JP2576673B2 - 液晶表示素子基板のバスラインの検査方法 - Google Patents
液晶表示素子基板のバスラインの検査方法Info
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
関し、特にバスラインショートを短時間で検査する方法
に関する。
れに伴ってバスライン数の増加が著しい。最近では、容
量が400×640つまりX方向バスライン400本,Y方向バス
ラインが640本であるOA用表示素子も市場に出現してい
る。さらに、カラー表示素子においては、容量が400×6
40×3と、X方向,Y方向のいずれかのバスラインが3倍
の本数のバスラインを有している。
オープンもしくはショートの欠陥を1本も許すことはで
きない。その欠陥が表示上白線黒線として大きな表示欠
陥として見えるため全く商品価値を失うためである。
ラインを有した基板を製造する過程のバスライン無欠陥
歩留りは80%以下が一般的な現状である。さらに、バス
ライン欠陥の内、オープンよりショート不良の方がはる
かに多発している。これは表示素子の大容量,大面積化
に伴って増々困難な課題となりつつある。
スライン検査を受け、良品,不良品の判定やプロセスチ
ェックなどが行われている。従来のバスライン検査は特
に確立した検査方法が無かった。上記のようにバスライ
ン数が数千本となり、0.1〜0.3mm程度のファインピッチ
となったが、検査方法を試行している程度であった。
又、工業製品製造上当然のことながら、高速に検査を行
なう必要があるが、確立されていない。一般的には、例
えば第7図に示すようなバスライン73の両端に接続端子
用兼プローブ用端子71,プローブ用端子72が各々のバス
ライン1本ごとに対で設けられた基板とし、バスライン
1本,1本及びバスライン間ごとの抵抗測定をプローブ針
やなぞり針を用いて行ない、抵抗の極端に大きい場合に
オープン、小さい場合をショートとして判定する検査が
行われている。
本及び各バスライン間ごとの抵抗測定を順次行なう方式
であるため、著しく長い検査時間を要する欠点があっ
た。
査方法は、基板上のXもしくはY方向又はX−Y方向の
長手方向に表示領域外まで設けられたバスラインの少な
くとも片端にもしくは1本おきに両端の交互にプローブ
針が接触可能な面積の端子を設け、かつ前記両端の1本
おきの端子に、電圧電流計及び信号切換器(マルチスキ
ャナー)に接続された複数の偶数本nからなるプローブ
針群を同時に対向する両端に接触させ、まず片端側どう
しのプローブ針群の全てを前記信号切換器でショートさ
せ、両端のプローブ針群で切換器よりフォース・センス
を切換えることによりI−V測定を行ない、設定された
バスライン1本の設計概抵抗値Rbとバスラインのショー
ト抵抗値Rs及びバスライン間絶縁抵抗値Riと、前記I−
V測定から算出される測定抵抗Rmとの関係から判定され
るバスライン間ショートの有無を判定し、前記基板上に
設けられたXもしくはY又はX−Y方向のバスライン数
mを前記プローブ針群の本数nで、ブロック数A(A=
m/2n−1,ただし小数以下は切り上げ)に分割された各々
のブロックをブロック端の端子を重複接触するようにプ
ローブ針群を順次移動させ、前記ブロック内でバスライ
ン間ショートが無い場合は順次次のブロック内のI−V
測定を行ないショートの有無の判断をし、全ブロック内
でショートが無い場合は全バスライン間にショートが無
いもの(良品)と判断し、途中のブロック内でショート
が有る場合はプローブ針群の移動を中止し、不良品と判
定し、次に必要に応じ、プローブ針群を前記切換器によ
りショートのあるブロックの端子数b(b=2n)に応じ
て2分割し、前記バスライン両端のe本(e=(b−
1)/4,ただし小数以下切り上げ)のプローブ針の対向
もしくはe本とe±1本との対向として、ブロック内の
2分割された小ブロック内を前記のごとくバスライン間
ショート有無の判断を行ない、前記小ブロックのどちら
か、バスライン間ショートが有る方をさらに小ブロック
内端子数Bに応じて、さらに順次2分割し、バスライン
両端のE本(E=(B−1)/4,ただし小数以下切上
げ)のプローブ針の対向もしくはE本とE±1本との対
向としてブロック内のバスライン間ショート有無の判断
を順次行なう、ブロック追込み方式によりショートして
いるバスライン間を特定することを特徴とする。
図は本発明の実施例の検査手順を示す概略図である。Y,
Nはイエス・ノーの判断を示す。検査手順は前述の問題
を解決するための手段の項で述べたので略する。しか
し、もう少し具体的に補足して以下実施例を説明する。
本のバスライン23の片方の端には、外部回路と接続する
ための端子にプローブ針を接触させる接触端子兼プロー
ブ用端子21が設けられ、他方の端には1本おきに80μ□
のプローブ用端子22が設けられた基板となっている。こ
の基板を片側52本のプローブ針群となった1対のプロー
バーでバスラインショートチェックを行った。第3図に
示すように最初のバスライン番号1〜104,104〜207,207
〜310とプローブ針群ごとブロック分割しショートテス
トを行ったところ、第3図ブロック目の207〜310で、バ
スライン1本の設計概略抵抗値Rbが10KΩで、バスライ
ン間絶縁抵抗値Riが約100MΩであるのに対して、I−V
測定から算出された測定抵抗Rmが16KΩであったため、
ショート個所有りと判定し、プローブ針群のブロック間
移動を中止し、そのまま固定した。ちなみに、他の第1,
第2ブロック測定抵抗Rmは800KΩ,2MΩであった。次
に、207〜310のブロック内にあるプローブ針群を両側と
も26本ごとに2分し、小ブロックを形成し、その小ブロ
ックをまとめて上記のようなショートを行った所、259
〜310の小ブロック内のショートがあった。このように
して、ブロックをさらに順次2分した小ブロック化し、
ショートテストを繰返した結果、309〜310のバスライン
間にショートが存在することが特定できた。309〜310間
の場合、従来は309回の測定でしか発見されず、検査に
極めて長時間を要していたが、本発明の場合はわずか8
回の測定で発見特定でき効果が著しい。
の1例である。バスライン43の両側に1本おき接続端子
用兼プローブ用端子41が設けられている。このように表
示容量が大きくなり、バスラインピッチが小さくなる
と、接続端子ピッチとの関係から、両端に交互に端子を
引き出す場合もある。この場合は、接続端子用兼プロー
ブ用端子41としてそのまま用いる。実施例1と同様にブ
ロックでショート検査を行った。全てのブロックでショ
ートが無いので、良品として次工程に送った。この場合
は4回の測定で完了してしまい極めて検査時間が短い。
ブロックでショートが発見されたが、ショート個所の特
定を要しない基板仕様であったため、不良品の判定のみ
で検査を終了した。
された基板のX−Yマトリックス間のショート検査を行
った。Yバスライン50とXバスライン57とは絶縁層を介
して積層されて設られている。下層に設けられたXバス
ライン57の両端子は、一方は接続端子兼プローブ用X端
子55,他方はプローブ用X端子56として絶縁層から露出
されて、プロービング可能な構造となっている。Yバス
ライン50の方も接続端子兼プローブ用Y端子58,プロー
ブ用Y端子59がそれぞれ設けられている。
行った。接続端子兼プローブ用X端子55及び接続端子兼
ブローブ用Y端子58に、プローブ針群をそれぞれ端子番
号に従い一括接触させ、Xブロック,Yブロックで囲まれ
た2次元ブロック内のショートの有無をX用プローブ針
群,Y用プローブ針群間でのI−V測定よりチェックし
た。
プローブ針群を固定しておいて、Yバスラインの次のブ
ロックに順次移動させ、同様にショートの有無をチェッ
クした。さらに、Xプローブ針群を順次次のブロックに
移動させるごと上記のごとくYプローブ針群をYバスラ
インのブロック間移動させX−Yのブロックマトリック
スでショートの有無をチェックした。ちなみに、上記一
連のチェックの中でショートが無ければ良品として次工
程送りを行ない、ショートがあれば不良品として途中で
検査を終了する。もし、ショートしているX−Yクロス
バスラインを特定する場合は、実施例1のようにプロー
ブ針群の移動を中止して固定し、それぞれプローブ針群
をさらに小ブロックに2分割しながらX−Yの小ブロッ
ク4間でのショートの有無を順次チェックしてゆき、追
い込みブロック方式により特定する。
ショート検査において、従来はX−Yの線数の積、例え
ば400×640=256,000回の測定チェックが必要であった
のに比較し、本発明による方法によれば、例えば52本の
プローブ針を用いた場合13×18=234回以下で済み、約1
/1000の回数で検査を終了でき極めて検査時間を短縮で
きる。
ライン63の片方の端は共通のプローブ用端子60に全バス
ラインが接続されており、他方の端は接続端子兼プロー
ブ用端子61が各バスライン63ごと設けられている。この
場合は実施例1〜3で示した検査方法において、両側の
プローブ針群を移動させてもかまわないが、片側のプロ
ーブ針群のブロック間移動及びプローブ針群の小ブロッ
ク分割を行い同様の目的を達成できた。
スラインごとにプローブ用端子72が設けられた場合は、
接続端子兼プローブ用端子71及びプローブ用端子72の交
互の1本おきにプローブ針群を接触させて、実施例1〜
3と同様の目的を達成できた。
ブ針群でブロック分割して、追込みブロック分割方式に
よりショートチェックを行なう検査とすることにより、
従来に比し極めて検査時間を短縮できる効果がある。
の絶縁抵抗は数百MΩ〜数TΩあり、バスライン間をブ
ロックにまとめて測定する場合でも、プローブ針群のプ
ローブ針数は100本以下ではショート無しでは数MΩ以
上、ショート有りでは数十KΩ以下となり、判断ミスを
少なく検査できる効果もある。さらに、従来例の液晶表
示素子基板の第7図のような端子配置でも上記と同様に
目的を達成できる効果もある。
図,第4図,第5図,第6図は本発明の実施例に用いら
れる表示素子基板の端子配置を示した概略図、第3図は
本発明の実施例において、バスライン数をブロック分割
してゆく過程を説明する図、第7図は従来例および本発
明の実施例に用いられる表示素子基板の端子配置を示し
た概略図である。 21,41,61,71……接続端子兼プローブ用端子、22,72……
プローブ用端子、23,43,63,73……バスライン、55……
接続端子兼プローブ用X端子、58……接続端子兼プロー
ブ用Y端子、60……共通プローブ用端子。
Claims (1)
- 【請求項1】液晶表示素子基板上のXもしくはY方向又
はX−Y方向の長手方向に表示領域外まで設けられたバ
スラインの少なくとも片端にもしくは1本おきに両端の
交互にプローブ針が接触可能な面積の端子を設け、かつ
前記両端の1本おきの端子に、電圧電流計及び信号切換
器(マルチスキャナー)に接続された複数の偶数本nか
らなるプローブ針群を同時に対向する両端に接続させ、
まず片端側どうしのプローブ針群の全てを前記信号切換
器でショートさせ、両端のプローブ針群で切換器よりフ
ォースセンスを切換えることによりI−V測定を行な
い、設定されたバスライン1本の設計概抵抗値Rbとバス
ラインのショート抵抗値Rs及びバスライン間の絶縁抵抗
値Riと、前記I−V測定から算出される測定抵抗Rmとの
関係から判定されるバスライン間ショートの有無を判断
し、前記基板上に設けられたXもしくはY又はX−Y方
向のバスライン数mを前記プローブ針群の本数nでブロ
ック数A(A=m/2n−1,ただし小数以下は切り上げ)に
分割された各々のブロックをブロック端の端子を重複接
触するようにプローブ針群を順次移動させ、前記ブロッ
ク内でバスライン間ショートが無い場合は順次次のブロ
ック内のI−V測定を行ないショートの有無の判断を
し、全ブロック内ショートが無い場合は全バスライン間
にショートが無いもの(良品)と判断し、途中のブロッ
ク内でショートが有る場合は、プローブ針群の移動を中
止し、不良品と判定し、次に必要に応じ、プローブ針群
を前記切換器によりショートのあるブロックの端子数b
(b=2n)に応じて2分割し、前記バスライン両端のe
本(e=b−1/4,ただし小数以下切上げ)のプローブ針
の対向もしくはe本とe±1本との対向として、ブロッ
ク内の2分割された小ブロック内を前記のごとくバスラ
イン間ショート有無の判断を行ない、前記小ブロックの
どちらか、バスライン間ショートが有る方をさらに小ブ
ロック内端子数Bに応じてさらに順次2分割し、バスラ
イン両端のE本(E=B−1/4,ただし小数以下切上げ)
のプローブ針の対向もしくはE本とE±1本との対向と
してブロック内のバスライン間ショート有無の判断を順
次行なうブロック追込み方式によりショートしているバ
スライン間を設定することを特徴とする液晶表示素子基
板のバスラインの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2188533A JP2576673B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 液晶表示素子基板のバスラインの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2188533A JP2576673B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 液晶表示素子基板のバスラインの検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0475029A JPH0475029A (ja) | 1992-03-10 |
JP2576673B2 true JP2576673B2 (ja) | 1997-01-29 |
Family
ID=16225372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2188533A Expired - Lifetime JP2576673B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 液晶表示素子基板のバスラインの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2576673B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002277848A (ja) * | 2001-03-22 | 2002-09-25 | Adtec Engineeng Co Ltd | 液晶基板及び検査装置 |
JP2007108341A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | アクティブマトリックス型表示装置 |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP2188533A patent/JP2576673B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0475029A (ja) | 1992-03-10 |
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