JP4381468B1 - 2方向移動テーブル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボンディング装置に用いられるXYテーブルのY方向モータに、一端がテーブルに固定されてY方向に延びる繊維強化プラスチックの長方形断面パイプで、各短辺側面にY方向に延びる開口43bが設けられ、テーブルと共にXY方向に移動する可動アーム43aと、可動アーム43aの開口43bに差し込まれて可動アーム43aに取り付けられ、その一部が可動アーム43aの開口43bから可動アームの幅方向に突出する環状の駆動コイル44と、を含むY方向可動子43を備える。
【選択図】図4
Description
Claims (4)
- 同一平面内で互いに直交する第1の方向と第2の方向の2つの方向に移動する2方向移動テーブルであって、
第1の方向にガイドされ、第1のモータによって第1の方向に駆動される第1のテーブルと、
第1のテーブルの上面に設けられた第2の方向ガイドによって第2方向にガイドされ、第1のテーブルと共に第1の方向に駆動されると共に第2のモータによって第2の方向にも駆動される第2のテーブルと、
一端が第2のテーブルに固定されて第2の方向に延びる繊維強化プラスチックの長方形断面の中空体で、各短辺側面に第2の方向に延びる開口が設けられ、第2のテーブルと共に第1及び第2の方向に移動する可動アームと、可動アームの各開口に差し込まれて可動アームに取り付けられ、その一部が可動アームの開口から可動アームの幅方向に突出する環状の駆動コイルと、を含む可動子と、
を有することを特徴とする2方向移動テーブル。 - 請求項1に記載された2方向移動テーブルであって、
可動子は、
可動アームの開口の第2の方向の長さが駆動コイルの差し込み方向と直角方向の外形の長さよりも長く、
差し込み方向の駆動コイルの内径の長さが可動アームの幅よりも長く、
駆動コイルの内側空間と可動アーム外側空間とが連通していること、
を特徴とする2方向移動テーブル。 - 請求項1または2に記載された2方向移動テーブルであって、
可動子の駆動コイルに直接空気を吹き付けるノズルを有すること、
を特徴とする2方向移動テーブル。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載された2方向移動テーブルであって、
第1のテーブルはXテーブルで、第2のテーブルはYテーブルであること、
を特徴とする2方向移動テーブル。
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