタ−ボ分子ポンプ段
を用いることは公知である。分子ポンプでは、運動する
ロ−タ壁と静止のステ−タ壁とは互いに次のように構成
されかつ離されている。即ち、これらの壁面からこれら
の壁面の間にある気体の分子に伝達されるインパルスが
ある優勢な方向性を有するように、構成されかつ離され
ている。一般にロ−タ又はステ−タの壁は、優勢な搬送
方向をうるために、ら旋状又はつる巻線状の溝又は突出
部を備えている。タ−ボ分子ポンプ段では、タ−ビンの
形式で、互いに内側及び外側に位置するステ−タ羽根及
びロ−タ羽根が設けられている。これらの羽根は前記の
所望のインパルスを、搬送されるべき気体の分子に、そ
れも特に搬送方向で、与える。タ−ボ分子ポンプ段は、
圧縮度(吸込側圧力に対する吐出側圧力の圧力比)は比
較的低いが、吸込性能(排気速度、単位時間当り流量)
は比較的高い。しかしその製作及び組立のコストが高
く、高価である。それというのは、十分な圧縮をうるた
め極めて多数のポンプ段(ロ−タ段及びステ−タ段)を
必要とするからである。分子ポンプ段は比較的高い圧縮
度を有するが、吸込性能が低い。
を用いることは公知である。分子ポンプでは、運動する
ロ−タ壁と静止のステ−タ壁とは互いに次のように構成
されかつ離されている。即ち、これらの壁面からこれら
の壁面の間にある気体の分子に伝達されるインパルスが
ある優勢な方向性を有するように、構成されかつ離され
ている。一般にロ−タ又はステ−タの壁は、優勢な搬送
方向をうるために、ら旋状又はつる巻線状の溝又は突出
部を備えている。タ−ボ分子ポンプ段では、タ−ビンの
形式で、互いに内側及び外側に位置するステ−タ羽根及
びロ−タ羽根が設けられている。これらの羽根は前記の
所望のインパルスを、搬送されるべき気体の分子に、そ
れも特に搬送方向で、与える。タ−ボ分子ポンプ段は、
圧縮度(吸込側圧力に対する吐出側圧力の圧力比)は比
較的低いが、吸込性能(排気速度、単位時間当り流量)
は比較的高い。しかしその製作及び組立のコストが高
く、高価である。それというのは、十分な圧縮をうるた
め極めて多数のポンプ段(ロ−タ段及びステ−タ段)を
必要とするからである。分子ポンプ段は比較的高い圧縮
度を有するが、吸込性能が低い。
ヨ−ロツパ特許出願公開第142 208号明細書によれ
ば、分子ポンプの吸込性能を、分子ポンプ吸込側に特別
のポンプ段を前置することによつて改善することが公知
になつている。このポンプ段はステ−タ側においてつる
巻線状の突出部を取囲んでいる。この突出部は分子ポン
プのつる巻線状の突出部の吸込側延長部である。さらに
このつる巻線状の突出部にはロ−タ側に羽根ブレ−ドが
所属しており、該羽根ブレ−ドはロ−タの回転軸線に対
して半径方向にかつ平行に延びている。この形式のポン
プ段はやはり比較的高い製作費を要する。それというの
は、ロ−タ側にもステ−タ側にも気体の搬送作用を生ぜ
しめる構造部分がなければならないからである。さらに
このポンプ段の圧縮度は極めて低い。
ば、分子ポンプの吸込性能を、分子ポンプ吸込側に特別
のポンプ段を前置することによつて改善することが公知
になつている。このポンプ段はステ−タ側においてつる
巻線状の突出部を取囲んでいる。この突出部は分子ポン
プのつる巻線状の突出部の吸込側延長部である。さらに
このつる巻線状の突出部にはロ−タ側に羽根ブレ−ドが
所属しており、該羽根ブレ−ドはロ−タの回転軸線に対
して半径方向にかつ平行に延びている。この形式のポン
プ段はやはり比較的高い製作費を要する。それというの
は、ロ−タ側にもステ−タ側にも気体の搬送作用を生ぜ
しめる構造部分がなければならないからである。さらに
このポンプ段の圧縮度は極めて低い。
本発明の課題は、はじめに述べた形式のポンプ段のポ
ンプ特性を改善することにある。
ンプ特性を改善することにある。
この課題は本発明によれば、高真空ポンプ用の、ロ−
タ及びステ−タを有するポンプ段であつて、ロ−タ又は
ステ−タが気体の搬送を生じさせる構造部分を有する形
式のものにおいて、上記構造部分が半径方向に延びるウ
エブから成り、ステータ壁の内周面の半径とウエブ幅と
の比が、ロータの吸込側で2:1〜5:1、有利には3:1であ
り、ステータ壁の内周面の半径とウエブ幅との比が、ロ
ータの吐出側で10:1〜12:1であり、ウエブの傾斜角が、
吸込側から吐出側へ40゜〜50゜、有利には45゜から10゜
〜20゜、有利には15゜に減少しており、ウエブがロータ
の外周面上の、ほぼ90゜の中心角の範囲に亘って延びて
いることによって、解決されている。上記のような特徴
を有するポンプ段は、従来のスクリユ−ポンプ段に比し
て、圧縮度も良く、また吸込性能も、吸込側の圧力が比
較的高い場合にも、高い。またこのポンプ段は構造がコ
ンパクトである。たんにステ−タ又はロ−タのいずれか
一方が本発明によるウエブを備えていればよいから、製
作、組立、ひいてはまたサ−ビス作業もタ−ボ分子ポン
プ段に比して著しく簡単である。特別のポンプ特性を有
するため本発明によるポンプ段は、1つのスクリユ−ポ
ンプ段と、殊に2つのスクリユ−ポンプ段と組合わせて
用いるのに適している。このような形式の高真空ポンプ
は、圧縮度、吸込性能及び到達真空度に関して、殆ん
ど、相応するタ−ボ分子ポンプのポンプ特性に達する。
さらに上記の形式の高真空ポンプは、比較的高い圧力の
気体に対して、粘性の流動範囲の気体にまで、使用で
き、従つて前段階の真空発生に要する経費を低減するこ
とができる。
タ及びステ−タを有するポンプ段であつて、ロ−タ又は
ステ−タが気体の搬送を生じさせる構造部分を有する形
式のものにおいて、上記構造部分が半径方向に延びるウ
エブから成り、ステータ壁の内周面の半径とウエブ幅と
の比が、ロータの吸込側で2:1〜5:1、有利には3:1であ
り、ステータ壁の内周面の半径とウエブ幅との比が、ロ
ータの吐出側で10:1〜12:1であり、ウエブの傾斜角が、
吸込側から吐出側へ40゜〜50゜、有利には45゜から10゜
〜20゜、有利には15゜に減少しており、ウエブがロータ
の外周面上の、ほぼ90゜の中心角の範囲に亘って延びて
いることによって、解決されている。上記のような特徴
を有するポンプ段は、従来のスクリユ−ポンプ段に比し
て、圧縮度も良く、また吸込性能も、吸込側の圧力が比
較的高い場合にも、高い。またこのポンプ段は構造がコ
ンパクトである。たんにステ−タ又はロ−タのいずれか
一方が本発明によるウエブを備えていればよいから、製
作、組立、ひいてはまたサ−ビス作業もタ−ボ分子ポン
プ段に比して著しく簡単である。特別のポンプ特性を有
するため本発明によるポンプ段は、1つのスクリユ−ポ
ンプ段と、殊に2つのスクリユ−ポンプ段と組合わせて
用いるのに適している。このような形式の高真空ポンプ
は、圧縮度、吸込性能及び到達真空度に関して、殆ん
ど、相応するタ−ボ分子ポンプのポンプ特性に達する。
さらに上記の形式の高真空ポンプは、比較的高い圧力の
気体に対して、粘性の流動範囲の気体にまで、使用で
き、従つて前段階の真空発生に要する経費を低減するこ
とができる。
次に図示の実施例につき本発明を説明する。
第1図の高真空ポンプは外側のケ−シング1を有し、
このケ−シングは内側中心に支承スリ−ブ2を有してい
る。この支承スリ−ブ2内には軸3が軸受4によつて支
持されている。軸3には駆動モ−タ5及びロ−タ系(6,
7)が連結されている。
このケ−シングは内側中心に支承スリ−ブ2を有してい
る。この支承スリ−ブ2内には軸3が軸受4によつて支
持されている。軸3には駆動モ−タ5及びロ−タ系(6,
7)が連結されている。
一体構造のロ−タ系は2つの異なる構成のロ−タ6,7
を有している。ロ−タ6は円筒形で滑らかな外周面8及
び内周面9を有している。外周面8に対応する範囲にお
いてケ−シング1はその内側にねじ山10を有し、スクリ
ユ−ポンプ段のステ−タを形成している。外周面8とね
じ山10とは、この、それ自体としては公知のスクリユ−
ポンプ段のポンプ作用面であつて、ポンプギヤツプ11に
達した分子を出口12へ搬送する。
を有している。ロ−タ6は円筒形で滑らかな外周面8及
び内周面9を有している。外周面8に対応する範囲にお
いてケ−シング1はその内側にねじ山10を有し、スクリ
ユ−ポンプ段のステ−タを形成している。外周面8とね
じ山10とは、この、それ自体としては公知のスクリユ−
ポンプ段のポンプ作用面であつて、ポンプギヤツプ11に
達した分子を出口12へ搬送する。
支承スリ−ブ2の外周面には、ロ−タ6の内周面9に
対応する範囲に、ねじ山13が加工されており、これによ
り、さらに別の1つのスクリユ−ポンプ段のステ−タが
形成されている。ねじ山13と内周面9とは、ポンプギヤ
ツプ14を有する上記の、別の1つのスクリユ−ポンプ段
のポンプ作用面である。ポンプギヤツプ14を通つて下か
ら上へ搬送される気体は支承ブツシユ2中の孔15を通つ
て出口12へ流れる。
対応する範囲に、ねじ山13が加工されており、これによ
り、さらに別の1つのスクリユ−ポンプ段のステ−タが
形成されている。ねじ山13と内周面9とは、ポンプギヤ
ツプ14を有する上記の、別の1つのスクリユ−ポンプ段
のポンプ作用面である。ポンプギヤツプ14を通つて下か
ら上へ搬送される気体は支承ブツシユ2中の孔15を通つ
て出口12へ流れる。
スクリユ−ポンプ段8,10に本発明のポンプ段が前置さ
れている。このポンプ段はロ−タ7を有し、このロ−タ
7は円錐形のボス部分23及びウエブ24から成る。これら
のウエブ24は、これらのウエブを取囲む、ケ−シング1
内のステ−タ壁25と共に、1つのポンプ段(7,25)を形
成する。個々のウエブ24間又はポンプギヤツプ26内に達
する気体の分子は、本発明によるポンプ段(24,25)に
より、分子ポンプ段(6,10)のポンプギヤツプ11へ搬送
される。
れている。このポンプ段はロ−タ7を有し、このロ−タ
7は円錐形のボス部分23及びウエブ24から成る。これら
のウエブ24は、これらのウエブを取囲む、ケ−シング1
内のステ−タ壁25と共に、1つのポンプ段(7,25)を形
成する。個々のウエブ24間又はポンプギヤツプ26内に達
する気体の分子は、本発明によるポンプ段(24,25)に
より、分子ポンプ段(6,10)のポンプギヤツプ11へ搬送
される。
図示の実施例では、ウエブ24は円錐形のボス部分23に
設けられており、ロ−タ系(6,7)と一緒に回転する。
ウエブ24をステ−タ壁25に設けることも可能である。こ
の構成の場合には、ポンプギヤツプ26は、この場合滑ら
かなボス部分23の外周面とウエブ24の内側の縁部との間
にある。ポンプギヤツプ11,14及び26の幅はできるだけ
小さくすべきである。このギヤツプの幅は、分子ポンプ
段において公知のように、実地では10分の2,3ミリメ−
トル乃至数ミリメ−トルである。
設けられており、ロ−タ系(6,7)と一緒に回転する。
ウエブ24をステ−タ壁25に設けることも可能である。こ
の構成の場合には、ポンプギヤツプ26は、この場合滑ら
かなボス部分23の外周面とウエブ24の内側の縁部との間
にある。ポンプギヤツプ11,14及び26の幅はできるだけ
小さくすべきである。このギヤツプの幅は、分子ポンプ
段において公知のように、実地では10分の2,3ミリメ−
トル乃至数ミリメ−トルである。
本発明によるポンプ段のロ−タ7の構成の細部は第2
図に示されている。ロ−タ7の外側の半径rは、ポンプ
ギヤツプ26までの円筒形のステ−タ内壁25の半径にほぼ
等しい。ウエブ24は、吸込側で、ほぼ45゜の傾斜角αを
有している。ウエブ24の幅b1は半径rのほぼ1/3であ
り、この場合半径rは、例えば、50〜60mmである。この
寸法比では、ウエブ24の幅b1によつて規定される環状面
(ガス入口面)はロ−タ端面の50%より大になる。
図に示されている。ロ−タ7の外側の半径rは、ポンプ
ギヤツプ26までの円筒形のステ−タ内壁25の半径にほぼ
等しい。ウエブ24は、吸込側で、ほぼ45゜の傾斜角αを
有している。ウエブ24の幅b1は半径rのほぼ1/3であ
り、この場合半径rは、例えば、50〜60mmである。この
寸法比では、ウエブ24の幅b1によつて規定される環状面
(ガス入口面)はロ−タ端面の50%より大になる。
吐出側ではウエブ24はほぼ15゜の傾斜角βを有してい
る。吐出側でのウエブ24の幅b2は半径rのほぼ1/10であ
る。ボス部分23、ウエブ24及びステ−タ壁25から形成さ
れるポンプ通路は後続するスクリユ−ポンプ段のねじ山
10を有するポンプギヤツプに開口している。
る。吐出側でのウエブ24の幅b2は半径rのほぼ1/10であ
る。ボス部分23、ウエブ24及びステ−タ壁25から形成さ
れるポンプ通路は後続するスクリユ−ポンプ段のねじ山
10を有するポンプギヤツプに開口している。
図示の実施例では19枚のウエブ24が円錐状ボス部分23
の外周に等間隔に配置されている。これらの各ウエブ24
はそれぞれが角γに亘つて延びている。この角度は有利
には90゜である。
の外周に等間隔に配置されている。これらの各ウエブ24
はそれぞれが角γに亘つて延びている。この角度は有利
には90゜である。
第1図は、ロ−タの−部が側面図で示されている、本発
明によるポンプ段を備えた高真空ポンプの断面図、第2
図は第1図の本発明によるポンプ段のロ−タの斜視図で
ある。 1……ケ−シング、2……支承スリ−ブ、3……軸、4
……軸受、5……駆動モ−タ、6……ロ−タ、7……ロ
−タ、8……外周面、9……内周面、10……スクリユ−
ポンプ段のねじ山、11……ポンプギヤツプ、12……出
口、13……スクリユ−ポンプ段のねじ山、14……ポンプ
ギヤツプ、15……孔、23……ボス部分、24……ウエブ、
25……ステ−タ壁、26……ポンプギヤツプ
明によるポンプ段を備えた高真空ポンプの断面図、第2
図は第1図の本発明によるポンプ段のロ−タの斜視図で
ある。 1……ケ−シング、2……支承スリ−ブ、3……軸、4
……軸受、5……駆動モ−タ、6……ロ−タ、7……ロ
−タ、8……外周面、9……内周面、10……スクリユ−
ポンプ段のねじ山、11……ポンプギヤツプ、12……出
口、13……スクリユ−ポンプ段のねじ山、14……ポンプ
ギヤツプ、15……孔、23……ボス部分、24……ウエブ、
25……ステ−タ壁、26……ポンプギヤツプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ハンス‐ギユンター・シユテユーバー ドイツ連邦共和国ケルン40・モルトケシ ユトラーセ 86 (56)参考文献 特開 昭61−226597(JP,A) 特開 昭61−145394(JP,A) 米国特許3697190(US,A) 欧州公開142208(EP,A1) 「IONICS」No.117、1985年 7月号、P53−59 「日本機械学会論文集(B編)」51巻 470号[昭60−10]P3381−3385
Claims (9)
- 【請求項1】高真空ポンプ用の、ロータ(7)及びステ
ータ(1)を有するポンプ段であって、ロータ又はステ
ータが気体の搬送を生じさせる構造部分を有する形式の
ものにおいて、上記構造部分が半径方向に延びるウエブ
(24)から成り、 ステータ壁(25)の内周面の半径(r)とウエブ幅
(b1)との比が、ロータ(7)の吸込側で2:1〜5:1、有
利には3:1であり、 ステータ壁(25)の内周面の半径(r)とウエブ幅
(b2)との比が、ロータ(7)の吐出側で10:1〜12:1で
あり、 ウエブ(24)の傾斜角(α,β)が、吸込側から吐出側
へ40゜〜50゜、有利には45゜から10゜〜20゜、有利には
15゜に減少しており、ウエブ(24)がロータ(7)の外
周面上の、ほぼ90゜の中心角の範囲に亘って延びている
ことを特徴とする、高真空ポンプ用のポンプ段。 - 【請求項2】ウエブ(24)がロータ(7)の構成部分で
ある請求項1記載のポンプ段。 - 【請求項3】ウエブ(24)がステータ(1,25)の構成部
分である請求項1記載のポンプ段。 - 【請求項4】ロータが円錐形に形成されたボス部分(2
3)を有している請求項1から3までのいずれか1項記
載のポンプ段。 - 【請求項5】10枚〜20枚の、互いに平行に延びているウ
エブ(24)がロータ外周に等間隔に配置されていること
を特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項記載
のポンプ段。 - 【請求項6】ポンプ段(24,25)が1つのスクリューポ
ンプ(8,10)と組合わされており、上記ポンプ段(24,2
5)及びスクリューポンプ段(8,10)のロータ(6,7)が
共に1つの軸(3)上に配置されていることを特徴とす
る、請求項1から5までのいずれか1項記載のポンプ
段。 - 【請求項7】軸(3)が支承ブッシュ(2)内に支承さ
れており、かつロータ(6)が中空円筒体であり、ロー
タ(6)の外周面がステータ若しくはケーシング(1)
と一緒に、ポンプギャップ(11)を有する第1のスクリ
ューポンプ段(8,10)を構成しており、かつ前記ローラ
(6)の内周面が支承ブッシュ(2)の外周面と一緒
に、ポンプギャップ(14)を有する第2のスクリューポ
ンプ段(9,13)を構成していることを特徴とする、請求
項6記載のポンプ段。 - 【請求項8】ポンプギャップ(14)が支承ブッシュ
(2)中の孔(15)を介して出口(12)に接続している
ことを特徴とする、請求項7記載のポンプ段。 - 【請求項9】ロータ(6,7)が一体に構成されており、
かつスクリューポンプ段(8,10;9,13)の気体の搬送を
生ぜしめる構造部分がステータ側に配置されていること
を特徴とする、請求項2又は5記載のポンプ段。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP88116749A EP0363503B1 (de) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Pumpenstufe für eine Hochvakuumpumpe |
EP88116749.8 | 1988-10-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02149798A JPH02149798A (ja) | 1990-06-08 |
JP3048583B2 true JP3048583B2 (ja) | 2000-06-05 |
Family
ID=8199438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1262311A Expired - Fee Related JP3048583B2 (ja) | 1988-10-10 | 1989-10-09 | 高真空ポンプ用のポンプ段 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4978276A (ja) |
EP (1) | EP0363503B1 (ja) |
JP (1) | JP3048583B2 (ja) |
DE (1) | DE3885899D1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0692799B2 (ja) * | 1989-11-24 | 1994-11-16 | ダイキン工業株式会社 | 真空ポンプ |
JPH03166251A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-18 | Sekisui Chem Co Ltd | 繊維強化塩素含有樹脂組成物、該組成物を用いた成形体及びその製造方法 |
DE4216237A1 (de) * | 1992-05-16 | 1993-11-18 | Leybold Ag | Gasreibungsvakuumpumpe |
TW504548B (en) * | 1998-06-30 | 2002-10-01 | Ebara Corp | Turbo molecular pump |
GB9927493D0 (en) * | 1999-11-19 | 2000-01-19 | Boc Group Plc | Improved vacuum pumps |
DE10008691B4 (de) * | 2000-02-24 | 2017-10-26 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Gasreibungspumpe |
JP2002138987A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Seiko Instruments Inc | 真空ポンプ |
US6503050B2 (en) * | 2000-12-18 | 2003-01-07 | Applied Materials Inc. | Turbo-molecular pump having enhanced pumping capacity |
US6790016B2 (en) * | 2002-02-04 | 2004-09-14 | Ching-Yuan Chiang | Motor and its blade unit |
DE10224604B4 (de) * | 2002-06-04 | 2014-01-30 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Evakuierungseinrichtung |
JP4141199B2 (ja) * | 2002-08-13 | 2008-08-27 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプのシール構造 |
GB0322883D0 (en) * | 2003-09-30 | 2003-10-29 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
GB0424199D0 (en) * | 2004-11-01 | 2004-12-01 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
GB0503946D0 (en) | 2005-02-25 | 2005-04-06 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3697190A (en) | 1970-11-03 | 1972-10-10 | Walter D Haentjens | Truncated conical drag pump |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US109926A (en) * | 1870-12-06 | Improvement in turbine water-wheels | ||
FR887499A (fr) * | 1941-11-04 | 1943-11-15 | Brown | Pompe moléculaire |
US2941780A (en) * | 1954-06-17 | 1960-06-21 | Garrett Corp | Elastic fluid turbine and compressor wheels |
FR2446934A1 (fr) * | 1979-01-19 | 1980-08-14 | Cit Alcatel | Pompe rotative a vide eleve |
NL8303927A (nl) * | 1983-11-16 | 1985-06-17 | Ultra Centrifuge Nederland Nv | Hoog-vacuum moleculair pomp. |
JPS61145394A (ja) * | 1984-12-18 | 1986-07-03 | Tokuda Seisakusho Ltd | 分子ポンプ |
JPS61226597A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-08 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプ用ロ−タ |
DE3613344A1 (de) * | 1986-04-19 | 1987-10-22 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Turbomolekular-vakuumpumpe fuer hoeheren druck |
FR2611818B1 (fr) * | 1987-02-26 | 1991-04-19 | Cit Alcatel | Pompe rotative a vide moleculaire du type a canal de gaede |
-
1988
- 1988-10-10 EP EP88116749A patent/EP0363503B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-10 DE DE88116749T patent/DE3885899D1/de not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-10-09 JP JP1262311A patent/JP3048583B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-10 US US07/419,194 patent/US4978276A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3697190A (en) | 1970-11-03 | 1972-10-10 | Walter D Haentjens | Truncated conical drag pump |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
「IONICS」No.117、1985年7月号、P53−59 |
「日本機械学会論文集(B編)」51巻470号[昭60−10]P3381−3385 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4978276A (en) | 1990-12-18 |
JPH02149798A (ja) | 1990-06-08 |
EP0363503A1 (de) | 1990-04-18 |
EP0363503B1 (de) | 1993-11-24 |
DE3885899D1 (de) | 1994-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101238294B (zh) | 真空泵 | |
EP0770781A1 (en) | Turbomolecular vacuum pumps | |
JP3048583B2 (ja) | 高真空ポンプ用のポンプ段 | |
JPH08511071A (ja) | 異なる構成のポンプ区分を備えた摩擦真空ポンプ | |
KR20000017408A (ko) | 원심 압축기 | |
JP2002515568A (ja) | ステータとロータを備えた摩擦真空ポンプ | |
JPH0826877B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2003515037A5 (ja) | ||
JP2001517757A (ja) | コンパウンドポンプ | |
US7445422B2 (en) | Hybrid turbomolecular vacuum pumps | |
KR890004933B1 (ko) | 터어보분자펌프 | |
US20010055526A1 (en) | Turbo-molecular pump | |
EP1485623B1 (en) | Vacuum pumps with improved impeller configurations | |
JP4907774B2 (ja) | ガス摩擦ポンプ | |
US6890146B2 (en) | Compound friction vacuum pump | |
JPH0553955B2 (ja) | ||
JPH0610477B2 (ja) | タ−ボ真空ポンプ | |
JP3045418B2 (ja) | ターボ真空ポンプ | |
JPH03213695A (ja) | ターボ形真空ポンプ | |
JP2557495B2 (ja) | 多段円周流形真空ポンプ | |
JP2002266798A (ja) | 軸流送風機 | |
JPS6245997A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
JPS6385289A (ja) | 真空ポンプ | |
JPH07217586A (ja) | ターボ真空ポンプ | |
JPH10318182A (ja) | ドライターボ真空ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |