JP2531705B2 - リニアモ―タ搬送装置 - Google Patents
リニアモ―タ搬送装置Info
- Publication number
- JP2531705B2 JP2531705B2 JP62295562A JP29556287A JP2531705B2 JP 2531705 B2 JP2531705 B2 JP 2531705B2 JP 62295562 A JP62295562 A JP 62295562A JP 29556287 A JP29556287 A JP 29556287A JP 2531705 B2 JP2531705 B2 JP 2531705B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- stators
- acceleration
- linear motor
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はリニアモータ搬送装置に関し、特にキャリヤ
上の物品の有無によってその加速度を変更することので
きるリニアモータ搬送装置に関する。
上の物品の有無によってその加速度を変更することので
きるリニアモータ搬送装置に関する。
従来のリニアモータ搬送装置は、複数個のステータ間
のレールで結合し、レール上を２次導体であるキャリヤ
が走行するようにしたものである。走行するキャリヤの
速度（Ｖ）は下記式によって決定され、その速度（Ｖ）
は次のステータに到達するに要する最小速度以上となる
ように制御している。
のレールで結合し、レール上を２次導体であるキャリヤ
が走行するようにしたものである。走行するキャリヤの
速度（Ｖ）は下記式によって決定され、その速度（Ｖ）
は次のステータに到達するに要する最小速度以上となる
ように制御している。
VS;リニアモータの同期速度 F;始動推力（kgf） f;負荷推力（kgf） 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記従来のリニアモータ搬送装置は以上のように構成
されていたので、クリーン搬送装置として半導体ウエア
を搬送する場合に本装置を適用すると種々の問題が生じ
る。中でもウエハは振動に極めて弱く、キャリヤの加速
度を小さく抑制する必要があり、また加速度を抑制する
と次のステータに到達させるためにはステータを長くし
て駆動源を確保する必要性が生じてステータの製造が難
しくなる。
されていたので、クリーン搬送装置として半導体ウエア
を搬送する場合に本装置を適用すると種々の問題が生じ
る。中でもウエハは振動に極めて弱く、キャリヤの加速
度を小さく抑制する必要があり、また加速度を抑制する
と次のステータに到達させるためにはステータを長くし
て駆動源を確保する必要性が生じてステータの製造が難
しくなる。
また加速度を抑制し得たとしても従来装置ではステー
タに印加する周波数出力が一定であることからウエハの
有無に関係なく走行速度が一定で作業の高速化という要
請に沿わなくなるという新たな問題が生じる。
タに印加する周波数出力が一定であることからウエハの
有無に関係なく走行速度が一定で作業の高速化という要
請に沿わなくなるという新たな問題が生じる。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもの
で、積載物品の有無によってキャリヤの加速度を自動的
に変更し得、もって搬送作業の高速化を達成することの
できるリニアモータ搬送装置を提供することを目的とし
ている。
で、積載物品の有無によってキャリヤの加速度を自動的
に変更し得、もって搬送作業の高速化を達成することの
できるリニアモータ搬送装置を提供することを目的とし
ている。
本発明に係るリニアモータ搬送装置は、複数個のステ
ータをレールによって結合し、前記ステータに印加した
電流によって前記レール上のキャリヤを走行させるリニ
アモータ搬送装置において、前記キャリヤ上の物品の有
無を検出する検出手段と、前記検出手段の検出信号に基
づいて前記複数個のステータのうち連続配置されたステ
ータの電流周波数をインバータによって一括制御するこ
とにより、前記キャリヤ上に物品が有るときは、前記キ
ャリヤの加速度を下げ、前記キャリヤ上に物品が無いと
きには、前記キャリヤの加速度を上げる制御手段とを備
えたものである。
ータをレールによって結合し、前記ステータに印加した
電流によって前記レール上のキャリヤを走行させるリニ
アモータ搬送装置において、前記キャリヤ上の物品の有
無を検出する検出手段と、前記検出手段の検出信号に基
づいて前記複数個のステータのうち連続配置されたステ
ータの電流周波数をインバータによって一括制御するこ
とにより、前記キャリヤ上に物品が有るときは、前記キ
ャリヤの加速度を下げ、前記キャリヤ上に物品が無いと
きには、前記キャリヤの加速度を上げる制御手段とを備
えたものである。
検出手段によって、キャリヤ上の物品の有無が検出さ
れ、前記検出手段の検出信号に基づいて複数個のステー
タのうち連続配置されたステータの電流周波数をインバ
ータにより一括制御する制御手段によって、前記キャリ
ヤ上に物品が有るときは、前記キャリヤの加速度が下げ
られ、前記キャリヤ上に物品が無いときには、前記キャ
リヤの加速度が上げられる。
れ、前記検出手段の検出信号に基づいて複数個のステー
タのうち連続配置されたステータの電流周波数をインバ
ータにより一括制御する制御手段によって、前記キャリ
ヤ上に物品が有るときは、前記キャリヤの加速度が下げ
られ、前記キャリヤ上に物品が無いときには、前記キャ
リヤの加速度が上げられる。
以下第１図、第２図に示す一実施例に基づいて本発明
を説明する。第１図は本実施例装置を示す構成図で、同
図中、（１）〜（４）はステータで、ステータ（１）〜
（３）は連続配置され、ステータ（４）はステータ
（３）に対して所定間隔を空けて配置されている。
（５）はステータ（１）〜（４）を縦走すべき配設され
たレールで、レール（５）上を２次導体として構成され
たキャリヤ（６）が走行するよう構成されている。
を説明する。第１図は本実施例装置を示す構成図で、同
図中、（１）〜（４）はステータで、ステータ（１）〜
（３）は連続配置され、ステータ（４）はステータ
（３）に対して所定間隔を空けて配置されている。
（５）はステータ（１）〜（４）を縦走すべき配設され
たレールで、レール（５）上を２次導体として構成され
たキャリヤ（６）が走行するよう構成されている。
また、（７）はキャリヤ（６）に積載されて搬送され
る物品（本実施例ではウエハ）を監視する視覚センサ、
（８）は視覚センサ（７）に接続され、視覚センサ
（７）によってウエハを検出するとその検出信号を処理
して処理信号を送信する信号処理回路、（９）は信号処
理回路（８）に接続されて処理信号を受信して処理信号
に見合った電流周波数を選択してインバータ（10）の周
波数出力を制御する制御回路で、インバータ（10）は周
波数が制御されることによってキャリヤ（６）の加速度
を増減するように構成されている。なお、本発明に係る
検出手段は、本実施例では視覚センサ（７）に相当し、
本発明に係る制御手段は、本実施例では信号処理回路
（Ｓ）及び制御回路（９）から構成されている。
る物品（本実施例ではウエハ）を監視する視覚センサ、
（８）は視覚センサ（７）に接続され、視覚センサ
（７）によってウエハを検出するとその検出信号を処理
して処理信号を送信する信号処理回路、（９）は信号処
理回路（８）に接続されて処理信号を受信して処理信号
に見合った電流周波数を選択してインバータ（10）の周
波数出力を制御する制御回路で、インバータ（10）は周
波数が制御されることによってキャリヤ（６）の加速度
を増減するように構成されている。なお、本発明に係る
検出手段は、本実施例では視覚センサ（７）に相当し、
本発明に係る制御手段は、本実施例では信号処理回路
（Ｓ）及び制御回路（９）から構成されている。
然してインバータ（10）はステータ（１）〜（３）に
接続されてこのステータ（１）〜（３）に印加する電流
の周波数出力を同時に制御するように構成されている。
ステータ（１）〜（３）を連続配置してそれらの電流を
一括制御することによって実質的にステータを一体化し
て、長尺ステータに代わる役割を果し、もって長尺ステ
ータの製造上の困難を解消している。ステータをこのよ
うに長尺化するのは上述したように、加速度ａを小さく
抑制してキャリヤ（６）の駆動源を長く確保する必要が
あることによる。尚、キャリヤ（６）の必要とする速度
（VN）を得るためには、リニアモータのステータの長さ
を下記式に従って長くする必要があるからである。
接続されてこのステータ（１）〜（３）に印加する電流
の周波数出力を同時に制御するように構成されている。
ステータ（１）〜（３）を連続配置してそれらの電流を
一括制御することによって実質的にステータを一体化し
て、長尺ステータに代わる役割を果し、もって長尺ステ
ータの製造上の困難を解消している。ステータをこのよ
うに長尺化するのは上述したように、加速度ａを小さく
抑制してキャリヤ（６）の駆動源を長く確保する必要が
あることによる。尚、キャリヤ（６）の必要とする速度
（VN）を得るためには、リニアモータのステータの長さ
を下記式に従って長くする必要があるからである。
ａ ：キャリアの加速度 lS:ステータの長さ 即ち、本実施例装置ではウエハの有る場合にはキャリ
ヤ（６）の加速度を抑制する一方、ウエハの無い場合に
は逆に加速度を増加させて作業の高速化を図るようにし
ている。
ヤ（６）の加速度を抑制する一方、ウエハの無い場合に
は逆に加速度を増加させて作業の高速化を図るようにし
ている。
即ち本実施例装置では、上記構成から視覚センサ
（７）によってウエハの有無を検出して、ウエハの有る
場合にはその検出信号を信号処理回路（８）に送信す
る。検出信号を受信した信号処理回路（８）はその信号
を処理して制御回路（９）に処理信号を送信する。これ
を受信した制御回路（９）は処理信号に見合ったインバ
ータ（10）の周波数を選択して選択信号をインバータ
（10）に送信する。このインバータ（10）は選択信号に
基づいた周波数が決定されキャリヤ（６）の加速度を抑
制し低速走行してウエハを破損から防止する。逆にウエ
ハが無ければ上述したと同様に検出信号を処理してキャ
リヤ（６）の加速度を上げて高速走行する。
（７）によってウエハの有無を検出して、ウエハの有る
場合にはその検出信号を信号処理回路（８）に送信す
る。検出信号を受信した信号処理回路（８）はその信号
を処理して制御回路（９）に処理信号を送信する。これ
を受信した制御回路（９）は処理信号に見合ったインバ
ータ（10）の周波数を選択して選択信号をインバータ
（10）に送信する。このインバータ（10）は選択信号に
基づいた周波数が決定されキャリヤ（６）の加速度を抑
制し低速走行してウエハを破損から防止する。逆にウエ
ハが無ければ上述したと同様に検出信号を処理してキャ
リヤ（６）の加速度を上げて高速走行する。
キャリヤ（６）の加速度は、本実施例では２種類を選
択することができ、ウエハの有る低速走行時には加速度
a1を、ウエハの無い高速走行時には加速a2を選択する。
本発明では必要に応じてウエハの積載量に対応する走行
速度を更にきめ細かく制御するように制御回路（９）内
に３種以上の加速度を選択することができる構成にする
ことができる。尚、視覚センサに代えて接触スイッチな
ど他の圧力センサなどをウエハの検出手段として用いる
ことができる。
択することができ、ウエハの有る低速走行時には加速度
a1を、ウエハの無い高速走行時には加速a2を選択する。
本発明では必要に応じてウエハの積載量に対応する走行
速度を更にきめ細かく制御するように制御回路（９）内
に３種以上の加速度を選択することができる構成にする
ことができる。尚、視覚センサに代えて接触スイッチな
ど他の圧力センサなどをウエハの検出手段として用いる
ことができる。
以上本発明によれば、キャリヤ上の物品の有無によっ
てキャリヤの走行速度を変更することができ、物品積載
時には低速走行を、物品のない時には高速走行を自動的
に行うことができる。
てキャリヤの走行速度を変更することができ、物品積載
時には低速走行を、物品のない時には高速走行を自動的
に行うことができる。
第１図は本発明に係るリニアモータ搬送装置の一実施例
を示す構成図、第２図は２種の加速度に応じたキャリヤ
の走行速度と時間との関係を示す図である。 図において、 （１）ないし（４）はステータ、 （５）はレール、 （６）はキャリヤ、 （７）は視覚センサ（検出手段）、 （８）は信号処理回路、 （９）は制御回路、 （10）はインバータである。
を示す構成図、第２図は２種の加速度に応じたキャリヤ
の走行速度と時間との関係を示す図である。 図において、 （１）ないし（４）はステータ、 （５）はレール、 （６）はキャリヤ、 （７）は視覚センサ（検出手段）、 （８）は信号処理回路、 （９）は制御回路、 （10）はインバータである。
Claims (1)
- 【請求項１】複数個のステータをレールによって結合
し、前記ステータに印加した電流によって前記レール上
のキャリヤを走行させるリニアモータ搬送装置におい
て、 前記キャリヤ上の物品の有無を検出する検出手段と、 前記検出手段の検出信号に基づいて前記複数個のステー
タのうち連続配置されたステータの電流周波数をインバ
ータによって一括制御することにより、前記キャリヤ上
に物品が有るときは、前記キャリヤの加速度を下げ、前
記キャリヤ上に物品が無いときには、前記キャリヤの加
速度を上げる制御手段と を備えたことを特徴とするリニアモータ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62295562A JP2531705B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | リニアモ―タ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62295562A JP2531705B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | リニアモ―タ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138905A JPH01138905A (ja) | 1989-05-31 |
| JP2531705B2 true JP2531705B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=17822248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62295562A Expired - Lifetime JP2531705B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | リニアモ―タ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531705B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6107501B2 (ja) * | 2013-07-19 | 2017-04-05 | 株式会社ダイフク | 仕分け設備 |
| US9582237B2 (en) | 2013-12-31 | 2017-02-28 | Ultravision Technologies, Llc | Modular display panels with different pitches |
| US9311847B2 (en) | 2014-07-16 | 2016-04-12 | Ultravision Technologies, Llc | Display system having monitoring circuit and methods thereof |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122197U (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-08 | 神鋼電機株式会社 | インバ−タ駆動のリニアモ−タ式搬送装置 |
| JPS6194727U (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-18 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP62295562A patent/JP2531705B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01138905A (ja) | 1989-05-31 |
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