JPS61193081U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61193081U JPS61193081U JP7580285U JP7580285U JPS61193081U JP S61193081 U JPS61193081 U JP S61193081U JP 7580285 U JP7580285 U JP 7580285U JP 7580285 U JP7580285 U JP 7580285U JP S61193081 U JPS61193081 U JP S61193081U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- plate
- members
- handle
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の構成を示す図、第２
図は本考案の作用を示す図、第３図は従来のウエ
ーハマガジンの構成を示す図である。 １……スリツト、２……ストツパ、３……把手
、４……ウエーハマガジン、５……置台、６……
置台、７……ロボツト機構、８……ハンド。
図は本考案の作用を示す図、第３図は従来のウエ
ーハマガジンの構成を示す図である。 １……スリツト、２……ストツパ、３……把手
、４……ウエーハマガジン、５……置台、６……
置台、７……ロボツト機構、８……ハンド。
Claims (1)
- 互いに平行に対向して成る一対の板状部材を有
して成るウエーハマガジンにおいて、前記一対の
板状部材の外側面に所定の同一傾斜を有する把手
を取り付けたことを特徴とするウエーハマガジン
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7580285U JPS61193081U (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7580285U JPS61193081U (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61193081U true JPS61193081U (ja) | 1986-12-01 |
Family
ID=30617357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7580285U Pending JPS61193081U (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61193081U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH039547A (ja) * | 1989-06-07 | 1991-01-17 | Nec Corp | 半導体基板収納容器 |
| WO2012036206A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |
-
1985
- 1985-05-23 JP JP7580285U patent/JPS61193081U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH039547A (ja) * | 1989-06-07 | 1991-01-17 | Nec Corp | 半導体基板収納容器 |
| WO2012036206A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |