JP3004239B2 - 板状物移載装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばガラス板
や樹脂板など各種板状物を、板状物置き部と支持部上の
板状物受け体との間で移載させるのに採用される板状物
移載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、たとえばプラズマディスプレイパ
ネルなどに使用されるガラス基板は、セッターガラス板
（搬送キャリヤ）上に載置され、そしてセッターガラス
板とともに焼成炉に通されて焼成処理されたのち、セッ
ターガラス板上から取り出される。その際に、たとえば
セッターガラス板上からのガラス基板の取り出しは、薄
板を水平状方向に移動させてセッターガラス板とガラス
基板との相当接面間に差し込み、そして持ち上げにより
浮き上がり状になったガラス基板を、ロボットにより持
ち去ることで行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
方式によると、薄板の差し込みが思うように行えず、取
り出しに時間がかかるとともに正確さに欠けることにな
り、さらに、ロボットにより持ち去る際にガラス基板に
傷が付き易い、という問題がある。また、差し込み易く
するために薄板をより薄く形成したときには、差し込み
後の持ち上げが不安定になる恐れがある、などの問題が
ある。

【０００４】そこで本発明のうち請求項１記載の発明
は、板状物受け体に対する板状物の載置や取り出しを、
迅速に正確にかつ傷付けることなく、しかも安定して行
える板状物移載装置を提供することを目的としたもので
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項１記載の板状物移載装置
は、板状物置き部と支持部上の板状物受け体との間で板
状物を移載させる板状物移載装置であって、前記支持部
に対向される保持手段とフォーク手段とが設けられ、前
記保持手段は、固定枠体と、この固定枠体に設けられた
昇降枠体と、この昇降枠体に対に設けられかつ互いに接
近離間自在な爪体とから構成され、爪体群には、板状物
保持面と、この板状物保持面よりも下位のレベルであっ
て板状物受け体の受け面に当接自在な当接面と、対とな
る側において板状物保持面と当接面との間に連続されか
つ対となる側ほど下方へと伸びる傾斜面とが形成され、
前記フォーク手段は、爪体群の上方または下方に対して
側方から出退自在でかつ板状物置き部に対して出退自在
なフォークを有することを特徴としたものである。

【０００６】したがって請求項１の発明によると、板状
物置き部から板状物受け体へ板状物を移載するに、ま
ず、板状物置き部の一枚の板状物をフォーク手段のフォ
ークにより取り出し、そしてフォークを、昇降枠体とと
もに上昇しかつ互いに接近動した爪体の上方に突入させ
る。次いでフォークを下降させることで、板状物を各爪
体の板状物保持面上に載置し得る。そしてフォークを退
出動させたのち、昇降枠体を下降させることで、爪体の
当接面を、支持部上に位置している空の板状物受け体の
受け面に当接させる。その後に爪体を互いに離間動さ
せ、これにより板状物を受け面上に自然落下させる。次
いで昇降枠体を上昇させることで、板状物を板状物受け
体上に移載し得る。

【０００７】また、板状物受け体から板状物置き部へ板
状物を移載するに、まず昇降枠体を下降して、互いに離
間している爪体の当接面を板状物受け体の受け面に当接
させる。次いで、爪体を互いに接近動させると、爪体
は、その傾斜面の下端を板状物の側縁に当接させたの
ち、傾斜面を介して板状物の下に潜り込んで行き、以て
板状物受け体に対して板状物を持ち上げ得る。さらに接
近動を継続することで、板状物の端部は板状物保持面上
に位置し、以て板状物を、板状物受け体から持ち上げて
爪体群により保持し得る。そしてフォークを、昇降枠体
とともに上昇しかつ爪体群により保持した板状物の下方
に突入させる。次いでフォークを上昇させることで、板
状物を爪体群から受け取り、その後にフォークを退出さ
せることで、板状物を板状物置き部に移載し得る。

【０００８】また本発明の請求項２記載の板状物移載装
置は、上記した請求項１記載の構成において、板状物の
側縁で上下のコーナ部分が、爪体の傾斜面に対向される
向い入れ面に形成されていることを特徴としたものであ
る。

【０００９】したがって請求項２の発明によると、爪体
を互いに接近動させたとき、傾斜面の下端が板状物の下
位の向い入れ面に当接し、そして傾斜面の下端が向い入
れ面に向え入れられることになり、以て爪体は、その傾
斜面を介してガラス基板の下に潜り込んで行く。

【００１０】そして本発明の請求項３記載の板状物移載
装置は、上記した請求項１または２記載の構成におい
て、傾斜面の傾斜角度が３０〜４５度であることを特徴
としたものである。

【００１１】したがって請求項３の発明によると、この
設定された傾斜角度により、爪体のガラス基板下への潜
り込みを、抵抗の少ない状態でかつ移動量に対して十分
なリフト量を確保して行える。

【００１２】さらに本発明の請求項４記載の板状物移載
装置は、上記した請求項１〜３のいずれかに記載の構成
において、昇降枠体には、板状物の側縁に対して複数箇
所から作用される位置決め装置が設けられていることを
特徴としたものである。

【００１３】したがって請求項４の発明によると、各爪
体の板状物保持面上に載置した板状物を位置決め装置に
より位置決めし得、その後に爪体を互いに離間動させる
ことで、板状物を、位置決め装置より位置決めした状態
で受け面上に自然落下させ得る。

【００１４】しかも本発明の請求項５記載の板状物移載
装置は、上記した請求項１〜４のいずれかに記載の構成
において、支持部はコンベヤ装置により形成され、この
コンベヤ装置によって、隣接して設けられた板状物処理
部との間で、板状物受け体とともに板状物の受け渡しが
行われることを特徴としたものである。

【００１５】したがって請求項５の発明によると、板状
物を移載した板状物受け体を、コンベヤ装置によって板
状物処理部に渡し得、そして板状物処理部にて板状物を
処理してなる板状物受け体を、コンベヤ装置によって受
け取り得る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態とし
て、プラズマディスプレイパネルなどに使用されるガラ
ス基板の移載に採用した場合について、図に基づいて説
明する。

【００１７】図１〜図３において、焼成炉（板状物処理
部の一例）５の端部外方には支持部１０が設けられ、こ
の支持部１０の一側方には板状物置き部９０が設けられ
ている。この板状物置き部９０と、前記支持部１０上の
セッターガラス板（板状物受け体の一例）１との間でガ
ラス基板（板状物の一例）２を移載させる板状物移載装
置３０が設けられ、この板状物移載装置３０は、前記支
持部１０に対し主として上方から対向される保持手段３
１や、支持部１０に対して一側方から対向されるフォー
ク手段８１などにより構成される。

【００１８】前記支持部１０を中にして、焼成炉５側の
部分には搬入出部１１が配設されるとともに、反対側の
部分には適宜の手動投入部１２が配設されている。これ
ら各部１０〜１２は、共通状のローラコンベヤ（コンベ
ヤ装置の一例）１３によって形成され、そしてローラコ
ンベヤ１３は、コンベヤフレーム１４とローラ１５群と
回転駆動装置１６などにより構成され、架台１７を介し
て所定位置に設置されている。なお回転駆動装置１６は
正逆駆動形式であり、以て前記セッターガラス板１はロ
ーラコンベヤ１３によって正逆に搬送される。

【００１９】前記支持部１０の両端部、すなわち、搬入
出部１１や手動投入部１２との境界側の部分には、それ
ぞれ上下方向で出退動自在なストッパー１８Ａ，１８Ｂ
が配設され、これらストッパー１８Ａ，１８Ｂを別々に
作動させるシリンダー１９Ａ，１９Ｂが、架台１７側に
設けられている。また搬入出部１１における支持部１０
とは反対側の端部にもストッパー１８Ｃが配設されると
ともに、シリンダー１９Ｃが設けられている。

【００２０】なお、以下においては、ローラコンベヤ１
３による搬送方向を前後方向Ａと称し、これに対して直
交状の横方向を左右方向Ｂと称する。前記焼成炉５内に
は、上段に加熱経路部６が、下段に冷却経路部７が、そ
れぞれコンベヤ形式などで形成されている。ここで加熱
経路部６の搬送方向は支持部１０に対して離れる側であ
り、また冷却経路部７の搬送方向は支持部１０に対して
近づく側に設定されている。

【００２１】そして焼成炉５の端部と前記搬入出部１１
との間には、実のセッターガラス板１を支持して上昇さ
せるためのリフト装置２６が配設されている。このリフ
ト装置２６は、本体２７と、この本体２７側に案内され
る昇降台２８と、この昇降台２８上に設けられた受け渡
しコンベヤ２９などにより構成される。ここで受け渡し
コンベヤ２９は、正逆駆動自在なローラコンベヤであっ
て、昇降台２８と一体状に昇降され、そして中間位置で
の停止により前記ローラコンベヤ１３に接続され、上昇
位置での停止により前記加熱経路部６に接続されるとと
もに、下降位置での停止により前記冷却経路部７に接続
されるよう構成されている。

【００２２】図１、図４、図５に示すように、前記保持
手段３１は、固定枠体３２と、この固定枠体３２側に設
けられた昇降枠体３５と、この昇降枠体３５側に対に設
けられかつ互いに接近離間自在な爪体５７などから構成
されている。前記固定枠体３２は、前記ローラコンベヤ
１３の架台１７から立設されてローラコンベヤ１３の両
側方前後に位置される合計四本（複数本）の支柱３３
と、これら支柱３３の上端間に設けられた上位部材３４
などにより構成される。

【００２３】前記昇降枠体３５は平面視において十字状
であって、上位部材３４の下方において昇降自在に配設
されている。すなわち昇降枠体３５の昇降は、この昇降
枠体３５の中央部分から立設された昇降部材３６に上下
方向のラック３７が設けられ、そして上位部材３４に正
逆駆動装置（インバータギヤードモータなど）３８が設
けられ、この正逆駆動装置３８の出力軸に取り付けられ
たピニオン３９がラック３７に噛合されることで可能と
なる。その際に、昇降枠体３５の複数箇所から立設され
た被ガイド部材４０が、上位部材３４に設けられた筒状
のガイド部材４１に挿通されることで、昇降枠体３５の
昇降は、一定の向き、姿勢で安定して行われる。

【００２４】前記昇降枠体３５には、その十字状の形状
に合わせて、一対のねじロッド４３，６３が十字状に配
設されている。これらねじロッド４３，６３には、その
長さ方向において二分割された状態で互いに逆方向のね
じ部が形成されており、そして両ねじロッド４３，６３
の一端は、昇降枠体３５側に設けられた正逆駆動装置４
４，６４に連動されている。両ねじロッド４３，６３の
各ねじ部には、それぞれナット体４５，６５を介して可
動部材４６，６６が外嵌され、以て正逆駆動装置４４，
６４によりねじロッド４３，６３が正逆回転されること
で、一対の可動部材４６，６６は互いに接近動または離
間動される。

【００２５】その際に昇降枠体３５には、両ねじロッド
４３，６３の両側の沿ってそれぞれガイドロッド４７，
６７が配設され、そして、このガイドロッド４７，６７
に、各可動部材４６，６６側に設けられたガイド筒４
８，６８が外嵌されることで、一対の可動部材４６，６
６の互いに接近離間動は、一定の向き、姿勢で安定して
行われる。

【００２６】図１、図４〜図８に示すように、前後方向
Ａにおいて互いに接近離間動を行う両可動部材４６に
は、それぞれ前述した爪体５７が左右方向Ｂで一対設け
られ、したがって左右方向Ｂで一対の爪体５７は、前後
方向Ａにおいて対に設けられかつ互いに接近離間自在に
構成される。

【００２７】すなわち、両可動部材４６には、それぞれ
左右一対の縦ロッド４９が設けられ、これら縦ロッド４
９の上端間に上位連結プレート５０が設けられるととも
に、下端間に下位連結プレート５１が設けられている。
そして可動部材４６と上位連結プレート５０との間にシ
リンダー５２が設けられ、以てシリンダー５２の作動に
より下位連結プレート５１は、設定したストローク内で
昇降自在に構成される。

【００２８】前記下位連結プレート５１の左右方向Ｂの
両端部には、それぞれ水平状の前後方向ピン５３を介し
てブロック体５４が左右方向Ｂに揺動自在に設けられて
いる。そしてブロック体５４の中立姿勢を付勢する一対
のばね５５と、最大揺動を規制する一対のストッパ５６
とが、下位連結プレート５１の所定箇所に設けられてい
る。前記爪体５７はブロック体５４の前面側（対となる
側）に設けられ、そしてボルト５８により固定されてい
る。

【００２９】各爪体５７には、対となる側ほど下方に位
置するように少し傾斜された上向きの板状物保持面５７
ａと、この板状物保持面５７ａよりも下位のレベルであ
ってセッターガラス板１の受け面１ａに当接自在な当接
面５７ｂと、対となる側において板状物保持面５７ａと
当接面５７ｂとの間に連続されかつ対となる側ほど下方
へと伸びる傾斜面５７ｃとが形成されている。その際
に、傾斜面５７ｃの傾斜角度Θは４５度（３０〜４５
度）に設定されている。

【００３０】前記下位連結プレート５１の左右方向Ｂの
中間部には、ガラス基板２の側縁２ａに対して前後方向
Ａから作用される位置決め装置５９が設けられている。
すなわち、下位連結プレート５１にはシリンダー６０が
設けられ、このシリンダー６０のピストンロッド６０Ａ
は、対となる側に突出されている。そして突出端に左右
方向Ｂで長尺のプレート６１が設けられ、このプレート
６１に左右一対の位置決め具６２が設けられている。

【００３１】図１２に示すように、前記ガラス基板２の
側縁２ａで上下のコーナ部分は、爪体５７の傾斜面５７
ｃに対向される向い入れ面２ｂに形成されている。ここ
で向い入れ面２ｂは傾斜カット状に形成されているが、
これはＲ状に形成されたものでもよい。

【００３２】図１、図９〜図１１に示すように、左右方
向Ｂにおいて互いに接近離間動を行う両可動部材６６に
は、ガラス基板２の側縁２ａに対して左右方向Ｂから作
用される位置決め装置６９が設けられている。すなわ
ち、可動部材６６の前後方向Ａの中央部分にはシリンダ
ー７０が設けられ、このシリンダー７０における下向き
のピストンロッド７０Ａに連結プレート７１が設けられ
ている。

【００３３】この連結プレート７１は前後方向Ａに長尺
であって、その両端から立設されたガイドロッド７２
は、可動部材６６側に設けられたガイド筒７３に挿通さ
れている。両ガイドロッド７２の下部は連結プレート７
１から下方へ突出され、その突出端間には、前後方向Ａ
で長尺の昇降プレート７４が設けられている。そして、
昇降プレート７４の中間部分に前後一対の位置決め具７
５が設けられ、また昇降プレート７４の両端には、セッ
ターガラス板１の受け面１ａに当接自在なローラ７６
が、前後方向ピンを介して遊転自在に設けられている。

【００３４】上記した３２〜７６などによって、保持手
段３１の一例が構成される。図２、図４に示すように、
前記フォーク手段８１は、支持部１０の一側方に配設さ
れる架台８２と、この架台８２上に昇降自在に配設され
かつ回動軸心８３を中心として正逆に回動自在な回転テ
ーブル８４と、この回転テーブル８４上に配設され横方
向に出退自在なフォーク８５などにより構成されてい
る。そしてフォーク８５は、爪体５７群を介して上昇さ
れたガラス基板２の下方に対して側方から出退自在でか
つ前記板状物置き部９０に対して出退自在に構成されて
いる。

【００３５】前記板状物置き部９０は、フォーク手段８
１の外側に形成される。すなわち、板状物置き部９０に
は、一箇所（または複数箇所）に台車停止部９１が設け
られ、そして各台車停止部９１には、カセット台車９２
が停止自在に構成される。

【００３６】以下に、上記した実施の形態における作用
を説明する。未処理のガラス基板２は、たとえばカセッ
ト台車９２内に複数枚が収納された状態で、他の場所か
ら板状物置き部９０へと搬送される。その際に複数枚の
ガラス基板２は、上下方向において所定の間隔を置いて
収納されている。そしてカセット台車９２は、台車停止
部９１に所期の向き、姿勢で停止される。

【００３７】台車停止部９１に停止されているカセット
台車９２内のガラス基板２は、フォーク手段８１により
一枚ずつ取り出され、そして支持部１０に位置されたセ
ッターガラス板１の受け面１ａ上に移載される。

【００３８】すなわち、カセット台車９２内の一枚のガ
ラス基板２は、回転テーブル８４の回動軸心８３を中心
とした正逆回動と、フォーク８５の横方向への出退動
と、回転テーブル８４の昇降動とが、所定の順序で組み
合わせ作動されることで、フォーク８５に支持されてフ
ォーク手段８１により取り出される。

【００３９】このとき保持手段３１は作用前待機姿勢
（図１３の工程イ参照）にある。すなわち、昇降枠体３
５は上昇動されている。そして、前後方向Ａにおいて接
近離間動を行う両可動部材４６は互いに接近動され、こ
の可動部材４６側に設けられた爪体５７は下位連結プレ
ート５１とともに上昇動され、この下位連結プレート５
１に設けられた位置決め具６２はプレート６１とともに
後退動されている。さらに、左右方向Ｂにおいて接近離
間動を行う両可動部材６６は互いに離間動され、この可
動部材６６に設けられた位置決め具７５は昇降プレート
７４とともに上昇動されている。そして支持部１０上に
は空のセッターガラス板１が位置され、このセッターガ
ラス板１の前後方向Ａの端部外方にはストッパー１８
Ａ，１８Ｂが突出動されている。

【００４０】前述したようにフォーク手段８１により取
り出されたガラス基板２は、フォーク手段８１の前述と
類する、所定の順序での組み合わせ作動によって、図９
の仮想線Ｄに示すように、各爪体５７の板状物保持面５
７ａに対して上方に位置される。このときフォーク８５
などの突入は、図９の仮想線Ｅに示すように、可動部材
６６の位置決め具７５が上昇動されていることで、衝突
などすることなく行われる。このような状態でフォーク
８５が下降（図１３の工程ロ参照）されることで、ガラ
ス基板２の前後方向Ａの両縁部が各爪体５７の板状物保
持面５７ａ上に載置され、以て図６や図８の仮想線、な
らびに図９の実線に示すように、ガラス基板２は爪体５
７群により保持される。

【００４１】そしてフォーク８５が退出動（図１３の工
程ハ参照）されたのち、位置決め具７５が下降動（図１
３の工程ニ参照）される。すなわち、シリンダー７０の
作動によって、位置決め具７５は昇降プレート７４とと
もに下降動され、その際にガイドロッド７２がガイド筒
７３に案内されることで、昇降プレート７４側の下降動
は、一定の向き、姿勢で安定して行われる。

【００４２】次いで位置決め具６２，７５が互いに接近
動される。すなわち、前後方向Ａにおいて接近動を行う
両可動部材４６では、シリンダー６０の作動によって、
位置決め具６２はプレート６１とともに少し突出動（図
１３の工程ホ参照）され、これにより図７の仮想線に示
すように、位置決め具６２がガラス基板２の側縁２ａに
前後方向Ａから当接される。また、左右方向Ｂにおいて
接近動を行う両可動部材６６では、正逆駆動装置６４に
よりねじロッド６３が回転されることで、ナット体６５
を介して互いに接近動（図１３の工程ホ参照）され、こ
れにより図１０、図１１の実線に示すように、位置決め
具７５がガラス基板２の側縁２ａに左右方向Ｂから当接
される。

【００４３】このような突出動や接近動により、位置決
め具６２がガラス基板２の側縁２ａに前後方向Ａから当
接されるとともに、位置決め具７５がガラス基板２の側
縁２ａに左右方向Ｂから当接され、以て爪体５７群によ
り保持されているガラス基板２は、前後方向Ａならびに
左右方向Ｂで位置決めされる。なお、両可動部材６６が
互いに接近動される際に、ガイドロッド６７にガイド筒
６８が案内されることで、一対の可動部材６６の互いに
接近動は、一定の向き、姿勢で安定して行われる。

【００４４】このようにガラス基板２の位置決めが行わ
れたのち、昇降枠体３５が下降（図１３の工程ヘ参照）
される。すなわち、正逆駆動装置３８によりピニオン３
９が回転され、ラック３７を介して昇降部材３６が下降
される。その際に、被ガイド部材４０がガイド部材４１
に案内されることで、昇降枠体３５の下降は、一定の向
き、姿勢で安定して行われる。

【００４５】このように昇降枠体３５が下降されること
で、前後方向Ａにおいて接近離間動を行う両可動部材４
６では、図８の仮想線に示すように、位置決め具６２の
下面と爪体５７の当接面５７ｂとがセッターガラス板１
の受け面１ａに当接され、また左右方向Ｂにおいて接近
離間動を行う両可動部材６６では、図１１の仮想線に示
すように、ローラ７６がセッターガラス板１の受け面１
ａに当接される。なお、爪体５７の当接面５７ｂがセッ
ターガラス板１の受け面１ａに当接される際に、たとえ
ば受け面１ａ上が多少変位していても、この受け面１ａ
の変位は、いずれかのばね５５に抗してブロック体５４
が前後方向ピン５３の回りに揺動されることで、自動的
に円滑に吸収される。

【００４６】前述した昇降枠体３５の下降は適宜の検出
手段により検出され、その後に、可動部材４６が互いに
離間動（図１３の工程ト参照）され、この可動部材４６
に一体状の爪体５７が互いに離間動される。これにより
ガラス基板２は、爪体５７群による支持が開放され、以
てセッターガラス板１の受け面１ａ上に自然落下され
る。この自然落下は、図１１の仮想線ＨからＩに示すよ
うに、位置決め具７５群に案内された状態、すなわち位
置決めされた状態で行われ、以てセッターガラス板１の
受け面１ａ上における所定位置にガラス基板２が移載さ
れることになる。

【００４７】次いで、少し時間をおくことでセッターガ
ラス板１とガラス基板２との間の空気抜きが行われたの
ち、位置決め具６２が後退動されるとともに位置決め具
７５が上昇動（図１３の工程チ参照）されて位置決めが
開放され、そして昇降枠体３５が上昇（図１３の工程リ
参照）される。

【００４８】このようにして、図１、図５に示すよう
に、セッターガラス板１の受け面１ａ上で所定位置にガ
ラス基板２が移載されたのち、まずシリンダー１９Ａが
収縮動されて搬入出部１１側のストッパー１８Ａが退入
動され、そして回転駆動装置１６によりローラコンベヤ
１３がたとえば正駆動される。これにより、ガラス基板
２を支持したセッターガラス板１が、支持部１０から搬
入出部１１へと搬送（図１３の工程ヌ参照）され、そし
てストッパー１８Ｃに当接されて待機される。

【００４９】その後、支持部１０へセッターガラス板１
が供給（図１３の工程ル参照）される。なお、供給され
るセッターガラス板１上には、処理済みのガラス基板２
が載置されている（詳細は後述する。）。

【００５０】前述したように、ガラス基板２を支持した
セッターガラス板１が搬入出部１１で待機された状態に
おいて、リフト装置２６では、昇降台２８とともに昇降
される受け渡しコンベヤ２９が中間位置で停止され、前
記ローラコンベヤ１３に接続される。この状態で、シリ
ンダー１９Ｃが収縮動されてストッパー１８Ｃが退入動
され、これによりセッターガラス板１は、ローラコンベ
ヤ１３により搬出されるとともに受け渡しコンベヤ２９
に受け取られる。

【００５１】次いで昇降台２８とともに受け渡しコンベ
ヤ２９が上昇され、加熱経路部６に接続される。この状
態でセッターガラス板１は、受け渡しコンベヤ２９の作
動により加熱経路部６に渡され、そして加熱経路部６に
て搬送される間に、ガラス基板２に対する熱処理が遂行
される。加熱経路部６にて熱処理されたガラス基板２
は、セッターガラス板１とともに冷却経路部７に移さ
れ、この冷却経路部７にて搬送される間に自然冷却など
が遂行される。

【００５２】冷却経路部７の終端に達したセッターガラ
ス板１は、その下降により冷却経路部７に接続された受
け渡しコンベヤ２９に受け取られ、そして受け渡しコン
ベヤ２９は、昇降台２８とともに上昇されて中間位置で
停止され、前記ローラコンベヤ１３に接続される。この
状態でセッターガラス板１は、受け渡しコンベヤ２９の
前述とは逆作動によりローラコンベヤ１３に渡され、そ
してローラコンベヤ１３によって搬入出部１１から支持
部１０へと搬送され、ストッパー１８Ｂに当接される。

【００５３】このとき保持手段３１は、前述したガラス
基板２を支持したセッターガラス板１が、支持部１０か
ら搬入出部１１へと搬送（図１３の工程ヌ、ル参照）さ
れたのち、一部が作動された作用前待機姿勢（図１３の
工程オ参照）にある。

【００５４】すなわち、昇降枠体３５は上昇動されてい
る。そして、前後方向Ａにおいて接近離間動を行う両可
動部材４６は互いに離間動され、この可動部材４６に設
けられた爪体５７は下位連結プレート５１とともに下降
動され、この下位連結プレート５１に設けられた位置決
め具６２はプレート６１とともに後退動されている。さ
らに、左右方向Ｂにおいて接近離間動を行う両可動部材
６６は互いに離間動され、この可動部材６６に設けられ
た位置決め具７５は昇降プレート７４とともに下降動さ
れている。

【００５５】この状態で、まず昇降枠体３５が下降（図
１３の工程ワ参照）される。この下降によって、前後方
向Ａにおいて接近離間動を行う両可動部材４６では、位
置決め具６２の下面と爪体５７の当接面５７ｂとがセッ
ターガラス板１の受け面１ａに当接され、また左右方向
Ｂにおいて接近離間動を行う両可動部材６６では、ロー
ラ７６がセッターガラス板１の受け面１ａに当接され
る。その際に、たとえば受け面１ａの変位は、いずれか
のばね５５に抗してブロック体５４が揺動されること
で、自動的に円滑に吸収される。

【００５６】前述した昇降枠体３５の下降は適宜の検出
手段により検出され、その後に、前後方向Ａにおいて接
近離間動を行う両可動部材４６が互いに接近動（図１３
の工程タ参照）され、この可動部材４６に設けられて互
いに接近動される爪体５７により、ガラス基板２がセッ
ターガラス板１上から持ち上げられる。

【００５７】すなわち、図１２（Ａ）〜（Ｃ）におい
て、爪体５７は、その当接面５７ｂが受け面１ａ上で滑
りながら接近動され、図１２（Ａ）に示すように、傾斜
面５７ｃの下端がガラス基板２の下位の向い入れ面２ｂ
に当接される。そして接近動が継続されることで、傾斜
面５７ｃの下端が向い入れ面２ｂに向え入れられること
になって、図１２（Ｂ）に示すように、爪体５７が、そ
の傾斜面５７ｃを介してガラス基板２の下に潜り込んで
行き、以てセッターガラス板１に対してガラス基板２が
持ち上げられる。さらに接近動が継続されることで、図
１２（Ｃ）に示すように、ガラス基板２の端部が板状物
保持面５７ａ上に位置され、以てガラス基板２は、セッ
ターガラス板１から持ち上げられて爪体５７群に保持さ
れる。

【００５８】このように向い入れ面２ｂと傾斜面５７ｃ
とを利用して持ち上げることで、爪体５７は軽く確実に
ガラス基板２の下に潜り込ませ得、そして爪体５７は十
分に剛体化し得、さらにガラス基板２は、その端部のみ
が爪体５７に対して摺接されることで、傷が付きにくい
ことになる。また爪体５７の傾斜面５７ｃの傾斜角度Θ
が４５度（３０〜４５度）に設定されていることで、ガ
ラス基板２の下への潜り込みは、抵抗の少ない状態でか
つ移動量に対して十分なリフト量を確保して行える。

【００５９】なお、傾斜角度Θを４５度より大きくする
と、ガラス基板２を上方へ押し上げる分力が小さくな
る。また、ガラス基板２が上方に移動する時に、ガラス
基板２の一端部が板状物保持面５７ａ上にのり、他端部
が傾斜面５７ｃをすべり受け面１ａまで落ちてしまい、
ガラス基板２を保持できないという問題がある。一方、
傾斜角度Θを３０度未満にすると傾斜面５７ｃが長くな
り、ガラス基板２を板状物保持面５７ａ上に保持すると
き、爪体５７を移動させる距離が長くなり板状物移載装
置３０が大きくなるという問題がある。

【００６０】上述したように、爪体５７群によりガラス
基板２が持ち上げ保持されたのち、まず、可動部材４６
に対して爪体５７が下位連結プレート５１とともに上昇
動（図１３の工程レ参照）され、以て位置決め具６２の
下面と爪体５７の当接面５７ｂとがセッターガラス板１
の受け面１ａから離間される。

【００６１】次いで昇降枠体３５が上昇動（図１３の工
程ソ参照）され、以て位置決め具７５側のローラ７６が
セッターガラス板１の受け面１ａにから離間される。そ
して、この上昇動によりガラス基板２は、所期の高さレ
ベルに位置される。このようにガラス基板２を持ち上げ
た状態で、図９の仮想線Ｅに示すように、可動部材６６
に対して位置決め具７５が昇降プレート７４とともに上
昇動（図１３の工程ネ参照）される。

【００６２】そして、フォーク手段８１の前述と類す
る、所定の順序での組み合わせ作動（図１３の工程ナ〜
ム参照）によって、保持手段３１側で保持されている処
理済みのガラス基板２が、フォーク８５により取り出さ
れたのち（なお、図９の仮想線Ｆはフォーク８５の突入
位置を示す。）、台車停止部９１に停止されているカセ
ット台車９２内に積み込まれる。なお、この間に空のセ
ッターガラス板１は支持部１０から搬出される（詳細は
後述する。）。

【００６３】これにより保持手段３１は、次の未処理の
ガラス基板２を取り扱える状態となり、したがって、支
持部１０へ新たな空のセッターガラス板１が供給（図１
３の工程ウ参照）されることで、最初の作業（図１３の
工程イ参照）に再び戻り得る。

【００６４】上記した実施の形態では、板状物受け体と
してセッターガラス板１が、板状物としてガラス基板２
が示されているが、これら板状物受け体や板状物として
は、その一方または両方が、樹脂板や金属板などであっ
てもよい。

【００６５】上記した実施の形態では、板状物処理部と
して焼成炉５が示されているが、これは塗装や加工など
各種の処理部であってもよい。上記した実施の形態で
は、コンベヤ装置としてローラコンベヤ１３が示されて
いるが、これはチェーンコンベヤやベルトコンベヤなど
であってもよい。

【００６６】上記した実施の形態では、傾斜面５７ｃの
傾斜角度Θが４５度（３０〜４５度）に設定されている
ことで、ガラス基板２の下への潜り込みを、抵抗の少な
い状態でかつ移動量に対して十分なリフト量を確保して
行えるが、この傾斜角度Θは、３０度以下や４５度以上
に設定されてもよい。また向い入れ面２ｂが形成されて
いないガラス基板２でもよい。

【００６７】上記した実施の形態では、板状物置き部９
０としてカセット台車９２が停止される形式が示されて
いるが、これは棚やテーブルが設置される形式などであ
ってもよい。

【００６８】

【発明の効果】上記した本発明の請求項１によると、板
状物置き部から一枚の板状物を取り出したフォークを、
上昇しかつ互いに接近動した爪体の上方に突入させたの
ち下降させることで、板状物を各爪体の板状物保持面上
に載置でき、以て板状物を爪体群により保持できる。そ
して昇降枠体を下降させることで、爪体の当接面を支持
部上に位置している空の板状物受け体の受け面に当接さ
せたのち、爪体を互いに離間動させることにより、板状
物を受け面上に自然落下でき、以て板状物を板状物受け
体上に移載できる。

【００６９】また、昇降枠体を下降して、互いに離間し
ている爪体の当接面を板状物受け体の受け面に当接させ
たのち、爪体を互いに接近動させることで、爪体を、そ
の傾斜面の下端を板状物の側縁に当接させたのち、傾斜
面を介して板状物の下に潜り込ませて、板状物受け体に
対し板状物を持ち上げることができ、さらに、板状物の
端部を板状物保持面上に位置できて、板状物を、板状物
受け体から持ち上げて爪体群により保持できる。そして
フォークを、爪体群により保持した板状物の下方に突入
させ、上昇させ、かつ退出させることで、板状物を爪体
群から受け取って板状物置き部に移載できる。

【００７０】このように傾斜面を利用して持ち上げるこ
とで、爪体を板状物の下に確実に潜り込ませることがで
きて、板状物の移載を、常に迅速にかつ正確に行うこと
ができ、そして爪体を十分に剛体化できて、持ち上げな
どの移載動作を常に安定して行うことができ、さらに板
状物は、フォークにより取り扱われることで、傷が付き
難くできる。

【００７１】また上記した本発明の請求項２によると、
板状物に対する爪体潜り込みは、向い入れ面と傾斜面と
を利用して軽く確実に行うことができる。そして上記し
た本発明の請求項３によると、設定された傾斜角度によ
り、爪体のガラス基板下への潜り込みを、抵抗の少ない
状態でかつ移動量に対して十分なリフト量を確保して行
うことができる。

【００７２】さらに上記した本発明の請求項４による
と、各爪体の板状物保持面上に載置した板状物を位置決
め装置により位置決めでき、その後に爪体を互いに離間
動させることで、板状物を、位置決め装置より位置決め
した状態で受け面上に自然落下させることができて、板
状物受け体の受け面上における所定位置に板状物を移載
できる。

【００７３】しかも上記した本発明の請求項５による
と、板状物を移載した板状物受け体を、コンベヤ装置に
よって板状物処理部に迅速に渡すことができるととも
に、板状物処理部にて板状物を処理した板状物受け体
を、コンベヤ装置によって迅速に受け取ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示し、板状物移載
装置における保持手段部分の一部切り欠き側面図であ
る。

【図２】同板状物移載装置と周辺装置とを示す平面図で
ある。

【図３】同板状物移載装置と周辺装置とを示す側面図で
ある。

【図４】同板状物移載装置における保持手段部分の一部
切り欠き平面図である。

【図５】同板状物移載装置における保持手段部分の一部
切り欠き正面図である。

【図６】同板状物移載装置における一方の可動部材部分
の一部切り欠き正面図である。

【図７】同板状物移載装置における一方の可動部材部分
の一部切り欠き底面図である。

【図８】同板状物移載装置における一方の可動部材部分
の一部切り欠き側面図である。

【図９】同板状物移載装置における他方の可動部材部分
の一部切り欠き正面図である。

【図１０】同板状物移載装置における他方の可動部材部
分の一部切り欠き平面図である。

【図１１】同板状物移載装置における他方の可動部材部
分の一部切り欠き正面図である。

【図１２】同板状物移載装置における爪体の作用を示す
側面図である。

【図１３】同板状物移載装置における各部の作用タイミ
ング図である。

【符号の説明】

１ セッターガラス板（板状物受け体） １ａ 受け面 ２ ガラス基板（板状物） ２ａ 側縁 ２ｂ 向い入れ面 ５ 焼成炉（板状物処理部） ６ 加熱経路部 ７ 冷却経路部 １０ 支持部 １１ 搬入出部 １３ ローラコンベヤ（コンベヤ装置） ２６ リフト装置 ２９ 受け渡しコンベヤ ３０ 板状物移載装置 ３１ 保持手段 ３２ 固定枠体 ３５ 昇降枠体 ４６ 可動部材 ５７ 爪体 ５７ａ 板状物保持面 ５７ｂ 当接面 ５７ｃ 傾斜面 ５９ 位置決め装置 ６２ 位置決め具 ６６ 可動部材 ６９ 位置決め装置 ７５ 位置決め具 ８１ フォーク手段 ８３ 回動軸心 ８５ フォーク ９０ 板状物置き部 ９２ カセット台車 Ａ 前後方向 Ｂ 左右方向 Θ 傾斜角度

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 正和 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 前田 利生 愛知県小牧市小牧原新田1500番地 株式 会社ダイフク 小牧事業所内 (72)発明者 三宅 厚夫 大阪府大阪市北区中崎西２丁目４番12号 梅田センタービル16階 株式会社ダイ フク ＦＡシステム第１事業部内 審査官 一色 貞好 (56)参考文献 特開 昭63−56932（ＪＰ，Ａ) 特公 平２−14795（ＪＰ，Ｂ２) 実公 平７−13220（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 47/90 B65G 57/00 - 59/12 H01L 21/68

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状物置き部と支持部上の板状物受け体
   との間で板状物を移載させる板状物移載装置であって、
   前記支持部に対向される保持手段とフォーク手段とが設
   けられ、前記保持手段は、固定枠体と、この固定枠体に
   設けられた昇降枠体と、この昇降枠体に対に設けられか
   つ互いに接近離間自在な爪体とから構成され、爪体群に
   は、板状物保持面と、この板状物保持面よりも下位のレ
   ベルであって板状物受け体の受け面に当接自在な当接面
   と、対となる側において板状物保持面と当接面との間に
   連続されかつ対となる側ほど下方へと伸びる傾斜面とが
   形成され、前記フォーク手段は、爪体群の上方または下
   方に対して側方から出退自在でかつ板状物置き部に対し
   て出退自在なフォークを有することを特徴とする板状物
   移載装置。
2. 【請求項２】 板状物の側縁で上下のコーナ部分が、爪
   体の傾斜面に対向される向い入れ面に形成されているこ
   とを特徴とする請求項１記載の板状物移載装置。
3. 【請求項３】 傾斜面の傾斜角度が３０〜４５度である
   ことを特徴とする請求項１または２記載の板状物移載装
   置。
4. 【請求項４】 昇降枠体には、板状物の側縁に対して複
   数箇所から作用される位置決め装置が設けられているこ
   とを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の板状物
   移載装置。
5. 【請求項５】 支持部はコンベヤ装置により形成され、
   このコンベヤ装置によって、隣接して設けられた板状物
   処理部との間で、板状物受け体とともに板状物の受け渡
   しが行われることを特徴とする請求項１〜４のいずれか
   に記載の板状物移載装置。