JP2010151745A - 変位センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】変位計では、レーザダイオード1からの光が集光レンズ4において絞り板5のピンホール5aに向けて集光され、ピンホール5aを介して対物レンズ6へ送られる。当該光は、ワーク90の表面上で反射し、対物レンズ6、ピンホール5a、集光レンズ4、ハーフミラー3を介して、フォトダイオード2で検出される。つまり、ピンホール5aが、実質的な光源となり、また、ワーク90上での反射光に対する絞りとなっている。なお、集光レンズ4によってピンホール5a上で集光されるスポット径は、ピンホール5aの径よりも大きいものとされる。また、白抜き矢印で示された絞り板5上の戻り光成分の受光量信号は、ハイパスフィルタ11によって除去される。
【選択図】図1
Description
「受光信号から特定の信号周波数成分の信号を除去する」には、特定の信号周波数成分の信号すべて除去する場合や、少なくとも一部の信号周波数成分を除去する場合を含む。
好ましくは、フィルタ部は、集光される光の光軸方向に沿って、当該光の集光位置を所定範囲で変化させたときに得られる受光信号の最小値を、オフセット値として受光信号から除去する。
好ましくは、投光部は、直線偏光の光を照射し、遮光部材は、正反射性物体であり、光路分離素子と受光部との間に配置され、投光部から照射された直線偏光の光が遮光部材により正反射されて生じる戻り光を受光部へ至る光路から除去し、当該戻り光の偏光方向に対して直交する偏光方向の光を受光部へ導く偏光素子をさらに備える。
図1は、本発明の変位センサの第1の実施の形態の全体構成を模式的に示す図である。
図1では、レーザダイオード1から計測対象物90までの光軸が一点鎖線で模式的に示されている。
本発明の第2の実施の形態の変位センサの構成を、図4に模式的に示す。
これにより、本実施の形態の変位センサでは、戻り光を有効に除去して計測対象物90からの反射光を抽出することができるので、計測対象物90の反射光量が微弱であっても戻り光に埋もることなく検出し、高感度な変位計測を行うことができる。
本発明の第3の実施の形態の変位センサの構成を、図6に模式的に示す。
本発明の第4の実施の形態の変位センサの構成を、図7に模式的に示す。
本発明の第5の実施の形態の変位センサの構成を、図8に模式的に示す。
本発明の第6の実施の形態の変位センサの構成を、図9に模式的に示す。
本発明の第7の実施の形態の変位センサの構成を、図10に模式的に示す。
本発明の第8の実施の形態の変位センサは、これまでに記載した実施の形態とハードウェア構成は同様であり、処理部において実行される処理が異なる。
[その他の変形例]
以上説明された各実施の形態のコントローラ50やセンサヘッド60に備えられるハイパスフィルタ回路やボトムホールド回路等の構成要素は、専門の電気回路によるハードウェアとして実現されても良いし、中央処理部51が所定のプログラムを実行することによって、つまり、ソフトウェアとして実現されても良い。
Claims (10)
- 特定の周波数成分を有する強度信号により光を照射する投光部と、
開口を構成する遮光部材を含み、当該遮光部材は前記投光部から照射された光の少なくとも一部分を遮光し、当該開口は前記投光部から照射された光の他の部分を通過させ、前記照射された光を切り出すことにより当該開口を通過した光を新たな発散光とする開口部と、
前記開口を通過した発散光を、計測対象物へ向けて集光して照射するとともに、集光される光の光軸方向に沿って当該光の集光位置を所定の態様により連続的に変化させ、さらに、前記計測対象物上に照射された光の反射光を、前記発散光の光路に対して逆方向に進行させて前記開口部へ導く掃引集光部と、
前記開口を通過した前記反射光の光路を、前記投光部から前記開口へ至る前記照射光の光路から分離する光路分離素子と、
前記光路分離素子により前記照射光の光路から分離された前記反射光を受光し、入射した光量に応じた受光信号を出力する受光部と、
前記受光信号から前記特定の周波数成分の信号を除去することによりフィルタ処理信号を得るフィルタ部と、
前記フィルタ処理信号をもとに計測対象物までの距離についての情報を取得する処理部と、を備え、
前記開口部は、前記計測対象物からの反射光の集光位置が前記掃引集光部の作動によって変化するときに、前記開口を通過する前記反射光の割合を変化させ、
前記投光部が照射する光の信号強度が有する特定の周波数成分は、前記掃引集光部の作動によって変化する受光信号が有する周波数成分とは異なる周波数成分、または、前記受光信号が有する周波数成分の一部分の周波数成分とされ、
前記処理部は、前記掃引集光部の作動によって生じる前記フィルタ処理信号の変化に基づいて計測対象物までの距離についての情報を取得する変位センサ。 - 前記投光部は、レーザダイオードにより、前記開口部上に形成されるスポットが前記開口を包含するように光を照射する、請求項1に記載の変位センサ。
- 前記特定の信号周波数成分は、直流成分であり、
前記フィルタ部は、前記受光信号から直流成分を除去する、請求項1に記載の変位センサ。 - 前記フィルタ部は、集光される光の光軸方向に沿って、当該光の集光位置を所定範囲で変化させたときに得られる前記受光信号の最小値をオフセット値として前記受光信号から除去する、請求項3に記載の変位センサ。
- 前記フィルタ部は、計測対象物上に集光した光が照射されていない状態の前記受光信号をオフセット値として前記受光信号から除去する、請求項3に記載の変位センサ。
- 前記投光部は、直線偏光の光を照射し、
前記遮光部材は、正反射性物体であり、
前記光路分離素子と前記受光部との間に配置され、前記投光部から照射された直線偏光の光が前記遮光部材により正反射されて生じる戻り光を前記受光部へ至る光路から除去し、当該戻り光の偏光方向に対して直交する偏光方向の光を前記受光部へ導く偏光素子をさらに備える、請求項1に記載の変位センサ。 - 前記投光部は、直線偏光した光を照射し、
前記遮光部材は、正反射性物体であり、
前記光路分離素子は、前記投光部から照射された直線偏光の光を透過して前記開口部へ導くとともに、当該直線偏光に直交する偏光成分の光を異なる方向に反射する偏光分離素子、あるいは、前記投光部から照射された直線偏光の光を反射して前記開口部へ導くとともに、当該直線偏光に直交する偏光成分の光を透過する偏光分離素子である、請求項1に記載の変位センサ。 - 前記投光部は、波長λの光を照射し、
前記開口部と前記計測対象物との間に配置されたλ/4板をさらに備える、請求項4または請求項7に記載の変位センサ。 - 前記掃引集光部は、
対物レンズと、
光軸方向に沿って往復振動可能なレンズであって、当該往復振動可能なレンズが一往復する間の所定の時点に、前記投光部から照射されて前記開口を通過した発散光を前記対物レンズへ向けて平行光に変換して導く振動コリメートレンズと、を含み、
少なくとも前記振動コリメートレンズ部および開口部を含む光学系が収容される筐体と、
前記対物レンズを支持する対物レンズホルダをさらに備え、
前記筐体には、前記振動コリメートレンズ部の最も対物レンズに近い側のレンズ面に対向する位置に光出入口が形成され、
当該光出入口において前記対物レンズホルダが着脱可能とされる、請求項1に記載の変位センサ。 - 処理対象とする前記フィルタ処理信号の最低値を規定する最低感度レベルを設定する設定部をさらに備え、
前記処理部は、前記フィルタ処理信号のうち、前記最低感度レベルにより規定された最低値を上回る信号の変化に基づいて計測対象物までの距離についての情報を取得する、請求項1に記載の変位センサ。
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