CN115692247A - 加工装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供加工装置，其能够辅助确认加热单元相对于支承被加工物的片的加热区域。加工装置包含：保持工作台，其具有保持面；框架保持单元，其具有载置面；升降机构，其使该保持面相对于该载置面相对地升降；加热单元，其对在框架与被加工物之间露出的片进行加热；移动机构，其使该加热单元相对于该保持面相对地移动；以及控制单元。控制单元具有：设定部，其设定加热单元对片进行加热时的加热条件或供加热条件设定；以及模拟部，其根据加热条件而推定加热单元进行加热的被加工物单元的加热区域，并生成能够识别相对于被加工物单元的加热区域的图像。

Description

加工装置
技术领域
本发明涉及加工装置。
背景技术
在将被加工物沿着分割预定线进行分割而单片化成多个芯片时，有如下的加工方法：在沿着被加工物的分割预定线形成作为分割起点的槽或改质层之后，将支承被加工物的片扩展，由此以分割起点为起点而将芯片间隔扩展。被加工物借助片而支承于环状框架的开口，在片扩展后，为了维持芯片间隔，使处于被加工物的外缘与框架的内缘之间的剩余区域的片收缩。例如在专利文献1中公开了如下的分割装置：即使在扩展片的松弛方向和伸长方向中的任意方向不同的情况下，也适当地加热扩展片松弛的部分。
专利文献1：日本特开2019-117891号公报
以往的装置通过设定加热器等加热单元的移动路径而设定加热区域，但根据设定，有可能产生未加热的未处理区域。另外，以往的装置在设定有与预期的条件不同的加热单元的移动路径的情况下，担心即使加热区域不同，操作者等也注意不到。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供加工装置，其能够辅助确认加热单元相对于支承被加工物的片的加热区域。
根据本发明的一个方式，提供加工装置，其中，该加工装置具有：保持工作台，其具有对将被加工物借助片而支承于环状的框架的开口中而得的被加工物单元的该被加工物进行保持的保持面；框架保持单元，其对该框架进行保持，具有载置该框架的载置面；升降机构，其使该保持面相对于该载置面相对地升降；加热单元，其对在该框架的内径与该被加工物的外径之间露出的该片进行加热；移动机构，其使该加热单元相对于该保持面相对地移动；以及控制单元，该控制单元具有：设定部，其设定该加热单元对该片进行加热时的加热条件、或供该加热条件设定；以及模拟部，其根据该加热条件而推定该加热单元进行加热的该被加工物单元的加热区域，并生成能够识别相对于该被加工物单元的该加热区域的图像。
在所述加工装置中，也可以是，该模拟部生成识别与多个该加热条件对应的多个该加热区域的被加热的顺序的图像。
在所述加工装置中，也可以是，该模拟部生成能够识别按照多个该加热条件依次实施该片的加热的加热序列中的与该加热序列所包含的任意的该加热条件对应的该加热区域的图像。
在所述加工装置中，也可以是，该模拟部生成能够识别在该加热区域中加热强度相对高的区域和加热强度相对低的区域的图像。
在所述加工装置中，也可以是，该加工装置具有显示部，该控制单元将通过该模拟部而生成的图像显示于该显示部。
在所述加工装置中，也可以是，该加工装置构成为能够与具有显示画面的信息设备连接，该控制单元将与通过该模拟部而生成的图像相关的信息输出至该信息设备。
在所述加工装置中，也可以是，该设定部经由触摸面板或信息设备而接受该加热条件的设定。
本申请发明的加工装置起到如下的效果：能够辅助确认加热单元对于支承被加工物的片的加热区域。
附图说明
图1是示出作为实施方式的加工装置的分割对象的被加工物单元的一例的俯视图。
图2是示出实施方式的加工装置的结构例的立体图。
图3是图2的片扩展单元的III-III剖面处的剖视图。
图4是图2的加热单元的俯视图。
图5是图2的加热单元的功能框图。
图6是图4的加热单元的VII-VII剖面处的剖视图。
图7是示出图2的控制单元的功能结构的一例的图。
图8是示出设定加热条件数据的画面的一例的图。
图9是用于说明加工装置所使用的被加工物单元的图像的一例的图。
图10是用于说明加热条件数据与包含加热区域的图像的关系的一例的图。
图11是用于说明加热条件数据与包含加热区域的图像的关系的一例的图。
图12是用于说明加热条件数据与包含加热区域的图像的关系的一例的图。
图13是示出加工装置所执行的包含加热区域的图像的显示控制的一例的流程图。
图14是示出加工装置的其他结构例的剖面示意图。
标号说明
10：加工装置；20：腔室；30：保持工作台；31：保持面；32：框体；33：吸附部；34：真空吸引源；40：框架固定部；50：片扩展单元；60：加热单元；61：单元主体；62：把持部；63：加热部；65：转动部；70：控制单元；71：设定部；72：生成部；73：模拟部；80：搬送单元；91：触摸面板；92：通信部；100：被加工物单元；101：被加工物；102：正面；103：分割预定线；105：器件芯片；106：片；107：框架；300、300-1、300-2、300-3：加热条件数据；310：画面；400：图像；410、410-1、410-2：加热区域；420：未处理区域。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。不过，本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。在以下的各实施方式中，对相同的部位标记相同的标号，由此省略重复的说明。
在以下的说明中，设定XYZ直角坐标系，参照该XYZ直角坐标系，对各部的位置关系进行说明。将水平面内的一个方向作为X轴方向，将在水平面内与X轴方向垂直的方向作为Y轴方向，将与X轴方向和Y轴方向分别垂直的方向作为Z轴方向。包含X轴和Y轴的XY平面与水平面平行。与XY平面垂直的Z轴方向是铅垂方向。
[实施方式]
图1是示出作为实施方式的加工装置的分割对象的被加工物单元的一例的俯视图。首先，根据附图对作为本发明的实施方式的加工装置的加工(分割)对象的被加工物单元100进行说明。
如图1所示，作为实施方式的加工装置的分割对象的被加工物单元100具有：被加工物101；片106，被加工物101的正面102的相反侧的背面粘贴于片106；以及环状的框架107，片106的外周部分粘贴于环状的框架107。被加工物101例如粘贴于扩展片等片106的中央部分。在片106的框架107的内周即内缘与被加工物101的外周即外缘之间形成有环状区域108。
被加工物101是以硅、蓝宝石、砷化镓或SiC(碳化硅)等作为基板的圆板状的半导体晶片或光器件晶片。如图1所示，被加工物101在正面102的由在相互交叉的方向上分别延伸的分割预定线103划分的各区域内形成有正方形状的器件芯片105。被加工物101沿着分割预定线103而形成有改质层109。
关于被加工物101，沿着分割预定线103从背面侧照射具有透过性的波长的激光束，从而形成有改质层109。改质层109是指密度、折射率、机械强度或其他物理特性处于与周围的这些特性不同的状态的区域，可以例示出熔融处理区域、裂纹区域、绝缘破坏区域、折射率变化区域和这些区域混在的区域等。改质层109是用于将被加工物101分割成各个器件芯片105的分割起点。
片106由具有伸缩性的树脂形成，具有当加热时发生收缩的热收缩性。片106例如由扩展片、粘接带等形成。片106可以具有容易扩展的方向和不容易扩展的方向。片106可以是在基材层上层叠有糊料层的构造或不具有糊料层而仅由基材层形成并通过压接或热压接而粘贴于被加工物101上。
(加工装置的结构例)
图2是示出实施方式的加工装置10的结构例的立体图。图2所示的加工装置10是对片106进行扩展而将形成有改质层109的被加工物101沿着分割预定线103分割成各个器件芯片105的装置。如图2所示，加工装置10具有：腔室20、保持工作台30、框架固定部40、片扩展单元50、加热单元60以及控制单元70。
腔室20形成为上部开口的箱状。腔室20对保持工作台30、框架固定部40的框架载置板41以及片扩展单元50进行收纳。
保持工作台30具有隔着片106而对被加工物单元100的被加工物101进行吸引保持的保持面31。保持工作台30为圆板形状，其具有由不锈钢等金属形成的圆板状的框体32以及由多孔陶瓷等多孔质材形成且被框体32围绕的圆板状的吸附部33。框体32和吸附部33的上表面配置于同一平面上，构成对被加工物101进行吸引保持的保持面31。吸附部33与被加工物101大致为相同直径。保持工作台30在保持面31上隔着通过搬送单元80搬送来的被加工物单元100的片106而载置被加工物101的背面侧。保持工作台30的吸附部33与真空吸引源34连接且通过真空吸引源34吸引吸附部33，由此能够将被加工物101的背面侧吸引保持于保持面31上。
框架固定部40对被加工物单元100的框架107进行固定。框架固定部40具有框架载置板41和框架按压板42。框架载置板41设置有平面形状为圆形的开口部43且上表面44形成为与水平方向平行且平坦地形成的板状。框架载置板41的开口部43的内径形成得略大于框架107的内径。框架载置板41在开口部43内配置保持工作台30，开口部43与保持工作台30配置成同轴。另外，框架载置板41在四角安装有气缸45的活塞杆45-1，配置成通过活塞杆45-1进行伸缩而升降自如。在本实施方式中，气缸45和活塞杆45-1作为移动机构发挥功能。框架载置板41设置有定心引导件46，该定心引导件46在上表面44的四角沿水平方向移动自如地设置，且通过在水平方向上移动而调整框架107的位置，将被加工物101定位于与保持工作台30的吸附部33成为同轴的位置。
框架按压板42形成为与框架载置板41几乎相同尺寸的板状，在中央设置有与开口部43相同尺寸的圆形的开口部47。框架按压板42安装于气缸48的活塞杆48-1的前端，通过活塞杆48-1进行伸缩，在框架载置板41的上方的位置与从框架载置板41的上方退避的位置之间移动自如。框架按压板42在四角设置有定心引导件46能够***的长孔49。
框架固定部40在框架按压板42定位于从框架载置板41的上方退避的位置且定心引导件46彼此相互远离的状态下，在框架载置板41的上表面44上载置通过搬送单元80搬送来的被加工物单元100的框架107。框架固定部40使定心引导件46彼此接近而将被加工物单元100的被加工物101定位。框架固定部40将框架按压板42定位于框架载置板41的上方，使气缸45的活塞杆45-1伸长，使框架载置板41上升，将被加工物单元100的框架107夹持在框架载置板41与框架按压板42之间而进行固定。
图3是图2的片扩展单元50的III-III剖面处的剖视图。图3所示的片扩展单元50通过使保持工作台30和框架固定部40相对地移动至沿着沿铅垂方向的轴心相互分开的位置，由此在与被加工物101的正面102垂直的方向上按压环状区域108而对片106进行扩展，从作为分割起点的改质层109使被加工物101断开。片扩展单元50具有上推部件51和升降单元52。
上推部件51形成为圆筒状，外径形成得比载置于框架载置板41的上表面44的环状的框架107的内径小，内径形成得比粘贴于片106的被加工物101和保持工作台30的外径大。上推部件51在内侧配置保持工作台30，与保持工作台30配置成同轴。在上推部件51的上端旋转自如地安装有与保持工作台30的保持面31配置于同一平面上的滚轮部件53。滚轮部件53在上推部件51将片106上推时，缓和与片106的摩擦。
升降单元52具有气缸54、55。保持工作台30安装在气缸54的活塞杆54-1上并配置成通过活塞杆54-1进行伸缩而升降自如。上推部件51安装在气缸55的活塞杆55-1上并配置成通过活塞杆55-1进行伸缩而升降自如。升降单元52通过气缸54、55而使保持工作台30和上推部件51一体地升降。
片扩展单元50从安装于上推部件51的上端的滚轮部件53和保持面31位于比框架载置板41的上表面44靠下方的位置的状态至滚轮部件53和保持面31位于比框架载置板41的上表面44靠上方的位置的状态，通过升降单元52使上推部件51和保持工作台30一体地上升，使片106在面方向上扩展。片扩展单元50从使片106在面方向上扩展的状态下降至滚轮部件53和保持面31与框架固定部40的上表面44成为同一平面上的状态。当片扩展单元50下降至滚轮部件53和保持面31与框架固定部40的上表面44成为同一平面上的状态时，在片106的环状区域108形成有片106松弛而构成的松弛部分108-2。
图4是图2的加热单元60的俯视图。图2和图4所示的加热单元60对已扩展的片106的环状区域108进行加热而使片106的松弛部分收缩。
如图2和图4所示，加热单元60具有：圆板状的单元主体61；以及分别安装于单元主体61的把持部62-1、62-2、62-3、62-4的多个加热部63-1、63-2、63-3、63-4。下文中，在不区别把持部62-1、62-2、62-3、62-4的情况下，适当地记载为把持部62，在不区别加热部63-1、63-2、63-3、63-4的情况下，适当地记载为加热部63。
如图2所示，单元主体61配置于保持工作台30的上方且与保持工作台30配置成同轴。单元主体61设置成在绕与铅垂方向平行的轴心的方向上旋转自如。另外，单元主体61设置成通过未图示的移动单元升降自如。
如图2和图4所示，把持部62在单元主体61的外缘部沿周向等间隔地配置。把持部62配置于与保持工作台30和框架固定部40所保持的被加工物单元100的片106的环状区域108沿铅垂方向对置的位置。把持部62将加热部63以能够在把持部62的大小的范围内沿单元主体61的径向和铅垂方向移动的方式即以能够沿被加工物101的径向或相对于片106远离和接近的方向移动的方式进行把持。把持部62作为供加热部63贯穿***的开口。把持部62的开口的径向的长度比加热部63的径向的长度大，将加热部63以能够沿径向移动的方式进行把持。在实施方式中，把持部62优选设置有4个，但在本发明中，不限于4个。
加热部63根据把持部62的配置而在单元主体61的外缘部沿周向等间隔地配置。即，加热部63通过被把持部62把持而配置于与保持工作台30和框架固定部40所保持的被加工物单元100的片106的环状区域108沿铅垂方向对置的位置，沿着环状区域108设置于周向。在实施方式中，加热部63优选设置有4个，但在本发明中，不限于4个。加热部63是向下方照射红外线而对片106的环状区域108进行加热的方式的加热器，例如是当施加电压时进行加热而放射红外线的红外线陶瓷加热器。另外，加热部63不限于照射红外线的方式，也可以是具有两种金属的接合部并通过直流电流对两种金属中的吸热和放热进行控制的珀尔帖元件，也可以进一步具有这样的珀尔帖元件。
图5是图2的加热单元60的功能框图。图6是图4的加热单元60的VII-VII剖面处的剖视图。如图5所示，加热单元60具有多个第1加热位置调整部64-1、64-2、64-3、64-4以及转动部65。
多个第1加热位置调整部64-1、64-2、64-3、64-4分别与加热部63-1、63-2、63-3、63-4连接，使加热部63-1、63-2、63-3、63-4的位置在被加工物101的径向上移动。下文中，在不区别第1加热位置调整部64-1、64-2、64-3、64-4的情况下，适当地记载为第1加热位置调整部64。第1加热位置调整部64是能够使加热部63的位置分别单独地在被加工物101的径向上移动的结构，例如具有对加热部63设置的带辊以及驱动该带辊的电动机。另外，第1加热位置调整部64不限于该结构，也可以是具有气缸或滚珠丝杠的结构。转动部65与单元主体61连接。转动部65具有通过使输出轴旋转而使单元主体61在绕与铅垂方向平行的轴心的方向上旋转的未图示的电动机等。
具有以上那样的结构，因此第1加热位置调整部64如图6所示那样使加热部63的位置分别单独地在被加工物101的径向上移动，由此调整加热部63对被加工物101的径向的加热位置。另外，也可以设定成能够使面对的加热部63-1和加热部63-3同时向径向内侧或径向外侧移动并且能够使面对的加热部63-2和加热部63-4同时向径向内侧或径向外侧移动。另外，转动部65能够使加热部63全部同时沿着片106的环状区域108在周向上移动。
如图2所示，控制单元70分别控制加工装置10的上述构成要素即片扩展单元50和加热单元60等而使加工装置10实施对被加工物101的加工动作。控制单元70例如具有：CPU(central processing unit，中央处理器)等运算处理装置；ROM(read only memory，只读存储器)或RAM(random access memory，随机存取存储器)等存储装置；以及输入输出接口装置。控制单元70是能够按照加工装置10所实施的处理工序而执行用于控制上述各构成要素的程序等的计算机。控制单元70与触摸面板91电连接。
触摸面板91在控制单元70的控制下显示被加工物单元100的图像和加工处理所需的各种信息，并且从操作者接受加工处理所需的输入操作等。触摸面板91在加工装置10的壳体上配设于容易观察且容易操作的部位。触摸面板91构成为具有显示装置和输入装置。触摸面板91可以由触摸屏显示器构成，该触摸屏显示器具有液晶显示器或有机EL显示器等显示设备和指定显示设备的显示面中的输入位置或坐标的触摸屏。触摸面板91是显示部的一例。
控制单元70经由无线通信、网络等而控制与信息设备500的通信。信息设备500例如包含智能手机、平板电脑终端等。信息设备500具有显示部510和通信部520。显示部510是显示画面。信息设备500采用能够将经由通信部520从加工装置10接受的各种信息显示于显示部510的结构。控制单元70能够将各种信息发送至信息设备500并显示于显示部510。加工装置10可以在具有触摸面板91的基础上连接于信息设备500，也可以是仅具有其中任意一方的结构。
在加工装置10的加工(分割)方法中有如下的加工方法：在将被加工物101沿着分割预定线103进行分割而单片化成多个芯片时，在沿着被加工物101的分割预定线103形成作为分割起点的槽或改质层之后，对支承被加工物101的片106进行扩展，由此以分割起点作为起点而将芯片间隔扩展。被加工物101借助片106而支承于环状的框架107的开口，为了在片扩展后维持芯片间隔，使处于被加工物101的外缘与框架107的内缘之间的剩余区域的片106收缩。如图3所示，加工装置10为了使片106收缩而一边使加热部63和保持面31相对地移动一边对片106进行加热。此时，加工装置10通过设定加热部63的移动路径而设定加热区域，但担心由于设定的错误而产生未加热的未处理区域或设定成与预期的条件不同的移动路径，即使加热区域不同也注意不到。因此，加工装置10提供能够辅助设定加热单元60的加热区域的技术。
图7是示出图2的控制单元70的功能结构的一例的图。如图7所示，控制单元70具有设定部71、生成部72以及模拟部73。控制单元70通过执行程序而实现设定部71、生成部72和模拟部73的功能部。
设定部71设定包含加热单元60对片106进行加热的加热区域的加热条件或供该加热条件设定。设定部71通过设定包含加热单元60的移动路径、加热温度等的加热条件而设定加热区域。加热条件例如包含能够识别加热单元60对被加工物单元100(片106)进行加热的区域、加热路径、加热部63与被加工物单元100的加热时的距离等的条件。设定部71对加热单元60的加热区域(移动路径)、加热温度、加热时间、加热部63与保持面31的距离、包含连续地实施多个不同的加热条件的情况下的多个加热条件和实施的顺序的加热序列(sequence)等加热条件进行设定。设定部71由操作者等设定加热条件，或从服务器、数据库等获取而设定加热条件。设定部71将能够识别所设定的加热条件的加热条件数据存储于存储装置。
生成部72生成借助片106而支承于框架107的被加工物101的图像。生成部72生成示出能够识别被加工物101、片106和框架107的配置关系的上表面(正面)的图像的图像数据。被加工物单元100的上表面是作为加工对象的面。生成部72能够根据拍摄加热对象的被加工物单元100而得的图像、从数据库获取的图像等而生成用于显示加热单元60的加热区域的图像数据。生成部72将所生成的图像数据存储于存储装置。
模拟部73在被加工物单元100的图像中以能够识别的方式显示出基于设定部71所设定的加热条件的加热单元60的加热区域。模拟部73根据设定部71所设定的加热条件和加热单元60的规格而推定加热单元60进行加热的被加工物单元100的加热区域。加热单元60的规格例如包含加热单元60中的加热部63的原点配置、大小、示出可动的范围的移动路径等。模拟部73根据至少包含加热单元60的规格和加热条件的数据，使用执行模拟的程序、设备学习程序等，计算与加热条件对应的加热单元60的移动路径、加热动作等，根据计算结果而计算被加工物单元100的上表面中的加热区域。模拟部73根据加热单元60的规格和加热条件，计算被加工物单元100的加热区域、加热区域的温度或加热区域内的相对的温度分布、加热时间等加热信息。控制单元70控制触摸面板91以便显示能够识别模拟部73所推定的加热区域的图像。即，模拟部73根据加热条件推定加热单元60进行加热的被加工物单元100的加热区域，生成能够识别相对于被加工物单元100的加热区域的图像。控制单元70将与加热条件对应的加热信息显示在图像上。
在设定有连续地实施不同的多个加热条件的加热序列的情况下，模拟部73按照能够识别通过加热单元60进行加热的加热区域中的顺序的方式，对图像阶段性地或按时间系列顺序显示加热区域。即，模拟部73生成能够识别与多个加热条件对应的多个加热区域的加热序列的图像。
模拟部73在设定有加热序列的情况下，显示出包含与加热序列所包含的任意加热条件对应的区域的加热区域。即，模拟部73生成能够识别利用多个加热条件依次实施片106的加热的加热序列中的与加热序列所包含的任意加热条件对应的加热区域的图像。
加热序列包含多个加热条件及其顺序、各加热条件的重复次数以及实施时间等。例如在加热条件包含第1加热条件至第4加热条件这4个加热条件的情况下，模拟部73能够显示出与多个加热条件中的1个加热条件对应的加热区域或显示出多个加热条件的加热区域。
模拟部73能够以能够识别的方式显示出在加热区域中加热强度相对高的第1区域和加热强度低于第1区域的第2区域。即，模拟部73生成能够识别在加热区域中加热强度相对高的第1区域和加热强度相对低的第2区域的图像。例如模拟部73以不同的显示方式显示出加热强度或显示出示出加热强度的信息。
控制单元70与通信部92电连接。通信部92可以内置于加工装置10，也可以作为加工装置10的外部设备而设置。通信部92例如与加工装置2的外部的信息设备500进行通信。通信部92例如能够将从信息设备500接受的各种信息存储于存储装置。通信部92能够通过控制单元70的控制而将各种信息发送至信息设备500。
以上，对本实施方式的加工装置10的结构例进行了说明。另外，使用图1至图7进行说明的上述结构仅为一例，本实施方式的加工装置10的结构不限于该例。本实施方式的加工装置10的功能结构可以根据规格、运用而灵活地变形。例如加工装置10可以构成为利用模拟部73实现生成部72的功能。
(加热条件的设定例)
图8是示出设定加热条件数据的画面的一例的图。如图8所示，加热条件数据300具有示出基于设定于画面310的数据的加热条件的数据。
画面310具有与能够设定加热条件的多个设定项目对应的多个输入栏，由操作者设定加热条件。在图8所示的一例中，画面310具有：多个设定项目311；与设定项目311对应的多个输入栏312-1、312-2、312-3；以及模拟按钮313。
多个设定项目311具有开始位置、结束位置、加热部选择、加热温度、距离、偏移值(X)和偏移值(Y)的项目。开始位置的设定项目311例如是设定加热单元60的加热部63开始进行加热的位置(角度)的项目。结束位置的设定项目311例如是设定加热部63结束加热的位置(角度)的项目。加热部选择的设定项目311例如是选择多个加热部63中的进行加热的加热部63的项目。加热部选择的设定项目311例如能够选择多个加热部63中的全部或一部分的加热部63。加热温度的设定项目311例如是设定加热部63进行加热的温度的项目。距离的设定项目311例如是设定加热部63与片106的距离的项目。
偏移值(X)和偏移值(Y)的项目是设定用于将多个加热部63的移动路径从圆形变更为椭圆形的偏移值的项目。例如偏移值(X)和偏移值(Y)的项目通过使X轴方向或Y轴方向中的任意一方偏移，能够将多个加热部63的移动路径设定为椭圆形。片106具有在纵横中的一方的方向上容易伸长的性质。因此，加工装置10能够将多个加热部63的移动路径设定为椭圆，能够使片106被加热的量在纵方向和横方向上实现基于片106的伸长量的收缩，能够维持芯片间隔。
输入栏312-1是与第1加热条件的多个设定项目311对应的多个输入栏，设定执行第1加热条件时的设定值。第1加热条件是加热序列中的第一个动作。输入栏312-2是与第2加热条件的多个设定项目311对应的多个输入栏，设定执行第2加热条件时的设定值。第2加热条件是加热序列中的第二个动作。输入栏312-3是与第1加热条件的多个设定项目311对应的多个输入栏，设定执行第3加热条件时的设定值。第3加热条件是多个加热序列中的第三个动作。在图8所示的一例中，画面310采用能够设定3个加热条件的结构，但也可以为3个以外的加热条件的设定数。加热条件数据300根据有无输入栏312-1、312-2和312-3的设定而能够设定加工装置10的加热条件。以下，在不区别输入栏312-1、312-2、312-3的情况下，适当地记载为输入栏312。
模拟按钮313是使示出与基于在画面310中设定的加热条件的加热单元60的加热相关的模拟结果的图像显示于触摸面板91、便携终端等的按钮。加工装置10中，当操作模拟按钮313时，设定部71根据设定于画面310的设定值而确定加热条件，模拟部73生成示出基于该加热条件的加热区域的图像。加工装置10通过将所生成的图像显示于显示单元，使操作者确认与加热条件对应的加热区域。
画面310具有进入按钮314和退出按钮315。进入按钮314是将示出在画面310中设定的加热条件的加热条件数据300登记的按钮。退出按钮315是不登记画面310的加热条件而切换画面310的按钮。
(加热条件和被加工物单元的图像的一例)
图9是用于说明加工装置10所使用的被加工物单元100的图像的一例的图。图9的上图所示的图像400是能够识别被加工物101借助片106而支承于框架107的被加工物单元100的图像。图像400例如包含从上方拍摄被加工物101、片106和框架107而得的图像、示意图等。图像400包含静态图像、动态图像等。图像400是能够识别作为加热单元60的旋转的基准的基准角度0°和基准角度180°的图像。
加工装置10中，当接受模拟的指示时，生成示出加热单元60的4个加热部63根据加热条件进行了加热的情况下的加热区域的加热信息。加工装置10将所生成的加热信息以能够识别的方式显示在图像400上。例如加热条件包含一边使加热单元60的4个加热部63分别在0度至90度的范围内移动一边进行加热的条件。在该情况下，如图9的下图所示，加工装置10将4个加热部63进行加热的加热区域410根据与被加工物101的配置关系而推定为被加工物101与框架107之间的片106的露出区域。加工装置10按照覆盖片106的露出部分的方式在图像400上重叠显示所推定的加热区域410。加工装置10通过利用例如橙色、黄色、红色等显示色重叠显示加热区域410，能够识别片106的露出区域与加热区域410的关系。由此，加工装置10通过显示出利用所设定的加热条件进行加热时的加热区域410，能够使操作者容易地确认有无加热单元60的未处理区域以及是否按照期望的条件进行加热。
图10至图12是用于说明加热条件数据300与包含加热区域的图像400的关系的一例的图。
在图10的上图所示的一例中，加热条件数据300-1在第1加热条件中包含4个加热部63全部对0度至90度的范围进行加热的加热条件。加热条件数据300-1在第2加热条件中包含4个加热部63全部在0度至90度的范围内一边以偏移值(X)为-30和偏移值(Y)为-60的方式进行旋转一边进行加热的加热条件。加热条件数据300-1在第3加热条件中包含通过不设定结束位置而表示不进行加热的加热条件。
加工装置10接受对被加工物101的尺寸为第1尺寸的被加工物单元100的加热的模拟的指示。第1尺寸例如是比框架107的内径小且片106的露出部分宽的尺寸。加工装置10根据使加热单元60的4个加热部63按照加热条件数据300-1所示的加热条件进行加热的情况下的预测结果来推定第1加热条件的加热区域410-1和第2加热条件的加热区域410-2。如图10的下图所示，加工装置10将包含片106的露出部分的一部分和框架107的整个正面的环状的区域推定为第1加热条件的加热区域410-1。加工装置10将与加热区域410-1的一部分重叠且包含片106的露出部分的一部分的椭圆状的区域推定为第2加热条件的加热区域410-2。
加工装置10按照覆盖被加工物单元100的正面的方式在图像400上重叠显示出所推定的加热区域410-1和加热区域410-2。加工装置10按照能够将多个加热部63不进行加热的区域识别为未处理区域420的方式显示图像400。加工装置10例如在显示了包含第1加热条件的加热区域410-1的图像400之后，显示包含第2加热条件的加热区域410-2的图像400，由此能够使操作者识别加热的顺序和区域。
加工装置10例如通过显示包含第1加热条件的加热区域410-1和第2加热条件的加热区域410-2的图像400，能够在图像400中将加热区域410-1和加热区域410-2未重叠的区域识别为未处理区域420。通过以上，加工装置10显示出加热单元60相对于支承被加工物101的片106的加热区域410-1和加热区域410-2，因此能够辅助确认按照加热条件进行加热的区域。
在图11的上图所示的一例中，加热条件数据300-2在第1加热条件中包含4个加热部63全部对0度至90度的范围进行加热的加热条件。加热条件数据300-2在第2加热条件中包含4个加热部63全部在0度至90度的范围内一边以偏移值(X)为-80和偏移值(Y)为-80的方式进行旋转一边从第1距离进行加热的加热条件。加热条件数据300-2在第3加热条件中包含示出不进行加热的加热条件。即，加热条件数据300-2包含4个加热部63的移动路径在第1加热条件和第2加热条件中未重叠的加热条件。
加工装置10接受对被加工物101的尺寸为上述第1尺寸的被加工物单元100的加热的模拟的指示。加工装置10根据使加热单元60的4个加热部63按照加热条件数据300-2所示的加热条件进行加热的情况下的预测结果来推定第1加热条件的加热区域410-1和第2加热条件的加热区域410-2。如图11的下图所示，加工装置10将片106的露出部分中的框架107附近的环状的区域推定为第1加热条件的加热区域410-1。加工装置10将不与加热区域410-1重叠且包含片106的露出部分的一部分的环状的区域推定为第2加热条件的加热区域410-2。
加工装置10按照覆盖被加工物单元100的正面的方式在图像400上重叠显示出所推定的加热区域410-1和加热区域410-2。加工装置10按照能够将多个加热部63不进行加热的区域识别为未处理区域420的方式显示图像400。在图11的下图所示的一例中，图像400示出加热区域410-1与加热区域410-2之间的区域是未处理区域420。
加工装置10例如在显示了包含第1加热条件的加热区域410-1的图像400之后，显示包含第2加热条件的加热区域410-2的图像400，由此能够识别加热的顺序和区域。由此，加工装置10能够按照对第1加热条件的加热区域410-1和第2加热条件的加热区域410-2进行加热的顺序识别多个加热区域410。
在图12的上图所示的一例中，加热条件数据300-3在第1加热条件中包含4个加热部63全部对0度至90度的范围进行加热的加热条件。加热条件数据300-3在第2加热条件中包含4个加热部63全部在0度至20度的范围内一边旋转一边从第1距离进行加热的加热条件。加热条件数据300-3在第3加热条件中包含示出不进行加热的加热条件。即，加热条件数据300-3包含4个加热部63的移动路径在第1加热条件和第2加热条件中部分重叠的加热条件。
加工装置10接受对被加工物101的尺寸为第2尺寸的被加工物单元100的加热的模拟的指示。第2尺寸是比上述第1尺寸大的尺寸。加工装置10根据使加热单元60的4个加热部63按照加热条件数据300-3所示的加热条件进行加热的情况下的预测结果来推定第1加热条件的加热区域410-1和第2加热条件的加热区域410-2。如图12的下图所示，加工装置10将包含片106的露出部分和框架107的环状的区域推定为第1加热条件的加热区域410-1。加工装置10将与加热区域410-1的一部分重叠的4个区域推定为第2加热条件的加热区域410-2。
加工装置10按照覆盖被加工物单元100的正面的方式在图像400上重叠显示出所推定的加热区域410-1和加热区域410-2。加工装置10通过与加热区域410-1重叠地显示出加热区域410-2，能够将重叠的加热区域410-2识别为加热强度高的第1区域，将未重叠的区域识别为加热强度低于第1区域的第2区域。由此，加工装置10通过显示出图像400，能够辅助确认根据加热条件而多次或以高强度进行加热的加热区域410。另外，加工装置10例如按照对第1加热条件的加热区域410-1和加热区域410-2进行加热的顺序阶段性地进行显示，由此能够辅助确认加热条件的加热序列。所谓的加热强度高通过下述的任意方式产生：与其他区域相比，多次与加热部63的移动路径对应从而加热的时间长；或保持工作台30与加热部63的下表面的相对移动速度慢因而加热的时间长；加热时的加热部63与被加工物单元100的上表面距离近；加热时的加热部63的温度高。
(加工装置的控制例)
图13是示出加工装置10所执行的包含加热区域的图像的显示控制的一例的流程图。图13所示的处理过程通过由加工装置10的控制单元70执行程序而实现。图13所示的处理过程通过控制单元70根据来自操作者的指示而执行。
如图13所示，加工装置10的控制单元70使加热条件的画面310显示于触摸面板91(步骤1001)。例如控制单元70控制触摸面板91以便显示能够设定加热条件数据300的画面310。由此，触摸面板91显示画面310，并成为能够接受对该画面310的操作的状态。控制单元70在步骤1001的处理结束时，使处理进入步骤1002。
控制单元70根据设定于画面310的加热条件而生成加热信息(步骤1002)。例如控制单元70根据对画面310的模拟按钮313的操作而生成图像数据，该图像数据示出能够识别作为加热对象的被加工物101、片106和框架107的配置关系的上表面的图像。控制单元70根据加热条件数据300的第1加热条件的加热条件、加热单元60的规格、被加工物单元100的结构(包含被加工物101的大小、框架107的大小、被加工物101与框架107的位置关系等)等而执行模拟，由此生成包含加热单元6的加热区域410、加热的强度、加热的顺序等的加热信息。控制单元70在步骤1002的处理结束时，使处理进入步骤1003。
控制单元70使包含加热信息的图像400显示于触摸面板91(步骤1003)。例如控制单元70控制触摸面板91以便显示能够识别加热信息所示的加热区域410、未处理区域420等的图像400。由此，触摸面板91显示至少能够识别加热区域410的图像400。控制单元70在步骤1003的处理结束时，使处理进入步骤1004。
控制单元70判定是否结束了所有的加热条件(步骤1004)。例如控制单元70在未设定加热条件数据300的下一个加热条件的情况下，判定为结束了所有的加热条件。控制单元70在判定为未结束所有的加热条件的情况下(步骤1004中为否)，使处理进入步骤1005。
控制单元70根据下一个加热条件而生成加热信息(步骤1005)。例如控制单元70根据加热条件数据300的下一个加热条件、加热单元60的规格、被加工物单元100的结构等而执行模拟，由此生成包含加热单元6的加热区域410、加热的强度、加热的顺序等的加热信息。控制单元70在步骤1005的处理结束时，使处理进入步骤1006。
控制单元70使包含下一个加热条件的加热信息的图像400显示于触摸面板91(步骤1006)。例如控制单元70控制触摸面板91以便显示出能够识别加热信息所示的加热区域410、未处理区域420等的图像400。由此，触摸面板91显示出能够识别与多个加热条件对应的加热区域410的图像400。控制单元70在步骤1006的处理结束时，使处理进入步骤1004。
另外，控制单元70在判定为结束了所有的加热条件的情况下(步骤1004中为是)，使处理进入至步骤1007。控制单元70使包含加热信息的图像400的显示结束(步骤1007)。例如控制单元70控制触摸面板91以便结束图像400的显示。控制单元70在步骤1007的处理结束时，结束图13所示的处理过程。
在图13所示的处理过程中，对控制单元70将图像400显示于触摸面板91的情况进行了说明，但不限于此。例如控制单元70可以经由通信部92而对信息设备500指示图像400的显示，由此使信息设备500的显示部510显示图像400。在该情况下，控制单元70可以按照使图像400适合信息设备500的显示部510的画面尺寸的方式变更标尺、尺寸等，将变更后的图像显示于信息设备500的显示部510。即，控制单元70只要能够将与图像400相关的信息输出至信息设备500即可。控制单元70可以将图像400显示于触摸面板91和信息设备500的显示部510中的至少一方。另外，控制单元70可以将能够设定加热条件的画面310显示于触摸面板91和信息设备500的显示部510中的至少一方。即，控制单元70可以经由触摸面板或信息设备而接受加热条件的设定。
对实施方式的加工装置10通过加热单元60从铅垂方向的上方将保持面31进行加热的情况进行了说明，但不限于此。图14是示出加工装置10的其他结构例的剖面示意图。如图14所示，加工装置10可以采用下述结构：使保持面31朝向铅垂方向的下方而进行配置，使保持工作台30和框架固定部40相对于设置于装置的底部的多个加热部63接近而对片106进行加热。在这样的结构中，加工装置10通过显示出包含上述的加热区域410的图像400，能够辅助确认有无未加热的未处理区域420以及是否按照期望的加热条件进行加热。
另外，本发明并不限于上述实施方式。即，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。

Claims (7)

1.一种加工装置，其中，
该加工装置具有：
保持工作台，其具有对将被加工物借助片而支承于环状的框架的开口中而得的被加工物单元的该被加工物进行保持的保持面；
框架保持单元，其对该框架进行保持，具有载置该框架的载置面；
升降机构，其使该保持面相对于该载置面相对地升降；
加热单元，其对在该框架的内径与该被加工物的外径之间露出的该片进行加热；
移动机构，其使该加热单元相对于该保持面相对地移动；以及
控制单元，
该控制单元具有：
设定部，其设定该加热单元对该片进行加热时的加热条件、或供该加热条件设定；以及
模拟部，其根据该加热条件而推定该加热单元进行加热的该被加工物单元的加热区域，并生成能够识别相对于该被加工物单元的该加热区域的图像。
2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该模拟部生成能够识别与多个该加热条件对应的多个该加热区域的被加热的顺序的图像。
3.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该模拟部生成能够识别按照多个该加热条件依次实施该片的加热的加热序列中的与该加热序列所包含的任意的该加热条件对应的该加热区域的图像。
4.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该模拟部生成能够识别在该加热区域中加热强度相对高的区域和加热强度相对低的区域的图像。
5.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该加工装置具有显示部，
该控制单元将通过该模拟部而生成的图像显示于该显示部。
6.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该加工装置构成为能够与具有显示画面的信息设备连接，
该控制单元将与通过该模拟部而生成的图像相关的信息输出至该信息设备。
7.根据权利要求1至3中的任意一项所述的加工装置，其中，
该设定部经由触摸面板或信息设备而接受该加热条件的设定。
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