JP2847759B2 - 半導体基板収納容器 - Google Patents
半導体基板収納容器Info
- Publication number
- JP2847759B2 JP2847759B2 JP1146357A JP14635789A JP2847759B2 JP 2847759 B2 JP2847759 B2 JP 2847759B2 JP 1146357 A JP1146357 A JP 1146357A JP 14635789 A JP14635789 A JP 14635789A JP 2847759 B2 JP2847759 B2 JP 2847759B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- semiconductor substrate
- wafer
- storage container
- substrate storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体素子製造工程において使用する半導体
基板（以下ウエハという）を収納する容器（以下カセッ
トという）に関する。
基板（以下ウエハという）を収納する容器（以下カセッ
トという）に関する。
従来、この種のカセットは、第９図の斜視図に例を示
す通り、ウエハ10を収納するためのウエハ収納用溝２を
有する１対の対向するウエハ収納ガイド部１と、収納し
たウエハ10を下部で支えるウエハ受け部３と、対向する
ウエハ収納ガイド１を支持する補強用柱４とからなる。
そして、ウエハ取り出し方向11は、ウエハ収納用溝２の
方向であった。
す通り、ウエハ10を収納するためのウエハ収納用溝２を
有する１対の対向するウエハ収納ガイド部１と、収納し
たウエハ10を下部で支えるウエハ受け部３と、対向する
ウエハ収納ガイド１を支持する補強用柱４とからなる。
そして、ウエハ取り出し方向11は、ウエハ収納用溝２の
方向であった。
又、第10図及び第11図の説明図のように、ウエハ10は
カセトの設置面12に対して垂直（第10図）または平行
（第11図）のいずれかの置き方しかできなかった。
カセトの設置面12に対して垂直（第10図）または平行
（第11図）のいずれかの置き方しかできなかった。
カセットのウエハ収納用溝には、溝幅にウエハ出し入
れのためのゆとりがあるため、ウエハを鉛直のままでカ
セットを運搬する場合、ウエハが溝内に揺動してウエハ
に傷がつく。また、ウエハを水平状態で運搬する場合、
ウエハがカセットから出てきてしまう。これを解消する
ために、カセットを傾斜した支持台に置く方法が採用さ
れている。
れのためのゆとりがあるため、ウエハを鉛直のままでカ
セットを運搬する場合、ウエハが溝内に揺動してウエハ
に傷がつく。また、ウエハを水平状態で運搬する場合、
ウエハがカセットから出てきてしまう。これを解消する
ために、カセットを傾斜した支持台に置く方法が採用さ
れている。
また、ウエハを製造装置等で処理する場合に、カセッ
トからウエハを取り出す必要に迫られることが多い。そ
の際、ウエハは鉛直あるいは水平向きで取り出すため、
カセットの姿勢を変える必要が生じる。そのためには、
カセットを一度持ち上げて向きを変えて置き直すか、支
持台自体の向きを変える機構を利用することで姿勢変更
を実現している。
トからウエハを取り出す必要に迫られることが多い。そ
の際、ウエハは鉛直あるいは水平向きで取り出すため、
カセットの姿勢を変える必要が生じる。そのためには、
カセットを一度持ち上げて向きを変えて置き直すか、支
持台自体の向きを変える機構を利用することで姿勢変更
を実現している。
上述した従来のカセットにおいては、水平面に対する
ウエハ取出方向の角度は、支持台の傾斜によって一義的
に決定され、任意には設定できないという欠点がある。
ウエハ取出方向の角度は、支持台の傾斜によって一義的
に決定され、任意には設定できないという欠点がある。
また、カセットの置き方を変えるためには、新たな機
械的な機構が必要になるという欠点がある。その結果、
カセットを移載する必要に迫られることが多くなるとい
う欠点を生じることになる。
械的な機構が必要になるという欠点がある。その結果、
カセットを移載する必要に迫られることが多くなるとい
う欠点を生じることになる。
本発明は、半導体基板を収納するための溝を内側面に
有する収納ガイド部を対向配置した半導体基板収納容器
において、半導体基板の収納姿勢を変更するため前記半
導体基板収納容器を自重により傾斜せしめる際の回転支
持軸となる少なくとも１対の円筒状の凸部を前記両収納
ガイド部の外側面の対称位置に設けた半導体基板収納容
器である。
有する収納ガイド部を対向配置した半導体基板収納容器
において、半導体基板の収納姿勢を変更するため前記半
導体基板収納容器を自重により傾斜せしめる際の回転支
持軸となる少なくとも１対の円筒状の凸部を前記両収納
ガイド部の外側面の対称位置に設けた半導体基板収納容
器である。
次に本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の第１の実施例を示す斜視図で円筒形の凸部
（カセット支持部５）は、対向するウエハ収納ガイド部
１の両外側面に１対設けられ、この１対のカセット支持
部５を結ぶ線分が、カセットを使用する場合に起こりう
るカセット全体の重心を全て含む最小領域を通過しない
ような位置に設けられている。
は本発明の第１の実施例を示す斜視図で円筒形の凸部
（カセット支持部５）は、対向するウエハ収納ガイド部
１の両外側面に１対設けられ、この１対のカセット支持
部５を結ぶ線分が、カセットを使用する場合に起こりう
るカセット全体の重心を全て含む最小領域を通過しない
ような位置に設けられている。
第２図，第３図は本実施例のカセットを設置する動作
手順を示す側面図である。カセットを置く際に、まずカ
セット支持部５の固定のカセット受け台６で支持する。
そのままカセットを降下していくと、カセットの重心は
カセット支持部５を結ぶ線分上にないため、１対のカセ
ット支持部５を結ぶ線分を軸に、カセットが回転する。
水平面とウエハ取り出し方向とが任意の角度になったと
ころで、カセットの回転を止めるように可動のカセット
受け台７でカセットを支持し、そのまま安定させること
を可動にしている。
手順を示す側面図である。カセットを置く際に、まずカ
セット支持部５の固定のカセット受け台６で支持する。
そのままカセットを降下していくと、カセットの重心は
カセット支持部５を結ぶ線分上にないため、１対のカセ
ット支持部５を結ぶ線分を軸に、カセットが回転する。
水平面とウエハ取り出し方向とが任意の角度になったと
ころで、カセットの回転を止めるように可動のカセット
受け台７でカセットを支持し、そのまま安定させること
を可動にしている。
また、第４図の他の動作手順の側面図に示すように、
カセットを一度支持してからでも、カセット支持部５に
新たに回転以外の力が加わらないようにカセット受け台
７を移動させることによって、水平面に対する取り出し
方向の角度を任意に変化させることを可能にしている。
カセットを一度支持してからでも、カセット支持部５に
新たに回転以外の力が加わらないようにカセット受け台
７を移動させることによって、水平面に対する取り出し
方向の角度を任意に変化させることを可能にしている。
第５図は本発明の第２の実施例を示す側面図で、対向
するウエハ収納ガイド部１の両外側面に、円筒状の凸部
（カセット支持部５及び８）がそれぞれ１対に設けら
れ、このそれぞれ１対のカセット支持部を結ぶ線分がカ
セットを使用する場合に起こりうるカセット全体の重心
を全て含む最小領域を通過しないような位置に、第１の
実施例と同様な対称性のカセット支持部が計２対存在し
ている。
するウエハ収納ガイド部１の両外側面に、円筒状の凸部
（カセット支持部５及び８）がそれぞれ１対に設けら
れ、このそれぞれ１対のカセット支持部を結ぶ線分がカ
セットを使用する場合に起こりうるカセット全体の重心
を全て含む最小領域を通過しないような位置に、第１の
実施例と同様な対称性のカセット支持部が計２対存在し
ている。
第６図，第７図は、本実施例のカセットを設置する動
作手順を示す側面図である。カセットを置く際に、まず
下側の１対のカセット支持部５を固定のカセット受け台
６で支持する。あとは第１の実施例と同様で、前記カセ
ット受け台７の役割を可動のカセット受け台９が受け持
つ。
作手順を示す側面図である。カセットを置く際に、まず
下側の１対のカセット支持部５を固定のカセット受け台
６で支持する。あとは第１の実施例と同様で、前記カセ
ット受け台７の役割を可動のカセット受け台９が受け持
つ。
第８図は他の動作手順を示すカセットの側面図で、カ
セット受け台９を可動させることによって、一度支持し
てからの水平面に対するウエハ取り出し角を任意に変化
させることが可能である。
セット受け台９を可動させることによって、一度支持し
てからの水平面に対するウエハ取り出し角を任意に変化
させることが可能である。
以上説明したように本発明は、ウエハの取り出し方向
をカセットを置くだけて任意に設定することと、ウエハ
取り出し方向の変化の要求に対応することを可能にする
ことにより、ウエハ運搬時の揺動防止とウエハの製造装
置へのローディングを容易にすると同時に、カセットの
移載動作を低減する効果を有する。
をカセットを置くだけて任意に設定することと、ウエハ
取り出し方向の変化の要求に対応することを可能にする
ことにより、ウエハ運搬時の揺動防止とウエハの製造装
置へのローディングを容易にすると同時に、カセットの
移載動作を低減する効果を有する。
また、カセット受け台を上下あるいは移動させるため
の機構も、カセットを傾斜させるだけの簡単なもので済
み、製造装置を複雑な構造にすることもない。
の機構も、カセットを傾斜させるだけの簡単なもので済
み、製造装置を複雑な構造にすることもない。
第１図は本発明の第１の実施例の斜視図、第２図，第３
図，第４図はその動作手順を示す側面図、第５図は本発
明の第２の実施例の側面図、第６図，第７図，第８図は
その動作手順を示す側面図、第９図は従来のカセットの
斜視図、第10図，第11図はそのウエハ取り出しを示す説
明図である。 １……ウエハ収納ガイド部、２……ウエハ収納用溝、３
……ウエハ受け部、４……補強用柱、５……カセット支
持部、６……固定カセット受け台、７……可動カセット
受け台、８……カセット支持部、９……可動カセット受
け台、10……ウエハ、11……ウエハ取り出し方向、12…
…設置面。
図，第４図はその動作手順を示す側面図、第５図は本発
明の第２の実施例の側面図、第６図，第７図，第８図は
その動作手順を示す側面図、第９図は従来のカセットの
斜視図、第10図，第11図はそのウエハ取り出しを示す説
明図である。 １……ウエハ収納ガイド部、２……ウエハ収納用溝、３
……ウエハ受け部、４……補強用柱、５……カセット支
持部、６……固定カセット受け台、７……可動カセット
受け台、８……カセット支持部、９……可動カセット受
け台、10……ウエハ、11……ウエハ取り出し方向、12…
…設置面。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体基板を収納するための溝を内側面に
有する収納ガイド部を対向配置した半導体基板収納容器
において、半導体基板の収納姿勢を変更するため前記半
導体基板収納容器を自重により傾斜せしめる際の回転支
持軸となる少なくとも１対の円筒状の凸部を前記両収納
ガイド部の外側面の対称位置に設けたことを特徴とする
半導体基板収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1146357A JP2847759B2 (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | 半導体基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1146357A JP2847759B2 (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | 半導体基板収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH039547A JPH039547A (ja) | 1991-01-17 |
| JP2847759B2 true JP2847759B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=15405888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1146357A Expired - Lifetime JP2847759B2 (ja) | 1989-06-07 | 1989-06-07 | 半導体基板収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2847759B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011126546A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ガラス基板搬送用ケースおよびガラス基板搬送用台車 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61193081U (ja) * | 1985-05-23 | 1986-12-01 |
-
1989
- 1989-06-07 JP JP1146357A patent/JP2847759B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH039547A (ja) | 1991-01-17 |
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