JP2000264414A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JP2000264414A JP2000264414A JP7431699A JP7431699A JP2000264414A JP 2000264414 A JP2000264414 A JP 2000264414A JP 7431699 A JP7431699 A JP 7431699A JP 7431699 A JP7431699 A JP 7431699A JP 2000264414 A JP2000264414 A JP 2000264414A
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- belt
- belt pulley
- substrate
- conveyor
- transport
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の基板搬送装置では、コンベア長の変更
が必要な場合には、変更するコンベア長に対応する長さ
のガイドレールに変更しなければならず、そのため、新
たなガイドレールとの製作が必要となり、装置コストの
増の原因となり、また設備変更には長時間を必要として
いた。 【解決手段】 ベルトプーリ１２により駆動する搬送ベ
ルト１１を備えた基板搬送装置において、搬送ベルト１
１はベルトプーリ１２の作用面に平行な搬送部１１ａ
と、搬送部１１ａから上方に突出し基板４をガイドする
上方突起部１１ｂを備えたことを特徴とする基板搬送装
置。
が必要な場合には、変更するコンベア長に対応する長さ
のガイドレールに変更しなければならず、そのため、新
たなガイドレールとの製作が必要となり、装置コストの
増の原因となり、また設備変更には長時間を必要として
いた。 【解決手段】 ベルトプーリ１２により駆動する搬送ベ
ルト１１を備えた基板搬送装置において、搬送ベルト１
１はベルトプーリ１２の作用面に平行な搬送部１１ａ
と、搬送部１１ａから上方に突出し基板４をガイドする
上方突起部１１ｂを備えたことを特徴とする基板搬送装
置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品実装装置
において、プリント基板を搬送する基板搬送装置に関
し、特に、搬送装置に装着される搬送ベルト及びベルト
プーリに関するものである。
において、プリント基板を搬送する基板搬送装置に関
し、特に、搬送装置に装着される搬送ベルト及びベルト
プーリに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板搬送装置に装着される搬送ベ
ルトとベルトプーリを図４、図５を用いて説明する。図
４、図５は、従来の搬送ベルト、ベルトプーリ、ガイド
レールを示す断面図である。図４に示す搬送装置におい
て、１は平らな断面を有し、エンドレスに加工された搬
送ベルト、２はベルトプーリで、ベルトプーリの作用面
の両端には、搬送ベルト１をガイドする突起部１ａが設
けられており、搬送ベルト１の脱離を防止する。また、
ベルトプーリ２は、ガイドレール５に設けた軸５ａに軸
承され、ガイドレールの端面５ｂは基板４をガイドする
ように構成されている。
ルトとベルトプーリを図４、図５を用いて説明する。図
４、図５は、従来の搬送ベルト、ベルトプーリ、ガイド
レールを示す断面図である。図４に示す搬送装置におい
て、１は平らな断面を有し、エンドレスに加工された搬
送ベルト、２はベルトプーリで、ベルトプーリの作用面
の両端には、搬送ベルト１をガイドする突起部１ａが設
けられており、搬送ベルト１の脱離を防止する。また、
ベルトプーリ２は、ガイドレール５に設けた軸５ａに軸
承され、ガイドレールの端面５ｂは基板４をガイドする
ように構成されている。
【０００３】このように、従来の基板搬送装置において
は、基板４はベルトプーリ２によって駆動する搬送ベル
トにより搬送され、その両端はガイドレール５の端面５
ｂによりガイドされて搬送される構成となっている。ま
た、図５に示す搬送装置においては、ベルトプーリ３の
作用面の形状を、断面円弧状で中央部を高く形成し、搬
送ベルト１をベルトプーリ３の周速度の一番速い中央部
に誘導する形状にしている。その他の構成は図４の搬送
装置と同一であるので説明を省略する。
は、基板４はベルトプーリ２によって駆動する搬送ベル
トにより搬送され、その両端はガイドレール５の端面５
ｂによりガイドされて搬送される構成となっている。ま
た、図５に示す搬送装置においては、ベルトプーリ３の
作用面の形状を、断面円弧状で中央部を高く形成し、搬
送ベルト１をベルトプーリ３の周速度の一番速い中央部
に誘導する形状にしている。その他の構成は図４の搬送
装置と同一であるので説明を省略する。
【０００４】図６は、図４、図５に示す搬送ベルト、ベ
ルトプーリ及びガイドレールを備えた従来の基板搬送装
置を示す概要図である。図において、６はベルトプーリ
２，３を駆動するモータ、７はモータの駆動を制御する
コントローラ、８はガイドレール、９はセンサーであ
る。次に、図６（ａ）を用いて従来の基板搬送装置の搬
送動作を説明する。まず、基板が図示しない基板実装装
置のシステムラインから供給され、基板搬送装置のセン
サー９が基板を検知すると、検知信号を出力し、コント
ローラ７の指令でモータ６を駆動し、ベルトプーリ２，
３が回転し、これによって搬送ベルト１が回動し基板を
搬送する。
ルトプーリ及びガイドレールを備えた従来の基板搬送装
置を示す概要図である。図において、６はベルトプーリ
２，３を駆動するモータ、７はモータの駆動を制御する
コントローラ、８はガイドレール、９はセンサーであ
る。次に、図６（ａ）を用いて従来の基板搬送装置の搬
送動作を説明する。まず、基板が図示しない基板実装装
置のシステムラインから供給され、基板搬送装置のセン
サー９が基板を検知すると、検知信号を出力し、コント
ローラ７の指令でモータ６を駆動し、ベルトプーリ２，
３が回転し、これによって搬送ベルト１が回動し基板を
搬送する。
【０００５】また、図６（ｂ）は搬送ベルト１の長さを
変更するため、図６（ａ）に示すガイドレール５をガイ
ドレール８に変更した場合の設備の変更を示す概要図で
ある。
変更するため、図６（ａ）に示すガイドレール５をガイ
ドレール８に変更した場合の設備の変更を示す概要図で
ある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記に
示した従来の基板搬送装置においては、基板搬送装置の
レイアウトを変更する場合に次のような問題が生じてい
た。つまり、図６（ａ）（ｂ）に示すように、コンベア
長の変更が必要な場合には、変更するコンベア長に対応
する長さのガイドレールに変更しなければならない。そ
のため、新たなガイドレールの製作が必要となり、装置
コストの増の原因となり、また設備変更には長時間を必
要としていた。
示した従来の基板搬送装置においては、基板搬送装置の
レイアウトを変更する場合に次のような問題が生じてい
た。つまり、図６（ａ）（ｂ）に示すように、コンベア
長の変更が必要な場合には、変更するコンベア長に対応
する長さのガイドレールに変更しなければならない。そ
のため、新たなガイドレールの製作が必要となり、装置
コストの増の原因となり、また設備変更には長時間を必
要としていた。
【０００７】そこで本発明は、上記した従来装置の有す
る問題点を解決するもので、搬送ベルトにガイドレール
と同じ基板のガイド機能を設けることにより、生産設備
のレイアウト変更に容易に対応できる基板搬送装置を提
供することを目的とする。
る問題点を解決するもので、搬送ベルトにガイドレール
と同じ基板のガイド機能を設けることにより、生産設備
のレイアウト変更に容易に対応できる基板搬送装置を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するため、ベルトプーリにより駆動する搬送ベルトを
備えた基板搬送装置において、搬送ベルトは、ベルトプ
ーリの作用面に平行な搬送部と、搬送部から上方に突出
し基板をガイドする上方突起部を備えたことを特徴とす
る基板搬送装置である。
決するため、ベルトプーリにより駆動する搬送ベルトを
備えた基板搬送装置において、搬送ベルトは、ベルトプ
ーリの作用面に平行な搬送部と、搬送部から上方に突出
し基板をガイドする上方突起部を備えたことを特徴とす
る基板搬送装置である。
【０００９】本発明によれば、搬送ベルトに基板をガイ
ドするため上方に突出する突起部を設け、従来の基板搬
送装置におけるガイドレールの作用を有する構成とした
ことにより、搬送ベルトが設置される全長にわたってガ
イドレールを設ける必要がない。さらに、コンベア長を
変更するため搬送ベルト長を変更する場合には、搬送ベ
ルト長を変更し、ベルトプーリを支持するブラケットの
設置位置を変更することにより、容易にコンベア長を変
更することが可能となり、従来の基板搬送装置のよう
に、コンベア長の変更に伴う、ガイドレールの変更を行
う必要がなく、短時間で、かつ安価にコンベアのレイア
ウト変更に対応することができる。
ドするため上方に突出する突起部を設け、従来の基板搬
送装置におけるガイドレールの作用を有する構成とした
ことにより、搬送ベルトが設置される全長にわたってガ
イドレールを設ける必要がない。さらに、コンベア長を
変更するため搬送ベルト長を変更する場合には、搬送ベ
ルト長を変更し、ベルトプーリを支持するブラケットの
設置位置を変更することにより、容易にコンベア長を変
更することが可能となり、従来の基板搬送装置のよう
に、コンベア長の変更に伴う、ガイドレールの変更を行
う必要がなく、短時間で、かつ安価にコンベアのレイア
ウト変更に対応することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、ベルトプーリにより駆動する搬送ベルトを備えた基
板搬送装置において、搬送ベルトは、ベルトプーリの作
用面に平行な搬送部と、搬送部から上方に突出し基板を
ガイドする上方突起部を備えたことを特徴とするもので
あり、搬送ベルトに基板をガイドするため上方に突出す
る突起部を設け、従来の基板搬送装置におけるガイドレ
ールの作用を有する構成としたことにより、従来装置の
ように搬送ベルトが設置される全長にわたってガイドレ
ールを設ける必要がなく、コンベア長を変更するため搬
送ベルト長を変更する場合には、搬送ベルト長を変更
し、ベルトプーリを支持するブラケットの設置位置を変
更することにより、容易にコンベア長を変更することが
可能となり、従来の基板搬送装置のように、コンベア長
の変更に伴う、ガイドレールの変更を行う必要がなく、
短時間で、かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応
することができる作用を有する。
は、ベルトプーリにより駆動する搬送ベルトを備えた基
板搬送装置において、搬送ベルトは、ベルトプーリの作
用面に平行な搬送部と、搬送部から上方に突出し基板を
ガイドする上方突起部を備えたことを特徴とするもので
あり、搬送ベルトに基板をガイドするため上方に突出す
る突起部を設け、従来の基板搬送装置におけるガイドレ
ールの作用を有する構成としたことにより、従来装置の
ように搬送ベルトが設置される全長にわたってガイドレ
ールを設ける必要がなく、コンベア長を変更するため搬
送ベルト長を変更する場合には、搬送ベルト長を変更
し、ベルトプーリを支持するブラケットの設置位置を変
更することにより、容易にコンベア長を変更することが
可能となり、従来の基板搬送装置のように、コンベア長
の変更に伴う、ガイドレールの変更を行う必要がなく、
短時間で、かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応
することができる作用を有する。
【００１１】請求項２に記載の発明は、搬送ベルトは、
ベルトプーリの作用面に設けた凹部に嵌合する下方突起
部を備えたことを特徴とするものであり、搬送ベルトの
蛇行を防ぐため、ベルトプーリに設けた凹部に嵌合する
下方突起部を設けたので、搬送ベルトを直行状態で走行
させることができ、基板を正確に搬送することができる
作用を有する。
ベルトプーリの作用面に設けた凹部に嵌合する下方突起
部を備えたことを特徴とするものであり、搬送ベルトの
蛇行を防ぐため、ベルトプーリに設けた凹部に嵌合する
下方突起部を設けたので、搬送ベルトを直行状態で走行
させることができ、基板を正確に搬送することができる
作用を有する。
【００１２】請求項３に記載の発明は、搬送ベルトは、
ベルトプーリを挾持する１対の下方突起部を備えたこと
を特徴とするものであり、搬送ベルトの蛇行を防ぐた
め、ベルトプーリの両側を挾持する１対の下方突起部を
設けたので、搬送ベルトを直行状態で走行させることが
でき、基板を正確に搬送することができる作用を有す
る。
ベルトプーリを挾持する１対の下方突起部を備えたこと
を特徴とするものであり、搬送ベルトの蛇行を防ぐた
め、ベルトプーリの両側を挾持する１対の下方突起部を
設けたので、搬送ベルトを直行状態で走行させることが
でき、基板を正確に搬送することができる作用を有す
る。
【００１３】請求項４に記載の発明は、搬送ベルトは、
幅方向に一定間隔毎にスリットを有することを特徴とす
るものであり、搬送ベルトには一定間隔毎にスリットを
設けているので、搬送ベルト長の変更時におけるベルト
切断を容易にすることができる作用を有する。以下、図
１から図３を参照して本発明の基板搬送装置の実施の形
態を説明する。なお、図３に示す基板搬送装置の基本動
作については、従来装置で説明した動作と同じであるの
で説明を省略する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１の搬送
ベルト及びベルトプーリを示す断面図である。
幅方向に一定間隔毎にスリットを有することを特徴とす
るものであり、搬送ベルトには一定間隔毎にスリットを
設けているので、搬送ベルト長の変更時におけるベルト
切断を容易にすることができる作用を有する。以下、図
１から図３を参照して本発明の基板搬送装置の実施の形
態を説明する。なお、図３に示す基板搬送装置の基本動
作については、従来装置で説明した動作と同じであるの
で説明を省略する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１の搬送
ベルト及びベルトプーリを示す断面図である。
【００１４】図１に示す搬送ベルト１１は、ベルトプー
リ１２の作用面に平行な搬送部１１ａと、基板４をガイ
ドするため上方に突出する上方突起部１１ｂと、搬送ベ
ルトの蛇行を防ぐため下方に突出する下方突起部１１ｃ
を備え、且つ、搬送ベルト１１には一定間隔毎にスリッ
ト１１ｄを設けている。また、ベルトプーリ１２は、搬
送ベルト１１の突起部１１ｂが嵌合する凹部１２ａを備
えている。図において、１５はブラケットであり、従来
装置が備えているガイドレールを有していない。 （実施の形態２）図２に示す搬送ベルト１４は、ベルト
プーリ１３の作用面に平行な搬送部１４ａと、基板４を
ガイドするため上方に突出する上方突起部１４ｂと、搬
送ベルトの蛇行を防ぐため下方に突出する１対の下方突
起部１４ｃを備え、且つ、搬送ベルト１４には一定間隔
毎にスリット１４ｄを設けている。
リ１２の作用面に平行な搬送部１１ａと、基板４をガイ
ドするため上方に突出する上方突起部１１ｂと、搬送ベ
ルトの蛇行を防ぐため下方に突出する下方突起部１１ｃ
を備え、且つ、搬送ベルト１１には一定間隔毎にスリッ
ト１１ｄを設けている。また、ベルトプーリ１２は、搬
送ベルト１１の突起部１１ｂが嵌合する凹部１２ａを備
えている。図において、１５はブラケットであり、従来
装置が備えているガイドレールを有していない。 （実施の形態２）図２に示す搬送ベルト１４は、ベルト
プーリ１３の作用面に平行な搬送部１４ａと、基板４を
ガイドするため上方に突出する上方突起部１４ｂと、搬
送ベルトの蛇行を防ぐため下方に突出する１対の下方突
起部１４ｃを備え、且つ、搬送ベルト１４には一定間隔
毎にスリット１４ｄを設けている。
【００１５】また、搬送ベルト１４の下方突起部１４ｃ
間の間隔は、ベルトプーリ１３を嵌合挾持する長さに形
成されている。図３は、図１、図２に示す搬送ベルト１
１、１４、ベルトプーリ１２、１３を備えた本発明の基
板搬送装置を示す概要図である。図において、１６はベ
ルトプーリ１２、１３を支持するブラケットであり、複
数のベルトプーリ１２、１３とモータ６を支持するブラ
ケット１５と、ブラケット１６によりベルトプーリ１
２、１３が支持されている。また、ベルト駆動モータ６
と、基板検出センサー９と、前記モータをコントロール
するコントローラ７は図６に示す従来装置と同一構成で
ある。
間の間隔は、ベルトプーリ１３を嵌合挾持する長さに形
成されている。図３は、図１、図２に示す搬送ベルト１
１、１４、ベルトプーリ１２、１３を備えた本発明の基
板搬送装置を示す概要図である。図において、１６はベ
ルトプーリ１２、１３を支持するブラケットであり、複
数のベルトプーリ１２、１３とモータ６を支持するブラ
ケット１５と、ブラケット１６によりベルトプーリ１
２、１３が支持されている。また、ベルト駆動モータ６
と、基板検出センサー９と、前記モータをコントロール
するコントローラ７は図６に示す従来装置と同一構成で
ある。
【００１６】以上説明した通り、本発明によれば、搬送
ベルト１１、１４に基板４をガイドするため上方に突出
する突起部を設け、従来の基板搬送装置におけるガイド
レールの作用を有する構成としたことにより、図６に示
す従来の搬送装置のように、搬送ベルトが設置される全
長にわたってガイドレールを設ける必要がなく、また、
搬送ベルト１１、１４の蛇行を防ぐため、ベルトプーリ
１２、１３と嵌合状態を維持する下方突起部１１ｃ、１
４ｃを設けたので、搬送ベルト１１、１４を直行状態で
走行させることができ、基板４を正確に搬送することが
できる。
ベルト１１、１４に基板４をガイドするため上方に突出
する突起部を設け、従来の基板搬送装置におけるガイド
レールの作用を有する構成としたことにより、図６に示
す従来の搬送装置のように、搬送ベルトが設置される全
長にわたってガイドレールを設ける必要がなく、また、
搬送ベルト１１、１４の蛇行を防ぐため、ベルトプーリ
１２、１３と嵌合状態を維持する下方突起部１１ｃ、１
４ｃを設けたので、搬送ベルト１１、１４を直行状態で
走行させることができ、基板４を正確に搬送することが
できる。
【００１７】さらに、搬送ベルト１１、１４には一定間
隔毎にスリットを設けているので、搬送ベルト長の変更
時におけるベルト切断を容易にすることができる。そし
て、本発明は上記の構成により、コンベア長を変更する
ため搬送ベルト長を変更する場合には、搬送ベルト長を
変更し、ベルトプーリ１２，１３を支持するブラケット
１６の設置位置をコンベア長に合わせて変更することに
より、容易にコンベア長を変更することが可能となり、
従来の基板搬送装置のように、コンベア長の変更に伴
う、ガイドレールの変更を行う必要がなく、短時間で、
かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応することが
できる。
隔毎にスリットを設けているので、搬送ベルト長の変更
時におけるベルト切断を容易にすることができる。そし
て、本発明は上記の構成により、コンベア長を変更する
ため搬送ベルト長を変更する場合には、搬送ベルト長を
変更し、ベルトプーリ１２，１３を支持するブラケット
１６の設置位置をコンベア長に合わせて変更することに
より、容易にコンベア長を変更することが可能となり、
従来の基板搬送装置のように、コンベア長の変更に伴
う、ガイドレールの変更を行う必要がなく、短時間で、
かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応することが
できる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、搬送ベルトに基板をガ
イドするため上方に突出する突起部を設け、従来の基板
搬送装置におけるガイドレールの作用を有する構成とし
たことにより、従来の搬送装置のように搬送ベルトが設
置される全長にわたってガイドレールを設ける必要がな
く、また、搬送ベルトの蛇行を防ぐため、ベルトプーリ
と嵌合状態を維持する下方突起部を設けたので、搬送ベ
ルトを直行状態で走行させることができ、基板を正確に
搬送することができる。
イドするため上方に突出する突起部を設け、従来の基板
搬送装置におけるガイドレールの作用を有する構成とし
たことにより、従来の搬送装置のように搬送ベルトが設
置される全長にわたってガイドレールを設ける必要がな
く、また、搬送ベルトの蛇行を防ぐため、ベルトプーリ
と嵌合状態を維持する下方突起部を設けたので、搬送ベ
ルトを直行状態で走行させることができ、基板を正確に
搬送することができる。
【００１９】さらに、搬送ベルトには一定間隔毎にスリ
ットを設けたので、搬送ベルト長の変更時におけるベル
ト切断を容易にすることができる。そして、さらにコン
ベア長を変更するため搬送ベルト長を変更する場合に
は、搬送ベルト長を変更し、ベルトプーリを支持するブ
ラケットの設置位置をコンベア長に合わせて変更するこ
とにより、容易にコンベア長を変更することが可能とな
り、従来の基板搬送装置のように、コンベア長の変更に
伴うガイドレールの変更を行う必要がなく、短時間で、
かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応することが
できる。
ットを設けたので、搬送ベルト長の変更時におけるベル
ト切断を容易にすることができる。そして、さらにコン
ベア長を変更するため搬送ベルト長を変更する場合に
は、搬送ベルト長を変更し、ベルトプーリを支持するブ
ラケットの設置位置をコンベア長に合わせて変更するこ
とにより、容易にコンベア長を変更することが可能とな
り、従来の基板搬送装置のように、コンベア長の変更に
伴うガイドレールの変更を行う必要がなく、短時間で、
かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応することが
できる。
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１の搬送ベルトと
ベルトプーリを示す断面図、（ｂ）は搬送ベルトの斜視
図である。
ベルトプーリを示す断面図、（ｂ）は搬送ベルトの斜視
図である。
【図２】（ａ）は本発明の実施の形態２の搬送ベルトと
ベルトプーリを示す断面図、（ｂ）は搬送ベルトの斜視
図である。
ベルトプーリを示す断面図、（ｂ）は搬送ベルトの斜視
図である。
【図３】本発明の基板搬送装置の正面図である。
【図４】従来例の搬送ベルトとベルトプーリを示す断面
図である。
図である。
【図５】従来例の搬送ベルトとベルトプーリを示す断面
図である。
図である。
【図６】（ａ）（ｂ）は従来の基板搬送装置の正面図で
ある。
ある。
４ 基板 ６ モータ ７ コントローラ １１ 搬送ベルト １１ａ 搬送部 １１ｂ 上方突起部 １１ｃ 下方突起部 １１ｄ スリット １２ ベルトプーリ １２ａ 凹部 １３ ベルトプーリ １４ 搬送ベルト １４ａ 搬送部 １４ｂ 上方突起部 １４ｃ 下方突起部 １４ｄ スリット １５ ブラケット １６ ブラケット
フロントページの続き (72)発明者 佐々木 賢 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3F023 AA05 AB05 BA06 BB02 BC01 3F024 CA01 CA06 DA07 DA17 3F033 GA02 GD01 GE06 LA00
Claims (4)
- 【請求項１】 ベルトプーリにより駆動する搬送ベルト
を備えた基板搬送装置において、搬送ベルトは、ベルト
プーリの作用面に平行な搬送部と、搬送部から上方に突
出し基板をガイドする上方突起部を備えたことを特徴と
する基板搬送装置。 - 【請求項２】 搬送ベルトは、ベルトプーリの作用面に
設けた凹部に嵌合する下方突起部を備えたことを特徴と
する請求項１記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 搬送ベルトは、ベルトプーリを挾持する
１対の下方突起部を備えたことを特徴とする請求項１記
載の基板搬送装置。 - 【請求項４】 搬送ベルトは、幅方向に一定間隔毎にス
リットを有することを特徴とする請求項１〜３いずれか
に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7431699A JP2000264414A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7431699A JP2000264414A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000264414A true JP2000264414A (ja) | 2000-09-26 |
Family
ID=13543607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7431699A Pending JP2000264414A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000264414A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009500267A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-08 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 半導体コンテナ用のベルトコンベア |
| JP2009012971A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送装置 |
| JP2011525053A (ja) * | 2008-06-20 | 2011-09-08 | ムラテックオートメーション株式会社 | コンベヤシステムへの直接受け渡し |
| EP2717664A2 (en) | 2012-10-05 | 2014-04-09 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Circuit board transportation device, circuit board working apparatus, and conveyor belt |
| FR3096976A1 (fr) * | 2019-06-07 | 2020-12-11 | Seroba | Dispositif de guidage d’une courroie et convoyeur à courroie comportant un tel dispositif de guidage |
-
1999
- 1999-03-18 JP JP7431699A patent/JP2000264414A/ja active Pending
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