JP2608477B2 - オゾン発生用放電体 - Google Patents
オゾン発生用放電体Info
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- JP2608477B2 JP2608477B2 JP1222348A JP22234889A JP2608477B2 JP 2608477 B2 JP2608477 B2 JP 2608477B2 JP 1222348 A JP1222348 A JP 1222348A JP 22234889 A JP22234889 A JP 22234889A JP 2608477 B2 JP2608477 B2 JP 2608477B2
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、オゾンを発生させるための放電体に関する
ものである。
ものである。
オゾンは乾燥空気中で放電を行うことにより得られる
もので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白等に使用
されている。
もので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白等に使用
されている。
このようなオゾンの発生装置としては、たとえば特公
昭55−37483号公報に示されるようにアルミナセラミッ
クスからなる誘電体をはさんで放電を行うようにしたも
のが用いられていた。また、特開昭59−44797号公報な
どに示されているように、セラミックスからなる誘導体
の内部に面状の誘導電極を、表面に線状の放電電極をそ
れぞれ形成し、これらの電極間に高周波電圧を印加して
沿面放電を発生させるようにしたものも用いられてい
た。
昭55−37483号公報に示されるようにアルミナセラミッ
クスからなる誘電体をはさんで放電を行うようにしたも
のが用いられていた。また、特開昭59−44797号公報な
どに示されているように、セラミックスからなる誘導体
の内部に面状の誘導電極を、表面に線状の放電電極をそ
れぞれ形成し、これらの電極間に高周波電圧を印加して
沿面放電を発生させるようにしたものも用いられてい
た。
さらに、上記誘導電極と放電電極を形成してなるオゾ
ン発生用放電体において、放電電極は放電中に消耗しや
すいため、これを覆うようにガラスから成る保護層を形
成することも行われていた（特開昭63−66880号公報参
照）。
ン発生用放電体において、放電電極は放電中に消耗しや
すいため、これを覆うようにガラスから成る保護層を形
成することも行われていた（特開昭63−66880号公報参
照）。
〔従来技術の課題〕 ところが、上記の如きガラスからなる保護層は放電に
より浸食されやすく、次第にオゾン発生量が低下してし
まうという問題点があった。
より浸食されやすく、次第にオゾン発生量が低下してし
まうという問題点があった。
そのため、保護層の材質としてさまざまなセラミック
スを用いることが考えられているが、その場合保護層が
薄いと製造が困難であり、ピンホールが発生しやすく、
逆に保護層が厚いと放電特性が悪くなりオゾン発生量が
低下するなどの問題点があった。またセラミックの種類
が異なると、最適厚みも異なるため、保護層の厚み調整
が非常に難しいものであった。
スを用いることが考えられているが、その場合保護層が
薄いと製造が困難であり、ピンホールが発生しやすく、
逆に保護層が厚いと放電特性が悪くなりオゾン発生量が
低下するなどの問題点があった。またセラミックの種類
が異なると、最適厚みも異なるため、保護層の厚み調整
が非常に難しいものであった。
上記に鑑みて本発明は、オゾン発生用放電体の放電電
極を覆うように保護層を形成するとともに、誘電体層の
静電容量C1と保護層の静電容量C2との比をC1/C2≦0.5と
すればオゾン発生量を高くできることを見い出したもの
である。
極を覆うように保護層を形成するとともに、誘電体層の
静電容量C1と保護層の静電容量C2との比をC1/C2≦0.5と
すればオゾン発生量を高くできることを見い出したもの
である。
なお、上記誘電体層の静電容量C1とは誘電体層をはさ
んで形成された面状誘導電極と線状放電電極間の静電容
量のことであり、一方保護層の静電容量C2とは、保護層
の上に前記面状誘導電極と同じ大きさの電極を置いたと
きの、この電極と前記放電電極間の静電容量のことであ
る。
んで形成された面状誘導電極と線状放電電極間の静電容
量のことであり、一方保護層の静電容量C2とは、保護層
の上に前記面状誘導電極と同じ大きさの電極を置いたと
きの、この電極と前記放電電極間の静電容量のことであ
る。
以下本発明の実施例を図によって説明する。
第１図（ａ）（ｂ）に示すオゾン発生用放電体は、未
焼成セラミック板１に面状の誘導電極３を、もう一枚の
未焼成セラミック板２に線状の放電電極４を、それぞれ
タングステン、モリブデンなどのペーストを塗布して形
成し、これらのセラミック板1,2を積層した後、上記放
電電極４を覆うようにセラミックスからなる保護層５を
印刷、吹き付け、CVD法、PVD法などにより形成して全体
を焼成一体化したものである。このオゾン発生用放電体
は、上記セラミック板２が誘電体層となり、誘導電極３
と放電電極４間に電圧を印加すると沿面放電が生じ、オ
ゾンを発生させることができる。
焼成セラミック板１に面状の誘導電極３を、もう一枚の
未焼成セラミック板２に線状の放電電極４を、それぞれ
タングステン、モリブデンなどのペーストを塗布して形
成し、これらのセラミック板1,2を積層した後、上記放
電電極４を覆うようにセラミックスからなる保護層５を
印刷、吹き付け、CVD法、PVD法などにより形成して全体
を焼成一体化したものである。このオゾン発生用放電体
は、上記セラミック板２が誘電体層となり、誘導電極３
と放電電極４間に電圧を印加すると沿面放電が生じ、オ
ゾンを発生させることができる。
また、他の例として、第２図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示
すオゾン発生用放電体は、まず、第２図（ａ）に示すよ
うに未焼成セラミック板11の表面にタングステン、モリ
ブデン等からなる面状の誘導電極13を形成し、これを覆
うように誘電体層としてのセラミック層12を印刷、吹き
付け、CVD法、PVD法などにより形成した後、このセラミ
ック層12の上にタングステン、モリブデン等からなる線
状の放電電極14を形成し、これを覆うようにセラミック
スの保護層15を前記と同様の手段で形成したものであ
る。このオゾン発生用放電体は、コーティングにより形
成したセラミック層12を誘電体層としていることから、
誘電体層を薄くして、放電特性を向上させることができ
る。
すオゾン発生用放電体は、まず、第２図（ａ）に示すよ
うに未焼成セラミック板11の表面にタングステン、モリ
ブデン等からなる面状の誘導電極13を形成し、これを覆
うように誘電体層としてのセラミック層12を印刷、吹き
付け、CVD法、PVD法などにより形成した後、このセラミ
ック層12の上にタングステン、モリブデン等からなる線
状の放電電極14を形成し、これを覆うようにセラミック
スの保護層15を前記と同様の手段で形成したものであ
る。このオゾン発生用放電体は、コーティングにより形
成したセラミック層12を誘電体層としていることから、
誘電体層を薄くして、放電特性を向上させることができ
る。
次に、第２図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すオゾン発生用
放電体において、誘電体層としてのセラミック層12の材
質、厚みT1、及び保護層15の材質、厚みT2を種々に変化
させたものを試作し、それぞれ誘電体層、保護層の静電
容量C1,C2を測定した後、実際のオゾン発生量を調べ
た。
放電体において、誘電体層としてのセラミック層12の材
質、厚みT1、及び保護層15の材質、厚みT2を種々に変化
させたものを試作し、それぞれ誘電体層、保護層の静電
容量C1,C2を測定した後、実際のオゾン発生量を調べ
た。
なお、誘電体層の静電容量C1とは誘電電極13と放電電
極14の間の静電容量であり、保護層の静電容量C2とは保
護層15の上面に誘導電極13と同じ大きさの電極を置いた
ときの、この電極と放電電極14間の静電容量のことであ
る。
極14の間の静電容量であり、保護層の静電容量C2とは保
護層15の上面に誘導電極13と同じ大きさの電極を置いた
ときの、この電極と放電電極14間の静電容量のことであ
る。
また、上記誘導電極13は5mm×20mm、放電電極14は1mm
×17.5mmの大きさでタングステンにより形成し、オゾン
発生時の条件は、５℃、湿度30％で１次側電圧3.5Vを60
秒印加させたときのオゾン発生量を調べた。
×17.5mmの大きさでタングステンにより形成し、オゾン
発生時の条件は、５℃、湿度30％で１次側電圧3.5Vを60
秒印加させたときのオゾン発生量を調べた。
まず、誘電体層12、保護層15をいずれも、アルミナセ
ラミックスにより形成した場合の実験結果を第１表およ
び第３図に示す。なお、このアルミナセラミックスは、
92％のAl2O3と残部がSiO2,MgO,CaOなどからなり、誘電
率9.5のものを用いた。
ラミックスにより形成した場合の実験結果を第１表およ
び第３図に示す。なお、このアルミナセラミックスは、
92％のAl2O3と残部がSiO2,MgO,CaOなどからなり、誘電
率9.5のものを用いた。
第１表、およびC1/C2とオゾン発生量の関係を示す第
３図より明らかに、誘電体層と保護層の静電容量の比C1
/C2が0.4より大きくなると極端にオゾン発生量が低下
し、特にC1/C2が0.5より大きいとオゾン発生量がほとん
ど０になることがわかる。
３図より明らかに、誘電体層と保護層の静電容量の比C1
/C2が0.4より大きくなると極端にオゾン発生量が低下
し、特にC1/C2が0.5より大きいとオゾン発生量がほとん
ど０になることがわかる。
次に、誘電体層、保護層の材質として、誘電率6.8の
ムライトを用いた場合の実験結果を第２表、第３表に示
す。
ムライトを用いた場合の実験結果を第２表、第３表に示
す。
第２表、第３表の結果も、第１表と同様であり、誘電
体層と保護層の静電容量の比C1/C2が0.4より大きくなる
と極端にオゾン発生量が低下し、特にC1/C2が0.5より大
きいとオゾン発生量がほとんど０となった。
体層と保護層の静電容量の比C1/C2が0.4より大きくなる
と極端にオゾン発生量が低下し、特にC1/C2が0.5より大
きいとオゾン発生量がほとんど０となった。
また、たとえば第１表中のNo.3と第３表中のNo.2を比
較してみると、両者は誘電体層、保護層の厚みはほぼ同
じであるが、保護層の材質が異なるため静電容量の比C1
/C2も異なり、オゾン発生量も異なっている。即ち、オ
ゾン発生量は誘電体層と保護層の厚みの比ではなく、静
電容量の比によって決定されることが確認されている。
較してみると、両者は誘電体層、保護層の厚みはほぼ同
じであるが、保護層の材質が異なるため静電容量の比C1
/C2も異なり、オゾン発生量も異なっている。即ち、オ
ゾン発生量は誘電体層と保護層の厚みの比ではなく、静
電容量の比によって決定されることが確認されている。
さらに、上記実施例ではセラミック材としてアルミ
ナ、ムライトを用いたもののみを示したが、この他にフ
ォルステライト、ステアタイト、ジルコン、チタニア系
セラミックスなどさまざまなものを用いても同様の結果
であった。
ナ、ムライトを用いたもののみを示したが、この他にフ
ォルステライト、ステアタイト、ジルコン、チタニア系
セラミックスなどさまざまなものを用いても同様の結果
であった。
したがって、放電電極上にセラミックスの保護層を形
成したオゾン発生用放電体において、オゾン発生量を多
くするためには、セラミックスの種類にかかわらず、誘
電体層の静電容量C1と保護層の静電容量C2の比C1/C2を
0.5以下とすれば良く、特にC1/C2を0.4以下とすればも
っとも優れていることがわかった。
成したオゾン発生用放電体において、オゾン発生量を多
くするためには、セラミックスの種類にかかわらず、誘
電体層の静電容量C1と保護層の静電容量C2の比C1/C2を
0.5以下とすれば良く、特にC1/C2を0.4以下とすればも
っとも優れていることがわかった。
ただし、これはオゾン発生量の点のみから見たもので
あって、放電電極の保護という観点からは保護層の厚み
が大きいほど良いため、実際には、静電容量の比C1/C2
が0.5以下の範囲内で、保護層の厚みを最大にすれば良
い。
あって、放電電極の保護という観点からは保護層の厚み
が大きいほど良いため、実際には、静電容量の比C1/C2
が0.5以下の範囲内で、保護層の厚みを最大にすれば良
い。
また誘電体層の静電容量C1と保護層の静電容量C2は、
それぞれ理論的に下記の式によって求められる。
それぞれ理論的に下記の式によって求められる。
C1＝ε０・ε１・S/T1 C2＝ε０・ε２・S/T2 これらの２式より C1/C2＝ε１・T2/ε２・T1 したがって、C1/C2を小さくするためには、保護層の
誘電率ε２を大きくするか厚みT2を小さくすれば良いこ
とがわかる。また、保護層の厚みT2は、15μｍより小さ
いと製造が困難で、ボイドが発生しやすいなどの問題が
生じるが、そのような場合は、誘電率ε２の大きな材質
を用いれば厚みT2を大きくすることができ、上記問題を
解消できる。
誘電率ε２を大きくするか厚みT2を小さくすれば良いこ
とがわかる。また、保護層の厚みT2は、15μｍより小さ
いと製造が困難で、ボイドが発生しやすいなどの問題が
生じるが、そのような場合は、誘電率ε２の大きな材質
を用いれば厚みT2を大きくすることができ、上記問題を
解消できる。
叙上のように本発明によれば、オゾン発生用放電体の
線状放電電極を覆うように保護層を形成するとともに、
誘電体層の静電容量C1と前記保護層の静電容量C2の比を
C1/C2≦0.5としたことによって、放電特性およびオゾン
発生量を低下させることなく線状放電電極の浸食を防止
し、長期間にわたってオゾン発生量の変化が少ない、高
性能のオゾン発生用放電体を提供できる。
線状放電電極を覆うように保護層を形成するとともに、
誘電体層の静電容量C1と前記保護層の静電容量C2の比を
C1/C2≦0.5としたことによって、放電特性およびオゾン
発生量を低下させることなく線状放電電極の浸食を防止
し、長期間にわたってオゾン発生量の変化が少ない、高
性能のオゾン発生用放電体を提供できる。
第１図（ａ）は本発明実施例に係るオゾン発生用放電体
を示す分解斜視図、第１図（ｂ）は同図（ａ）中のＸ−
Ｘ線断面図である。 第２図（ａ）（ｂ）はそれぞれ本発明の他の実施例に係
るオゾン発生用放電体の製造工程を示す斜視図である。
第２図（ｃ）は同図（ｂ）中のＹ−Ｙ線断面図である。 第３図は本発明のオゾン発生装置における誘電体層と保
護層の静電容量の比C1/C2とオゾン発生量の関係を示す
グラフである。 1,11:セラミック板、2,12:誘電体層 3,13:誘導電極、4,14:放電電極 5,15:保護層
を示す分解斜視図、第１図（ｂ）は同図（ａ）中のＸ−
Ｘ線断面図である。 第２図（ａ）（ｂ）はそれぞれ本発明の他の実施例に係
るオゾン発生用放電体の製造工程を示す斜視図である。
第２図（ｃ）は同図（ｂ）中のＹ−Ｙ線断面図である。 第３図は本発明のオゾン発生装置における誘電体層と保
護層の静電容量の比C1/C2とオゾン発生量の関係を示す
グラフである。 1,11:セラミック板、2,12:誘電体層 3,13:誘導電極、4,14:放電電極 5,15:保護層
Claims (1)
- 【請求項１】誘電体層をはさむように誘導電極と放電電
極を備えてなるオゾン発生用放電体において、前記放電
体を覆うように保護層を形成するとともに、前記誘電体
層の静電容量C1と前記保護層の静電容量C2との比を C1/C2≦0.5 としたことを特徴とするオゾン発生用放電体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222348A JP2608477B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | オゾン発生用放電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222348A JP2608477B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | オゾン発生用放電体 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18089996A Division JP2873205B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | オゾン発生用放電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0383803A JPH0383803A (ja) | 1991-04-09 |
| JP2608477B2 true JP2608477B2 (ja) | 1997-05-07 |
Family
ID=16780935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1222348A Expired - Fee Related JP2608477B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | オゾン発生用放電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2608477B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102530880A (zh) * | 2012-02-17 | 2012-07-04 | 陈建中 | 密闭式耐用防潮腐臭氧片 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2430847A1 (fr) * | 1978-07-13 | 1980-02-08 | Saint Gobain | Vitrage chauffant et/ou d'alarme |
| JPS6442306A (en) * | 1987-08-05 | 1989-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ozonizer |
| JPH01117240A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Masao Iwanaga | 放電素子およびその応用装置 |
| JPH01154482A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-16 | Senichi Masuda | 電界装置 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP1222348A patent/JP2608477B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0383803A (ja) | 1991-04-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |