JP6509315B1 - 蒸気洗浄後のワーク乾燥判定方法及び蒸気洗浄真空乾燥装置 - Google Patents

Abstract

【課題】蒸気洗浄後のワークの乾燥不良を検知することができ、それにより蒸気洗浄真空乾燥装置の生産性を高くすることができるワーク乾燥判定方法を提供する。【解決手段】気密にした真空槽内にワークを収容して洗浄液の蒸気を導入することによりワークの蒸気洗浄を行う蒸気洗浄工程の後に、真空槽内を減圧することでワークの表面に残留する洗浄液を突沸させることによりワークを乾燥させる真空乾燥工程におけるワークの乾燥の良否を判定する方法であって、前記真空乾燥工程において、前記真空槽内の圧力が所定の目的圧力に到達し（Ｓ２）、該目的圧力になった時の該真空槽内の温度が所定の目的温度以上であって（Ｓ５）、且つ、真空乾燥工程の開始時から所定の時間が経過するまでの間、真空槽内の温度低下が所定範囲内にある（Ｓ８）ときに、ワークの乾燥が良好であると判定する（Ｓ９）。【選択図】図２

Description

本発明は、ワークを洗浄液の蒸気で洗浄した後、真空乾燥させる際に該ワークが乾燥したか否かを判定するワーク乾燥判定方法、及び該ワーク乾燥判定方法を用いた蒸気洗浄真空乾燥装置に関する。

従来、洗浄液を気化させた蒸気を用いてワークを洗浄した後、ワークに付着した洗浄液を除去するために、真空乾燥が行われている。例えば、特許文献１には、洗浄液を気化させた蒸気を用いたワークの洗浄と、その後のワークの乾燥を同じ真空槽内で行う蒸気洗浄真空乾燥装置が記載されている。この蒸気洗浄真空乾燥装置では、洗浄対象のワークを真空槽に収容した後、真空槽を密閉し、真空槽内の空気を排出したうえで、真空槽内に洗浄液の高温の蒸気を供給する。蒸気が低温のワークに接触したとき、蒸気はワークの表面で液化し、該表面が洗浄される。液化の際に、蒸気はワークと熱交換を行い、ワークが加温される。ワークの表面が十分に洗浄され、ワークが十分加温された後、蒸気の供給を停止し、真空槽内を急激に減圧する。これにより、ワークの表面に付着していた洗浄液が突沸・気化し、該表面が乾燥する。

特開2011-242035号公報

蒸気洗浄の際に、ワークの加温が不十分であったり、蒸気の供給が過多になって多量の洗浄液がワークの表面に付着した場合には、真空乾燥を行ってもワークの表面が完全には乾燥しないおそれがある。そうなると、ワークの表面に残留した洗浄液によりシミが生じてしまう。そのため、ワークの表面の乾燥の良否を判定することが求められるが、従来の蒸気洗浄真空乾燥装置ではそのような判定を行うことができなかった。

個々の洗浄毎に乾燥の良否を判定する代わりに、確実にワークを乾燥させるために、使用される蒸気洗浄真空乾燥装置毎に、蒸気洗浄真空乾燥装置の販売者が納入先で処理対象として予定される全ての種類のワークを用いて試験を行い、それらが全て十分に乾燥する条件を見出して、蒸気洗浄及び真空乾燥を行う際の条件を設定することが行われている。ここで設定された条件を全ての種類のワークに適用することにより、ワークの種類に関わらず良好な乾燥状態が得られる。しかしながら、この方法では、最も乾燥し難いワークに合わせて条件を設定するため、それ以外のワークでは乾燥に必要以上の時間を要してしまう等、生産性が低下する原因となってしまう。

本発明が解決しようとする課題は、蒸気洗浄後のワークの乾燥不良を検知することができ、それにより蒸気洗浄真空乾燥装置の生産性を高くすることができるワーク乾燥判定方法、及び該ワーク乾燥判定方法を用いた蒸気洗浄真空乾燥装置を提供することである。

上記課題を解決するために成された本発明に係るワーク乾燥判定方法は、気密にした真空槽内にワークを収容して洗浄液の蒸気を導入することにより該ワークの蒸気洗浄を行う蒸気洗浄工程の後に、該真空槽内を減圧することで該ワークの表面に残留する洗浄液を突沸させることにより該ワークを乾燥させる真空乾燥工程におけるワークの乾燥の良否を判定する方法であって、
前記真空乾燥工程において、
前記真空槽内の圧力が所定の目的圧力に到達し、
該目的圧力になった時の該真空槽内の温度が所定の目的温度以上であって、且つ、
前記真空乾燥工程の開始時から所定の時間が経過するまでの間、該真空槽内の温度低下が所定範囲内にある
ときに、ワークの乾燥が良好であると判定することを特徴とする。

真空乾燥工程では、真空槽内の圧力は、ワークの表面に付着していた洗浄液が蒸発し続けている間には十分に低下せず、蒸発が（ほぼ）止まると、蒸気洗浄真空乾燥装置毎に定まる目的圧力まで到達する。そのため、本発明に係るワーク乾燥判定方法では、真空槽内の圧力がこの目的圧力に到達していることを、ワークの乾燥が良好であることの第１の判定要件とする。この目的圧力は、真空槽の容積、真空槽からの気体のリークの大きさ、真空槽内を減圧する装置（ポンプ）の性能等により定まる。

但し、真空槽内の圧力が目的圧力に到達したとしても、該圧力における真空槽内の温度が低すぎると、ワークの温度も低く、それにより洗浄液がワークの表面に付着したままの状態で蒸発しなくなっているおそれがある。そのため、本発明に係るワーク乾燥判定方法では、真空槽内の圧力が目的圧力に到達した時の該真空槽内の温度が所定の目的温度以上であることを、ワークの乾燥が良好であることの第２の判定要件とする。この目的温度は、目的圧力に依存して定まる。

また、真空槽内の圧力が低下（真空度が上昇）して洗浄液が突沸することでワークの表面が乾燥すれば真空乾燥工程の間の温度変化は小さいものとなる。それに対して真空槽内の圧力が低下（真空度が上昇）して洗浄液が突沸した後であっても洗浄液がワークの表面に残存しているという乾燥不良の状態では、突沸後、圧力が（ほとんど）低下しなくなるまでの間、該表面から洗浄液が少量ずつ蒸発し続ける。このような場合には、洗浄液の蒸発に伴ってワークの熱が奪われてゆき（気化熱）、ワークの温度が徐々に低下してゆく。そこで、本発明に係るワーク乾燥判定方法では、真空乾燥工程の開始（すなわち、減圧の開始）時から所定の時間が経過するまでの間の真空槽内の温度低下が所定範囲内にあることを、ワークの乾燥が良好であることの第３の判定要件とする。ここで「所定の時間」は、真空乾燥工程の開始時から圧力が（ほとんど）低下しなくなるまでの時間を勘案して（例えば、そのような時間に、余裕を見た分の時間を追加して）定める。典型的には、この所定の時間を、真空乾燥工程の開始から終了までの時間とする。

本発明に係るワーク乾燥判定方法では、以上の第１〜第３の判定要件を全て満たした場合には、ワークの乾燥が良好であると判定し、それら判定要件のうちの１つでも満たさないものがあれば、ワークの乾燥が不良であると判定する。

本発明に係るワーク乾燥判定方法によれば、乾燥の良否をワークの種類（ワークの材料及び形状）に関わらず判定することができる。

本発明に係るワーク乾燥判定方法は、個々のワークを真空乾燥させる度に、ワークの乾燥が良好であると判定するまで、該真空乾燥の操作を継続しつつ繰り返し行うようにすることができる。これにより、必要以上の時間を掛けることなく、個々のワークを確実に乾燥させることができるため、蒸気洗浄真空乾燥装置の生産性を高くすることができる。

一方、同じ種類の複数のワークをそれぞれ同じ条件で蒸気洗浄及び真空乾燥を行うと、通常は各ワークにおける乾燥の良否の判定結果が近いものとなることから、1個のワークに対して蒸気洗浄及び真空乾燥を行って本発明の方法により乾燥が良好であると判定されたときの、蒸気洗浄に蒸気を供給した時間である蒸気供給時間及び真空乾燥において減圧を行った時間である減圧時間を求め、同種の他のワークに対して（本発明に係るワーク乾燥判定方法を実施することなく）該蒸気供給時間だけ蒸気洗浄を行ったうえで該減圧時間だけ真空乾燥を行うようにしてもよい。この場合、ワークの種類に応じた適切な条件で蒸気洗浄及び真空乾燥を行うことができ、且つ、蒸気洗浄真空乾燥装置の生産性を損ねることがない。

本発明に係るワーク乾燥判定方法によってワークの乾燥が不良であると判定されたときには、蒸気洗浄工程におけるワークの加温が不十分であることが原因となっている可能性がある。そこで、前記蒸気洗浄工程において前記真空槽内の温度を測定することが望ましい。この温度を測定しておくことにより、ワークの乾燥が不良であると判定されたときに、蒸気洗浄時のワークの加温が不十分であることが原因になっているか否かを判断する材料とすることができる。

本発明に係る蒸気洗浄真空乾燥装置は、
a) ワークを気密に収容する真空槽と、
b) 前記真空槽に洗浄液の蒸気を供給する蒸気供給部と、
c) 前記真空槽内を減圧する減圧部と、
d) 前記真空槽内の温度を測定する温度測定部と、
e) 前記真空槽内の圧力を測定する圧力測定部と、
f) 前記蒸気供給部から前記真空槽内に洗浄液の蒸気を供給した後に、前記減圧部により前記真空槽内を減圧するよう、該蒸気供給部及び該減圧部を制御する蒸気洗浄真空乾燥制御部と、
g) 前記減圧部により前記真空槽内を減圧する操作の間、前記温度測定部から前記真空槽内の温度を取得すると共に前記圧力測定部から前記真空槽内の圧力を取得し、前記圧力が所定の目的圧力以下に到達し、該目的圧力に到達した時の該真空槽内の温度が所定の目的温度以上であって、且つ、前記真空槽内を減圧する操作の開始時から所定の時間が経過するまでの間、該真空槽内の温度低下が所定範囲内にあるときにワークの乾燥が良好であると判定する乾燥判定部と
を備えることを特徴とする。

本発明によれば、蒸気洗浄後のワークの乾燥不良を検知することができ、それにより蒸気洗浄真空乾燥装置の生産性を高くすることができる。

本発明に係る蒸気洗浄真空乾燥装置の一実施形態を示す概略構成図。 本実施形態のワーク乾燥判定方法を示すフローチャート。 ワークの乾燥が良好である場合(a)及び不良である場合(b)における、真空乾燥工程開始からの経過時間と真空槽内の圧力及び温度の関係のモデル例を示すグラフ。 蒸気洗浄工程における真空槽内の温度変化の一例を示すグラフ。

図１〜図４を用いて、本発明に係るワーク乾燥判定方法を含む蒸気洗浄真空乾燥方法、及び蒸気洗浄真空乾燥装置の実施形態を説明する。

(1) 本実施形態の蒸気洗浄真空乾燥装置の構成
図１は、本実施形態の蒸気洗浄真空乾燥装置１０の構成を示す概略図である。蒸気洗浄真空乾燥装置１０は、真空槽１１と、蒸気供給部１２と、減圧部１３と、温度センサ（温度測定部）１４と、圧力センサ（圧力測定部）１５と、制御部１６と、操作部１７を有する。

真空槽１１は上部に蓋１１１を有する。この蓋１１１を取り外すことで、真空槽１１の内部にワークＷを収容することができる。蓋１１１には、真空槽１１から蓋１１１を取り外す際に真空槽１１の内部を常圧にできるように、大気開放弁Ｖ１及び大気開放口１１２が設けられている、

蒸気供給部１２は、洗浄液を貯留する貯留槽１２１、貯留槽１２１内の洗浄液を加熱する蒸気生成ヒータ１２２、並びに貯留槽１２１と真空槽１１を接続する蒸気導入管１２３及び返送管１２４を有する。蒸気導入管１２３には蒸気導入弁Ｖ２が、返送管１２４には返送弁Ｖ３が、それぞれ設けられている。

減圧部１３は、真空ポンプ１３１と、真空槽１１と真空ポンプ１３１を接続する排気管１３２と、排気管１３２内を加熱する排気ヒータ１３３を有する。排気管１３２には排気弁Ｖ４が設けられている。排気ヒータ１３３は、真空槽１１から排気された気体中に微小な液滴が含まれている場合にそれを加熱して気化させることで、液滴によって真空ポンプ１３１が故障することを防止する役割を有する。

温度センサ１４は真空槽１１内の温度を測定するものであり、圧力センサ１５は真空槽１１内の圧力を測定するものである。これら温度及び圧力の測定データは、電気信号で制御部１６に送信される。

制御部１６はマイクロコンピュータ等で構成され、蒸気洗浄真空乾燥制御部１６１と乾燥判定部１６２を機能的に備えている。蒸気洗浄真空乾燥制御部１６１は、真空槽１１内に収容されたワークＷに対して蒸気洗浄及び乾燥を行うよう、後述のように、蒸気供給部１２の蒸気生成ヒータ１２２、蒸気導入弁Ｖ２及び返送弁Ｖ３、並びに減圧部１３の真空ポンプ１３１、排気ヒータ１３３及び排気弁Ｖ４を制御する。乾燥判定部１６２は、温度センサ１４及び圧力センサ１５からの信号を受けて、本発明に係るワーク乾燥判定方法を実行する。

操作部１７は、蒸気洗浄真空乾燥装置１０の使用者が蒸気洗浄及び真空乾燥の開始の指示や各種の条件の設定のための入力操作を行うためのものであり、キーボード、マウス、タッチパネル等の通常の入力デバイスから成る。

(2) 本実施形態の蒸気洗浄真空乾燥装置の動作
本実施形態の蒸気洗浄真空乾燥装置１０の動作を説明する。まず、使用者が操作部１７を操作することにより、蒸気洗浄真空乾燥装置１０を起動させる。蒸気洗浄真空乾燥制御部１６１は、蒸気生成ヒータ１２２に通電し、貯留槽１２１内の洗浄液の加熱を開始する。このとき、貯留槽１２１内に洗浄液の量を検出するセンサを設けておき、液量が所定値以下である場合には使用者に洗浄液の補充を求めるよう警告を発するようにしてもよい。

使用者は真空槽１１の蓋１１１を開け、ワークＷを真空槽１１内に入れた後、蓋１１１を密閉する。そして、使用者が操作部１７に対して所定の操作を行うことにより、ワークＷの蒸気洗浄工程が開始される。以下、蒸気洗浄工程における各部の動作は、蒸気洗浄真空乾燥制御部１６１により制御される。

蒸気洗浄工程では、まず、真空ポンプ１３１を起動し、排気弁Ｖ４を開放することにより真空槽１１内の空気の排気を開始すると共に、排気ヒータ１３３への通電を開始する。圧力センサ１５からの信号を受けて真空槽１１内の圧力が所定値以下になったことを検知したとき、排気弁Ｖ４を閉鎖する。この段階では通常、排気される気体中に液滴はほとんど含まれないため、排気ヒータ１３３による気体の加熱の必要性は低いが、後述の真空乾燥工程に備えて予備的に加熱をしておく。

次に、蒸気導入弁Ｖ２を開放する。これにより、貯留槽１２１内で洗浄液が加熱されることにより発生する蒸気が蒸気導入管１２３を通して真空槽１１内に導入される。真空槽１１内に導入された洗浄液の蒸気は、ワークＷの温度よりも高いため、熱交換を行ってワークＷを加温すると共に、ワークＷの表面で凝縮して該表面を洗浄する。また、この蒸気により真空槽１１内が常圧になる程度まで、蒸気導入弁Ｖ２の開放から時間が経過した後、返送弁Ｖ３を開放することにより、余剰の蒸気及び液化した洗浄液を真空槽１１から返送管１２４を通して貯留槽１２１に返送する。なお、蒸気導入弁Ｖ２及び返送弁Ｖ３は、貯留槽１２１内にも温度センサを設けたうえで、洗浄液が十分に加熱されたことを検知した後に開放するようにしてもよい。

ワークＷが十分に加温されて蒸気の温度に近づくと、それ以上は蒸気がほとんど凝縮しなくなり、ワークＷを洗浄する作用がほとんどなくなるため、この時点で、蒸気導入弁Ｖ２及び返送弁Ｖ３を閉鎖することにより蒸気洗浄工程を終了する。この終了のタイミングは、温度センサ１４で得られる真空槽１１内の温度に基づいて決定することができる。あるいは、1個のワークＷを用いて蒸気洗浄及び真空乾燥の予備実験を行い、この予備実験における真空乾燥の際に後述するワーク乾燥判定方法を実行し、ワークＷの乾燥が良好であると判定された予備実験で蒸気洗浄の際に蒸気を真空槽１１内に供給した蒸気供給時間を、実際の蒸気洗浄を行う際の蒸気供給時間としてもよい。

次に、真空乾燥工程を実行する。真空乾燥工程では、真空ポンプ１３１が作動している状態で、排気弁Ｖ４を開放することにより、真空槽１１内を減圧する。これにより、ワークＷの表面に付着していた洗浄液は、減圧によって沸点が急激に低下し、突沸・気化する。気化した洗浄液の成分は、真空ポンプ１３１により真空槽１１の外部に排出される。その際、真空槽１１から排出される気体を排気ヒータ１３３で加熱することにより、気体中に含まれる洗浄液の液滴を気化し、それにより真空ポンプ１３１の故障を防止する。これら真空ポンプ１３１、排気ヒータ１３３及び排気弁Ｖ４の動作は、蒸気洗浄真空乾燥制御部１６１が制御する。

この真空乾燥工程を実行している間、乾燥判定部１６２は、本発明に係るワーク乾燥判定方法を実行する。あるいは、1個のワークＷを用いて蒸気洗浄及び真空乾燥の予備実験を行い、この予備実験における真空乾燥の際に後述のワーク乾燥判定方法を実行し、ワークＷの乾燥が良好であると判定された予備実験と同じ条件で実際の真空乾燥工程を行ってもよい。予備実験を行った場合には、実際の真空乾燥工程ではワーク乾燥判定方法を実行する必要はない。

本発明に係るワーク乾燥判定方法により乾燥が良好であると判定された時点、又は予備実験で定めた条件で真空乾燥工程を実行した後、排気弁Ｖ４を閉鎖し、真空乾燥工程を終了する。その後、大気開放弁Ｖ１を開放することにより真空槽１１内の真空を破り、使用者が蓋１１１を取り外して、真空槽１１内からワークＷを取り出すことにより、一連の操作が完了する。

(3) 本実施形態の蒸気洗浄真空乾燥装置で実行するワーク乾燥判定方法
次に、図２及び図３を用いて、本実施形態の蒸気洗浄真空乾燥装置１０で実行するワーク乾燥判定方法を説明する。図２は、本実施形態のワーク乾燥判定方法を示すフローチャートである。

乾燥判定部１６２は、真空乾燥工程の開始後、圧力センサ１５からの信号を受け、真空槽１１内の圧力のデータを取得する（ステップＳ１）。乾燥判定部１６２は、得られた圧力のデータが所定の目的圧力に到達しているか否かを判定する（ステップＳ２）。ここで、目的圧力は、ワークＷの表面に付着していた洗浄液の蒸発が（ほぼ）止まり、それ以上は圧力が（ほとんど）低下しなくなるときの圧力で規定され、真空槽１１の容積や真空槽１１における気体のリークの大きさ、真空ポンプ１３１の性能等により定まる。目的圧力は、予備実験を行い、実際にワークＷが乾燥したときの到達圧力から定めることができる

ステップＳ２において乾燥判定部１６２がNoと判定した場合には、乾燥判定部１６２は真空乾燥工程の開始から所定時間経過したか否かを判定する（ステップＳ３）。ステップＳ３でYesと判定した場合には、乾燥判定部１６２はワークＷの乾燥が不良と判定し（ステップＳ１０）、ワーク乾燥判定方法を終了する。このようにワークの乾燥が不良であった場合の措置は後述する。一方、ステップＳ３でNoと判定した場合には、減圧を未だ必要な時間だけ行っていないことを意味することから、ステップＳ１に戻り、目的圧力に到達するか又は所定時間が経過するまで、ステップＳ１〜Ｓ３の操作を繰り返す。なお、前記所定時間は、ワークＷに付着した洗浄液の量が多い場合等、通常よりも到達圧力に到達するまでの時間が長い場合を勘案して定める。

ステップＳ２において乾燥判定部１６２がYesと判定した場合には、ステップＳ４に進む。ステップＳ４では、乾燥判定部１６２は、温度センサ１４からの信号を受け、真空槽１１内の温度のデータを取得する。続いて、乾燥判定部１６２は、真空槽１１内の温度が所定の目的温度以上であるか否かを判定する（ステップＳ５）。目的温度は、予備実験を行い、実際にワークＷが乾燥したときの真空槽１１内の温度から定めることができる。ステップＳ５において乾燥判定部１６２がYesと判定した場合にはステップＳ６に進む。一方、ステップＳ５において乾燥判定部１６２がNoと判定した場合には、蒸気洗浄工程においてワークＷが十分に加熱されていなかったか、又はワークＷに付着した洗浄液の量が多すぎることで目的圧力に到達するまでに気化熱によって温度が低下しすぎたことを意味する。いずれの原因であっても、ステップＳ５でNoと判定した場合には、乾燥判定部１６２はワークＷの乾燥が不良と判定し（ステップＳ１０）、ワーク乾燥判定方法を終了する。

乾燥判定部１６２は、真空乾燥工程の開始時から所定時間経過していなければそのまま待機し（ステップＳ６でNo）、所定時間経過していれば（ステップＳ６でYes）、真空槽１１内の温度を取得する（ステップＳ７）。続いて、乾燥判定部１６２は、真空乾燥工程の開始時と所定時間が経過した時の真空槽１１内の温度の差、すなわちこれら2つの時の間での真空槽１１内の温度低下の大きさが所定の許容温度低下範囲内にあるか否かを判定する（ステップＳ８）。乾燥判定部１６２は、ステップＳ８においてYesと判定した場合には、乾燥が良好であると判定し（ステップＳ９）、ワーク乾燥判定方法を終了する。一方、ステップＳ８においてNoと判定した場合には、洗浄液がワークＷの表面に付着したままであって且つ該表面から少量ずつ蒸発し続けていると考えられる。そのため、ステップＳ８でNoと判定した場合には、乾燥判定部１６２はワークＷの乾燥が不良と判定し（ステップＳ１０）、ワーク乾燥判定方法を終了する。ここで前記所定時間は、真空乾燥工程の開始時から圧力が（ほとんど）低下しなくなるまでの時間に基づいて定めればよい。許容温度低下範囲は、予備実験により定めることができる。

図３に、ワークＷの乾燥が良好であると判定される場合(a)と、不良であると判定される場合(b)について、真空乾燥工程開始からの圧力及び温度の時間変化のモデル例をグラフで示す。(a)のモデル例では、圧力は真空乾燥工程の開始からおおむね70秒経過後に、目的圧力（450Pa）に到達し、その時の温度は100℃強であって目的温度（95℃）以上となっている。また、真空乾燥工程の開始から115秒間経過するまで、温度の低下はほとんどなく、許容温度低下範囲内にある。そのため、(a)のモデル例では、ワークＷの乾燥は良好であると判定される。一方、(b)のモデル例では、圧力が目的圧力に到達し、且つ、その時の温度も目的温度以上となっているものの、真空乾燥工程の開始から115秒間経過するまで間に温度が5℃以上低下している。そのため、(b)のモデル例では、ワークＷの乾燥は不良であると判定される。

(4) 乾燥不良の（真空乾燥工程を中止した）場合の措置
ワークＷの乾燥が不良であると判定された場合には、前述のように蒸気洗浄工程におけるワークＷの加温が不十分であることが原因として考えられる。そこでそのような場合には、温度センサ１４により得られる、蒸気洗浄工程における真空槽１１内の温度を確認する。図４に、蒸気洗浄工程における真空槽１１内の温度の時間変化を測定した結果を示す。この測定結果では、真空槽１１内の温度は、蒸気洗浄工程の開始から約50秒経過したときに、目標昇温温度（この例では104℃）に到達し、その後、蒸気洗浄工程の終了（110秒経過）時まで継続的にこの目標昇温温度を上回っている。このように、目標昇温温度に到達してから十分な時間、その温度が維持されていれば、ワークＷも十分に加温されていると考えられる。そのような場合には、ワークＷの加温以外で乾燥不良の要因を検討する必要がある。一方、目標昇温温度を上回ってから間もなく、あるいは目標昇温温度に到達することなく蒸気洗浄工程を終了している場合には、ワークＷの加温が不十分であると考えられるため、蒸気洗浄工程で蒸気を真空槽１１内に供給する時間がより長くなるように設定する。

本発明は上記実施形態には限定されず、種々の変更が可能である。

１０…蒸気洗浄真空乾燥装置
１１…真空槽
１１１…蓋
１１２…大気開放口
１２…蒸気供給部
１２１…貯留槽
１２２…蒸気生成ヒータ
１２３…蒸気導入管
１２４…返送管
１３…減圧部
１３１…真空ポンプ
１３２…排気管
１３３…排気ヒータ
１４…温度センサ
１５…圧力センサ
１６…制御部
１６１…蒸気洗浄真空乾燥制御部
１６２…乾燥判定部
１７…操作部
Ｖ１…大気開放弁
Ｖ２…蒸気導入弁
Ｖ３…返送弁
Ｖ４…排気弁
Ｗ…ワーク

Claims (3)

1. 気密にした真空槽内にワークを収容して洗浄液の蒸気を導入することにより該ワークの蒸気洗浄を行う蒸気洗浄工程の後に、該真空槽内を減圧することで該ワークの表面に残留する洗浄液を突沸させることにより該ワークを乾燥させる真空乾燥工程におけるワークの乾燥の良否を判定する方法であって、
   前記真空乾燥工程において、
   前記真空槽内の圧力が所定の目的圧力に到達し、
   該目的圧力になった時の該真空槽内の温度が所定の目的温度以上であって、且つ、
   前記真空乾燥工程の開始時から所定の時間が経過するまでの間、該真空槽内の温度低下が所定範囲内にある
   ときに、ワークの乾燥が良好であると判定することを特徴とするワーク乾燥判定方法。
2. 前記蒸気洗浄工程において前記真空槽内の温度を測定することを特徴とする請求項１に記載のワーク乾燥判定方法。
3. a) ワークを気密に収容する真空槽と、
   b) 前記真空槽に洗浄液の蒸気を供給する蒸気供給部と、
   c) 前記真空槽内を減圧する減圧部と、
   d) 前記真空槽内の温度を測定する温度測定部と、
   e) 前記真空槽内の圧力を測定する圧力測定部と、
   f) 前記蒸気供給部から前記真空槽内に洗浄液の蒸気を供給した後に、前記減圧部により前記真空槽内を減圧するよう、該蒸気供給部及び該減圧部を制御する蒸気洗浄真空乾燥制御部と、
   g) 前記減圧部により前記真空槽内を減圧する操作の間、前記温度測定部から前記真空槽内の温度を取得すると共に前記圧力測定部から前記真空槽内の圧力を取得し、前記圧力が所定の目的圧力以下に到達し、該目的圧力に到達した時の該真空槽内の温度が所定の目的温度以上であって、且つ、前記真空槽内を減圧する操作の開始時から所定の時間が経過するまでの間、該真空槽内の温度低下が所定範囲内にあるときにワークの乾燥が良好であると判定する乾燥判定部と
   を備えることを特徴とする蒸気洗浄真空乾燥装置。

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