JP2023020149A - 加工装置 - Google Patents

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吉洋 川口
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Abstract

【課題】被加工物を支持するシートに対する加熱ユニットの加熱領域の確認を支援する。【解決手段】加工装置１０は、環状のフレームの開口にシートを介して支持された被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該フレームが載置される載置面を有し、該フレームを保持するフレーム保持ユニットと、該載置面に対して該保持面を相対的に昇降させる昇降機構と、該フレームの内径と被加工物の外径との間に露出している該シートを加熱する加熱ユニットと、該加熱ユニットを該保持面に対して相対的に移動可能に支持する移動機構と、制御ユニット７０と、を備え、該制御ユニット７０は、該加熱ユニットが該シートを加熱する加熱条件を設定する設定部７１と、該フレームに該シートを介して支持された被加工物の画像に、該設定部７１によって設定された該加熱条件に基づく該加熱ユニットの加熱領域を識別可能に表示するシミュレーション部７３と、を有する。【選択図】図７

Description

本発明は、加工装置に関する。
被加工物を分割予定ラインに沿って分割し複数のチップに個片化する際に、被加工物の分割予定ラインに沿って、分割起点となる溝または改質層が形成した後、被加工物を支持するシートを拡張することで、分割起点を起点にチップ間隔を広げる加工方法がある。被加工物は環状フレームの開口にシートを介して支持されているが、シート拡張後にはチップ間隔を維持するために、被加工物の外縁とフレームの内縁との間にある余剰領域のシートを収縮させる。例えば、特許文献１には、エキスパンドシートの弛み方及び伸び方のいずれかが異なる場合でも、エキスパンドシートが弛んだ部分を好適に加熱する分割装置が開示されている。
特開２０１９－１１７８９１号公報
従来の装置は、ヒーター等の加熱ユニットの移動経路を設定することで加熱領域を設定するが、設定によっては加熱されていない未処理領域が発生するおそれがある。また、従来の装置は、意図した条件と異なる加熱ユニットの移動経路が設定されている場合、加熱領域が異なっていても、オペレータ等が気付かないおそれがある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、被加工物を支持するシートに対する加熱ユニットの加熱領域の確認を支援可能な加工装置を提供することにある。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、環状のフレームの開口にシートを介して支持された被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該フレームが載置される載置面を有し、該フレームを保持するフレーム保持ユニットと、該載置面に対して該保持面を相対的に昇降させる昇降機構と、該フレームの内径と被加工物の外径との間に露出している該シートを加熱する加熱ユニットと、該加熱ユニットを該保持面に対して相対的に移動可能に支持する移動機構と、制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該加熱ユニットが該シートを加熱する加熱条件を設定する設定部と、該フレームに該シートを介して支持された被加工物の画像に、該設定部によって設定された該加熱条件に基づく該加熱ユニットの加熱領域を識別可能に表示するシミュレーション部と、を有することを特徴とする。
前記加工装置において、該シミュレーション部は、該加熱領域を加熱される順序を識別可能に表示してもよい。
前記加工装置において、該シミュレーション部は、複数の該加熱条件を順番に実施する加熱シーケンスのうち、該加熱シーケンスに含まれるいずれかの該加熱条件に対応する該加熱領域を表示してもよい。
前記加工装置において、該シミュレーション部は、該加熱領域において相対的に加熱強度が高い領域と、加熱強度が低い領域と、を識別可能に表示してもよい。
前記加工装置において、該加工装置は、表示部を有し、該制御ユニットは、該シミュレーション部によって生成された画像を該表示部に表示してもよい。
前記加工装置において、該加工装置は、表示画面を有する通信機器と接続可能に構成され、該制御ユニットは、該シミュレーション部によって生成された画像に基づき、該通信機器の該表示画面に出力してもよい。
前記加工装置において、該設定部は、タッチパネルまたは通信機器を介して該加熱条件を受け付けてもよい。
本願発明の加工装置は、被加工物を支持するシートに対する加熱ユニットの加熱領域の確認を支援することができるという効果を奏する。
図１は、実施形態に係る加工装置の分割対象である被加工物ユニットの一例を示す平面図である。 図２は、実施形態に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図３は、図２のシート拡張ユニットのＩＩＩ－ＩＩＩ断面における断面図である。 図４は、図２の加熱ユニットの上面図である。 図５は、図２の加熱ユニットの機能ブロック図である。 図６は、図４の加熱ユニットのＶＩＩ－ＶＩＩ断面における断面図である。 図７は、図２の制御ユニットの機能構成の一例を示す図である。 図８は、加熱条件データを設定する画面の一例を示す図である。 図９は、加工装置が用いる被加工物ユニットの画像の一例を説明するための図である。 図１０は、加熱条件データと加熱領域を含む画像との関係の一例を説明するための図である。 図１１は、加熱条件データと加熱領域を含む画像との関係の一例を説明するための図である。 図１２は、加熱条件データと加熱領域を含む画像との関係の一例を説明するための図である。 図１３は、加工装置が実行する加熱領域を含む画像の表示制御の一例を示すフローチャートである。 図１４は、加工装置の他の構成例を示す断面模式図である。
以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。以下の各実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。
以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。
〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る加工装置の分割対象である被加工物ユニットの一例を示す平面図である。まず、本発明の実施形態に係る加工装置の加工（分割）対象である被加工物ユニット１００を図面に基づいて説明する。
実施形態に係る加工装置の分割対象である被加工物ユニット１００は、図１に示すように、被加工物１０１と、被加工物１０１の表面１０２の裏側の裏面が貼着されたシート１０６と、シート１０６の外周部分が貼着された環状のフレーム１０７と、を有する。被加工物１０１は、例えば、エキスパンドシート等のシート１０６の中央部分に貼着されている。シート１０６のフレーム１０７の内周である内縁と被加工物１０１の外周である外縁との間には、環状領域１０８が形成されている。
被加工物１０１は、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハである。被加工物１０１は、図１に示すように、表面１０２の互いに交差する方向にそれぞれに延びる分割予定ライン１０３で区画された各領域に、正方形状のデバイスチップ１０５が形成されている。被加工物１０１は、分割予定ライン１０３に沿って、改質層１０９が形成されている。
被加工物１０１は、分割予定ライン１０３に沿って、裏面側から透過性を有する波長のレーザー光線が照射されて、改質層１０９が形成されている。改質層１０９は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。改質層１０９は、個々のデバイスチップ１０５に分割するための分割起点である。
シート１０６は、伸縮性を有する樹脂から構成され、加熱されると収縮する熱収縮性を有する。シート１０６は、例えば、エキスパンドシート、粘着テープ等によって形成されている。シート１０６は、拡張しやすい方向と拡張しにくい方向とを有してもよい。シート１０６は、基材層の上に糊層が積層されている構造であるか、また糊層を有さず基材層のみで形成され、圧着や熱圧着によって被加工物１０１に貼着されてもよい。
（加工装置の構成例）
図２は、実施形態に係る加工装置１０の構成例を示す斜視図である。図２に示す加工装置１０は、シート１０６を拡張して、改質層１０９が形成された被加工物１０１を分割予定ライン１０３に沿って個々のデバイスチップ１０５に分割する装置である。加工装置１０は、図２に示すように、チャンバ２０と、保持テーブル３０と、フレーム固定部４０と、シート拡張ユニット５０と、加熱ユニット６０と、制御ユニット７０と、を備える。
チャンバ２０は、上部が開口した箱状に形成されている。チャンバ２０は、保持テーブル３０と、フレーム固定部４０のフレーム載置プレート４１と、シート拡張ユニット５０とを収容している。
保持テーブル３０は、シート１０６を介して被加工物ユニット１００の被加工物１０１を吸引保持する保持面３１を有する。保持テーブル３０は、円板形状であり、ステンレス鋼等の金属からなる円板状の枠体３２と、ポーラスセラミック等の多孔質材で構成されかつ枠体３２により囲繞された円板状の吸着部３３とを備える。枠体３２と吸着部３３との上面は、同一平面上に配置されて、被加工物１０１を吸引保持する保持面３１を構成している。吸着部３３は、被加工物１０１と略同径である。保持テーブル３０は、保持面３１に搬送ユニット８０により搬送されてきた被加工物ユニット１００のシート１０６を介して被加工物１０１の裏面側が載置される。保持テーブル３０は、吸着部３３が真空吸引源３４と接続され、真空吸引源３４により吸着部３３が吸引されることで、被加工物１０１の裏面側を保持面３１に吸引保持することが可能である。
フレーム固定部４０は、被加工物ユニット１００のフレーム１０７を固定するものである。フレーム固定部４０は、フレーム載置プレート４１と、フレーム押さえプレート４２とを備える。フレーム載置プレート４１は、平面形状が円形の開口部４３が設けられ、かつ上面４４が水平方向と平行に平坦に形成された板状に形成されている。フレーム載置プレート４１の開口部４３の内径は、フレーム１０７の内径よりも若干大きく形成されている。フレーム載置プレート４１は、開口部４３内に保持テーブル３０を配置し、開口部４３が保持テーブル３０と同軸に配置されている。また、フレーム載置プレート４１は、四隅にエアシリンダ４５のピストンロッド４５－１が取り付けられて、ピストンロッド４５－１が伸縮することにより昇降自在に配置されている。本実施形態では、エアシリンダ４５及びピストンロッド４５－１は、移動機構として機能している。フレーム載置プレート４１は、上面４４の四隅に水平方向に移動自在に設けられ、かつ水平方向に移動することによりフレーム１０７の位置を調整して、被加工物１０１を保持テーブル３０の吸着部３３と同軸となる位置に位置決めするセンタリングガイド４６が設けられている。
フレーム押さえプレート４２は、フレーム載置プレート４１とほぼ同寸法の板状に形成され、中央に開口部４３と同寸法の円形の開口部４７が設けられている。フレーム押さえプレート４２は、エアシリンダ４８のピストンロッド４８－１の先端に取り付けられ、ピストンロッド４８－１が伸縮することにより、フレーム載置プレート４１の上方の位置と、フレーム載置プレート４１の上方から退避した位置とに亘って移動自在である。フレーム押さえプレート４２は、四隅にセンタリングガイド４６が挿入可能な長孔４９が設けられている。
フレーム固定部４０は、フレーム押さえプレート４２がフレーム載置プレート４１の上方から退避した位置に位置付けられ、センタリングガイド４６同士が互いに離れた状態で、フレーム載置プレート４１の上面４４に搬送ユニット８０により搬送されてきた被加工物ユニット１００のフレーム１０７が載置される。フレーム固定部４０は、センタリングガイド４６同士を近づけて、被加工物ユニット１００の被加工物１０１を位置決めする。フレーム固定部４０は、フレーム押さえプレート４２をフレーム載置プレート４１の上方に位置付け、エアシリンダ４５のピストンロッド４５－１を伸張させて、フレーム載置プレート４１を上昇させて、被加工物ユニット１００のフレーム１０７をフレーム載置プレート４１とフレーム押さえプレート４２との間に挟んで固定する。
図３は、図２のシート拡張ユニット５０のＩＩＩ－ＩＩＩ断面における断面図である。図３に示すシート拡張ユニット５０は、保持テーブル３０とフレーム固定部４０とを鉛直方向に沿う軸心に沿って互いに離れる位置に相対的に移動させることで、環状領域１０８を被加工物１０１の表面１０２と直交する方向に押圧してシート１０６を拡張し、分割起点である改質層１０９から被加工物１０１を破断するものである。シート拡張ユニット５０は、突き上げ部材５１と、昇降ユニット５２とを備える。
突き上げ部材５１は、円筒状に形成され、外径がフレーム載置プレート４１の上面４４に載置される環状のフレーム１０７の内径よりも小さく、内径がシート１０６に貼着される被加工物１０１及び保持テーブル３０の外径よりも大きく形成されている。突き上げ部材５１は、内側に保持テーブル３０を配置し、保持テーブル３０と同軸に配置されている。突き上げ部材５１の上端には、保持テーブル３０の保持面３１と同一平面上に配置されたコロ部材５３が回転自在に取り付けられている。コロ部材５３は、突き上げ部材５１がシート１０６を突き上げている際に、シート１０６との摩擦を緩和する。
昇降ユニット５２は、エアシリンダ５４，５５を備える。エアシリンダ５４のピストンロッド５４－１には、保持テーブル３０が取り付けられ、ピストンロッド５４－１が伸縮することにより昇降自在に配置されている。エアシリンダ５５のピストンロッド５５－１には、突き上げ部材５１が取り付けられ、ピストンロッド５５－１が伸縮することにより昇降自在に配置されている。昇降ユニット５２は、エアシリンダ５４，５５により、保持テーブル３０と突き上げ部材５１とを一体に昇降させる。
シート拡張ユニット５０は、突き上げ部材５１の上端に取り付けられたコロ部材５３と保持面３１とがフレーム載置プレート４１の上面４４よりも下方に位置する状態から、コロ部材５３と保持面３１とがフレーム載置プレート４１の上面４４よりも上方に位置する状態まで昇降ユニット５２が突き上げ部材５１と保持テーブル３０とを一体に上昇させることにより、シート１０６を面方向に拡張させる。シート拡張ユニット５０は、シート１０６を面方向に拡張させた状態からコロ部材５３と保持面３１とがフレーム固定部４０の上面４４と同一平面上となる状態まで下降される。シート拡張ユニット５０がコロ部材５３と保持面３１とがフレーム固定部４０の上面４４と同一平面上となる状態まで下降されると、シート１０６の環状領域１０８には、シート１０６が弛んで構成された弛み部分１０８－２が形成される。
図４は、図２の加熱ユニット６０の上面図である。図２及び図４に示す加熱ユニット６０は、拡張されたシート１０６の環状領域１０８を加熱して、シート１０６の弛み部分を収縮させるものである。
加熱ユニット６０は、図２及び図４に示すように、円板状のユニット本体６１と、ユニット本体６１の把持部６２－１，６２－２，６２－３，６２－４にそれぞれ取り付けられた複数の加熱部６３－１，６３－２，６３－３，６３－４とを備える。以下において、把持部６２－１，６２－２，６２－３，６２－４を区別しない場合には把持部６２と適宜記載し、加熱部６３－１，６３－２，６３－３，６３－４を区別しない場合には加熱部６３と適宜記載する。
ユニット本体６１は、図２に示すように、保持テーブル３０の上方でかつ保持テーブル３０と同軸に配置されている。ユニット本体６１は、鉛直方向と平行な軸心回りの方向に回転自在に設けられている。また、ユニット本体６１は、図示しない移動ユニットにより昇降自在に設けられている。
把持部６２は、図２及び図４に示すように、ユニット本体６１の外縁部に周方向に等間隔に配置されている。把持部６２は、保持テーブル３０及びフレーム固定部４０に保持された被加工物ユニット１００のシート１０６の環状領域１０８と鉛直方向に対向する位置に配置されている。把持部６２は、把持部６２の大きさの範囲内でユニット本体６１の径方向及び鉛直方向に移動可能に、すなわち、被加工物１０１の径方向またはシート１０６と遠近する方向に移動可能に、加熱部６３を把持する。把持部６２は、加熱部６３が挿通する開口となっている。把持部６２は、この開口の径方向の長さが加熱部６３の径方向の長さよりも大きく、加熱部６３を径方向に移動可能に把持する。実施形態において、把持部６２は、４つ設けられていることが好ましいが、本発明では、４つに限定されない。
加熱部６３は、把持部６２の配置に従って、ユニット本体６１の外縁部に周方向に等間隔に配置されている。すなわち、加熱部６３は、把持部６２に把持されることにより、保持テーブル３０及びフレーム固定部４０に保持された被加工物ユニット１００のシート１０６の環状領域１０８と鉛直方向に対向する位置に配置されており、環状領域１０８に沿って周方向に設置されている。実施形態において、加熱部６３は、４つ設けられていることが好ましいが、本発明では、４つに限定されない。加熱部６３は、赤外線を下方に照射して、シート１０６の環状領域１０８を加熱する形式のもの、例えば、電圧が印加されると加熱されて、赤外線を放射する赤外線セラミックヒータである。なお、加熱部６３は、赤外線を照射する形態に限定されず、２種類の金属の接合部を有し、直流電流により２種類の金属における吸熱及び発熱を制御するペルチェ素子であってもよいし、このようなペルチェ素子をさらに備えていてもよい。
図５は、図２の加熱ユニット６０の機能ブロック図である。図６は、図４の加熱ユニット６０のＶＩＩ－ＶＩＩ断面における断面図である。図５に示すように、加熱ユニット６０は、複数の第１加熱位置調整部６４－１，６４－２，６４－３，６４－４と、回動部６５とを備える。
複数の第１加熱位置調整部６４－１，６４－２，６４－３，６４－４は、それぞれ、加熱部６３－１，６３－２，６３－３，６３－４に接続されており、加熱部６３－１，６３－２，６３－３，６３－４の位置を被加工物１０１の径方向に移動させる。以下において、第１加熱位置調整部６４－１，６４－２，６４－３，６４－４を区別しない場合には第１加熱位置調整部６４と適宜記載する。第１加熱位置調整部６４は、加熱部６３の位置を、それぞれ個別に、被加工物１０１の径方向に移動させることが可能な構成、例えば、加熱部６３に対して設けられたベルトローラと、このベルトローラを駆動するモータと、を備えている。なお、第１加熱位置調整部６４は、この構成に限定されず、エアシリンダやボールネジを有するものであってもよい。回動部６５は、ユニット本体６１に接続されている。回動部６５は、出力軸を回転することで、ユニット本体６１を鉛直方向と平行な軸心回りの方向に回転させる図示しないモータ等を備えている。
以上のような構成を有するので、第１加熱位置調整部６４は、図６に示すように、加熱部６３の位置を、それぞれ個別に、被加工物１０１の径方向に移動させることで、加熱部６３による被加工物１０１の径方向の加熱位置を調整する。なお、対面する加熱部６３－１及び加熱部６３－３を同時に径方向内側あるいは径方向外側に移動させることができるとともに、対面する加熱部６３－２及び加熱部６３－４を同時に径方向内側あるいは径方向外側に移動させることができるように設定されていても良い。また、回動部６５は、加熱部６３を全て同時に、シート１０６の環状領域１０８に沿って周方向に移動させることができる。
制御ユニット７０は、図２に示すように、加工装置１０の上述した構成要素、即ち、シート拡張ユニット５０と加熱ユニット６０等をそれぞれ制御して、被加工物１０１に対する加工動作を加工装置１０に実施させるものである。制御ユニット７０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インターフェース装置とを備える。制御ユニット７０は、加工装置１０が実施する処理工程に従い、上述した各構成要素を制御するためのプログラムなどを実行可能なコンピュータである。制御ユニット７０は、タッチパネル９１と電気的に接続されている。
タッチパネル９１は、制御ユニット７０による制御の下、被加工物ユニット１００の画像や加工処理に必要な各種情報を表示するとともに、加工処理に必要な入力操作等をオペレータから受け付ける。タッチパネル９１は、加工装置１０の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配設される。タッチパネル９１は、表示装置及び入力装置を備えて構成される。タッチパネル９１は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示デバイスと、表示デバイスの表示面における入力位置や座標を指定するタッチスクリーンとを備えたタッチスクリーンディスプレイにより構成されてもよい。タッチパネル９１は、表示部の一例である。
制御ユニット７０は、無線通信、ネットワーク等を介して、情報機器５００との通信を制御する。情報機器５００は、例えば、スマートフォン、タブレット端末等を含む。情報機器５００は、表示部５１０と通信部５２０とを有する。表示部５１０は、表示画面である。情報機器５００は、通信部５２０を介して加工装置１０から受信した各種情報を、表示部５１０に表示可能な構成になっている。制御ユニット７０は、各種情報を情報機器５００に送信して表示部５１０に表示させることができる。加工装置１０は、タッチパネル９１を備え、情報機器５００にも接続されていてもよいし、どちらか一方を備える構成でもよい。
加工装置１０の加工（分割）方法には、被加工物１０１を分割予定ライン１０３に沿って分割して複数のチップに個片化する際に、被加工物１０１の分割予定ライン１０３に沿って、分割起点となる溝または改質層を形成した後、被加工物１０１を支持するシート１０６を拡張することで、分割起点を起点にチップ間隔を広げる加工方法がある。被加工物１０１は、環状のフレーム１０７の開口にシート１０６を介して支持されているが、シート拡張後にはチップ間隔を維持するために、被加工物１０１の外縁とフレーム１０７の内縁との間にある余剰領域のシート１０６を収縮させる。加工装置１０は、図３に示すように、シート１０６を収縮させるために、加熱部６３と保持面３１とを相対的に移動させながらシート１０６を加熱する。この際、加工装置１０は、加熱部６３の移動経路を設定することで加熱領域を設定するが、設定の誤りによって加熱されていない未処理領域が発生するおそれや、意図した条件と異なる移動経路に設定されおり、加熱領域が異なっていても気づかない恐れがある。このため、加工装置１０は、加熱ユニット６０の加熱領域の設定を支援することができる技術を提供する。
図７は、図２の制御ユニット７０の機能構成の一例を示す図である。図７に示すように、制御ユニット７０は、設定部７１と、生成部７２と、シミュレーション部７３と、を有する。制御ユニット７０は、プログラムを実行することで、設定部７１、生成部７２及びシミュレーション部７３の機能部を実現する。
設定部７１は、加熱ユニット６０がシート１０６を加熱する加熱領域を含む加熱条件を設定する。設定部７１は、加熱ユニット６０の移動経路、加熱温度等を含む加熱条件を設定することで、加熱領域を設定する。加熱条件は、例えば、加熱ユニット６０が被加工物ユニット１００（シート１０６）を加熱する領域、加熱経路、加熱部６３と被加工物ユニット１００との加熱時の距離等を識別可能な条件を含む。設定部７１は、加熱ユニット６０の加熱領域（移動経路）、加熱温度、加熱時間、加熱部６３と保持面３１との距離、また複数の異なる加熱条件を連続的に実施する場合は、複数の加熱条件と実施する順序とを含む加熱シーケンス等の加熱条件を設定する。設定部７１は、加熱条件をオペレータ等に設定させたり、加熱条件をサーバ、データベース等から取得して設定したりする。設定部７１は、設定した加熱条件を識別可能な加熱条件データを記憶装置に記憶する。
生成部７２は、フレーム１０７にシート１０６を介して支持された被加工物１０１の画像を生成する。生成部７２は、被加工物１０１、シート１０６及びフレーム１０７の配置関係を識別可能な上面（表面）の画像を示す画像データを生成する。被加工物ユニット１００の上面は、加工対象となる面である。生成部７２は、加熱対象の被加工物ユニット１００を撮像した画像、データベースから取得した画像等に基づいて、加熱ユニット６０の加熱領域を表示に用いる画像データを生成できる。生成部７２は、生成した画像データを記憶装置に記憶する。
シミュレーション部７３は、被加工物ユニット１００の画像に、設定部７１によって設定された加熱条件に基づく加熱ユニット６０の加熱領域を識別可能に表示する。シミュレーション部７３は、設定部７１が設定した加熱条件と加熱ユニット６０のスペックとに基づいて、加熱ユニット６０が加熱する被加工物ユニット１００の加熱領域を推定する。加熱ユニット６０のスペックは、例えば、加熱ユニット６０における加熱部６３の原点配置、大きさ、可動できる範囲を示す移動経路等を含む。シミュレーション部７３は、加熱ユニット６０のスペックと、加熱条件と、を少なくとも含むデータに基づき、シミュレーションを実行するプログラム、機械学習プログラム等を用いて、加熱条件に応じた加熱ユニット６０の移動経路、加熱動作等を算出し、算出結果に基づいて被加工物ユニット１００の上面における加熱領域を算出する。シミュレーション部７３は、加熱ユニット６０のスペックと加熱条件とに基づいて、被加工物ユニット１００の加熱領域、加熱領域の温度または加熱領域内の相対的な温度分布、加熱時間等の加熱情報を算出する。制御ユニット７０は、シミュレーション部７３が推定した加熱領域を識別可能な画像を表示するように、タッチパネル９１を制御する。制御ユニット７０は、加熱条件に対応する加熱情報を画像に表示させる。
シミュレーション部７３は、異なる複数の加熱条件を連続的に実施する加熱シーケンスが設定されている場合、加熱ユニット６０によって加熱される加熱領域における順序を識別可能なように、加熱領域を画像に対して段階的または時系列順に表示する。シミュレーション部７３は、加熱シーケンスが設定されている場合、加熱シーケンスに含まれるいずれかの加熱条件に対応した領域を含む加熱領域を表示する。加熱シーケンスは、複数の加熱条件と、その順序、各加熱条件の繰り返し回数、実施時間等を含む。例えば、加熱条件が第１加熱条件から第４加熱条件の４つの加熱条件を含む場合、シミュレーション部７３は、複数の加熱条件のうち、１つの加熱条件に該当する加熱領域を表示したり、複数の加熱条件の加熱領域を表示したりすることができる。シミュレーション部７３は、加熱領域において相対的に加熱強度が高い第１領域と、加熱強度が第１領域よりも低い第２領域とを識別可能に表示することができる。例えば、シミュレーション部７３は、加熱強度を異なる表示態様で表示したり、加熱強度を示す情報を表示したりする。
制御ユニット７０は、通信部９２と電気的に接続されている。通信部９２は、加工装置１０に内蔵されてもよいし、加工装置１０の外部機器として設けられてもよい。通信部９２は、例えば、加工装置２の外部の情報機器５００と通信を行う。通信部９２は、例えば、情報機器５００から受信した各種情報を記憶装置に記憶できる。通信部９２は、制御ユニット７０の制御によって各種情報を情報機器５００に送信できる。
以上、本実施形態に係る加工装置１０の構成例について説明した。なお、図１乃至図７を用いて説明した上記の構成はあくまで一例であり、本実施形態に係る加工装置１０の構成は係る例に限定されない。本実施形態に係る加工装置１０の機能構成は、仕様や運用に応じて柔軟に変形可能である。例えば、加工装置１０は、生成部７２の機能をシミュレーション部７３で実現するように構成してもよい。
（加熱条件の設定例）
図８は、加熱条件データを設定する画面の一例を示す図である。図８に示すように、加熱条件データ３００は、画面３１０に設定されたデータに基づいた加熱条件を示すデータを有する。
画面３１０は、加熱条件を設定可能な複数の設定項目に対応した複数の入力欄を有し、加熱条件をオペレータに設定させる。図８に示す一例では、画面３１０は、複数の設定項目３１１と、設定項目３１１に対応した複数の入力欄３１２－１，３１２－２，３１２－３と、シミュレーションボタン３１３と、を有する。
複数の設定項目３１１は、開始位置、終了位置、加熱部選択、加熱温度、距離、オフセット値（Ｘ）及びオフセット値（Ｙ）の項目を有する。開始位置の設定項目３１１は、例えば、加熱ユニット６０の加熱部６３が加熱を開始する位置（角度）を設定する項目である。終了位置の設定項目３１１は、例えば、加熱部６３が加熱を終了する位置（角度）を設定する項目である。加熱部選択の設定項目３１１は、例えば、複数の加熱部６３の中で加熱する加熱部６３を選択する項目である。加熱部選択の設定項目３１１は、例えば、複数の加熱部６３の中で全部または一部の加熱部６３を選択可能になっている。加熱温度の設定項目３１１は、例えば、加熱部６３を加熱する温度を設定する項目である。距離の設定項目３１１は、例えば、加熱部６３とシート１０６との距離を設定する項目である。
オフセット値（Ｘ）及びオフセット（Ｂ）の項目は、複数の加熱部６３の移動経路を円形から楕円形に変更するためのオフセット値を設定する項目である。例えば、オフセット値（Ｘ）及びオフセット（Ｂ）の項目は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向のいずれか一方をオフセットすることで、複数の加熱部６３の移動経路を楕円形に設定できる。シート１０６は、縦横の片方の方向に伸びやすい性質を有する。このため、加工装置１０は、複数の加熱部６３の移動経路を楕円に設定可能とし、シート１０６が加熱される量を縦方向と横方向とで、シート１０６の伸び量に基づいた収縮を実現でき、チップ間隔を維持させることができる。
入力欄３１２－１は、第１加熱条件の複数の設定項目３１１に対応した複数の入力欄であり、第１加熱条件を実行する場合の設定値が設定される。第１加熱条件は、加熱シーケンスの中の１番目の動作である。入力欄３１２－２は、第２加熱条件の複数の設定項目３１１に対応した複数の入力欄であり、第２加熱条件を実行する場合の設定値が設定される。第２加熱条件は、加熱シーケンスの中の２番目の動作である。入力欄３１２－３は、第１加熱条件の複数の設定項目３１１に対応した複数の入力欄であり、第３加熱条件を実行する場合の設定値が設定される。第３加熱条件は、複数の加熱シーケンスの中の３番目の動作である。図８に示す一例では、画面３１０は、３つの加熱条件が設定可能な構成になっているが、３つ以外の加熱条件の設定数としてもよい。加熱条件データ３００は、入力欄３１２－１，３１２－２及び３１２－３の設定の有無に基づいて加工装置１０の加熱条件を設定可能になっている。以下において、入力欄３１２－１，３１２－２，３１２－３を区別しない場合には、入力欄３１２と適宜記載する。
シミュレーションボタン３１３は、画面３１０で設定された加熱条件に基づく加熱ユニット６０の加熱に関するシミュレーション結果を示す画像を、タッチパネル９１、携帯端末等に表示させるボタンである。加工装置１０は、シミュレーションボタン３１３が操作されると、設定部７１が画面３１０に設定されている設定値に基づいて加熱条件を確定し、該加熱条件に基づく加熱領域を示す画像を生成する。加工装置１０は、生成した画像を表示手段に表示させることで、加熱条件に対応した加熱領域をオペレータに確認させる。
画面３１０は、ＥＮＴＥＲボタン３１４とＥＸＩＴボタン３１５とを有する。ＥＮＴＥＲボタン３１４は、画面３１０で設定された加熱条件を示す加熱条件データ３００を登録するボタンである。ＥＸＩＴボタン３１５は、画面３１０の加熱条件を登録さずに画面３１０を切り替えるボタンである。
（加熱条件と被加工物ユニットの画像の一例）
図９は、加工装置１０が用いる被加工物ユニット１００の画像の一例を説明するための図である。図９の上図に示す画像４００は、フレーム１０７にシート１０６を介して支持された被加工物１０１が識別可能な画像である。画像４００は、例えば、被加工物１０１、シート１０６及びフレーム１０７を上方から撮像した画像、模式図等を含む。画像４００は、静止画、動画等を含む。画像４００は、加熱ユニット６０の回転の基準となる基準角度０°及び基準角度１８０°を識別可能な画像となっている。
加工装置１０は、シミュレーションの指示を受け付けると、加熱ユニット６０の４つの加熱部６３を加熱条件に基づいて加熱した場合の加熱領域を示す加熱情報を生成する。加工装置１０は、生成した加熱情報を画像４００に識別可能に表示させる。例えば、加熱条件は、加熱ユニット６０の４つの加熱部６３のそれぞれを０度から９０度の範囲で移動させながら加熱させる条件を含んでいるとする。この場合、加工装置１０は、図９の下図に示すように、加工装置１０は、４つの加熱部６３が加熱する加熱領域４１０を、被加工物１０１との配置関係に基づいて被加工物１０１とフレーム１０７との間のシート１０６の露出領域と推定する。加工装置１０は、推定した加熱領域４１０をシート１０６の露出部分を覆うように、画像４００に重畳表示させている。加工装置１０は、例えば、橙色、黄色、赤色等の表示色で加熱領域４１０を重畳表示させることで、シート１０６の露出領域と加熱領域４１０との関係を識別可能にしている。これにより、加工装置１０は、設定している加熱条件で加熱した場合の加熱領域４１０を表示することで、加熱ユニット６０の未処理領域の有無や所望する条件で加熱されているかをオペレータに用意に確認させることができる。
図１０乃至図１２は、加熱条件データ３００と加熱領域を含む画像４００との関係の一例を説明するための図である。
図１０の上図に示す一例では、加熱条件データ３００－１は、第１加熱条件では、４つの加熱部６３の全てが０度から９０度の範囲を加熱する加熱条件を含んでいる。加熱条件データ３００－１は、第２加熱条件では、４つの加熱部６３の全てが０度から９０度の範囲を、オフセット（Ｘ）が－３０及びオフセット（Ｙ）が－６０で回転させながら加熱する加熱条件を含んでいる。加熱条件データ３００－１は、第３加熱条件では、終了位置を設定しないことで、加熱しないことを示す加熱条件を含んでいる。
加工装置１０は、被加工物１０１のサイズが第１サイズの被加工物ユニット１００に対する加熱のシミュレーションの指示を受け付ける。第１サイズは、例えば、フレーム１０７の内径よりも小さく、シート１０６の露出部分が広いサイズである。加工装置１０は、加熱ユニット６０の４つの加熱部６３を加熱条件データ３００－１が示す加熱条件で加熱した場合の予測結果に基づいて、第１加熱条件の加熱領域４１０－１と第２加熱条件の加熱領域４１０－２とを推定する。図１０の下図に示すように、加工装置１０は、第１加熱条件の加熱領域４１０－１として、シート１０６の露出部分の一部とフレーム１０７の全ての表面とを含む環状の領域を推定する。加工装置１０は、第２加熱条件の加熱領域４１０－２として、加熱領域４１０－１の一部と重なり、シート１０６の露出部分の一部を含む楕円状の領域を推定する。
加工装置１０は、推定した加熱領域４１０－１及び加熱領域４１０－２を被加工物ユニット１００の表面を覆うように、画像４００に重畳表示させている。加工装置１０は、複数の加熱部６３が加熱しない領域を未処理領域４２０として識別可能なように画像４００を表示させる。加工装置１０は、例えば、第１加熱条件の加熱領域４１０－１を含む画像４００を表示させた後、第２加熱条件の加熱領域４１０－２を含む画像４００を表示することで、加熱される順序及び領域をオペレータに認識させることができる。
加工装置１０は、例えば、第１加熱条件の加熱領域４１０－１及び第２加熱条件の加熱領域４１０－２を含む画像４００を表示させることで、加熱領域４１０－１及び加熱領域４１０－２が重ならない領域を未処理領域４２０として画像４００で認識させることができる。以上により、加工装置１０は、被加工物１０１を支持するシート１０６に対する加熱ユニット６０の加熱領域４１０－１及び加熱領域４１０－２を表示するので、加熱条件で加熱する領域の確認を支援することができる。
図１１の上図に示す一例では、加熱条件データ３００－２は、第１加熱条件では、４つの加熱部６３の全てが０度から９０度の範囲を加熱する加熱条件を含んでいる。加熱条件データ３００－３は、第２加熱条件では、４つの加熱部６３の全てが０度から９０度の範囲を、オフセット（Ｘ）が－８０及びオフセット（Ｙ）が－８０で回転させながら、第１距離から加熱する加熱条件を含んでいる。加熱条件データ３００－２は、第３加熱条件では、加熱しないことを示す加熱条件を含んでいる。すなわち、加熱条件データ３００－２は、第１加熱条件と第２加熱条件とで、４つの加熱部６３の移動経路が重ならない加熱条件を含んでいる。
加工装置１０は、被加工物１０１のサイズが上述した第１サイズの被加工物ユニット１００に対する加熱のシミュレーションの指示を受け付ける。加工装置１０は、加熱ユニット６０の４つの加熱部６３を加熱条件データ３００－２が示す加熱条件で加熱した場合の予測結果に基づいて、第１加熱条件の加熱領域４１０－１と第２加熱条件の加熱領域４１０－２とを推定する。図１１の下図に示すように、加工装置１０は、第１加熱条件の加熱領域４１０－１として、シート１０６の露出部分におけるフレーム１０７近傍の環状の領域を推定する。加工装置１０は、第２加熱条件の加熱領域４１０－２として、加熱領域４１０－１と重ならず、シート１０６の露出部分の一部を含む環状の領域を推定する。
加工装置１０は、推定した加熱領域４１０－１及び加熱領域４１０－２を被加工物ユニット１００の表面を覆うように、画像４００に重畳表示させている。加工装置１０は、複数の加熱部６３が加熱しない領域を未処理領域４２０として識別可能なように画像４００を表示させる。図１１の下図に示し一例では、画像４００は、加熱領域４１０－１と加熱領域４１０－２との間の領域が、未処理領域４２０であることを示している。
加工装置１０は、例えば、第１加熱条件の加熱領域４１０－１を含む画像４００を表示させた後、第２加熱条件の加熱領域４１０－２を含む画像４００を表示することで、加熱される順序及び領域を認識させることができる。これにより、加工装置１０は、第１加熱条件の加熱領域４１０－１と第２加熱条件の加熱領域４１０－２を加熱される順序で、複数の加熱領域４１０を認識させることができる。
図１２の上図に示す一例では、加熱条件データ３００－３は、第１加熱条件では、４つの加熱部６３の全てが０度から９０度の範囲を加熱する加熱条件を含んでいる。加熱条件データ３００－３は、第２加熱条件では、４つの加熱部６３の全てが０度から２０度の範囲を回転させながら、第１距離から加熱する加熱条件を含んでいる。加熱条件データ３００－３は、第３加熱条件では、加熱しないことを示す加熱条件を含んでいる。すなわち、加熱条件データ３００－３は、第１加熱条件と第２加熱条件とで、４つの加熱部６３の移動経路が一部で重なる加熱条件を含んでいる。
加工装置１０は、被加工物１０１のサイズが第２サイズの被加工物ユニット１００に対する加熱のシミュレーションの指示を受け付ける。第２サイズは、上述した第１サイズよりも大きいサイズである。加工装置１０は、加熱ユニット６０の４つの加熱部６３を加熱条件データ３００－３が示す加熱条件で加熱した場合の予測結果に基づいて、第１加熱条件の加熱領域４１０－１と第２加熱条件の加熱領域４１０－２とを推定する。図１２の下図に示すように、加工装置１０は、第１加熱条件の加熱領域４１０－１として、シート１０６の露出部分及びフレーム１０７を含む環状の領域を推定する。加工装置１０は、第２加熱条件の加熱領域４１０－２として、加熱領域４１０－１の一部と重なる４つの領域を推定する。
加工装置１０は、推定した加熱領域４１０－１及び加熱領域４１０－２を被加工物ユニット１００の表面を覆うように、画像４００に重畳表示させている。加工装置１０は、加熱領域４１０－２を加熱領域４１０－１に重ねて表示することで、重なった加熱領域４１０－２を加熱強度が高い第１領域とし、重なっていない領域を加熱強度が第１領域よりも低い第２領域と認識可能にしている。これにより、加工装置１０は、画像４００を表示することで、加熱条件によって複数回または強い強度で加熱される加熱領域４１０の確認を支援することができる。また、加工装置１０は、例えば、第１加熱条件の加熱領域４１０－１と加熱領域４１０－２を加熱される順序で段階的に表示することで、加熱条件の加熱シーケンスの確認を支援することができる。加熱強度が高いとは、他の領域に比べて、複数回加熱部６３の移動経路に該当することで加熱される時間が長い、または保持テーブル３０と加熱部６３の下面との相対的な移動速度が遅く加熱される時間が長い、加熱時の加熱部６３と被加工物ユニット１００の上面との距離が近い、加熱時の加熱部６３の温度が高い、のいずれかによって生じる。
（加工装置の制御例）
図１３は、加工装置１０が実行する加熱領域を含む画像の表示制御の一例を示すフローチャートである。図１３に示す処理手順は、加工装置１０の制御ユニット７０がプログラムを実行することによって実現される。図１３に示す処理手順は、制御ユニット７０によってオペレータからの指示に応じて実行される。
図１３に示すように、加工装置１０の制御ユニット７０は、加熱条件の画面３１０をタッチパネル９１に表示させる（ステップ１００１）。例えば、制御ユニット７０は、加熱条件データ３００を設定可能な画面３１０を表示するように、タッチパネル９１を制御する。これにより、タッチパネル９１は、画面３１０を表示し、該画面３１０に対する操作を受け付け可能な状態になる。制御ユニット７０は、ステップ１００１の処理が終了すると、処理をステップ１００２に進める。
制御ユニット７０は、画面３１０に設定された加熱条件に基づいて加熱情報を生成する（ステップ１００２）。例えば、制御ユニット７０は、画面３１０のシミュレーションボタン３１３に対する操作に応じて、加熱対象の被加工物１０１、シート１０６及びフレーム１０７の配置関係を識別可能な上面の画像を示す画像データを生成する。制御ユニット７０は、加熱条件データ３００の第１加熱条件の加熱条件、加熱ユニット６０のスペック、被加工物１０１の大きさ、フレーム１０７の大きさ、被加工物１０１とフレーム１０７との位置関係などを含む被加工物ユニット１００の構成等に基づいてシミュレーションを実行することで、加熱ユニット６の加熱領域４１０、加熱の強度、加熱の順序等を含む加熱情報を生成する。制御ユニット７０は、ステップ１００２の処理が終了すると、処理をステップ１００３に進める。
制御ユニット７０は、加熱情報を含む画像４００をタッチパネル９１に表示させる（ステップ１００３）。例えば、制御ユニット７０は、加熱情報が示す加熱領域４１０、未処理領域４２０等を識別可能な画像４００を表示するように、タッチパネル９１を制御する。これにより、タッチパネル９１は、少なくとも加熱領域４１０を識別可能な画像４００を表示する。制御ユニット７０は、ステップ１００３の処理が終了すると、処理をステップ１００４に進める。
制御ユニット７０は、全ての加熱条件が終了したか否かを判定する（ステップ１００４）。例えば、制御ユニット７０は、加熱条件データ３００の次の加熱条件が設定されていない場合に、全ての加熱条件が終了したと判定する。制御ユニット７０は、全ての加熱条件が終了していないと判定した場合（ステップ１００４でＮｏ）、処理をステップ１００５に進める。
制御ユニット７０は、次の加熱条件に基づいて加熱情報を生成する（ステップ１００５）。例えば、制御ユニット７０は、加熱条件データ３００の次の加熱条件、加熱ユニット６０のスペック、被加工物ユニット１００の構成等に基づいてシミュレーションを実行することで、加熱ユニット６の加熱領域４１０、加熱の強度、加熱の順序等を含む加熱情報を生成する。制御ユニット７０は、ステップ１００５の処理が終了すると、処理をステップ１００６に進める。
制御ユニット７０は、次の加熱条件の加熱情報を含む画像４００をタッチパネル９１に表示させる（ステップ１００６）。例えば、制御ユニット７０は、加熱情報が示す加熱領域４１０、未処理領域４２０等を識別可能な画像４００を表示するように、タッチパネル９１を制御する。これにより、タッチパネル９１は、複数の加熱条件に応じた加熱領域４１０を識別可能な画像４００を表示する。制御ユニット７０は、ステップ１００６の処理が終了すると、処理をステップ１００４に進める。
また、制御ユニット７０は、全ての加熱条件が終了したと判定した場合（ステップ１００４でＹｅｓ）、処理をステップ１００７に進める。制御ユニット７０は、加熱情報を含む画像４００の表示を終了させる（ステップ１００７）。例えば、制御ユニット７０は、画像４００の表示を終了するように、タッチパネル９１を制御する。制御ユニット７０は、ステップ１００７の処理が終了すると、図１３に示す処理手順を終了させる。
図１３に示す処理手順では、制御ユニット７０は、画像４００をタッチパネル９１に表示させる場合について説明したが、これに限定されない。例えば、制御ユニット７０は、通信部９２を介して、画像４００の表示を情報機器５００に指示することで、情報機器５００の表示部５１０に画像４００を表示させてもよい。この場合、制御ユニット７０は、画像４００を情報機器５００の表示部５１０の画面サイズに収まるようにスケール、サイズ等を変更し、変更した画像を情報機器５００の表示部５１０に表示させてもよい。制御ユニット７０は、画像４００をタッチパネル９１及び情報機器５００の表示部５１０の少なくとも一方に表示させることができる。また、制御ユニット７０は、加熱条件を設定可能な画面３１０をタッチパネル９１及び情報機器５００の表示部５１０の少なくとも一方に表示させてもよい。
実施形態に係る加工装置１０は、保持面３１を鉛直方向の上方から加熱ユニット６０によって加熱する場合について説明したが、これに限定されない。図１４は、加工装置１０の他の構成例を示す断面模式図である。図１４に示すように、加工装置１０は、保持面３１を鉛直方向の下方に向けて配置し、装置の底部に設けた複数の加熱部６３に対して保持テーブル３０及びフレーム固定部４０を接近させてシート１０６加熱する構成としてもよい。このような構成において、加工装置１０は、上述した加熱領域４１０を含む画像４００を表示することで、加熱されていない未処理領域４２０の有無や、所望する加熱条件で加熱されているかの確認を支援することができる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
１０ 加工装置
２０ チャンバ
３０ 保持テーブル
３１ 保持面
３２ 枠体
３３ 吸着部
３４ 真空吸引源
４０ フレーム固定部
５０ シート拡張ユニット
６０ 加熱ユニット
６１ ユニット本体
６２ 把持部
６３ 加熱部
６５ 回動部
７０ 制御ユニット
７１ 設定部
７２ 生成部
７３ シミュレーション部
８０ 搬送ユニット
９１ タッチパネル
９２ 通信部
１００ 被加工物ユニット
１０１ 被加工物
１０２ 表面
１０３ 分割予定ライン
１０５ デバイスチップ
１０６ シート
１０７ フレーム
３００，３００－１，３００－２，３００－３ 加熱条件データ
３１０ 画面
４００ 画像
４１０，４１０－１，４１０－２ 加熱領域
４２０ 未処理領域

Claims (7)

  1. 環状のフレームの開口にシートを介して支持された被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、
    該フレームが載置される載置面を有し、該フレームを保持するフレーム保持ユニットと、
    該載置面に対して該保持面を相対的に昇降させる昇降機構と、
    該フレームの内径と被加工物の外径との間に露出している該シートを加熱する加熱ユニットと、
    該加熱ユニットを該保持面に対して相対的に移動可能に支持する移動機構と、
    制御ユニットと、を備え、
    該制御ユニットは、
    該加熱ユニットが該シートを加熱する加熱条件を設定する設定部と、
    該フレームに該シートを介して支持された被加工物の画像に、該設定部によって設定された該加熱条件に基づく該加熱ユニットの加熱領域を識別可能に表示するシミュレーション部と、
    を有することを特徴とする加工装置。
  2. 該シミュレーション部は、該加熱領域を加熱される順序を識別可能に表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
  3. 該シミュレーション部は、複数の該加熱条件を順番に実施する加熱シーケンスのうち、該加熱シーケンスに含まれるいずれかの該加熱条件に対応した該加熱領域を表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
  4. 該シミュレーション部は、該加熱領域において相対的に加熱強度が高い領域と、加熱強度が低い領域と、を識別可能に表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
  5. 該加工装置は、表示部を有し、
    該制御ユニットは、該シミュレーション部によって生成された画像を該表示部に表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
  6. 該加工装置は、表示画面を有する通信機器と接続可能に構成され、
    該制御ユニットは、
    該シミュレーション部によって生成された画像に基づき、該通信機器の該表示画面に出力することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
  7. 該設定部は、タッチパネルまたは通信機器を介して該加熱条件を受け付けることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の加工装置。
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