JPH0714341Y2 - オゾン発生用放電体 - Google Patents
オゾン発生用放電体Info
- Publication number
- JPH0714341Y2 JPH0714341Y2 JP5038189U JP5038189U JPH0714341Y2 JP H0714341 Y2 JPH0714341 Y2 JP H0714341Y2 JP 5038189 U JP5038189 U JP 5038189U JP 5038189 U JP5038189 U JP 5038189U JP H0714341 Y2 JPH0714341 Y2 JP H0714341Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- discharge
- electrode
- ozone
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はオゾンを発生させるための放電体に関するもの
である。
である。
オゾンは乾燥空気中で放電を行うことにより得られるも
ので、強い酸化作用を持ち、脱臭、殺菌、漂白などに使
用されている。
ので、強い酸化作用を持ち、脱臭、殺菌、漂白などに使
用されている。
このようなオゾンを発生させるための放電体として、特
開昭59-44782号、59-44797号公報に示されているように
セラミックを用いたものが考えられている。
開昭59-44782号、59-44797号公報に示されているように
セラミックを用いたものが考えられている。
これは、第６図、第７図に示すように、２枚の未焼成セ
ラミック板11a、11bを焼成一体化してなるセラミック板
11の表面に線状の放電電極12を、内部に面状の誘導電極
13をそれぞれ形成してなるものであり、前記放電電極12
は端部を通じて裏面に電極取出部12aを備え、誘導電極1
3はスルーホールを通じ、裏面に電極取出部13aを備えて
いる。これらの電極取出部12a、13aに高電圧を印加すれ
ば放電電極12より沿面放電が生じ、オゾンを発生させる
ようになっていた。
ラミック板11a、11bを焼成一体化してなるセラミック板
11の表面に線状の放電電極12を、内部に面状の誘導電極
13をそれぞれ形成してなるものであり、前記放電電極12
は端部を通じて裏面に電極取出部12aを備え、誘導電極1
3はスルーホールを通じ、裏面に電極取出部13aを備えて
いる。これらの電極取出部12a、13aに高電圧を印加すれ
ば放電電極12より沿面放電が生じ、オゾンを発生させる
ようになっていた。
また、このようなオゾン発生用放電体は、放電中に、表
面の放電電極12が酸化されて消耗しやすいため、たとえ
ば特開昭57-196703号公報に示されるように、放電領域
にガラスを被覆したり、あるいは本出願人が特願昭63-7
2702号としてすでに提案したように、放電電極12をセラ
ミックスで被覆することが考えられていた。
面の放電電極12が酸化されて消耗しやすいため、たとえ
ば特開昭57-196703号公報に示されるように、放電領域
にガラスを被覆したり、あるいは本出願人が特願昭63-7
2702号としてすでに提案したように、放電電極12をセラ
ミックスで被覆することが考えられていた。
ところが、放電領域をガラスで被覆したものでは、やは
りガラス層が放電により浸食されてオゾン発生効率が低
下するため、オゾン発生量を一定に保つためには頻繁に
印加電圧を調整しなければならないという問題点があっ
た。
りガラス層が放電により浸食されてオゾン発生効率が低
下するため、オゾン発生量を一定に保つためには頻繁に
印加電圧を調整しなければならないという問題点があっ
た。
また、放電電極12をセラミックスで被覆したものは、放
電電極12の消耗はないが、セラミック被覆層表面の付着
物を除去しにくかった。即ち、これらの放電体は、定期
的にベンジンを浸したガーゼで放電領域を払拭し、付着
物を除去するようにしていたが、セラミック被覆層の表
面は粗面となっているため付着物が除去しにくく、この
付着物によってオゾン発生効率が低下してしまうという
問題点があった。
電電極12の消耗はないが、セラミック被覆層表面の付着
物を除去しにくかった。即ち、これらの放電体は、定期
的にベンジンを浸したガーゼで放電領域を払拭し、付着
物を除去するようにしていたが、セラミック被覆層の表
面は粗面となっているため付着物が除去しにくく、この
付着物によってオゾン発生効率が低下してしまうという
問題点があった。
上記に鑑みて本考案は、オゾン発生用放電体において、
セラミック体の表面に形成した放電電極をセラミックス
からなる第１被覆層で覆い、さらに該第１被覆層をガラ
スからなる第２被覆層で覆ったものである。
セラミック体の表面に形成した放電電極をセラミックス
からなる第１被覆層で覆い、さらに該第１被覆層をガラ
スからなる第２被覆層で覆ったものである。
以下、本考案実施例に係るオゾン発生用放電体を図によ
って説明する。
って説明する。
第１図に分解斜視図を、第２図に断面図をそれぞれ示す
ように、本考案のオゾン発生用放電体は、セラミック板
１の表面に線状の放電電極２、内部に面状の誘導電極３
をそれぞれ備え、前記放電電極２を覆うように、セラミ
ックスからなる第１被覆層４を形成し、さらにこの第１
被覆層４を覆うようにガラスからなる第２被覆層を形成
したものである。また、前記放電電極２はセラミック板
１の端部を通じて裏面に電極取出部2aを有し、一方内部
電極３はスルーホールを通じてセラミック板１の裏面に
電極取出部3aを有している。これらの電極取出部2a、3a
を通じて、放電電極２、誘導電極３間に交流電圧を印加
すれば、両電極間に放電が生じるようになっている。こ
のとき、放電電極２にはセラミックスからなる第１被覆
層４が形成されているため放電によって消耗することが
なく、また、この第１被覆層４を覆うようにガラスから
なる第２被覆層５が形成されているため、表面がなめら
かで、付着物が除去しやすく、長期にわたって一定のオ
ゾン発生効率を保つことができる。
ように、本考案のオゾン発生用放電体は、セラミック板
１の表面に線状の放電電極２、内部に面状の誘導電極３
をそれぞれ備え、前記放電電極２を覆うように、セラミ
ックスからなる第１被覆層４を形成し、さらにこの第１
被覆層４を覆うようにガラスからなる第２被覆層を形成
したものである。また、前記放電電極２はセラミック板
１の端部を通じて裏面に電極取出部2aを有し、一方内部
電極３はスルーホールを通じてセラミック板１の裏面に
電極取出部3aを有している。これらの電極取出部2a、3a
を通じて、放電電極２、誘導電極３間に交流電圧を印加
すれば、両電極間に放電が生じるようになっている。こ
のとき、放電電極２にはセラミックスからなる第１被覆
層４が形成されているため放電によって消耗することが
なく、また、この第１被覆層４を覆うようにガラスから
なる第２被覆層５が形成されているため、表面がなめら
かで、付着物が除去しやすく、長期にわたって一定のオ
ゾン発生効率を保つことができる。
このようなオゾン発生用放電体の製法は、まず２枚の未
焼成セラミック板1a、1bを用意し、一方のセラミック板
1aには線状の放電電極２を、他方のセラミック板1bには
面状の誘導電極３をそれぞれタングステン、モリブデン
などのペーストを塗布して形成する。次にこれらの未焼
成セラミック板1a、1bを積層し、放電電極２を覆うよう
にセラミックスからなる第１被覆層４を形成して、全体
を焼成一体化した後、ガラスからなる第２被覆層５を形
成すればよい。
焼成セラミック板1a、1bを用意し、一方のセラミック板
1aには線状の放電電極２を、他方のセラミック板1bには
面状の誘導電極３をそれぞれタングステン、モリブデン
などのペーストを塗布して形成する。次にこれらの未焼
成セラミック板1a、1bを積層し、放電電極２を覆うよう
にセラミックスからなる第１被覆層４を形成して、全体
を焼成一体化した後、ガラスからなる第２被覆層５を形
成すればよい。
なお、上記セラミック板１は、アルミナ、ジルコニア、
フォルステライトなど誘電率が５〜10程度のセラミック
スを用いる。また、上記第１被覆層４は前記セラミック
板１と同種類のセラミックスまたは同程度の熱膨張係数
を有する絶縁性セラミックスを印刷、吹き付け、PVD
（物理的蒸着）法、CVD（化学的蒸着）法などの手段に
よって形成したものであり、この第１被覆層４は放電電
極２を完全に覆っているだけでなく、誘導電極３よりも
広い範囲に形成されている。さらに、第２被覆層５は、
硼硅酸ガラス等のガラスを、前記第１被覆層４を覆う範
囲にスクリーン印刷した後、焼成することによって形成
したものである。
フォルステライトなど誘電率が５〜10程度のセラミック
スを用いる。また、上記第１被覆層４は前記セラミック
板１と同種類のセラミックスまたは同程度の熱膨張係数
を有する絶縁性セラミックスを印刷、吹き付け、PVD
（物理的蒸着）法、CVD（化学的蒸着）法などの手段に
よって形成したものであり、この第１被覆層４は放電電
極２を完全に覆っているだけでなく、誘導電極３よりも
広い範囲に形成されている。さらに、第２被覆層５は、
硼硅酸ガラス等のガラスを、前記第１被覆層４を覆う範
囲にスクリーン印刷した後、焼成することによって形成
したものである。
また、前記第１被覆層４の膜厚t1が15μｍより小さいと
ピンホールが生じて、電極が早期に酸化してしまうた
め、第１被覆層４の膜厚t1は15μｍ以上としたものが優
れていた。一方、第２被覆層５の膜厚t2については、表
面をなめらかにするためには５μｍ以上としたものが優
れていた。さらに、これら第１被覆層４、第２被覆層５
の膜厚の和t1＋t2が、両電極間の距離Ｔの1/2より大き
いと、放電しにくくなり、オゾン発生効率が極端に悪く
なってしまうため、これらの膜厚の和t1＋t2は電極間の
距離Ｔの1/2以下としたものが優れていた。
ピンホールが生じて、電極が早期に酸化してしまうた
め、第１被覆層４の膜厚t1は15μｍ以上としたものが優
れていた。一方、第２被覆層５の膜厚t2については、表
面をなめらかにするためには５μｍ以上としたものが優
れていた。さらに、これら第１被覆層４、第２被覆層５
の膜厚の和t1＋t2が、両電極間の距離Ｔの1/2より大き
いと、放電しにくくなり、オゾン発生効率が極端に悪く
なってしまうため、これらの膜厚の和t1＋t2は電極間の
距離Ｔの1/2以下としたものが優れていた。
次に本考案の他の実施例を説明する。
第３図（ａ）（ｂ）に示すオゾン発生用放電体は、セラ
ミック板１の表面に櫛状の放電電極２、内部に誘導電極
３を備えたもので、この放電電極２をセラミックスから
なる第１被覆層４で覆い、さらにガラスからなる第２被
覆層５で覆ったものである。
ミック板１の表面に櫛状の放電電極２、内部に誘導電極
３を備えたもので、この放電電極２をセラミックスから
なる第１被覆層４で覆い、さらにガラスからなる第２被
覆層５で覆ったものである。
また、第４図（ａ）（ｂ）に示すオゾン発生用放電体
は、円板状のセラミック板１の表面にリング状の放電電
極２を、内部に誘導電極３を備え、それぞれの電極取出
部2a,3aを放電電極２側の表面に形成したものであり、
該放電電極２をセラミックスからなる第１被覆層４で覆
い、この上にガラスからなる第２被覆層５を形成したも
のである。
は、円板状のセラミック板１の表面にリング状の放電電
極２を、内部に誘導電極３を備え、それぞれの電極取出
部2a,3aを放電電極２側の表面に形成したものであり、
該放電電極２をセラミックスからなる第１被覆層４で覆
い、この上にガラスからなる第２被覆層５を形成したも
のである。
さらに第５図（ａ）（ｂ）に示すオゾン発生用放電体
は、放電電極２、誘導電極３を櫛状とし、共にセラミッ
ク板１の同一面上に形成したものであり、これらの電極
をすべてセラミックスからなる第１被覆層４で覆い、該
第１被覆層４をガラスからなる第２被覆層５で覆ってあ
る。
は、放電電極２、誘導電極３を櫛状とし、共にセラミッ
ク板１の同一面上に形成したものであり、これらの電極
をすべてセラミックスからなる第１被覆層４で覆い、該
第１被覆層４をガラスからなる第２被覆層５で覆ってあ
る。
このように、セラミック板１や各電極の形状は自由に変
化させることができるが、いずれのものでもセラミック
スからなる第１被覆層４により放電電極２の消耗を防止
でき、かつガラスからなる第２被覆層５により表面をな
めらかな面とできるため、付着物の除去を容易にするこ
とができる。
化させることができるが、いずれのものでもセラミック
スからなる第１被覆層４により放電電極２の消耗を防止
でき、かつガラスからなる第２被覆層５により表面をな
めらかな面とできるため、付着物の除去を容易にするこ
とができる。
ここで、実際に第１図、第２図に示した本考案のオゾン
発生用放電体を試作して、試験を行った。セラミック体
１はAl2O3含有量92％で、残部がMgO,SiO2,CaO,等からな
るアルミナセラミックスにより形成し、両電極間の距離
Ｔを0.5mmとした。また放電電極２、誘導電極３はいず
れもタングステンにより、厚み10μｍに形成し、第１被
覆層４はセラミック板１と同じ成分のアルミナセラミッ
クスを用いて膜厚t1を17μｍ、第２被覆層５は硼珪酸ガ
ラスを用いて、膜厚T2を６μｍとした。
発生用放電体を試作して、試験を行った。セラミック体
１はAl2O3含有量92％で、残部がMgO,SiO2,CaO,等からな
るアルミナセラミックスにより形成し、両電極間の距離
Ｔを0.5mmとした。また放電電極２、誘導電極３はいず
れもタングステンにより、厚み10μｍに形成し、第１被
覆層４はセラミック板１と同じ成分のアルミナセラミッ
クスを用いて膜厚t1を17μｍ、第２被覆層５は硼珪酸ガ
ラスを用いて、膜厚T2を６μｍとした。
さらに比較例として、全く同一形状、材質でアルミナセ
ラミックスの被覆層のみを形成したもの、およびガラス
の被覆層のみを形成したものをそれぞれ用意した。
ラミックスの被覆層のみを形成したもの、およびガラス
の被覆層のみを形成したものをそれぞれ用意した。
これらの本考案実施例、比較例のオゾン発生用放電体に
対し、オゾン発生量の初期値が0.11ppmとなるように調
整した高周波電圧を加え、温度６℃、湿度40％の雰囲気
中で３ケ月間使用した後のオゾン発生量を調べ、続いて
放電領域をベンジンを浸したガーゼを用いて手で払拭し
た後のオゾン発生量を調べた。結果は第１表の通りであ
る。
対し、オゾン発生量の初期値が0.11ppmとなるように調
整した高周波電圧を加え、温度６℃、湿度40％の雰囲気
中で３ケ月間使用した後のオゾン発生量を調べ、続いて
放電領域をベンジンを浸したガーゼを用いて手で払拭し
た後のオゾン発生量を調べた。結果は第１表の通りであ
る。
第１表より、ガラスからなる被覆層のみしか形成してい
ない比較例2-1〜2-3は、３ケ月後のオゾン発生量が初期
値に対して35〜43％減少し、払拭によってかなり回復す
るものの、それでも初期値に対し18〜22％程度低いもの
であった。また、払拭後の表面を観察すると、ガラス層
の一部が放電のため熔解しており、このためにオゾン発
生効率が低下したものと考えられる。
ない比較例2-1〜2-3は、３ケ月後のオゾン発生量が初期
値に対して35〜43％減少し、払拭によってかなり回復す
るものの、それでも初期値に対し18〜22％程度低いもの
であった。また、払拭後の表面を観察すると、ガラス層
の一部が放電のため熔解しており、このためにオゾン発
生効率が低下したものと考えられる。
さらに、セラミックスからなる被覆層のみしか形成して
いない比較例3-1〜3-3は、３ケ月後のオゾン発生量が初
期値に対して22〜25％程度の減少であったが、払拭して
もあまり回復せず、初期値に対し12〜15％減少した値で
あった。また、第１表には示していないが、このあと放
電体を取り出して超音波洗浄を行い、再びオゾン発生量
を測定したところ、初期値と全く同じレベルまで回復し
た。即ち、比較例3-1〜3-3については、ガーゼで表面を
払拭する程度では付着物が除去しきれず、残った付着物
のためにオゾン発生効率が低下したものと考えられる。
いない比較例3-1〜3-3は、３ケ月後のオゾン発生量が初
期値に対して22〜25％程度の減少であったが、払拭して
もあまり回復せず、初期値に対し12〜15％減少した値で
あった。また、第１表には示していないが、このあと放
電体を取り出して超音波洗浄を行い、再びオゾン発生量
を測定したところ、初期値と全く同じレベルまで回復し
た。即ち、比較例3-1〜3-3については、ガーゼで表面を
払拭する程度では付着物が除去しきれず、残った付着物
のためにオゾン発生効率が低下したものと考えられる。
これらに対し、本考案実施例1-1〜1-3のものは、３ケ月
後のオゾン発生量が、初期値に対して20〜23％減少した
程度であり、しかも払拭後は初期値に対し０〜４％減少
した値にまで回復し、優れた結果を示した。
後のオゾン発生量が、初期値に対して20〜23％減少した
程度であり、しかも払拭後は初期値に対し０〜４％減少
した値にまで回復し、優れた結果を示した。
（考案の効果） 叙上のように本考案によれば、オゾン発生用放電体にお
いて、セラミック体の表面に形成した放電電極をセラミ
ックスからなる第１被覆層で覆い、さらに該第１被覆層
をガラスからなる第２被覆層で覆ったことによって、放
電による電極の消耗を防止し、かつ表面がなめらかな面
となるため、払拭するだけで容易に付着物を除去できる
ことから、長期にわたって一定のオゾン発生効率を維持
することができ、長期使用が可能となるなどの特長をも
ったオゾン発生用放電体を提供することができる。
いて、セラミック体の表面に形成した放電電極をセラミ
ックスからなる第１被覆層で覆い、さらに該第１被覆層
をガラスからなる第２被覆層で覆ったことによって、放
電による電極の消耗を防止し、かつ表面がなめらかな面
となるため、払拭するだけで容易に付着物を除去できる
ことから、長期にわたって一定のオゾン発生効率を維持
することができ、長期使用が可能となるなどの特長をも
ったオゾン発生用放電体を提供することができる。
第１図は本考案実施例に係るオゾン発生用放電体を示す
分解斜視図、第２図は第１図中のA-A線断面図である。 第３図（ａ）、第４図（ａ）、第５図（ａ）はそれぞれ
本考案の他の実施例を示す斜視図、第３図（ｂ）は同図
（ａ）中のB-B線断面図、第４図（ｂ）は同図（ａ）中
のC-C線断面図、第５図（ｂ）は同図（ａ）中のD-D線断
面図である。 第６図は従来のオゾン発生用放電体を示す分解斜視図、
第７図は第６図中のE-E線断面図である。 1:セラミック板、2:放電電極 3:誘導電極、4:第１被覆層 5:第２被覆層
分解斜視図、第２図は第１図中のA-A線断面図である。 第３図（ａ）、第４図（ａ）、第５図（ａ）はそれぞれ
本考案の他の実施例を示す斜視図、第３図（ｂ）は同図
（ａ）中のB-B線断面図、第４図（ｂ）は同図（ａ）中
のC-C線断面図、第５図（ｂ）は同図（ａ）中のD-D線断
面図である。 第６図は従来のオゾン発生用放電体を示す分解斜視図、
第７図は第６図中のE-E線断面図である。 1:セラミック板、2:放電電極 3:誘導電極、4:第１被覆層 5:第２被覆層
Claims (1)
- 【請求項１】セラミック体の表面に放電電極を備えたオ
ゾン発生用放電体において、前記放電電極をセラミック
スからなる第１被覆層で覆うとともに、さらに該第１被
覆層をガラスからなる第２被覆層で覆ったことを特徴と
するオゾン発生用放電体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5038189U JPH0714341Y2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | オゾン発生用放電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5038189U JPH0714341Y2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | オゾン発生用放電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02142436U JPH02142436U (ja) | 1990-12-03 |
| JPH0714341Y2 true JPH0714341Y2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=31568877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5038189U Expired - Fee Related JPH0714341Y2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | オゾン発生用放電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714341Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2526706Y2 (ja) * | 1991-10-14 | 1997-02-19 | 東陶機器株式会社 | オゾナイザ |
| JP2009042317A (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Sharp Corp | イオン発生素子、イオン発生素子の製造方法、帯電装置、および画像形成装置 |
| JP2013060327A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生素子 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP5038189U patent/JPH0714341Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02142436U (ja) | 1990-12-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0863545A3 (en) | Monocrystalline ceramic electrostatic chuck | |
| JPH0714341Y2 (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JP2822062B2 (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH0222998B2 (ja) | ||
| JPH0760849B2 (ja) | 静電チャック板 | |
| JPH06290989A (ja) | チップ状回路部品 | |
| JP2873205B2 (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JP2608477B2 (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH01246104A (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH0730657Y2 (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH0727961B2 (ja) | 静電チャック板の製造方法 | |
| JPS63206303A (ja) | オゾン発生器 | |
| Prinsloo et al. | Manufacture, behaviour and modelling of BaTiO/sub 3/nonlinear ceramic disc capacitors for high-voltage applications | |
| JP2608477C (ja) | ||
| JP2003327419A (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH05184915A (ja) | 放電反応装置 | |
| JP2002084768A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH02267286A (ja) | ホーロ基板 | |
| JPH02296764A (ja) | 磁器製造法 | |
| JP2580615B2 (ja) | 温度センサ | |
| JP2000111265A (ja) | セラミック焼成用ローラ及びそれを用いたセラミック焼結体の製造方法 | |
| JPH0633933U (ja) | セラミックオゾン発生用放電体 | |
| JPH04263409A (ja) | 外部電極用導電性ペ―ストの付着方法 | |
| JPH06305867A (ja) | 溶射皮膜の封孔処理方法及び皮膜複合体 | |
| JPS60173843A (ja) | 粉体被膜形成法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |