JP2020192515A - 蒸気洗浄・減圧乾燥装置 - Google Patents
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- 238000013020 steam cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 230000006837 decompression Effects 0.000 title abstract description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 97
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 94
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 21
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 8
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000010407 vacuum cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
a) ワークを気密に収容する真空槽と、
b) 前記真空槽内に洗浄液の蒸気を供給する蒸気供給部と、
c) 排気口が前記真空槽には接続されていない真空ポンプと、
d) 前記真空槽と前記真空ポンプの吸気口を接続する第1排気管と、
e) 前記第1排気管の途中に設けられた凝縮器と、
f) 前記第1排気管とは別に設けられた、前記真空槽と前記真空ポンプの吸気口を接続する第2排気管と、
g) 前記真空槽と前記真空ポンプとの間の排気経路を前記第1排気管と前記第2排気管のいずれかに切り替える切替弁と
を備えることを特徴とする。
本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置10は、図1に示すように、真空槽11と、蒸気発生槽(蒸気供給部)12と、真空ポンプ13と、凝縮器14と、凝縮器側一時貯留槽151と、真空槽側一時貯留槽152と、貯留槽15とを有する。
次に、本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置10の動作を説明する。
まず、真空槽11の蓋111を開放し、ワークWを真空槽11内に収容した後、蓋111を閉鎖する。この状態で、蒸気供給制御弁192、第2排液弁1932及び第4排液弁1934を閉鎖し、第1排液弁1931及び第3排液弁1933を開放した状態で真空ポンプ13を動作させる。そして、開閉弁1913及び1914を閉鎖し、開閉弁1911及び1912を開放する。これにより、真空槽11、凝縮器14、凝縮器側一時貯留槽151及び真空槽側一時貯留槽152内が減圧される。
次に、以下のようにワークWを減圧乾燥する。
11…真空槽
111…真空槽の蓋
12…蒸気発生槽
121…蒸気供給管
13…真空ポンプ
131…吸気口
132…排気口
14…凝縮器
15…貯留槽
151…凝縮器側一時貯留槽
152…真空槽側一時貯留槽
161…第1排気管
162…第2排気管
163…第3排気管
164…真空槽側一時貯留槽排気管
1651…真空槽側接続管
1652…ポンプ側接続管
171…第1洗浄液回収管
172…第2洗浄液回収管
173…第3洗浄液回収管
174…第4洗浄液回収管
1741…送液ポンプ
18…ヒータ
191…切替弁
1911、1912、1913、1914、1917…開閉弁
1915、1916…三方弁
192…蒸気供給制御弁
1931…第1排液弁
1932…第2排液弁
1933…第3排液弁
1934…第4排液弁
1941、1942、1943、1944…大気開放弁
L…洗浄液
W…ワーク
Claims (3)
- a) ワークを気密に収容する真空槽と、
b) 前記真空槽内に洗浄液の蒸気を供給する蒸気供給部と、
c) 排気口が前記真空槽には接続されていない真空ポンプと、
d) 前記真空槽と前記真空ポンプの吸気口を接続する第1排気管と、
e) 前記第1排気管の途中に設けられた凝縮器と、
f) 前記第1排気管とは別に設けられた、前記真空槽と前記真空ポンプの吸気口を接続する第2排気管と、
g) 前記真空槽と前記真空ポンプとの間の排気経路を前記第1排気管と前記第2排気管のいずれかに切り替える切替弁と
を備えることを特徴とする蒸気洗浄・減圧乾燥装置。 - さらに、前記第2排気管内を加熱するヒータを備えることを特徴とする請求項1に記載の蒸気洗浄・減圧乾燥装置。
- さらに、前記排気口に接続されている、洗浄液の貯留槽を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の蒸気洗浄・減圧乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019101227A JP7148975B2 (ja) | 2019-05-30 | 2019-05-30 | 蒸気洗浄・減圧乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019101227A JP7148975B2 (ja) | 2019-05-30 | 2019-05-30 | 蒸気洗浄・減圧乾燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020192515A true JP2020192515A (ja) | 2020-12-03 |
JP7148975B2 JP7148975B2 (ja) | 2022-10-06 |
Family
ID=73548443
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019101227A Active JP7148975B2 (ja) | 2019-05-30 | 2019-05-30 | 蒸気洗浄・減圧乾燥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7148975B2 (ja) |
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JP7401122B2 (ja) | 2022-02-01 | 2023-12-19 | アクトファイブ株式会社 | 炭化水素回収装置及び洗浄装置 |
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2019
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