JP2635998B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2635998B2 JP63128874A JP12887488A JP2635998B2 JP 2635998 B2 JP2635998 B2 JP 2635998B2 JP 63128874 A JP63128874 A JP 63128874A JP 12887488 A JP12887488 A JP 12887488A JP 2635998 B2 JP2635998 B2 JP 2635998B2
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宏之 山▲崎▼
康弘 小西
隆宏 小松
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体記憶装置に関し、特にスタンバイ電
流を低減した半導体記憶装置に関するものである。
〔従来の技術〕
近年、例えばダイナミック型MOSRAM等の高集積メモリ
装置では、その高集積化の進展に伴い、低消費電力化が
望まれている。ダイナミック型MOSRAMでは、その総消費
電流のうち、ビット線の充放電電流の占める割合が大き
い。そこで例えばISSCC ダイジェスト オブ テクニ
カル ペーパーズ,12−13頁(1987年,2月)(DIGEST OF
TECHNICAL PAPERS,pp.12−13(Feb.1987))所載のK.
マシコ等(K.Mashiko et al.)の論文「A 90ns 4Mb DR
AM in a 300mil DIP」に開示されている如く、ビット
線対間の最大電位差を従来のVccからVcc−Vth(ここ
で、Vccは電源電位,Vthはトランジスタの閾値電圧)に
減少させ、ビット線対のイコライズ電圧を(Vcc−Vth
/2にすることにより充放電電流の低減が図られている。
ここで、上記のような従来のダイナミック型MOSRAMの
メモリセル及びセンスアンプ回路の概念の一例を簡単化
して第4図に示す。
この図において、1はnチャネルMISトランジスタQ0
及びコンデンサC0からなるメモリセル、2はnチャネル
MISトランジスタQ1,Q2からなる第1のフリップフロップ
型センスアンプ、3はpチャネルMISトランジスタQ3,Q4
からなる第2のフリップフロップ型センスアンプ、4は
nチャネルMISトランジスタQ5からなる第1のフリップ
フロップ回路活性化手段、5はpチャネルMISトランジ
スタQ6からなる第2のフリップフロップ回路活性化手
段、nチャネルMOSトランジスタQ7はビット線対BL及び
▲▼の電位をイコライズするためのトランジスタ、
nチャネルトランジスタQ8,Q9はそれぞれビット線BL,▲
▼を所定の電位(例えば、(Vcc−Vth)/2)にプリ
チャージするためのトランジスタ、nチャンネルトラン
ジスタQ10,Q11はビット線BL,▲▼をそれぞれI/O,▲
▼線に接続するためのトランジスタ、nチャネル
トランジスタQB,Q (ゲートを電源電圧Vccに接続)は
ビット線BL,▲▼とセンスアンプとの間に設けら
れ、ビット線のハイレベルをVcc−Vthにするためのトラ
ンジスタである。
次に、第5図のタイミングチャートを用いて第4図に
示す回路の動作を説明する。
時刻T1に信号EQがハイレベルからロウレベルは下がる
と、イコライズトランジスタQ7、プリチャージトランジ
スタQ8,Q9がオフするのでビット線BL及び▲▼はフ
ローティング状態となる。時刻T2にワード線WLがロウレ
ベルからハイレベルになると、トランジスタQ0がオンす
る。例えばメモリセル1にハイレベルが記憶されている
場合、実線のようにビット線BLのレベルがわずかに上昇
する。これはトランジスタQBを通じてノードBL′のレベ
ルも同様に上昇させる。そこで時刻T3にS0がロウレベル
からハイレベル,▲▼がハイレベルからロウレベル
になると、トランジスタQ5,Q6がオンしてノードN1は0V,
ノードN2は電源電圧Vccになる。それでフリップフロッ
プ2及び3が活性化され、ノードBL′及び▲▼′間
に生じた前述のわずかな電位差を増幅して、ノードBL′
をVccレベルにノード▲▼′を0Vに変化される。ビ
ット線BLの電位は、ノードBL′が電源電位Vccに達した
時、トランジスタQBの閾値電圧Vth分だけ低いVcc−Vth
となる。時刻T4に信号Yがロウレベルからハイレベルに
なり、ビット線に生じた電位差がI/O線に伝達され、そ
の後増幅されて外部出力端子にハイレベル出力が現われ
る。メモリセル1にロウレベルが記憶されている場合
は、破線のようにビット線▲▼のレベルがVcc−Vth
となりビット線BLが0Vとなる。時刻T5にワード線WLがハ
イレベルからロウレベルに下がり、時刻T6に信号EQが再
びハイレベルになるとイコライズトランジスタQ7及びプ
リチャージトランジスタQ8,Q9がオンしてビット線BL,▲
▼を等しく(Vcc−Vth)/2レベルの内部電源VBL
接続させる。
このような回路では、ビット線レベルの最大振幅をV
ccからVcc−Vthに減少させることにより、ビット線の充
放電電流を減少させることができる。
またワード線WLのハイレベルがVccの場合には、メモ
リセル1に書き込まれるハイレベルはトランジスタQ0
閾値電圧をVthMとするとVcc−VthMとなり、ハイレベル
に対する読み出し電荷を損失する。そこでビット線のプ
リチャージレベルをVcc/2から(Vcc−Vth)/2に低下さ
せることは、ハイレベルに対する読み出しマージンを増
大させ、動作マージンを向上させるという効果もある。
なおこの場合、Vth=VthMとすることが最も効果的であ
る。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、従来の半導体記憶装置は以上のように構成さ
れているので、ビット線をイコライズする時に、ビット
線BL,▲▼のレベル差はVcc−Vthでありトランジス
タQ7でショートすることにより容易に(Vcc−Vth)/2と
することができるが、ノードBL′,▲▼′のレベル
差はVccであるためショートするるだけではVcc/2となっ
てしまい、トランジスタQ8,Q9を通じて(Vcc−Vth)/2
レベルの内部電源VBLにより、強制的に(Vcc−Vth)/2
レベルにする必要がある。この内部電源VBLは通常例え
ば電源電圧と接地電圧の抵抗分割回路により発生させる
が、上述の如く、ノードBL′及び▲▼′のレベルを
強制的に(Vcc−vth)/2にさせるために駆動能力を大き
くする必要があり、よって分割抵抗の抵抗値を小さくす
ることができない。従って、電源電圧と接地電圧の間に
DC的に流れるスタンバイ電流が大きくなるという問題点
があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ビット線の充放電電流を減少させると共
に、スタンバイ電流も大幅に少なくすることのできる半
導体記憶装置を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この発明に係る半導体記憶装置は、第1及び第2の電
源電圧を第1の制御信号に従いぞれぞれ2組のフリップ
フロップ型センスアンプに供給する第1及び第2の電圧
供給経路の内、第1の電圧供給経路に介装され第1の電
源電圧(例えばVcc)の所定電圧にシフトダウンさせる
電圧効果手段と、第1の制御信号に関連した第2の制御
信号に基づき第1の電圧供給経路を急速に充電する急速
充電手段と、第1の電圧供給経路の電圧を監視して第2
の制御信号を制御することにより急速充電手段を非活性
状態とするフリップフロップ回路を含む活性化制御手段
とを設けたものである。
〔作用〕
この発明においては、第1の電圧供給経路の電位をセ
ンス動作時に第1の電源電圧からメモリセルの閾値電圧
(例えばVthM)を差し引いた値(例えばVcc−VthM)に
高速にほぼ等しくする急速充電手段を設けることによ
り、内部電源が駆動能力をほとんど必要としなくなり、
内部電源発生回路のスタンバイ電流を大幅に減少させる
ことが可能となる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第
1図において、1はnチャネルMISトランジスタQ0及び
コンデンサC0からなるメモリセル、2はnチャネルMOS
トランジスタQ1,Q2からなる第1のフリップフロップ型
センスアンプ、3はpチャネルMISトランジスタQ3,Q4
らなる第2のフリップフロップ型センスアンプ、4はn
チャネルMISトランジスタQ5からなる第1のフリップフ
ロップ回路活性化手段、5はnチャネルMISトランジス
タQC及びpチャネルトランジスタQ6,QAからなる第2の
フリップフロップ回路活性化手段、6はnチャネルトラ
ンジスタQAに印加される▲▼信号コントロール回
路、nチャネルMOSトランジスタQ7はビット線対BL及び
▲▼の電位をイコライズするためのトランジスタ、
nチャネルトランジスタQ8,Q9はそれぞれビット線BL,▲
▼を所定の電位(例えば(Vcc−Vth)/2)にプリチ
ャージするためのトランジスタ、nチャネルトランジス
タQ10,Q11はビット線BL,▲▼をそれぞれI/O線,▲
▼線に接続するためのトランジスタである。
次に▲▼信号コントロール回路の一例を第2図
に示す。第2図において、7はNORゲートG1,G2からなる
R−Sフリップフロップ回路、ゲートG3はインバータで
ある。
ここで、第2図に示すフリップフロップ回路の基本的
な動作を説明する。第3図に示すように、時刻T0にリセ
ットパルスS0F′が“H"レベルになると、出力▲
▼は“H"レベルから“L"レベルに下がる。ノードN2の電
位がゆるやかに上昇してある電位V1を越えると、出力▲
▼は再び“H"レベルになる。ここでこの電位V1
値は、NORゲートG2のトランジスタの閾値を任意にコン
トロールすることで調整することが可能である。
第1図の回路と第4図の回路の違いは、第1図の回路
では第4図の回路におけるnチャネルMOSトランジスタQ
B,Q が存在せず、また第2のフリップフロップ回路活
性化手段5がpチャネルMOSトランジスタQ6のみでな
く、nチャネルトランジスタQC(ゲートを電源Vccに接
続)とpチャネルトランジスタQAが接続されている点
と、ノードN2とpチャネルトランジスタQAに印加される
▲▼信号のコントロール回路とノードN2が接続さ
れている点である。
次に、第6図のタイミングチャートを用いて第1図に
示す回路の動作を説明する。
時刻T1に信号EQがハイレベルからロウレベルに下がる
と、イコライズトランジスタQ7、プリチャージトランジ
スタQ8,Q9がオフするので、ビット線BL及び▲▼は
フローティング状態となる。時刻T2にワード線WLがロウ
レベルからハイレベルになると、トランジスタQ0がオン
する。例えばメモリセル1にハイレベルが記憶されてい
る場合、実線のようにビット線BLのレベルがわずかに上
昇する。そこで時刻T7に、例えば信号S0よりわずかに早
くハイレベルになるワンショットパルス信号S0F′(こ
こで信号S0F′は信号S0と同時、もしくは図中破線で示
す如く信号S0よりわずかに後でハイレベルになってもよ
い)がハイレベルになると、信号▲▼がロウレベ
ルになるので、ノードN2の電位は電源電圧Vccに向けて
充電され始める。ここで、前記V1の電位をVcc−2Vth
度に設定しておくと、ノードN2の電位がVcc−Vthを越え
ると▲▼が後述する如く時刻T8にハイレベルにな
る。次に時刻T3に信号S0がロウレベルからハイレベル,
信号▲▼がハイレベルからロウレベルになると、ト
ランジスタQ5,Q6がオンして、ノードN1は0V,ノードN2
更にVcc−Vthに向けて急速に充電始める。なお信号S
0F′は信号▲▼がロウレベルになった後すぐにロ
ウレベルに戻る。その後時刻T4にてノードN2の電位をモ
ニターしつつ信号▲▼の発生をコントロールする
▲▼信号コントロール回路により、信号▲
▼が、ノードN2の電位がVcc−Vthになる直前のT8にハイ
レベルとなる。それでフリップフロップ2及び3が活性
化され、ビット線BL及び▲▼間に生じた前述のわず
かな電位差を増幅して、ビット線BLをVcc−Vthレベルに
ビット線▲▼を0Vに変化させる。つまり、トランジ
スタQAに信号▲▼を印加するためノードN2の電位
を早く所望の電位Vcc−Vthに近づけることができる。次
に時刻T4に信号Yがロウレベルからハイレベルになり、
ビット線に生じた電位差がI/O線に伝達され、その後増
幅されて外部出力端子にハイレベル出力が現われる。メ
モリセル1にロウレベルが記憶されている場合は、破線
のようにビット線▲▼のレベルがVcc−Vthとなりビ
ット線BLのレベルが0Vとなる。時刻T5にワード線WLがハ
イレベルからロウレベルに下がり、時刻T6に信号EQが再
びハイレベルになるとイコライザトランジスタQ7がオン
してビット線BL,▲▼を等しく(Vcc−Vth)/2と
し、同時にプリチャージトランジスタQ8,Q9がオンして
ビット線を(Vcc−Vth)/2レベルの内部電源VBLに接続
させる。
以上のように本実施例では、フリップフロップ3の共
通ソースN2を直接Vcc−Vthにして活性化させるようにし
たので、フリチャージ時にはイコライズトランジスタQ7
のみで(Vcc−Vth)/2レベルを実現でき、内部電源VBL
は単にそのレベルを保持するだけでよく、従って駆動能
力はほとんど必要ない。そこで内部電源VBL発生回路に
おけるスタンバイ電流を大幅に減少させることが可能で
ある。
なお、上記実施例ではnチャネルMOSトランジスタを
含むメモリセルを用いた半導体記憶装置について示した
が、これはpチャネルMOSトランジスタを含むものであ
っても良く、この場合、ワード線WLの波形が逆相で、さ
らにフリップフロップ2,3、活性化手段4,5の各トランジ
スタの導電型を入れかえ、更にトランジスタQ5のドレイ
を接地から電源Vccにゲートを信号S0から信号▲▼
に、トランジスタQ6のドレインを電源Vccから接地にゲ
ートを信号▲▼から信号S0に、トランジスタQCのゲ
ートを電源Vccから接地に、トランジスタQAのドレイン
を電源Vccから接地にゲートを信号▲▼と相補な
波形S0Fに変更すればよい。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明に係る半導体記憶装置によれ
ば、第1の電圧供給経路を第1の電源電圧からメモリセ
ルの閾値電圧を差し引いた値にしてセンスアンプを活性
化させる手段を用いるようにしたので、ビット線の充放
電電流のみでなく、スタンバイ電流も大幅に減少される
ことができ、またハイレベルに対する読み出しマージン
が増大し、動作マージンが向上するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による半導体記憶装置のメ
モリセル及びセンスアンプを示す回路図、第2図はその
▲▼信号コントロール回路の一例を示す図、第3
図は第2図に示すフリップフロップ回路の基本的動作を
説明する波形図、第4図は従来の半導体記憶装置のメモ
リセル及びセンスアンプを示す回路図、第5図は従来の
半導体記憶装置の動作を説明するためのタイミングチャ
ートを示す図、第6図は本発明による半導体記憶装置の
動作を説明するためのタイミングチャートを示す図であ
る。 1はメモリセル、2,3はフリップフロップ型センスアン
プ、6は活性化制御手段、7はフリップフロップ型回
路、BL,▲▼はビット線、QAはpチャネルMISトラン
ジスタ、QCはnチャネルMISトランジスタ、S0,▲
▼,▲▼,S0F′は制御信号。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1の電源電圧及び第2の電源電圧が第1
    の制御信号に従い第1及び第2の電源供給経路よりそれ
    ぞれ供給されるセンスアンプにて、ビット線対の電位差
    を検知し増幅することでメモリセルの情報を読み出す方
    式の半導体記憶装置において、 上記第1の電圧供給経路に介装された上記第1の電源電
    圧を所定電圧にシフトダウンさせる電圧降下手段と、 上記第1の制御信号に関連した第2の制御信号に基づき
    上記第1の電圧供給経路を急速に充電する急速充電手段
    と、 上記第1の電圧供給経路の電圧を監視し、該電圧供給経
    路の電圧上昇に伴い上記第2の制御信号を制御すること
    により上記急速充電手段を非活性状態とする、フリップ
    フロップ型回路を含む活性化制御手段とを備えたことを
    特徴とする半導体記憶装置。
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