JP2021049589A - ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、図1に示す仮置台11がある位置をロード位置Lo(ロード側)、仮置台12がある位置をアンロード位置Un(アンロード側)として説明する。また、図1に示す仮置台11がある方向を前(F)、仮置台12がある方向を後(B)、鉛直上方側を上(U)、鉛直下方側を下(D)、図2に示すモータMがある方向を左(L)、モータMがある左(L)側と対向する方向を右(R)として適宜説明する。
図1に示すように、ワークWは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークWは、ワイヤソー1に配置された加工装置5のワイヤ53に押し当てることで切削して切断される。
図1に示すワイヤソー1は、加工装置5のワイヤ53によってワークWを切断する切断装置である。ワイヤソー1は、仮置台11,12と、クランプ装置2と、昇降装置3と、移送装置4と、加工装置5と、を備えて構成されている。
仮置台11,12は、ワークWを支持するための載置台である。仮置台11,12は、ワイヤソー1の加工室R外の前後にそれぞれ配置されている。ロード位置Lo側(前側)の仮置台11(ロード用の仮置台)は、未加工のワークWをロード位置Lo側から加工室Rに搬入する際に、ワークWを載置するのに使用される。
アンロード位置Un側(後側)の仮置台12(アンロード用の仮置台)は、加工室Rから移送装置4によってアンロード位置Unに搬出された加工完了後のワークWを載置するのに使用される。
クランプ装置2は、加工装置5でワークWを加工する際に、加工室Rに搬入された未加工のワークWをクランプするための保持機構である。つまり、クランプ装置2は、ロード位置Loから加工室Rに搬入された未加工のワークWを、ワーク治具23を介在して間接的にクランプしてから、そのワークWを加工装置5のワイヤ53に押し当てて加工して、加工完了後のワークWを移送装置4上に置くまで保持してアンクランプする。クランプ装置2からアンクランプされたワークWは、移送装置4上に載せてからアンロード位置Unに搬出される。図2に示すように、クランプ装置2は、複数(例えば、4つ)のクランプ部材26と、複数のクランプ部材26を保持したワーク保持部材25と、を備えている。
昇降装置3は、下端部にワーク治具23等を介在してワークWを保持するクランプ装置2を備えて、ワークWを昇降させるための装置である。昇降装置3は、ワークWをスライダ45上から上昇させたり、ワークWを加工装置5のワイヤ53に押し付けて加工したり、加工完了後のワークWを下降させてスライダ45上に載置させたりする。
昇降装置3は、クランプ装置2を上下させるボールねじ等の移動機構(図示省略)と、その移動機構を作動させるサーボモータ等の移動用駆動モータ(図示省略)等と、を備えて構成されている。
図1に示すように、移送装置4は、ロード位置Lo側の仮置台11に載置したワークWを加工室Rに搬入したり、加工装置5によって加工された加工完了後のワークWを加工室Rからアンロード位置Unに搬出させたりするための搬送装置である。換言すると、移送装置4は、図1に示すように、ロード位置Lo側の仮置台11に載置した未加工のワークWに取り付けたワーク治具23の掛止部23aを、スライダ45の支持部45cで支持して、図5に示すようにワークWを加工室Rに搬入する。加工室Rに搬入後、図6に示すように、空状態のスライダ45の支持部45c,45dを退避位置に退避させる。また、移送装置4は、図7に示すように、アンロード位置Un側の空状態のスライダ45の支持部45dを加工室Rに移動させる。その後、移送装置4は、図8に示すように、加工完了後のワークWを支持した支持部45dを加工室Rからアンロード位置Unに搬出させる。
駆動歯車43は、モータMの回転を変換歯車44に伝達するための歯車である。駆動歯車43は、図1及び図2に示すように、ワイヤソー1の左右の前後方向中央部にそれぞれ配置されている。
後側の支持部45dは、図7及び図8に示すように、加工完了後のワークWを加工室Rからアンロード位置Unに搬出する際に、ワークWに取り付けられたワーク治具23の掛止部23aが支持される部位である。支持部45c,45dは、左右のスライダ45の前後端部に形成されている。
図1に示すように、加工装置5は、クランプ装置2にクランプされた未加工のワークWを加工する切削機構である。加工装置5は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ51,52と、加工用ローラ51と加工用ローラ52とに巻き掛けられたワイヤ53と、加工用ローラ51,52を回転駆動させる駆動モータ(図示省略)と、を備えて構成されている。加工装置5は、基台13上のコラム14に設けられている。
図1及び図2に示すように、加工室カバー6は、加工装置5における加工領域を覆って加工室Rを形成するカバー部材である。加工室カバー6は、ワークWの加工領域に供給されたクーラントが飛散しないように設けられる箱状部材から成る。加工室カバー6は、加工室R内のワークWの着脱作業等の際に、開閉する扉(図示省略)を備えている。
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー1及びワイヤソー1のワークWの搬入出方法の作用を、図15を主に図1〜図15を参照しながら作業工程順に説明する。
以上の搬出工程S1から取外載置工程S6を繰り返して、ワークWを順次に加工して生産する。
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。
図16は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第1変形例を示す概略側面図である。
図17は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第2変形例を示す概略側面図である。図18は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第2変形例を示す図で、(a)はスライダがロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図、(b)はスライダがアンロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図である。
2 クランプ装置
3 昇降装置
4,4A,4B 移送装置
5 加工装置
11,11B 仮置台(ロード用の仮置台)
12 仮置台(アンロード用の仮置台)
23 ワーク治具
23a 掛止部
41,41A,42,42A スライダ連結部
43,43A1,43A2 駆動歯車
44,44A1,44A2 変換歯車
45,45A1,45A2 スライダ
45c 支持部(ロード用の支持部)
45d 支持部(アンロード用の支持部)
46,46A1,46A2 ガイド
53 ワイヤ
Lo ロード位置(ロード)
Un アンロード位置(アンロード)
M,M1,M2 モータ
R 加工室
S1 搬出工程
S2 搬入工程
S3 クランプ工程
S4 退避工程
S5 加工工程
S6 取外載置工程
W ワーク
Claims (5)
- ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記ワークを支持する仮置台と、
前記ワークを支持するスライダを含み、前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、
前記加工室に配置され、前記ワークを加工する加工装置と、
前記加工室に配置され、前記ワークをクランプするクランプ装置と、
前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、
前記移送装置は、前記仮置台から前記加工室へ前記ワークを搬送する
ことを特徴とするワイヤソー。 - 前記移送装置は、モータと、
前記モータによって回転する駆動歯車と、
前記駆動歯車の回転を直線運動に変換させる変換歯車と、
前記変換歯車によって進退されるスライダと、
前記スライダを進退自在に支持するガイドと、
前記スライダに設けられた前記支持部と、を備えている
ことを特徴とする請求項1に記載のワイヤソー。 - 前記ワークは、当該ワークを保持するワーク治具を有し、
前記スライダは、互いに平行に配置された一対の部材から成ると共に、前記ワーク治具の側面両側にそれぞれ突設された掛止部が支持される前記支持部を有し、
前記ワーク治具は、前記ワークを搬送する際に、前記掛止部が、前記一対のスライダの前記支持部に支持され、前記ワークを加工する際に、前記掛止部が、前記一対のスライダの前記支持部から離間されて前記一対のスライダ間を前記昇降装置によって下降させる
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のワイヤソー。 - 前記仮置台は、ロード側に配置されるロード用の仮置台と、アンロード側に配置されるアンロード用の仮置台を有し、
前記スライダは、ロード側に配置されるロード用の支持部と、アンロード側に配置されるアンロード用の支持部を有し、
前記移送装置は、前記ロード用の支持部を前記ロード用の仮置台から前記加工室に搬入すると共に、前記アンロード用の支持部を前記加工室から前記アンロード用の仮置台へ搬出させる
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかの請求項に記載のワイヤソー。 - ワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、
加工完了のワークをスライダにてアンロード用の仮置台に搬出する搬出工程と、
ロード用の仮置台の未加工のワークを前記スライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、
前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、
前記スライダを加工室内に退避させる退避工程と、
前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、
前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で前記アンロード用の仮置台に載置された前記加工完了のワークを前記アンロード用の仮置台から取り外すと共に、未加工のワークをロード用の仮置台に載置する取外載置工程と、
を有する
ことを特徴とするワイヤソーのワークの搬入出方法。
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