JPS58179813A - 光ビ−ム走査装置 - Google Patents
光ビ−ム走査装置Info
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- JPS58179813A JPS58179813A JP57045058A JP4505882A JPS58179813A JP S58179813 A JPS58179813 A JP S58179813A JP 57045058 A JP57045058 A JP 57045058A JP 4505882 A JP4505882 A JP 4505882A JP S58179813 A JPS58179813 A JP S58179813A
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- Japan
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- light beam
- cylindrical lens
- scanned
- lens
- scanning device
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/127—Adaptive control of the scanning light beam, e.g. using the feedback from one or more detectors
- G02B26/128—Focus control
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光源からの光ビームを、回転多面鏡で反射し
、集光レンズを介して被走査面に与え、走査を行う光ビ
ーム走査装置に関する。
、集光レンズを介して被走査面に与え、走査を行う光ビ
ーム走査装置に関する。
この種の光ビーム走査装置は、その概略を第１図に示し
たように、本来は回転多面１１１１に入射したレーザ２
等からの光ビームが、矢印方向に回転する回転多面１１
の鏡面で反射して、集光レンズ（ｆ・θレンズ）３を通
って被走査面ＳＰの上の走査線ＳＰ１に沿って、走査方
向（Ｘ方向）に一様な速度で移動する光スポットを結ぶ
ように構成されている。ところが、回転多面鏡１の回転
軸に対して各鏡面が平行でなく、その角度に不揃い（倒
れ角誤差）があると、走査方向に直角な方向（Ｖ方向）
に光スポットが不均一にシフトし、例えば、第２図に承
り如く、反射面１ａの倒れ角誤差がΔθあると、被走査
面ＳＰでΔｄ＝２ｆ ・Δθ（ただし、ｆは集光レンズ
３の焦点距離）のシフト−が生じてしまう。この倒れ角
誤差や回転軸のブレは走査線のピッチむらを生じさせる
ため、何らかの対策をとる必要がのる。その一つとしＣ
１工作精度を上げて倒れ角誤差を微小化することが考え
られるが、実際には工作積電上の限界に近く、たとえ］
−作できるにしても、工数がかかり、早産は難しく、極
めて高価になるという問題がある。
たように、本来は回転多面１１１１に入射したレーザ２
等からの光ビームが、矢印方向に回転する回転多面１１
の鏡面で反射して、集光レンズ（ｆ・θレンズ）３を通
って被走査面ＳＰの上の走査線ＳＰ１に沿って、走査方
向（Ｘ方向）に一様な速度で移動する光スポットを結ぶ
ように構成されている。ところが、回転多面鏡１の回転
軸に対して各鏡面が平行でなく、その角度に不揃い（倒
れ角誤差）があると、走査方向に直角な方向（Ｖ方向）
に光スポットが不均一にシフトし、例えば、第２図に承
り如く、反射面１ａの倒れ角誤差がΔθあると、被走査
面ＳＰでΔｄ＝２ｆ ・Δθ（ただし、ｆは集光レンズ
３の焦点距離）のシフト−が生じてしまう。この倒れ角
誤差や回転軸のブレは走査線のピッチむらを生じさせる
ため、何らかの対策をとる必要がのる。その一つとしＣ
１工作精度を上げて倒れ角誤差を微小化することが考え
られるが、実際には工作積電上の限界に近く、たとえ］
−作できるにしても、工数がかかり、早産は難しく、極
めて高価になるという問題がある。
又、従来から、第３図及び第４図に示す如く、円柱レン
ズ４等を用いて、光ビームを回転多面鏡１に走査方向に
平行な線状のビームとして入射させ、回転多面鏡１と被
走査面ＳＰとの間に配置した、円柱レンズ（あるいはト
ロイダルレンズ）５及び集光レンズ３により、前記線状
のビームと走査位置を走査方向と直角な方向に関し、光
学的共役として補正するもの（特開昭４８−４９３１１
）がある。しかし、この形状の円柱レンズ５を用いると
、全走査幅にわたって一様なスポットサイズを得ること
ができないし、円柱レンズ５の代わりにＸ方向にも一定
の曲率を有するトロイダルレンズを用いると、はぼ一様
なスポットサイズは得られるが、トロイダルレンズが高
価なため、光ビーム走査装置が高コストになるという新
たな問題が生ずる。更に、他の従来例として、第５図及
び第６図に示す如く、円柱レンズ６及び７によって偏平
（第７図に回転多面鏡１の一面１ａ上でのビーム形状を
示す）で、且つ光軸方向に平行に近い光ビームを回転多
面１１に入射させると共に、集光レンズ３と被走査面Ｓ
Ｐとの間に単に円＋ルンズ８を設けたものもある。この
装置についても、全走査幅にわたって一様なスポットサ
イズが得られないという問題がある。
ズ４等を用いて、光ビームを回転多面鏡１に走査方向に
平行な線状のビームとして入射させ、回転多面鏡１と被
走査面ＳＰとの間に配置した、円柱レンズ（あるいはト
ロイダルレンズ）５及び集光レンズ３により、前記線状
のビームと走査位置を走査方向と直角な方向に関し、光
学的共役として補正するもの（特開昭４８−４９３１１
）がある。しかし、この形状の円柱レンズ５を用いると
、全走査幅にわたって一様なスポットサイズを得ること
ができないし、円柱レンズ５の代わりにＸ方向にも一定
の曲率を有するトロイダルレンズを用いると、はぼ一様
なスポットサイズは得られるが、トロイダルレンズが高
価なため、光ビーム走査装置が高コストになるという新
たな問題が生ずる。更に、他の従来例として、第５図及
び第６図に示す如く、円柱レンズ６及び７によって偏平
（第７図に回転多面鏡１の一面１ａ上でのビーム形状を
示す）で、且つ光軸方向に平行に近い光ビームを回転多
面１１に入射させると共に、集光レンズ３と被走査面Ｓ
Ｐとの間に単に円＋ルンズ８を設けたものもある。この
装置についても、全走査幅にわたって一様なスポットサ
イズが得られないという問題がある。
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、光源か
らの光ビームを回転多面鏡で反射し、集光レンズを介し
て被走査面に与え、走査を行う光ビーム走査装置におい
て、前記光源と前記回転多面鏡との間に、走査方向に幅
が広く偏〜ｌ’な、しかもほぼ光軸方向に平行な光ビー
ムを形成するビーム整形手段を設けると共に、前記集光
レンズと前記被走査面との間の前記被走査面付近に、前
記被走査面側に長手方向の端部が近づくように湾曲され
た円柱レンズを配設することにより、全走査幅にわたっ
て一様なスポットサイズが得られ、走査線ピッチむらを
生じない光ビーム走査装置を簡単な構成で且つ安価に実
現したものである。
らの光ビームを回転多面鏡で反射し、集光レンズを介し
て被走査面に与え、走査を行う光ビーム走査装置におい
て、前記光源と前記回転多面鏡との間に、走査方向に幅
が広く偏〜ｌ’な、しかもほぼ光軸方向に平行な光ビー
ムを形成するビーム整形手段を設けると共に、前記集光
レンズと前記被走査面との間の前記被走査面付近に、前
記被走査面側に長手方向の端部が近づくように湾曲され
た円柱レンズを配設することにより、全走査幅にわたっ
て一様なスポットサイズが得られ、走査線ピッチむらを
生じない光ビーム走査装置を簡単な構成で且つ安価に実
現したものである。
以下、図面′を参照し本発明の詳細な説明する。
第８図は、本発明に係る光ビーム走査装置における、回
転多面鏡と被走査面の間の光ビーム及び光学系の概略構
成図で、（ｂ）は上面断面図、（ａ ）は走査中火での
側面断面図、（Ｃ）は走査端での側面断面図を示してい
る。図中、１１は回転多面鏡で、その反射面（鏡面）に
は、図示しないビーム整形手段から、走査方向に幅が広
く偏平なしかも光軸方向に平行に近い光ビームが入射し
ている。１２は回転多面鏡１１の反射ビームを受ける集
光レンズ（ここではｆ ・θレンズが使用されている）
で、１３は被走査面（通常、平面若しくは走査線に関し
てはほぼ平面とみなせる面である）ＳＰ付近に配置され
た凸円柱レンズで、被走査面ＳＰ側に端部（第８図（ｂ
）には片方の端部１３ａのみ示した）が近づくように湾
曲された形状を有するものである。この凸円柱レンズ１
３は、走査方向くＸ方向）に対して直角な方向（ｙ方向
）に屈折力を有する。
転多面鏡と被走査面の間の光ビーム及び光学系の概略構
成図で、（ｂ）は上面断面図、（ａ ）は走査中火での
側面断面図、（Ｃ）は走査端での側面断面図を示してい
る。図中、１１は回転多面鏡で、その反射面（鏡面）に
は、図示しないビーム整形手段から、走査方向に幅が広
く偏平なしかも光軸方向に平行に近い光ビームが入射し
ている。１２は回転多面鏡１１の反射ビームを受ける集
光レンズ（ここではｆ ・θレンズが使用されている）
で、１３は被走査面（通常、平面若しくは走査線に関し
てはほぼ平面とみなせる面である）ＳＰ付近に配置され
た凸円柱レンズで、被走査面ＳＰ側に端部（第８図（ｂ
）には片方の端部１３ａのみ示した）が近づくように湾
曲された形状を有するものである。この凸円柱レンズ１
３は、走査方向くＸ方向）に対して直角な方向（ｙ方向
）に屈折力を有する。
本発明装置では、回転多面１１１の反射面と被走査面Ｓ
Ｐは、本実施例においては幾何光学的にほぼ共役になっ
ており、集光レンズ１２を通過した光ビームは、Ｘ方向
に関しては、集光レンズ１２から被走査面ＳＰに向がっ
て一様に収束しながら進み、又、ｙ方向に関しては、集
光レンズ１２から収束し始め、円柱レンズ１３を通過後
特に急速に収束しながら進む。
Ｐは、本実施例においては幾何光学的にほぼ共役になっ
ており、集光レンズ１２を通過した光ビームは、Ｘ方向
に関しては、集光レンズ１２から被走査面ＳＰに向がっ
て一様に収束しながら進み、又、ｙ方向に関しては、集
光レンズ１２から収束し始め、円柱レンズ１３を通過後
特に急速に収束しながら進む。
ところで、円柱レンズ１３の実効的焦点距離は、光ビー
ムが斜めに入射することにより短くなるため、仮に円柱
レンズ１３としてＸ方向に対し真直なものを用いたとす
れば、光ビームが走査中央から離れるにつれて、円柱レ
ンズ１３通過後に生ずる光ビームのビームウェストは、
被走査面ＳＰの前方（円柱レンズ１３側〉に移動するこ
とになるが、本発明では、上述の如く、円柱レンズ１３
として湾曲したものを用いているため、被走査面ＳＰ付
近く被走査面ＳＰ上を含む〉にビームウェストを生じさ
せ得る。以下、この点を式を用いながら説明する。
ムが斜めに入射することにより短くなるため、仮に円柱
レンズ１３としてＸ方向に対し真直なものを用いたとす
れば、光ビームが走査中央から離れるにつれて、円柱レ
ンズ１３通過後に生ずる光ビームのビームウェストは、
被走査面ＳＰの前方（円柱レンズ１３側〉に移動するこ
とになるが、本発明では、上述の如く、円柱レンズ１３
として湾曲したものを用いているため、被走査面ＳＰ付
近く被走査面ＳＰ上を含む〉にビームウェストを生じさ
せ得る。以下、この点を式を用いながら説明する。
まず、本実施例で用いた平凸円柱レンズ１３の屈折面の
凸側の曲率半径をＲ１焦点距離を「、屈折率ｎとすれば
、これらの間には、 ｆ＝Ｒ／（ｎ−１）・・・（１） なる関係が成り立つ。
凸側の曲率半径をＲ１焦点距離を「、屈折率ｎとすれば
、これらの間には、 ｆ＝Ｒ／（ｎ−１）・・・（１） なる関係が成り立つ。
又、光ビームが走査中央から離れ、円１１レンズ１３に
斜めから入射した場合の入射角をψ、屈折角をψ′とす
れば、これらには、屈折の法則より ｓｉｎψ−ｎ ｓｉｎψ’ ・ （２＞なる関係が成り
立つ。
斜めから入射した場合の入射角をψ、屈折角をψ′とす
れば、これらには、屈折の法則より ｓｉｎψ−ｎ ｓｉｎψ’ ・ （２＞なる関係が成り
立つ。
更に、円柱レンズ１３に斜めに光ビームが入射するとき
の実効的焦点距離をＭ 、光軸上の微小部分での曲率半
径をＲ′と１れば、Ｒ’ ＝Ｒ２／ （Ｒ／ｃｏｓψ′
）＝ Ｒｃｏｓφ′ ・・・（３）Ｍ ＝
Ｒ’ ／（ｎ−１） ・・・ （４）が成り立
つ。
の実効的焦点距離をＭ 、光軸上の微小部分での曲率半
径をＲ′と１れば、Ｒ’ ＝Ｒ２／ （Ｒ／ｃｏｓψ′
）＝ Ｒｃｏｓφ′ ・・・（３）Ｍ ＝
Ｒ’ ／（ｎ−１） ・・・ （４）が成り立
つ。
従って、ｆ ／ｆ ’は、（１）〜（４）式より、ｆ
／ｆ ’ ＝Ｒ／Ｒ’ 一１／ｃｏｓψ′ ＝１／ −ｓｉｎψ−、；”ｎ ） ’ ＝−（５
）となる。
／ｆ ’ ＝Ｒ／Ｒ’ 一１／ｃｏｓψ′ ＝１／ −ｓｉｎψ−、；”ｎ ） ’ ＝−（５
）となる。
ここで、ＦＦ−Ｔｉ＋ｎ Ｕ７’ｎ’−）’２ ＜ １
であるから、ｆ＞ｆ’ となり、上述の如く、円柱レン
ズ１３に光ビームが斜めに入ｆＪＪｉるときの焦点距離
は短くなる。このため、本発明では、円柱レンズ１３の
曲げを該円柱レンズ１３によるｙ方向の光ビームの収束
によって被走査面ＳＰ上のビームスポットの大きさく形
状も含め）が一様になるように設定している。特に本実
施例では、被走査面ＳＰ付近（一致も含む）にビー１１
ウエストが生じるようにすると共に回転多面鏡１の反射
面１ａと被走査面ＳＰが共役となるように構成している
。
であるから、ｆ＞ｆ’ となり、上述の如く、円柱レン
ズ１３に光ビームが斜めに入ｆＪＪｉるときの焦点距離
は短くなる。このため、本発明では、円柱レンズ１３の
曲げを該円柱レンズ１３によるｙ方向の光ビームの収束
によって被走査面ＳＰ上のビームスポットの大きさく形
状も含め）が一様になるように設定している。特に本実
施例では、被走査面ＳＰ付近（一致も含む）にビー１１
ウエストが生じるようにすると共に回転多面鏡１の反射
面１ａと被走査面ＳＰが共役となるように構成している
。
従って、回転多面鏡１１、集光レンズ１２、円柱レンズ
１３、被走査面ＳＰの相対位置、焦点距離、この系へ入
射する光ビームの径、波面曲率半径等を適当に定めるこ
とにより、被走査面ＳＰ上に、所望のスポットが得られ
、このスポットの形状（真円である必要はなく、楕円で
もよい）を全走査幅にわたって一様にできる。
１３、被走査面ＳＰの相対位置、焦点距離、この系へ入
射する光ビームの径、波面曲率半径等を適当に定めるこ
とにより、被走査面ＳＰ上に、所望のスポットが得られ
、このスポットの形状（真円である必要はなく、楕円で
もよい）を全走査幅にわたって一様にできる。
具体的に述べると、−骨として円柱レンズ１３の焦点距
離を５０１１１１１１、集光（［・θ）レンズ１２の焦
点距離を３５０ｆｆｌｌｌｌ、走査長を２８０ｍｍにし
、円柱レンズ１３の湾曲を円弧状としてその半径を約２
．１００ｍｍに選んだ光学系を主走査手段とし、等速で
移動する台に写真用印画紙を取り付け、文字記録を行つ
ｌ〔ところ、走査の全幅にわたってほぼ良好な記録が行
われた。これに対し、従来の例えば第５図の如き光学系
Ｃは、走査中央付近におい（は良好な記録が得られるが
、走査端では、線の太り、画像の切れ等の劣化が生じた
。
離を５０１１１１１１、集光（［・θ）レンズ１２の焦
点距離を３５０ｆｆｌｌｌｌ、走査長を２８０ｍｍにし
、円柱レンズ１３の湾曲を円弧状としてその半径を約２
．１００ｍｍに選んだ光学系を主走査手段とし、等速で
移動する台に写真用印画紙を取り付け、文字記録を行つ
ｌ〔ところ、走査の全幅にわたってほぼ良好な記録が行
われた。これに対し、従来の例えば第５図の如き光学系
Ｃは、走査中央付近におい（は良好な記録が得られるが
、走査端では、線の太り、画像の切れ等の劣化が生じた
。
尚、スポット径の均−竹がさらに要求される場合は、円
弧状に曲げるのではなく、他の各種形状例えば４次曲線
等に曲げ上記要求に応えることができる。
弧状に曲げるのではなく、他の各種形状例えば４次曲線
等に曲げ上記要求に応えることができる。
更に、第８図にはビーム整形手段を示さなかったが、こ
のビーム整形手段は、例えば、第９図及び第１０図に示
す如く、レーザ１４がらのレーザビームを受ける球面レ
ンズによるビーム拡大手段１５と、ビーム拡大手段１５
通過後のレーザビームが入射する長焦点円柱レンズ１６
及び短焦点円柱レンズ１７とから構成できる。
のビーム整形手段は、例えば、第９図及び第１０図に示
す如く、レーザ１４がらのレーザビームを受ける球面レ
ンズによるビーム拡大手段１５と、ビーム拡大手段１５
通過後のレーザビームが入射する長焦点円柱レンズ１６
及び短焦点円柱レンズ１７とから構成できる。
又、第１１図に示ず如く、レーザ１４から出射されたレ
ーザビームを変調器１８を介して受ける単一の円柱レン
ズ１９と、円柱レンズ１９通過後のレーザビームが入射
する球面レンズでなるビーム拡大手段２０とからも構成
できる。このような光束整形手段を用いる理由は、回転
多面鏡１１へ入射づる光ビームのｙ方向波面曲率半径が
非常に大であり、光ビーム幅が小さいことから、回転多
面鏡以前の光学系の光路長が極端に長くなることを避け
ながら所望のパラメーターを有する光束を得るためであ
る。
ーザビームを変調器１８を介して受ける単一の円柱レン
ズ１９と、円柱レンズ１９通過後のレーザビームが入射
する球面レンズでなるビーム拡大手段２０とからも構成
できる。このような光束整形手段を用いる理由は、回転
多面鏡１１へ入射づる光ビームのｙ方向波面曲率半径が
非常に大であり、光ビーム幅が小さいことから、回転多
面鏡以前の光学系の光路長が極端に長くなることを避け
ながら所望のパラメーターを有する光束を得るためであ
る。
以上詳呻に説明したように、本発明では、回転多面鏡の
反射面と被走査面とが、集光レンズと円柱レンズから成
る光学系で、ｙ方向に関して幾何光学的にほぼ共役とな
るようになし、これによって、回転多面鏡の倒れ角誤差
による走査ピッチむらの発生を防止すると同時に、円柱
レンズを被走査面付近に配設し、且つこの円柱レンズと
して湾曲状のものを用いることによって、被走査面上で
のスポットの大きさを一様にしたものである。このため
、従来に比べて倒れ色補正の効果が大きく被走査面上に
ほぼ完全な均一スポットを得ることができ、従って、走
査による読取りを行う装置あるいは記録をイ１う装置と
して、優れた性能のものを、トロイダルレンズ等を用い
ずに低］ス］〜で構成することができる。
反射面と被走査面とが、集光レンズと円柱レンズから成
る光学系で、ｙ方向に関して幾何光学的にほぼ共役とな
るようになし、これによって、回転多面鏡の倒れ角誤差
による走査ピッチむらの発生を防止すると同時に、円柱
レンズを被走査面付近に配設し、且つこの円柱レンズと
して湾曲状のものを用いることによって、被走査面上で
のスポットの大きさを一様にしたものである。このため
、従来に比べて倒れ色補正の効果が大きく被走査面上に
ほぼ完全な均一スポットを得ることができ、従って、走
査による読取りを行う装置あるいは記録をイ１う装置と
して、優れた性能のものを、トロイダルレンズ等を用い
ずに低］ス］〜で構成することができる。
第１図は光ビーム走査装置の主要部の基本的な構成図、
第２図は倒れ角誤差の説明図、第３図乃至第７図は従来
装置の説明図、第８図は本発明装置の構成図、第９図乃
至第１１図はビーム整形手段の説明図である。 １．１１・・・回転多面鏡 ３．１２・・・集光レンズ（ｆ・θレンズ）４〜８．１
３．１６．１７．１９・・・円柱レンズ２．１４・・・
レーザ １５．２０・・・ビーム拡大手段 １８・・・変調器 ＳＰ・・・被走査面 特許出願人 小西六写真１１１株式会社代 理
人 弁理士 井 島 藤 治第８図 第９図 １フ 手続補正書 １．事件の表示 昭和５７ｉＴ 特許願第４５０５８号 ２、発明の名称 光ビーム走査装謂 ３、補正をする石 事件との関係 特 許 出 願 人 任 所 東京都新宿区西新宿１丁目２６番２号
氏 名（名称＞ （１２７） 小西六写真二を
業Ｋｌ（会？１代表名 用本信彦 ４、代 理 人 〒１９１ 住 所 東京都日野市多摩平１丁ｆｆ１２番
地第１ビル ７０６号室 ５、補正命令の日付 自発 ６、補正の対象 明ｌＩＩ書の１発明の詳細な説明」の欄及び図面の第９
図及び第１１図 ７、補正の内容 （１）明細書第９ページ第８行目の ［Ｆ「Ｔ痛］フロ了〈１」を ［ｆＩ：＝Ｇ■１φア百ゴ１−≦１１と補正する。 （２）明ＩＩＩ書第９ページ第９行目の「ｆ＞ｆ’Ｊを
「ｆ≧ｆ’Ｊと補正づる。 （３）図面の第９図及び第１１図を別紙の通り補正づる
。 以 し
第２図は倒れ角誤差の説明図、第３図乃至第７図は従来
装置の説明図、第８図は本発明装置の構成図、第９図乃
至第１１図はビーム整形手段の説明図である。 １．１１・・・回転多面鏡 ３．１２・・・集光レンズ（ｆ・θレンズ）４〜８．１
３．１６．１７．１９・・・円柱レンズ２．１４・・・
レーザ １５．２０・・・ビーム拡大手段 １８・・・変調器 ＳＰ・・・被走査面 特許出願人 小西六写真１１１株式会社代 理
人 弁理士 井 島 藤 治第８図 第９図 １フ 手続補正書 １．事件の表示 昭和５７ｉＴ 特許願第４５０５８号 ２、発明の名称 光ビーム走査装謂 ３、補正をする石 事件との関係 特 許 出 願 人 任 所 東京都新宿区西新宿１丁目２６番２号
氏 名（名称＞ （１２７） 小西六写真二を
業Ｋｌ（会？１代表名 用本信彦 ４、代 理 人 〒１９１ 住 所 東京都日野市多摩平１丁ｆｆ１２番
地第１ビル ７０６号室 ５、補正命令の日付 自発 ６、補正の対象 明ｌＩＩ書の１発明の詳細な説明」の欄及び図面の第９
図及び第１１図 ７、補正の内容 （１）明細書第９ページ第８行目の ［Ｆ「Ｔ痛］フロ了〈１」を ［ｆＩ：＝Ｇ■１φア百ゴ１−≦１１と補正する。 （２）明ＩＩＩ書第９ページ第９行目の「ｆ＞ｆ’Ｊを
「ｆ≧ｆ’Ｊと補正づる。 （３）図面の第９図及び第１１図を別紙の通り補正づる
。 以 し
Claims (6)
- （１） 光源からの光ビームを回転多面鏡で反射し、集
光レンズを介して被走査面に与え、走査を行う光ビーム
走査装置において、前記光源と前記回転多面鏡との間に
、走査方向に幅が広く偏平な、しかもほぼ光軸方向に平
行な光ビームを形成するビーム整形１段を設けると共に
、前記集光レンズと前記被走査面との間の前記被走査面
付近に、前記被走査面側に長手方向の端部が近づくよう
に湾曲された円柱レンズを配設したことを特徴とする光
ビーム走査装置。 - （２） 前記回転多面鏡の反射面と前記被走査面とがほ
ぼ幾何光学的共役関係にあるように構成したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光ビーム走査装置。 - （３） 前記被走査面付近でビームウェスを−が１じる
ように構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
又は第２項記載の光ビーム走査装置。 - （４） 前記光ビームがレーザ光線であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の光
ビーム走査装置。 - （５） 前記ビーム整形手段として、球面レンズによる
ビーム拡大手段と、該ビーム拡大手段通過後の光ビーム
が入射する長焦点円柱レンズ及び短焦点円柱レンズとか
ら成るものを用いたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項乃至第４項の何れかに記載の光ビーム走査装置。 - （６） 前記ビーム整形手段として、単一の円柱レンズ
と、該円柱レンズ通過後の光ビームが入射する球面レン
ズでなる拡大手段とから成るものを用い！こことを特徴
とする特許請求の範囲第１項乃至第４項の何れかに記載
の光ビーム走査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57045058A JPS58179813A (ja) | 1982-03-21 | 1982-03-21 | 光ビ−ム走査装置 |
| GB08306962A GB2119952B (en) | 1982-03-21 | 1983-03-14 | Optical beam scanning apparatus |
| DE19833309848 DE3309848A1 (de) | 1982-03-21 | 1983-03-18 | Optische strahlabtastvorrichtung |
| US06/476,811 US4496209A (en) | 1982-03-21 | 1983-03-18 | Optical beam scanning apparatus including a cylindrical lens having its opposite ends closer to the scanned plane than its medial portion |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57045058A JPS58179813A (ja) | 1982-03-21 | 1982-03-21 | 光ビ−ム走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58179813A true JPS58179813A (ja) | 1983-10-21 |
| JPH037082B2 JPH037082B2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=12708751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57045058A Granted JPS58179813A (ja) | 1982-03-21 | 1982-03-21 | 光ビ−ム走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58179813A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6180121A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 光ビ−ム記録装置 |
| JPS61120112A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-07 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 走査光学系 |
| JPS62255915A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-07 | Kyocera Corp | 光走査装置に用いる集束レンズ |
| JPH01302217A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-12-06 | Ricoh Co Ltd | 光走査用レンズ及び光走査装置 |
| US5652611A (en) * | 1993-03-11 | 1997-07-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanning system and image forming apparatus employing same for electrophoto graphically forming images |
| JP2013116488A (ja) * | 2011-12-04 | 2013-06-13 | Kiyoyuki Kondo | ビーム加工装置及びそれを用いた基板の加工方法 |
-
1982
- 1982-03-21 JP JP57045058A patent/JPS58179813A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6180121A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 光ビ−ム記録装置 |
| JPH0612383B2 (ja) * | 1984-09-27 | 1994-02-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 光ビ−ム記録装置 |
| JPS61120112A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-07 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 走査光学系 |
| JPH0349408B2 (ja) * | 1984-11-16 | 1991-07-29 | Konishiroku Photo Ind | |
| JPS62255915A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-07 | Kyocera Corp | 光走査装置に用いる集束レンズ |
| JPH01302217A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-12-06 | Ricoh Co Ltd | 光走査用レンズ及び光走査装置 |
| US5652611A (en) * | 1993-03-11 | 1997-07-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanning system and image forming apparatus employing same for electrophoto graphically forming images |
| JP2013116488A (ja) * | 2011-12-04 | 2013-06-13 | Kiyoyuki Kondo | ビーム加工装置及びそれを用いた基板の加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH037082B2 (ja) | 1991-01-31 |
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