JP4238836B2 - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents
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Description
所望の研磨量に対応する研磨加工時間の研磨加工終了時に、全てのキャリアあるいは全てのワークが所定の定位置に位置することができ、研磨品質を高精度に研磨加工できると共に研磨加工時間を正確に制御することができ、高品質のワークを生産効率良く研磨加工することができる研磨方法を提供することができる。
6 ワーク
7 キャリア
8 内歯歯車
9 太陽歯車
14 下定盤
Claims (4)
- 複数のワークを保持したキャリアを複数個、太陽歯車と内歯歯車とにより自転および公転させ、前記ワークを全て一括して研磨加工する研磨方法であって、所望の研磨量に対応する研磨加工時間の研磨加工終了時に、全てのキャリアあるいは全てのワークが所定の定位置に位置するように、研磨加工を開始する前に太陽歯車を所定量だけ回転移動させた後、研磨加工を開始することを特徴とする研磨方法。
- 複数のワークを保持したキャリアを複数個、太陽歯車と内歯歯車とにより自転および公転させ、前記ワークを全て一括して研磨加工する研磨方法であって、所望の研磨量に対応する研磨加工時間の研磨加工終了時に、全てのキャリアあるいは全てのワークが所定の定位置に位置するように、研磨加工を開始する前に太陽歯車および内歯歯車を所定量だけ回転移動させた後、研磨加工を開始することを特徴とする研磨方法。
- 複数のワークを保持したキャリアを複数個、太陽歯車と内歯歯車とにより自転および公転させ、前記ワークを全て一括して研磨加工する研磨装置であって、所望の研磨量に対応する研磨加工時間の研磨加工終了時に、全てのキャリアあるいは全てのワークが所定の定位置に位置するように、研磨加工を開始する前に太陽歯車を所定量だけ回転移動させるように制御する制御システムを有することを特徴とする研磨装置。
- 複数のワークを保持したキャリアを複数個、太陽歯車と内歯歯車とにより自転および公転させ、前記ワークを全て一括して研磨加工する研磨装置であって、所望の研磨量に対応する研磨加工時間の研磨加工終了時に、全てのキャリアあるいは全てのワークが所定の定位置に位置するように、研磨加工を開始する前に太陽歯車および内歯歯車を所定量だけ回転移動させるように制御する制御システムを有することを特徴とする研磨装置。
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