KR100862987B1 - 기판 반송장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 기판을 반송하는 제1 반송부;상기 제1 반송부 일단과 떨어져서 배치되는 제2 반송부;상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 사이에서 일단이 힌지 결합으로 각각 고정되어 기판 반송 구간 내에서 기판의 반송 중에 현상액의 액절이 가능하고 경사 반송 각도 및 연결 형태를 조절할 수 있는 가변의 경사 반송 구간을 형성하는 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부를 구비한 제3 반송부;상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부를 힌지 결합 지점을 중심으로 회동시키면서 경사 반송 각도 및 연결 형태를 제어하기 위한 반송 제어부;를 포함하며,상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부는,힌지 결합 지점을 중심으로 회동되면서 상향 경사진 상태로 연결된 가변 반송 구간 또는, 상향 및 하향 경사진 상태로 연결된 가변 반송 구간을 제공할 수 있도록 셋팅되는 기판 반송장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 제1 반송부는,복수 개의 반송용 로울러들로 구성되는 로울러 컨베이어 타입으로 이루어지며,기판에 현상액을 공급하기 위한 챔버부 내부 일측에서 타측으로 기판을 반송할 수 있도록 셋팅되는 기판 반송장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 제2 반송부는,복수 개의 반송용 로울러들로 구성되는 로울러 컨베이어 타입으로 이루어지며,기판에 세정액을 공급하기 위한 챔버부 내부 일측에서 타측으로 기판을 반송할 수 있도록 셋팅되는 기판 반송장치.
- 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 반송부 및 제2 반송부는,기판의 반송 구간 높이가 수평하거나 어느 하나의 반송 구간이 다른 하나의 반송구간보다 더 높게 셋팅되는 기판 반송장치.
- 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,상기 제2 반송부는,기판의 반송 구간 높이가 상기 제1 반송부의 반송 구간보다 높게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부는,복수 개의 반송용 로울러들로 구성되는 로울러 컨베이어 타입으로 이루어지는 기판 반송장치.
- 삭제
- 청구항 1에 있어서,상기 반송 제어부는,동력을 발생하는 구동원;상기 구동원에 의해 업/다운되면서 상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부의 하부를 푸싱 가능하게 지지하는 푸쉬 아암;을 포함하는 기판 반송장치.
- 청구항 8에 있어서,상기 구동원은,모터나 실린더, 스탭핑 모터 중에서 어느 하나를 사용하는 기판 반송장치.
- 청구항 8에 있어서,상기 푸쉬 아암은,상기 구동원의 구동시 캠 운동이나 링크 운동 또는 스크류의 나사 결합력에 의해 동력을 전달받아서 푸싱 동작이 가능하게 업/다운되도록 셋팅되는 기판 반송장치.
- 청구항 8 또는 청구항 10에 있어서,상기 푸쉬 아암은,상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부와 대응하는 두 개의 지지단과, 상기 구동원과 대응하는 연결단을 구비하고,상기 구동원의 구동시 전/후로 이동되는 캠의 경사진 캠면에 상기 연결단이 캠 운동되면서 상기 두 개의 지지단이 일괄 또는 개별적으로 업/다운 가능하게 셋팅되는 기판 반송장치.
- 청구항 8 또는 청구항 10에 있어서,상기 푸쉬 아암은,상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부와 대응하는 두 개의 지지단과, 상기 구동원과 대응하는 연결단을 구비하고,상기 구동원의 구동시 일정 각도로 회전되는 링크에 의해 상기 연결단이 링크 운동되면서 상기 두 개의 지지단이 일괄 또는 개별적으로 업/다운 가능하게 셋팅되는 기판 반송장치.
- 청구항 8 또는 청구항 10에 있어서,상기 푸쉬 아암은,상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부와 대응하는 두 개의 지지단과, 상기 구동원과 대응하는 연결단을 구비하고,상기 구동원에 의해 축선을 중심으로 정/역 회전하는 스크류의 나사 결합력에 의해 상기 두 개의 지지단이 일괄 또는 개별적으로 업/다운 가능하게 셋팅되는 기판 반송장치.
- 청구항 1 또는 청구항 8에 있어서,상기 반송 제어부는,푸싱 동작에 의해 상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부를 회동시키면서 경사 반송 각도 또는 연결 형태를 조절 및 변화시킬 수 있도록 작동되는 기판 반송장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 기판 반송장치는,기판의 반송을 가이드 하기 위한 반송용 가이드부재를 더 포함하며,상기 반송용 가이드부재는,고무 벨트 또는 고무 링 중에서 어느 하나를 사용하고,상기 제1 반송부 및 제2 반송부, 제3 반송부의 반송 구간 내에서 일부 구간 사이를 연결하는 상태로 설치되는 기판 반송장치.
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