JPH02181384A - セラミックオゾナイザ - Google Patents
セラミックオゾナイザInfo
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- JPH02181384A JPH02181384A JP14089A JP14089A JPH02181384A JP H02181384 A JPH02181384 A JP H02181384A JP 14089 A JP14089 A JP 14089A JP 14089 A JP14089 A JP 14089A JP H02181384 A JPH02181384 A JP H02181384A
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Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はセラミック誘電体を介して対向する電極間に高
周波高電圧を印加し酸素の存在下でコロナ放電を生じさ
せてオゾンを発生させ、オゾンによる殺菌、消毒、脱臭
、脱色等の効果を利用するセラミックオゾナイザに関し
、特に、セラミック誘電体の比誘電率を規定することに
よりオゾン発生効率を改善したセラミックオゾナイザに
関する。
周波高電圧を印加し酸素の存在下でコロナ放電を生じさ
せてオゾンを発生させ、オゾンによる殺菌、消毒、脱臭
、脱色等の効果を利用するセラミックオゾナイザに関し
、特に、セラミック誘電体の比誘電率を規定することに
よりオゾン発生効率を改善したセラミックオゾナイザに
関する。
[従来の技術]
近年、公害防止や生活環境保全上の必要性から、化学薬
品等を使用しない物理化学的手段による殺菌、消毒、脱
臭、脱色の効果を利用することが行なわれるようになり
、その−手段として、放電現象により発生するオゾンの
効果を利用するオゾナイザが多方面に用いられるように
なってきた。このようなオゾナイザのうちの1つとして
、セラミック誘電体の一方の面に誘導電極、他方の面に
放電電極を形成し、両電極間に高周波高電圧を印加する
ことによって放電電極とセラミック誘電体との間にいわ
ゆる沿面コロナ放電を発生させ、この放電によって酸素
含有ガス中の酸素をオゾンに変換するオゾナイザが知ら
れている。そして、これに使用されるセラミック誘電体
としては、従来主に、高純度アルミナ、ガラス等が用い
られている(特公昭55−37483号公報、特開昭6
0−16804号公報、特開昭61−14103号公報
、特開昭61−48407号公報等参照)。
品等を使用しない物理化学的手段による殺菌、消毒、脱
臭、脱色の効果を利用することが行なわれるようになり
、その−手段として、放電現象により発生するオゾンの
効果を利用するオゾナイザが多方面に用いられるように
なってきた。このようなオゾナイザのうちの1つとして
、セラミック誘電体の一方の面に誘導電極、他方の面に
放電電極を形成し、両電極間に高周波高電圧を印加する
ことによって放電電極とセラミック誘電体との間にいわ
ゆる沿面コロナ放電を発生させ、この放電によって酸素
含有ガス中の酸素をオゾンに変換するオゾナイザが知ら
れている。そして、これに使用されるセラミック誘電体
としては、従来主に、高純度アルミナ、ガラス等が用い
られている(特公昭55−37483号公報、特開昭6
0−16804号公報、特開昭61−14103号公報
、特開昭61−48407号公報等参照)。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、このような従来技術によれば、放電電極
とセラミック誘電体との間に沿面コロナ放電を発生させ
るためには数KV〜10KV程度あるいはそれ以上の比
較的大きな印加電圧を要し、あるいは印加電圧に対する
オゾン発生量が満足できるほどには多くないという問題
がある。
とセラミック誘電体との間に沿面コロナ放電を発生させ
るためには数KV〜10KV程度あるいはそれ以上の比
較的大きな印加電圧を要し、あるいは印加電圧に対する
オゾン発生量が満足できるほどには多くないという問題
がある。
本発明の目的は、このような従来技術の問題点に鑑み、
セラミックオゾナイザにおいて、より低い電圧でもオゾ
ンを発生できるようにし、また、オゾン発生効率を高め
てオゾン収率の増大を図ることにある。
セラミックオゾナイザにおいて、より低い電圧でもオゾ
ンを発生できるようにし、また、オゾン発生効率を高め
てオゾン収率の増大を図ることにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するため本発明では、誘電体を介して対
向する放電電極と誘導電極との間に高周波高電圧を印加
して沿面コロナ放電を生じさせることによりオゾンを発
生するセラミックオゾナイザにおいて、該誘電体として
比誘電率が10を越えかつ5000以下の、好ましくは
30〜1000のセラミック誘電体を用いるようにして
いる。
向する放電電極と誘導電極との間に高周波高電圧を印加
して沿面コロナ放電を生じさせることによりオゾンを発
生するセラミックオゾナイザにおいて、該誘電体として
比誘電率が10を越えかつ5000以下の、好ましくは
30〜1000のセラミック誘電体を用いるようにして
いる。
ここで、印加する高周波高高圧は例えば製造コスト面か
ら電圧が2〜10KV、周波数が1〜6KHzで均一な
放電をさせることができる。また、セラミック誘電体と
しては具体的には、例えば、ZrO,、Tie、または
B aT i O,のちのが使用できる。放電電極とし
ては例えば線材化した導体材料や導体材料のメタライズ
によって形成したものを好ましく用いることができ、誘
導電極としては導体材料のメタライズによって形成した
ものの他、金属箔によって形成したもの等が適する。
ら電圧が2〜10KV、周波数が1〜6KHzで均一な
放電をさせることができる。また、セラミック誘電体と
しては具体的には、例えば、ZrO,、Tie、または
B aT i O,のちのが使用できる。放電電極とし
ては例えば線材化した導体材料や導体材料のメタライズ
によって形成したものを好ましく用いることができ、誘
導電極としては導体材料のメタライズによって形成した
ものの他、金属箔によって形成したもの等が適する。
[作用]
この構成において、放電電極と誘導電極間に高周波高電
圧を印加すると、セラミック誘電体表面と放電電極間で
沿面コロナ放電を生じ、これが酸素ガス存在下で行なわ
れた場合にオゾンが発生するが、その発生効率は多分に
セラミック誘電体の比誘電率と厚さに依存し、比誘電率
がある程度高いほど厚さが厚くても効率が良くなる傾向
にある。従って製造面からも強度的に充分な厚さにでき
る。
圧を印加すると、セラミック誘電体表面と放電電極間で
沿面コロナ放電を生じ、これが酸素ガス存在下で行なわ
れた場合にオゾンが発生するが、その発生効率は多分に
セラミック誘電体の比誘電率と厚さに依存し、比誘電率
がある程度高いほど厚さが厚くても効率が良くなる傾向
にある。従って製造面からも強度的に充分な厚さにでき
る。
これに関しては、本発明者らは、第3図のグラフに示す
実験結果を得ている。この結果は、印加する高周波高電
圧を2KHz、4KVおよび2にHz、2KVとし、そ
れぞれの電圧において、比誘電率を変化させた場合のオ
ゾン発生量の変化傾向を示すものである。
実験結果を得ている。この結果は、印加する高周波高電
圧を2KHz、4KVおよび2にHz、2KVとし、そ
れぞれの電圧において、比誘電率を変化させた場合のオ
ゾン発生量の変化傾向を示すものである。
したがって同図にも示されるように、本発明で用いられ
るセラミック誘電体の比誘電率は10以下の従来のもの
に比べ高いのでより効率良くオゾンの発生が行なわれ、
したがって例えば、従来の%〜局程度の電圧であっても
効果的なコロナ放tが生じ、従来と同等かそれ以上の多
量のオゾンが発生する。誘電体の比誘電率が100を越
えると電源の容量不足からオゾン発生量は低下するが5
000を越えると誘電体損失の部分がさらに不利に作用
するため好ましくない。
るセラミック誘電体の比誘電率は10以下の従来のもの
に比べ高いのでより効率良くオゾンの発生が行なわれ、
したがって例えば、従来の%〜局程度の電圧であっても
効果的なコロナ放tが生じ、従来と同等かそれ以上の多
量のオゾンが発生する。誘電体の比誘電率が100を越
えると電源の容量不足からオゾン発生量は低下するが5
000を越えると誘電体損失の部分がさらに不利に作用
するため好ましくない。
[実施例]
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第1図(a)〜(C)は本発明の一実施例に係るセラミ
ックオゾナイザの正面図、平面図および側面図である。
ックオゾナイザの正面図、平面図および側面図である。
同図に示すように、このセラミックオゾナイザは、セラ
ミックス製で板状の誘電体1、および誘電体1を介して
対向する放電電極2ならびに誘導電極3を備え、放電電
極2と誘導電極3間に高周波高圧電源4によって高周波
高電圧を印加して放電電極2と誘電体1表面間で沿面放
電を生じさせるように構成されている。
ミックス製で板状の誘電体1、および誘電体1を介して
対向する放電電極2ならびに誘導電極3を備え、放電電
極2と誘導電極3間に高周波高圧電源4によって高周波
高電圧を印加して放電電極2と誘電体1表面間で沿面放
電を生じさせるように構成されている。
誘電体1は20 x 40 xo、3〜1.6 mmの
サイズでZrO2,TiO2またはBaTiO3のセラ
ミックスを用いて乾式プレス法またはシート法で作成さ
れる。誘導電極3は、誘電体1の片面にスクリーン印刷
でAgペーストを印刷しベーキングして密着させること
により形成し、さらにその上に樹脂ペーストをスクリー
ン印刷しベーキングしてオーバーコート保護層5を形成
しである。放電電極2は直径70μmのW(タングステ
ン)線である。
サイズでZrO2,TiO2またはBaTiO3のセラ
ミックスを用いて乾式プレス法またはシート法で作成さ
れる。誘導電極3は、誘電体1の片面にスクリーン印刷
でAgペーストを印刷しベーキングして密着させること
により形成し、さらにその上に樹脂ペーストをスクリー
ン印刷しベーキングしてオーバーコート保護層5を形成
しである。放電電極2は直径70μmのW(タングステ
ン)線である。
この構成において、放電電極2と誘導電極3間に、例え
ば周波数1〜8KHz、電圧2〜10KVの適当な高周
波高電圧を印加すると、その周波数に応じた高周波沿面
コロナ放電が放電電極2と誘電体1表面間で発生する。
ば周波数1〜8KHz、電圧2〜10KVの適当な高周
波高電圧を印加すると、その周波数に応じた高周波沿面
コロナ放電が放電電極2と誘電体1表面間で発生する。
したがって、その放電部分に酸素ガスを供給することに
よりオゾンを発生させることができる。
よりオゾンを発生させることができる。
誘電体の材質として上記ZrO2(比誘電率:35)お
よびTiO2(比誘電率:110)を用い、印加する高
周波高電圧の周波数を4.0KHzとし、電圧のみを2
.OKVと8.OKVの間で変化させ、他の条件はすべ
て同一としてオゾン発生量の変化を測定したところ、第
2図のグラフに示すような結果が得られた。同図には、
比較のため、従来のAx2osc比誘電率=比誘電率上
10ライト(S i 02 ・Au203 ;比誘電
率二8)の誘電体について上記と同一条件で測定した結
果も示しである。
よびTiO2(比誘電率:110)を用い、印加する高
周波高電圧の周波数を4.0KHzとし、電圧のみを2
.OKVと8.OKVの間で変化させ、他の条件はすべ
て同一としてオゾン発生量の変化を測定したところ、第
2図のグラフに示すような結果が得られた。同図には、
比較のため、従来のAx2osc比誘電率=比誘電率上
10ライト(S i 02 ・Au203 ;比誘電
率二8)の誘電体について上記と同一条件で測定した結
果も示しである。
同図かられかるように、誘電体の材質としてTiO2を
用いた場合は、3〜4KV程度で従来の6〜8KV程度
に対応するオゾン発生量を示している。また、ZrO2
を用いた場合は、全体的に従来の2倍以上のオゾン発生
量を示している。
用いた場合は、3〜4KV程度で従来の6〜8KV程度
に対応するオゾン発生量を示している。また、ZrO2
を用いた場合は、全体的に従来の2倍以上のオゾン発生
量を示している。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、セラミック誘電体
の材質として比誘電率が10を越えかつ5000以下の
セラミックを用いるようにしたため、オゾン発生効率を
向上させることができ、例えば、従来の%〜号程度の電
圧でも従来と同等のオゾン発生量を実現でき、従来と同
程度の電圧においては2倍以上のオゾン発生量を達成す
ることができる。
の材質として比誘電率が10を越えかつ5000以下の
セラミックを用いるようにしたため、オゾン発生効率を
向上させることができ、例えば、従来の%〜号程度の電
圧でも従来と同等のオゾン発生量を実現でき、従来と同
程度の電圧においては2倍以上のオゾン発生量を達成す
ることができる。
第1図(a)〜(c)は、本発明の一実施例に係るセラ
ミックオゾナイザの正面図、平面図および側面図、 第2図は、本発明および従来の種々のセラミック誘電体
についての電圧変化に対するオゾン発生量の変化を示す
グラフ、そして 第3図は、比誘電率に対するオゾン発生量の変化の傾向
を示すグラフである。 1:誘電体、 2:放電電極、 3:誘導電極、 4:高周波高圧電源、 5ニオ−バーコード保護膜。
ミックオゾナイザの正面図、平面図および側面図、 第2図は、本発明および従来の種々のセラミック誘電体
についての電圧変化に対するオゾン発生量の変化を示す
グラフ、そして 第3図は、比誘電率に対するオゾン発生量の変化の傾向
を示すグラフである。 1:誘電体、 2:放電電極、 3:誘導電極、 4:高周波高圧電源、 5ニオ−バーコード保護膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、誘電体および該誘電体を介して対向する放電電極な
らびに誘導電極を備え、この両電極間に高周波高電圧を
印加して沿面コロナ放電を生じさせることによりオゾン
を発生するセラミックオゾナイザにおいて、該誘電体と
して比誘電率が10を越えかつ5000以下のセラミッ
ク誘電体を用いることを特徴とするセラミックオゾナイ
ザ。 2、前記高周波高電圧は電圧が2〜10KVで周波数が
1〜6KHzである、請求項1記載のセラミックオゾナ
イザ。 3、前記セラミック誘電体はZrO_2、 TiO_2またはBaTiO_3で構成される、請求項
1記載のセラミックオゾナイザ。 4、前記放電電極は線材化した導体材料で構成される、
請求項1記載のセラミックオゾナイザ。 5、前記放電電極は導体材料のメタライズによって形成
される、請求項1記載のセラミックオゾナイザ。 6、前記誘導電極は導体材料のメタライズによって形成
される、請求項1記載のセラミックオゾナイザ。 7、前記誘導電極は金属箔によって形成される、請求項
1記載のセラミックオゾナイザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14089A JPH02181384A (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | セラミックオゾナイザ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14089A JPH02181384A (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | セラミックオゾナイザ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02181384A true JPH02181384A (ja) | 1990-07-16 |
Family
ID=11465721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14089A Pending JPH02181384A (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | セラミックオゾナイザ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02181384A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1064698A (ja) * | 1996-08-19 | 1998-03-06 | Yasunobu Inoue | プラズマ発生方法,プラズマ発生装置およびプラズマ発生素子 |
-
1989
- 1989-01-05 JP JP14089A patent/JPH02181384A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1064698A (ja) * | 1996-08-19 | 1998-03-06 | Yasunobu Inoue | プラズマ発生方法,プラズマ発生装置およびプラズマ発生素子 |
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