JPH01138905A - リニアモータ搬送装置 - Google Patents
リニアモータ搬送装置Info
- Publication number
- JPH01138905A JPH01138905A JP62295562A JP29556287A JPH01138905A JP H01138905 A JPH01138905 A JP H01138905A JP 62295562 A JP62295562 A JP 62295562A JP 29556287 A JP29556287 A JP 29556287A JP H01138905 A JPH01138905 A JP H01138905A
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- JP
- Japan
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- carrier
- signal
- acceleration
- linear motor
- stator
- Prior art date
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- Granted
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はリニアモータ搬送装置に関し、特にキャリヤ上
の物品の有無によってその加速度を変更することのでき
るリニアモータ搬送装置に間する。
の物品の有無によってその加速度を変更することのでき
るリニアモータ搬送装置に間する。
〔従来の技術］
従来のリニアモータ搬送装置は、複数個のステータ間の
レールで結合し、レール上を２次導体であるキャリヤが
走行するようにしたものである。走行するキャリアの速
度（Ｖ）は下記式によつて決定され、その速度（ＶＮ）
は次のステータに到達するに要する最小速度となるよう
に制御している。
レールで結合し、レール上を２次導体であるキャリヤが
走行するようにしたものである。走行するキャリアの速
度（Ｖ）は下記式によつて決定され、その速度（ＶＮ）
は次のステータに到達するに要する最小速度となるよう
に制御している。
ｖｓ ；リニアモータの周期速度
Ｆ ；始動推力 （ｋｇｆ）
ｆ ；付加推力 （ｋｇｆ）
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来のリニアモータ搬送装置は以上のように構成さ
れていたので、クリーン搬送装置として半導体クエへを
搬送する場合に本装置を適用すると種々の問題が生じる
。中でもウェハは振動に極めて弱く、キャリヤの加速度
を小さく抑制する必要があり、また加速度を抑制すると
次のステータに到達させるためにはステータを長くして
駆動源を確保する必要性が生じてステータの製造が難し
くなる。
れていたので、クリーン搬送装置として半導体クエへを
搬送する場合に本装置を適用すると種々の問題が生じる
。中でもウェハは振動に極めて弱く、キャリヤの加速度
を小さく抑制する必要があり、また加速度を抑制すると
次のステータに到達させるためにはステータを長くして
駆動源を確保する必要性が生じてステータの製造が難し
くなる。
また加速度を抑制し得たとしても従来装置ではステータ
に印加する周波数出力が一定であることからウェハの有
無に関係なく走行速度が一定で作業の高速化という要請
に沿わなくなるという新たな問題が生じる。
に印加する周波数出力が一定であることからウェハの有
無に関係なく走行速度が一定で作業の高速化という要請
に沿わなくなるという新たな問題が生じる。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
積載物品の有無によってキャリヤの加速度を自動的に変
更し得、もって搬送作業の高速化を達成することのでき
るリニアモータ搬送装置を提供することを目的としてい
る。
積載物品の有無によってキャリヤの加速度を自動的に変
更し得、もって搬送作業の高速化を達成することのでき
るリニアモータ搬送装置を提供することを目的としてい
る。
ｃ問題点を解決するための手段〕
本発明に係るリニアモータ搬送装置は、ステータを連続
して複数配置し、複数のステータに１個のインバータを
接続するとともに、キャリヤ上の物品を検出する検出手
段を設けて、検出手段の検出信号を信号処理手段により
て受信して信号を処理し、この処理信号を制御手段で受
信して処理信号に即して上記インバータ電流の周波数を
選択してキャリヤの加速度を可変制御するようにしたも
のである。
して複数配置し、複数のステータに１個のインバータを
接続するとともに、キャリヤ上の物品を検出する検出手
段を設けて、検出手段の検出信号を信号処理手段により
て受信して信号を処理し、この処理信号を制御手段で受
信して処理信号に即して上記インバータ電流の周波数を
選択してキャリヤの加速度を可変制御するようにしたも
のである。
本発明のリニアモータ搬送装置によれば、検出手段の検
出信号を処理手段において検出信号に見合った信号処理
を行って処理信号を制御手段に送信すると、制御手段は
処理信号の内容に応じてインバータの周波数を選択して
周波数出力を制御し、もってキャリヤの加速度を増減す
る。
出信号を処理手段において検出信号に見合った信号処理
を行って処理信号を制御手段に送信すると、制御手段は
処理信号の内容に応じてインバータの周波数を選択して
周波数出力を制御し、もってキャリヤの加速度を増減す
る。
以下第１図、第２図に示す一実施例に基づいて本発明を
説明する。第１図は本実施例装置を示す構成図で、同図
中、（１）〜（４）はステータで、ステータ（１）〜（
３）は連続配置され、ステータ（４）はステータ（３）
に対して所定間隔を空けて配置されている。（５）はス
テータ（１）〜（４）を縦走すべく配設されたレールで
、レール（５ン上を２次導体として構成されたキャリヤ
（６）が走行するよう構成されている。
説明する。第１図は本実施例装置を示す構成図で、同図
中、（１）〜（４）はステータで、ステータ（１）〜（
３）は連続配置され、ステータ（４）はステータ（３）
に対して所定間隔を空けて配置されている。（５）はス
テータ（１）〜（４）を縦走すべく配設されたレールで
、レール（５ン上を２次導体として構成されたキャリヤ
（６）が走行するよう構成されている。
また、（７）はキャリヤ（６）に積載されて搬送される
物品（本実施例モはウェハ）を監視する諷覚センサ、（
８） は視覚センサ（７） に接続され、視覚センサ（
７） によってクエへを検出するとその検出信号を処理
して処理信号を送信する信号処理回路、（９）は信号処
理回路（８）に接続されて処理信号を受信して処理信号
に見合った電流周波数を選択してインバータ（１０）の
周波数出力を制御する制御回路で、インバータ（１０）
は周波数が制御されることによってキャリヤ（６）の加
速度を増減するように構成されている。
物品（本実施例モはウェハ）を監視する諷覚センサ、（
８） は視覚センサ（７） に接続され、視覚センサ（
７） によってクエへを検出するとその検出信号を処理
して処理信号を送信する信号処理回路、（９）は信号処
理回路（８）に接続されて処理信号を受信して処理信号
に見合った電流周波数を選択してインバータ（１０）の
周波数出力を制御する制御回路で、インバータ（１０）
は周波数が制御されることによってキャリヤ（６）の加
速度を増減するように構成されている。
然してインバータ（１０）はステータ（１）〜（３）に
接続されてこのステータ（１）〜（３）に印加する電流
の周波数出力を同時に制御するように構成されている。
接続されてこのステータ（１）〜（３）に印加する電流
の周波数出力を同時に制御するように構成されている。
ステータ（１）〜（３）を連続配置してそれらの電流を
一括制御することによって実質的にステータを一体化し
て、長尺ステータに代わる役割を果し、もって長尺ステ
ータの製造上の困難を解消している。ステータをこのよ
うに長尺化するのは上述したように、加速度ａを小さく
抑制してキャリヤ（６）の駆動源を長く確保する必要が
あることによる。尚、キ゛ヤリャ（６）の必要とする速
度（Ｖｓ）を得るためには、リニアモータのステータの
長さを下記式に従って長くする必要があるからである。
一括制御することによって実質的にステータを一体化し
て、長尺ステータに代わる役割を果し、もって長尺ステ
ータの製造上の困難を解消している。ステータをこのよ
うに長尺化するのは上述したように、加速度ａを小さく
抑制してキャリヤ（６）の駆動源を長く確保する必要が
あることによる。尚、キ゛ヤリャ（６）の必要とする速
度（Ｖｓ）を得るためには、リニアモータのステータの
長さを下記式に従って長くする必要があるからである。
ｖＮ＝ｒ丁了ゴ７
ａ ニスライダの加速度
１ｓ ：ステータの長さ
即ち、本実施例装置ではウェハの有る場合にはキャリヤ
（６）の加速度を抑制する一方、ウェハの無い場合には
逆に加速度を増加させて作業の高速化を図るようにして
いる。
（６）の加速度を抑制する一方、ウェハの無い場合には
逆に加速度を増加させて作業の高速化を図るようにして
いる。
即ち本実施例装置では、上記構成から視覚センサ（７）
によってウェハの有無を検出して、ウェハの有る場合に
はその検出信号を信号処理回路（８）に送信する。検出
信号を受信した信号処理回路（８）はその信号を処理し
て制御回路（９）に処理信号を送信する。これを受信し
た制御回路（９）は処理信号に見合ったインバータ（ｌ
Ｏ）の周波数を選択して選択信号をインバータ（１０）
に送信するこのインバータ（１０）は選択信号に基づい
た周波数が決定されキャリヤ（６）の加速度を抑制し低
速走行してクエへを破損から防止する。逆にウェハが無
ければ上述したと同様に検出信号を処理してキャリヤ（
６）の加速度を上げて高速走行する。
によってウェハの有無を検出して、ウェハの有る場合に
はその検出信号を信号処理回路（８）に送信する。検出
信号を受信した信号処理回路（８）はその信号を処理し
て制御回路（９）に処理信号を送信する。これを受信し
た制御回路（９）は処理信号に見合ったインバータ（ｌ
Ｏ）の周波数を選択して選択信号をインバータ（１０）
に送信するこのインバータ（１０）は選択信号に基づい
た周波数が決定されキャリヤ（６）の加速度を抑制し低
速走行してクエへを破損から防止する。逆にウェハが無
ければ上述したと同様に検出信号を処理してキャリヤ（
６）の加速度を上げて高速走行する。
キャリヤ（６）の加速度は、本実施例では２種類を選択
することができ、ウェハの有る低速走行時には加速度ａ
、を、クエへの無い高速走行時には加速度ａ２を選択す
る。本発明では必要に応じてウェハの積載量に対応する
走行速度を更にきめ細かく制御するように制御回路（９
）内に３種以上の加速度を選択することができる構成に
することができる。尚、視覚センサに代えて接触スイッ
チなど他の圧力センサなどをウェハの検出手段として用
いることができる。
することができ、ウェハの有る低速走行時には加速度ａ
、を、クエへの無い高速走行時には加速度ａ２を選択す
る。本発明では必要に応じてウェハの積載量に対応する
走行速度を更にきめ細かく制御するように制御回路（９
）内に３種以上の加速度を選択することができる構成に
することができる。尚、視覚センサに代えて接触スイッ
チなど他の圧力センサなどをウェハの検出手段として用
いることができる。
以上本発明によれば、キャリヤ上の物品の有無によって
キャリヤの走行速度を変更することができ、物品積載時
には低速走行を、物品のない時には高速走行を自動的に
行うことができる。
キャリヤの走行速度を変更することができ、物品積載時
には低速走行を、物品のない時には高速走行を自動的に
行うことができる。
第１図は本発明に係るリニアモータ搬送装置の一実施例
を示す構成図、第２図は２種の加速度に応じたキャリヤ
の走行速度と時間との関係を示す図である。 図において、 （１）ないしく４）はステータ、 （５）はレール、 （６）はキャリヤ、 （７）は視覚センサ（検出手段）、 （８）は信号処理回路、 （９）は制御回路、 （１０）はインバータである。
を示す構成図、第２図は２種の加速度に応じたキャリヤ
の走行速度と時間との関係を示す図である。 図において、 （１）ないしく４）はステータ、 （５）はレール、 （６）はキャリヤ、 （７）は視覚センサ（検出手段）、 （８）は信号処理回路、 （９）は制御回路、 （１０）はインバータである。
Claims (1)
- 複数個のステータをレールによって結合し、該ステータ
に印加した電流によってレール上のキャリヤを走行させ
るリニアモータ搬送装置において、上記キャリヤ上の物
品を検出する検出手段と、該検出手段からの検出信号を
受信して上記物品に即した処理信号を送信する処理手段
と、該処理手段からの処理信号を受信してインバータの
周波数を処理信号に即して選択し上記キャリヤの加速度
を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするリニア
モータ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62295562A JP2531705B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | リニアモ―タ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62295562A JP2531705B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | リニアモ―タ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138905A true JPH01138905A (ja) | 1989-05-31 |
| JP2531705B2 JP2531705B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=17822248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62295562A Expired - Lifetime JP2531705B2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | リニアモ―タ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531705B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015020861A (ja) * | 2013-07-19 | 2015-02-02 | 株式会社ダイフク | 仕分け設備 |
| US10706770B2 (en) | 2014-07-16 | 2020-07-07 | Ultravision Technologies, Llc | Display system having module display panel with circuitry for bidirectional communication |
| US10871932B2 (en) | 2013-12-31 | 2020-12-22 | Ultravision Technologies, Llc | Modular display panels |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122197U (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-08 | 神鋼電機株式会社 | インバ−タ駆動のリニアモ−タ式搬送装置 |
| JPS6194727U (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-18 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP62295562A patent/JP2531705B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122197U (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-08 | 神鋼電機株式会社 | インバ−タ駆動のリニアモ−タ式搬送装置 |
| JPS6194727U (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-18 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015020861A (ja) * | 2013-07-19 | 2015-02-02 | 株式会社ダイフク | 仕分け設備 |
| US10871932B2 (en) | 2013-12-31 | 2020-12-22 | Ultravision Technologies, Llc | Modular display panels |
| US10706770B2 (en) | 2014-07-16 | 2020-07-07 | Ultravision Technologies, Llc | Display system having module display panel with circuitry for bidirectional communication |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531705B2 (ja) | 1996-09-04 |
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