JP3015912B2 - 共焦点光スキャナ - Google Patents
共焦点光スキャナInfo
- Publication number
- JP3015912B2 JP3015912B2 JP17710495A JP17710495A JP3015912B2 JP 3015912 B2 JP3015912 B2 JP 3015912B2 JP 17710495 A JP17710495 A JP 17710495A JP 17710495 A JP17710495 A JP 17710495A JP 3015912 B2 JP3015912 B2 JP 3015912B2
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- Japan
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- microlens
- beam splitter
- disks
- optical scanner
- disk
- Prior art date
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
- G02B21/0044—Scanning details, e.g. scanning stages moving apertures, e.g. Nipkow disks, rotating lens arrays
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロレンズを付加
したニポウディスクを高速回転する共焦点レーザスキャ
ナに関し、詳しくはプレート型のダイクロイックミラー
を使用可能にした共焦点光スキャナに関するものであ
る。
したニポウディスクを高速回転する共焦点レーザスキャ
ナに関し、詳しくはプレート型のダイクロイックミラー
を使用可能にした共焦点光スキャナに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来よりニポウディスクを高速回転する
共焦点光スキャナはよく知られている。図４はこの種の
共焦点光スキャナの一例を示す図である。図において、
レーザ光１はマイクロレンズディスク２に配設されたマ
イクロレンズ（図示せず）とキューブ型のダイクロイッ
クミラー４をそれぞれ透過し、ニポウディスク３にアレ
イ状に形成されたピンホール（微小開口部：図示せず）
上に集束する。
共焦点光スキャナはよく知られている。図４はこの種の
共焦点光スキャナの一例を示す図である。図において、
レーザ光１はマイクロレンズディスク２に配設されたマ
イクロレンズ（図示せず）とキューブ型のダイクロイッ
クミラー４をそれぞれ透過し、ニポウディスク３にアレ
イ状に形成されたピンホール（微小開口部：図示せず）
上に集束する。
【０００３】なお、マイクロレンズディスク２として
は、例えば、本願出願人が出願した特願平４−１５４１
１号（特開平５−６０９８０号）に記載の集光ディスク
を使用することができる。この集光ディスク２０は、図
５に示すように、ガラス基板２１の片面に複数のフレネ
ルレンズ２２が形成されたものである。なお、フレネル
レンズはその焦点位置が１画面ずつ半径方向に順次ずれ
るように形成されている。ダイクロイックミラー４は図
示しない支持機構によりマイクロレンズディスク２とニ
ポウディスク３の間の空間に保持されている。
は、例えば、本願出願人が出願した特願平４−１５４１
１号（特開平５−６０９８０号）に記載の集光ディスク
を使用することができる。この集光ディスク２０は、図
５に示すように、ガラス基板２１の片面に複数のフレネ
ルレンズ２２が形成されたものである。なお、フレネル
レンズはその焦点位置が１画面ずつ半径方向に順次ずれ
るように形成されている。ダイクロイックミラー４は図
示しない支持機構によりマイクロレンズディスク２とニ
ポウディスク３の間の空間に保持されている。
【０００４】ニポウディスク３のピンホール上に集束し
た光は対物レンズ６を通り試料７に照射される。試料７
より発光した蛍光は対物レンズ６を通ってニポウディス
ク３のピンホール上に焦点を結び、ここに試料７の実像
が得られる。この像はダイクロイックミラー４で反射
し、リレーレンズ８を通ってカメラ９の受光面上に結像
する。ニポウディスク３とマイクロレンズディスク２は
連結されていて、モータ５により一体となって回転す
る。
た光は対物レンズ６を通り試料７に照射される。試料７
より発光した蛍光は対物レンズ６を通ってニポウディス
ク３のピンホール上に焦点を結び、ここに試料７の実像
が得られる。この像はダイクロイックミラー４で反射
し、リレーレンズ８を通ってカメラ９の受光面上に結像
する。ニポウディスク３とマイクロレンズディスク２は
連結されていて、モータ５により一体となって回転す
る。
【０００５】このような構成において、マイクロレンズ
ディスク２とニポウディスク３を回転し試料７面上をビ
ーム走査することにより、カメラ９の受光面上に試料面
の２次元像が得られる。
ディスク２とニポウディスク３を回転し試料７面上をビ
ーム走査することにより、カメラ９の受光面上に試料面
の２次元像が得られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の構成ではマイクロレンズディスクに対してレーザ
光を９０゜で垂直に入射すれば、キューブ型のダイクロ
イックミラー４では光軸を曲げられることなく、マイク
ロレンズディスク２と同一パターンのニポウディスク３
へ結像し、マイクロレンズとピンホールの位置合わせは
容易であった。しかしキューブ型のダイクロイックミラ
ー４では、膜の前後が共にガラスであり、屈折率が同一
であるため、片側が空気で屈折率差を大きくとれるプレ
ート型のダイクロイックミラーに比べて励起と蛍光の分
離がシャープな特性を得にくいという問題がある。
従来の構成ではマイクロレンズディスクに対してレーザ
光を９０゜で垂直に入射すれば、キューブ型のダイクロ
イックミラー４では光軸を曲げられることなく、マイク
ロレンズディスク２と同一パターンのニポウディスク３
へ結像し、マイクロレンズとピンホールの位置合わせは
容易であった。しかしキューブ型のダイクロイックミラ
ー４では、膜の前後が共にガラスであり、屈折率が同一
であるため、片側が空気で屈折率差を大きくとれるプレ
ート型のダイクロイックミラーに比べて励起と蛍光の分
離がシャープな特性を得にくいという問題がある。
【０００７】蛍光型の共焦点光スキャナにおいて蛍光測
定の性能を向上させるためには、プレート型のダイクロ
イックミラーを使用すれば上記問題は解決するが、プレ
ート型のダイクロイックミラーをディスク２と３の間に
挿入すると、図６に示すように光軸がｄだけシフトす
る。このためマイクロレンズディスク２とニポウディス
ク３の孔位置を合わせることができなかった。なお、こ
の問題は、蛍光型ばかりでなく、反射型の場合のビーム
スプリッタについても同様に発生する問題である。
定の性能を向上させるためには、プレート型のダイクロ
イックミラーを使用すれば上記問題は解決するが、プレ
ート型のダイクロイックミラーをディスク２と３の間に
挿入すると、図６に示すように光軸がｄだけシフトす
る。このためマイクロレンズディスク２とニポウディス
ク３の孔位置を合わせることができなかった。なお、こ
の問題は、蛍光型ばかりでなく、反射型の場合のビーム
スプリッタについても同様に発生する問題である。
【０００８】本発明の目的は、このような点に鑑み、プ
レート型のビームスプリッタを用いると共にニポウディ
スクにマイクロレンズディスクの集光レーザを的確に入
射することのできる共焦点光スキャナを実現することに
ある。
レート型のビームスプリッタを用いると共にニポウディ
スクにマイクロレンズディスクの集光レーザを的確に入
射することのできる共焦点光スキャナを実現することに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、複数のマイクロレンズと微小開口
が同一パターンでそれぞれアレイ状に配置され一体化さ
れた２枚のディスクと、この２枚のディスクを回転する
回転手段と、前記２枚のディスクの間に挿入されたビー
ムスプリッタと、前記２枚のディスクと試料の間に配置
された対物レンズを備えた共焦点光スキャナにおいて、
前記ビームスプリッタとしてプレート型のビームスプリ
ッタを使用し、前記マイクロレンズに入射する入射光の
光軸をマイクロレンズの垂直入射軸に対して傾け、前記
マイクロレンズに入射した光が当該マイクロレンズに対
応した位置の微小開口に集束するようにしたことを特徴
とする。
るために本発明では、複数のマイクロレンズと微小開口
が同一パターンでそれぞれアレイ状に配置され一体化さ
れた２枚のディスクと、この２枚のディスクを回転する
回転手段と、前記２枚のディスクの間に挿入されたビー
ムスプリッタと、前記２枚のディスクと試料の間に配置
された対物レンズを備えた共焦点光スキャナにおいて、
前記ビームスプリッタとしてプレート型のビームスプリ
ッタを使用し、前記マイクロレンズに入射する入射光の
光軸をマイクロレンズの垂直入射軸に対して傾け、前記
マイクロレンズに入射した光が当該マイクロレンズに対
応した位置の微小開口に集束するようにしたことを特徴
とする。
【００１０】
【作用】複数のマイクロレンズと微小開口が同一パター
ンでそれぞれアレイ状に配置され一体化された２枚のデ
ィスクの間に挿入配置されたビームスプリッタをプレー
ト型のビームスプリッタとする。入射光の光軸をマイク
ロレンズの垂直入射軸に対して有意に傾ける。これによ
りプレート型のビームスプリッタによって生じる光軸の
ずれをキャンセルし、当該マイクロレンズの入射光を対
応する微小開口部に集束することができる。
ンでそれぞれアレイ状に配置され一体化された２枚のデ
ィスクの間に挿入配置されたビームスプリッタをプレー
ト型のビームスプリッタとする。入射光の光軸をマイク
ロレンズの垂直入射軸に対して有意に傾ける。これによ
りプレート型のビームスプリッタによって生じる光軸の
ずれをキャンセルし、当該マイクロレンズの入射光を対
応する微小開口部に集束することができる。
【００１１】
【実施例】以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明に係る共焦点光スキャナの一実施例を示す
要部構成図、図２はダイクロイックミラー部の拡大説明
図である。なお、図４と同等部分には同一符号を付し、
その部分の説明は省略する。図において、４１はプレー
ト型のダイクロイックミラーであり、マイクロレンズデ
ィスク２とニポウディスク３の間に配置されている。
図１は本発明に係る共焦点光スキャナの一実施例を示す
要部構成図、図２はダイクロイックミラー部の拡大説明
図である。なお、図４と同等部分には同一符号を付し、
その部分の説明は省略する。図において、４１はプレー
ト型のダイクロイックミラーであり、マイクロレンズデ
ィスク２とニポウディスク３の間に配置されている。
【００１２】レーザ光１の光軸を図２に示すようにマイ
クロレンズディスク２のマイクロレンズの垂直入射軸１
０から角度θだけ傾けて入射する。なお、傾き角度θ
は、マイクロレンズディスク２とニポウディスク３の間
隔と、ダイクロイックミラー４１の厚さに関連して決ま
る。マイクロレンズにより絞られたレーザ光は、ダイク
ロイックミラー４１によりその光軸がシフトし、同一パ
ターンでマイクロレンズディスクの直下に調整されてい
るニポウディスク３のピンホールを透過し、モータ５に
よる回転で試料上を走査する。
クロレンズディスク２のマイクロレンズの垂直入射軸１
０から角度θだけ傾けて入射する。なお、傾き角度θ
は、マイクロレンズディスク２とニポウディスク３の間
隔と、ダイクロイックミラー４１の厚さに関連して決ま
る。マイクロレンズにより絞られたレーザ光は、ダイク
ロイックミラー４１によりその光軸がシフトし、同一パ
ターンでマイクロレンズディスクの直下に調整されてい
るニポウディスク３のピンホールを透過し、モータ５に
よる回転で試料上を走査する。
【００１３】その他の動作は従来例の場合と同様である
ため説明を省略する。上記のようにしてプレート型のダ
イクロイックミラーによる光軸シフトはレーザ光を傾け
てマイクロレンズディスク２に入射させることにより補
正することができる。
ため説明を省略する。上記のようにしてプレート型のダ
イクロイックミラーによる光軸シフトはレーザ光を傾け
てマイクロレンズディスク２に入射させることにより補
正することができる。
【００１４】図３は本発明の他の実施例図である。上記
実施例ではレーザ光の光軸をマイクロレンズの垂直入射
軸に対して傾けた場合であるが、図３の場合はレーザ光
の光軸は対物レンズ６の垂直入射光軸に合わせたまま
で、マイクロレンズディスク２とニポウディスク３とダ
イクロイックミラー４１とモータ５とを一体化したユニ
ットをレーザ光に対してθ傾けたものである。このよう
な構成においても前記実施例と同様の効果が得られる。
実施例ではレーザ光の光軸をマイクロレンズの垂直入射
軸に対して傾けた場合であるが、図３の場合はレーザ光
の光軸は対物レンズ６の垂直入射光軸に合わせたまま
で、マイクロレンズディスク２とニポウディスク３とダ
イクロイックミラー４１とモータ５とを一体化したユニ
ットをレーザ光に対してθ傾けたものである。このよう
な構成においても前記実施例と同様の効果が得られる。
【００１５】なお、本発明は蛍光型の共焦点光スキャナ
に適用されるばかりでなく、ダイクロイックミラーの代
りにビームスプリッタ（あるいはハーフミラーや偏光ビ
ームスプリッタ）を使用する反射型の共焦点光スキャナ
にも適用できる。
に適用されるばかりでなく、ダイクロイックミラーの代
りにビームスプリッタ（あるいはハーフミラーや偏光ビ
ームスプリッタ）を使用する反射型の共焦点光スキャナ
にも適用できる。
【００１６】また、本発明の以上の説明は、説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの
変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。特
許請求の範囲の欄の記載により定義される本発明の範囲
は、その範囲内の変更、変形を包含するものとする。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの
変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。特
許請求の範囲の欄の記載により定義される本発明の範囲
は、その範囲内の変更、変形を包含するものとする。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ーザ光の光軸をマイクロレンズディスク２に対して有意
の角度だけ傾けることによりプレート型ダイクロイック
ミラーによる光軸ずれをキャンセルすることができ、キ
ューブ型ではなく励起と蛍光の分離特性の良いプレート
型のダイクロイックミラーを容易に使用することができ
るようになった。
ーザ光の光軸をマイクロレンズディスク２に対して有意
の角度だけ傾けることによりプレート型ダイクロイック
ミラーによる光軸ずれをキャンセルすることができ、キ
ューブ型ではなく励起と蛍光の分離特性の良いプレート
型のダイクロイックミラーを容易に使用することができ
るようになった。
【図１】本発明に係る共焦点光スキャナの一実施例を示
す要部構成図
す要部構成図
【図２】図２はダイクロイックミラー部の拡大説明図
【図３】本発明の他の実施例図
【図４】従来の共焦点光スキャナの一例を示す要部構成
図
図
【図５】マイクロレンズディスクの従来例を示す構成図
【図６】ダイクロイックミラーにおける光軸のずれを説
明するための図である。
明するための図である。
１ レーザ光 ２ マイクロレンズディスク ３ ニポウディスク ４ ダイクロイックミラー ５ モータ ６ 対物レンズ ７ 試料 ８ リレーレンズ ９ カメラ ４１ プレート型のダイクロイックミラー
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−189601（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−347801（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−242380（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−60980（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−89906（ＪＰ，Ｕ) 特表 平５−508235（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 21/00 G02B 21/06 - 21/36 G02B 26/10
Claims (2)
- 【請求項１】複数のマイクロレンズと微小開口が同一パ
ターンでそれぞれアレイ状に配置され一体化された２枚
のディスクと、この２枚のディスクを回転する回転手段
と、前記２枚のディスクの間に挿入されたビームスプリ
ッタを備えた共焦点光スキャナにおいて、 前記ビームスプリッタとしてプレート型のビームスプリ
ッタを使用し、 前記マイクロレンズに入射する入射光の光軸をマイクロ
レンズの垂直入射軸に対して傾け、前記マイクロレンズ
に入射した光が当該マイクロレンズに対応した位置の前
記微小開口に集束するようにしたことを特徴とする共焦
点光スキャナ。 - 【請求項２】複数のマイクロレンズと微小開口が同一パ
ターンでそれぞれアレイ状に配置され一体化された２枚
のディスクと、この２枚のディスクを回転する回転手段
と、前記２枚のディスクの間に挿入されたビームスプリ
ッタと、前記２枚のディスクと試料の間に配置された対
物レンズを備えた共焦点光スキャナにおいて、 前記ビームスプリッタとしてプレート型のビームスプリ
ッタを使用し、 前記マイクロレンズに入射する入射光は対物レンズの垂
直入射軸に対して光軸を合わせ、 前記２枚のディスクを一体として前記対物レンズの垂直
入射軸に対して傾け、前記微小開口からの出射光軸が前
記対物レンズの垂直入射軸と一致するようにしたことを
特徴とする共焦点光スキャナ。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17710495A JP3015912B2 (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 共焦点光スキャナ |
| US08/675,133 US5717519A (en) | 1995-07-13 | 1996-07-03 | Confocal microscope |
| DE69635628T DE69635628T2 (de) | 1995-07-13 | 1996-07-05 | Konfokales Mikroskop |
| EP05101818A EP1538470A3 (en) | 1995-07-13 | 1996-07-05 | Confocal microscope |
| EP96110909A EP0753779B1 (en) | 1995-07-13 | 1996-07-05 | Confocal microscope |
| DE69629877T DE69629877T2 (de) | 1995-07-13 | 1996-07-05 | Konfokales Mikroskop |
| DE0753779T DE753779T1 (de) | 1995-07-13 | 1996-07-05 | Konfokales Mikroskop |
| EP02012391A EP1245986B1 (en) | 1995-07-13 | 1996-07-05 | Confocal microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17710495A JP3015912B2 (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 共焦点光スキャナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0926545A JPH0926545A (ja) | 1997-01-28 |
| JP3015912B2 true JP3015912B2 (ja) | 2000-03-06 |
Family
ID=16025224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17710495A Expired - Lifetime JP3015912B2 (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 共焦点光スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3015912B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10067329B2 (en) | 2016-05-23 | 2018-09-04 | Olympus Corporation | Microscope apparatus and specimen observation method |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010066575A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点光スキャナ |
| JP2010151745A (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Omron Corp | 変位センサ |
| JP5633706B2 (ja) | 2011-12-07 | 2014-12-03 | 横河電機株式会社 | 共焦点光スキャナおよび共焦点顕微鏡 |
| US9766442B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-09-19 | Yokogawa Electric Corporation | Confocal scanner and confocal microscope |
| JP6090607B2 (ja) * | 2014-12-08 | 2017-03-08 | 横河電機株式会社 | 共焦点スキャナ、共焦点顕微鏡 |
-
1995
- 1995-07-13 JP JP17710495A patent/JP3015912B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10067329B2 (en) | 2016-05-23 | 2018-09-04 | Olympus Corporation | Microscope apparatus and specimen observation method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0926545A (ja) | 1997-01-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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