JP4183604B2 - 現像装置および現像方法 - Google Patents
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Description
(前洗浄)
使用済みの現像液を使用して、カップおよび配管内に残ってリンス液などを除去する。
(1回目現像)
未使用の現像液を使用する。これは最初の現像であるため現像液の劣化が激しくなるためであり、使用済みの現像液は全て廃棄する。
(2回目現像)
使用済みの現像液を使用する。この2回目現像で使用した現像液は濃度が低下しているため、全て廃棄する。
(3回目現像)
未使用の現像液を使用する。この3回目現像で使用した現像液は濃度はそれほど低下しないため、旧液タンク22に回収して再利用する。
(4回目現像)
未使用の現像液を使用する。この4回目現像で使用した現像液も濃度はそれほど低下しないため、旧液タンク22に回収して再利用する。
前洗浄から3回目現像までは前記と同様である。
(4回目現像)
使用済みの現像液を使用する。この4回目現像で使用した現像液は濃度が低下しているため、全て廃棄する。
(5回目現像)
未使用の現像液を使用する。この5回目現像で使用した現像液は濃度はそれほど低下しないため、旧液タンク22に回収して再利用する。
Claims (2)
- 被処理物表面に現像液を盛り付け、一定時間経過後に被処理物から現像液を除去する現像方法において、現像に先立って被処理物から回収した使用済みの現像液または未使用の現像液を用いてカップ内および配管内に残っているリンス液の除去を行い、次いで複数回の現像を連続して行うにあたり、被処理物から回収した使用済みの現像液または未使用の現像液を用いることを特徴とする現像方法。
- 請求項1に記載の現像方法において、前記複数回の現像のうち最初の現像と最後の現像には未使用の現像液を用いて行うことを特徴とする現像方法。
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